RU2739480C1 - Способ сравнительной оценки партий транзисторов по качеству и надежности - Google Patents

Способ сравнительной оценки партий транзисторов по качеству и надежности Download PDF

Info

Publication number
RU2739480C1
RU2739480C1 RU2020117907A RU2020117907A RU2739480C1 RU 2739480 C1 RU2739480 C1 RU 2739480C1 RU 2020117907 A RU2020117907 A RU 2020117907A RU 2020117907 A RU2020117907 A RU 2020117907A RU 2739480 C1 RU2739480 C1 RU 2739480C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
transistors
sample
reliability
current transfer
transfer coefficient
Prior art date
Application number
RU2020117907A
Other languages
English (en)
Inventor
Митрофан Иванович Горлов
Вячеслав Андреевич Сергеев
Александр Александрович Винокуров
Игорь Алексеевич Шишкин
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук filed Critical Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук
Priority to RU2020117907A priority Critical patent/RU2739480C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2739480C1 publication Critical patent/RU2739480C1/ru

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2607Circuits therefor
    • G01R31/2608Circuits therefor for testing bipolar transistors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2607Circuits therefor
    • G01R31/2608Circuits therefor for testing bipolar transistors
    • G01R31/2616Circuits therefor for testing bipolar transistors for measuring noise

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых транзисторов, и может быть использовано для сравнительной оценки качества и надежности партий транзисторов одного типа как на этапе производства, так и на входном контроле на предприятиях - изготовителях радиоэлектронной аппаратуры. Способ сравнительной оценки партий транзисторов по качеству и надежности состоит в том, что подготавливают одинаковые по численности выборки партий транзисторов, измеряют коэффициент передачи тока транзисторов в схеме с общим эмиттером при нормальной температуре около 20°С, затем проводят испытание транзисторов на безотказность в течение приблизительно 100 часов при повышенной температуре и измеряют коэффициент передачи тока в схеме с общим эмиттером при повышенной температуре, далее после выдержки транзисторов в течение по крайней мере 24 часов при нормальных условиях вновь измеряют коэффициент передачи тока транзисторов в схеме с общим эмиттером при нормальной температуре, по результатам выполненных измерений рассчитывают значения относительного изменения коэффициента передачи тока транзисторов сразу после их испытаний на безотказность К1 и после выдержки при нормальных условиях К2, затем в каждой выборке транзисторов вычисляют произведение П1 значений К1 всех транзисторов в выборке и произведение П2 значений К2 всех транзисторов в выборке, на основании измерений и расчетов как более качественная и надежная партия транзисторов оценивается партия транзисторов с наименьшими значениями произведений П1 и П2 соответствующей выборки транзисторов. Изобретение обеспечивает отбраковку потенциально ненадежных транзисторов без разрушающих воздействий. 2 табл.

Description

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых транзисторов, и может быть использовано для сравнительной оценки качества и надежности партий транзисторов одного типа как на этапе производства, так и на входном контроле на предприятиях - изготовителях радиоэлектронной аппаратуры.
Известен способ (Патент РФ №2226698, опубл. 10.04.2004) сравнительной оценки надежности партий транзисторов, в соответствии с которым при выборочных испытаниях партий транзисторов воздействием электростатических разрядов на каждый транзистор выборки подают электростатические разряды потенциалом вдвое большим допустимого по техническим условиям, каждый раз повышая его на 20-30 В до появления параметрического или катастрофического отказа.
Недостаток данного способа - испытания являются разрушающими.
Наиболее близким к заявляемому является способ отбраковки потенциально ненадежных транзисторов по патенту РФ №2490656, опубл. 20.08.2013. Для осуществления этого способа в качестве информативного параметра выбран коэффициент передачи тока транзистора в схеме с общим эмиттером. В соответствии со способом у всех транзисторов данной выборки проводят измерения коэффициента передачи тока транзисторов в схеме с общим эмиттером при нормальной h21Э20°C и повышенной h21Э100°С температуре, вычисляют их абсолютную разность и отношение и отбраковывают те транзисторы, которые одновременно удовлетворяют двум критериям:
Figure 00000001
где Δсред и Ксред - средние по выборке значения абсолютной разности коэффициента передачи тока при повышенной и нормальной температуре и его относительного изменения от температуры. Недостаток данного способа - испытания являются разрушающими.
Изобретение направлено на устранение указанных недостатков и обеспечение неразрушающих воздействий при отбраковке потенциально ненадежных транзисторов. Поставленная задача достигается заявляемым способом.
Предлагается способ сравнительной оценки партий транзисторов по качеству и надежности, включающий измерение коэффициента передачи тока транзисторов в схеме с общим эмиттером в выборке партии транзисторов, отличающийся тем, что подготавливают одинаковые по численности выборки транзисторов из двух и более партий транзисторов, измеряют коэффициент передачи тока h21ЭН транзисторов при нормальной температуре около 20°С, затем проводят испытание транзисторов на безотказность в течение приблизительно 100 часов при повышенной температуре около 125°С и непосредственно после испытаний на безотказность измеряют коэффициент передачи тока h21Э100 транзисторов при повышенной температуре, далее после выдержки выборок транзисторов, по крайней мере в течение 24 часов с обеспечением нормальных условий, измеряют коэффициент передачи тока h21Э24 транзисторов при нормальной температуре около 20°С, по результатам выполненных измерений для каждого транзистора каждой i-й выборки рассчитывают значения
Figure 00000002
относительного изменения коэффициента передачи тока транзисторов до и после выдержки 24 часа соответственно по формулам:
Figure 00000003
затем для каждой i-й выборки транзисторов вычисляют произведение
Figure 00000004
значений
Figure 00000005
всех транзисторов в выборке и произведение
Figure 00000006
значений
Figure 00000007
всех транзисторов в выборке, и на основании измерений и расчетов как более качественную и надежную из двух и более партий транзисторов оценивают партию транзисторов с наименьшими значениями
Figure 00000008
Способ был опробован на выборках по 10 штук двух партий маломощных кремниевых n-р-n-транзисторов типа 2Т312Б.
По техническим условиям (ТУ) электрическими информативными параметрами для данных транзисторов при испытаниях на безотказность являются коэффициент передачи тока h21Э в схеме с общим эмиттером и обратный ток перехода коллектор - база IКБО. Методом случайной выборки из партии №1 и №2 было отобрано по 10 транзисторов. Измерение параметра IКБО показало, что у всех транзисторов в обеих выборках его значение при напряжении коллектора - база UКБ=30 В не превышает 0,01 мкА при норме не более 1 мкА. Поэтому за информативный параметр был принят коэффициент передачи тока h21Э.
Испытания на безотказность проводились в режиме: UКБ=30 В; IЭ=5,6 мА; Т=125±5°С.
В таблицах 1 и 2 представлены результаты измерений следующих параметров:
- коэффициента передачи тока h21ЭН транзисторов при нормальных условиях и температуре около 20°С;
- коэффициента передачи тока h21Э100 транзисторов после испытания транзисторов на безотказность в течение приблизительно 100 часов при повышенной температуре;
- коэффициента передачи тока h21Э24 транзисторов при нормальной температуре около 20°С после выдержки 24 часа по окончанию испытания транзисторов на безотказность.
Коэффициенты K1 и К2 представляют собой отношения коэффициентов передачи тока транзисторов до и после выдержки 24 часа и определены по формулам:
Figure 00000009
Для каждой выборки транзисторов вычислены произведения
Figure 00000010
значений K1 всех транзисторов в выборках и произведения
Figure 00000011
значений К2 всех транзисторов в выборках; значения произведений также приведены в таблицах 1 и 2 для каждой выборки транзисторов.
Figure 00000012
Figure 00000013
Как видно из таблиц по результатам расчетов, получено:
по выборке из 1-ой партии:
Figure 00000014
по выборке из 2-ой партии:
Figure 00000015
На основании измерений и расчетов в соответствии с заявляемым способом как более качественная и надежная партия оценивается партия транзисторов с наименьшими значениями произведений П1, П2 в выборке. Так из полученных значений произведений видно, что
Figure 00000016
Figure 00000017
откуда следует, что партия №2 транзисторов более качественна и более надежна.

Claims (3)

  1. Способ сравнительной оценки партий транзисторов по качеству и надежности, включающий измерение коэффициента передачи тока h21Э транзисторов в схеме с общим эмиттером в выборке из партии транзисторов, отличающийся тем, что подготавливают одинаковые по численности выборки двух и более партий транзисторов, измеряют коэффициент передачи тока h21ЭН транзисторов при нормальной температуре около 20°С, затем проводят испытание транзисторов на безотказность в течение приблизительно 100 часов при повышенной температуре около 125°С и непосредственно после испытаний на безотказность измеряют коэффициент передачи тока h21Э100 транзисторов при повышенной температуре, далее после выдержки выборки транзисторов по крайней мере в течение 24 часов с обеспечением нормальных условий измеряют коэффициент передачи тока h21Э24 транзисторов при нормальной температуре около 20°С, по результатам выполненных измерений для каждого транзистора каждой i-й выборки рассчитывают значения
    Figure 00000018
    относительного изменения коэффициента передачи тока транзисторов до и после выдержки 24 часа соответственно по формулам:
  2. Figure 00000019
  3. затем для каждой i-й выборки транзисторов вычисляют произведение
    Figure 00000020
    значений
    Figure 00000021
    всех транзисторов в выборке и произведение
    Figure 00000022
    значений
    Figure 00000023
    всех транзисторов в выборке и на основании измерений и расчетов как более качественную и надежную из двух и более партий транзисторов оценивают партию транзисторов с наименьшими значениями
    Figure 00000024
RU2020117907A 2020-05-20 2020-05-20 Способ сравнительной оценки партий транзисторов по качеству и надежности RU2739480C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2020117907A RU2739480C1 (ru) 2020-05-20 2020-05-20 Способ сравнительной оценки партий транзисторов по качеству и надежности

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2020117907A RU2739480C1 (ru) 2020-05-20 2020-05-20 Способ сравнительной оценки партий транзисторов по качеству и надежности

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2739480C1 true RU2739480C1 (ru) 2020-12-24

Family

ID=74063064

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2020117907A RU2739480C1 (ru) 2020-05-20 2020-05-20 Способ сравнительной оценки партий транзисторов по качеству и надежности

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2739480C1 (ru)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2226698C2 (ru) * 2002-07-10 2004-04-10 Воронежский государственный технический университет Способ сравнительной оценки надежности партий транзисторов
RU2490656C2 (ru) * 2010-05-25 2013-08-20 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет" Способ отбраковки потенциально ненадежных транзисторов
JP2019027929A (ja) * 2017-07-31 2019-02-21 三菱電機株式会社 パワーサイクル試験装置およびパワーサイクル試験方法
RU2702962C1 (ru) * 2019-02-22 2019-10-14 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Воронежский государственный технический университет" Способ сравнительной оценки партий полупроводниковых изделий по надежности

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2226698C2 (ru) * 2002-07-10 2004-04-10 Воронежский государственный технический университет Способ сравнительной оценки надежности партий транзисторов
RU2490656C2 (ru) * 2010-05-25 2013-08-20 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет" Способ отбраковки потенциально ненадежных транзисторов
JP2019027929A (ja) * 2017-07-31 2019-02-21 三菱電機株式会社 パワーサイクル試験装置およびパワーサイクル試験方法
RU2702962C1 (ru) * 2019-02-22 2019-10-14 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Воронежский государственный технический университет" Способ сравнительной оценки партий полупроводниковых изделий по надежности

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2001308150A (ja) 半導体ウエハのテスト法
CN100353515C (zh) 晶片金属互连线可靠性在线测试方法
Devarakond et al. Concurrent device/specification cause–effect monitoring for yield diagnosis using alternate diagnostic signatures
RU2739480C1 (ru) Способ сравнительной оценки партий транзисторов по качеству и надежности
Ozhikenov et al. Development of technologies, methods and devices of the functional diagnostics of microelectronic sensors parts and components
JP4844101B2 (ja) 半導体装置の評価方法および半導体装置の製造方法
TWI616665B (zh) 積體電路之漏電測試
JP2001249161A (ja) 集積回路試験方法
RU2702962C1 (ru) Способ сравнительной оценки партий полупроводниковых изделий по надежности
US20070139034A1 (en) Semiconductor Device and Testing Method Thereof, and Resistance Measurement Apparatus
JP5487579B2 (ja) シリコンウェーハの評価方法および製造方法
JP2761055B2 (ja) シリコンウェーハ及びシリコンウェーハの検査方法
RU2538032C2 (ru) Способ сравнительной оценки надежности партий полупроводниковых изделий
RU2490655C2 (ru) Способ сравнительной оценки надежности полупроводниковых изделий
RU2324194C1 (ru) Способ разделения интегральных схем по надежности
RU2309418C2 (ru) Способ разделения полупроводниковых изделий по надежности
RU2511633C2 (ru) Способ отбраковки полупроводниковых изделий пониженного уровня качества из партий изделий повышенной надежности
RU2511617C2 (ru) Способ сравнительной оценки надежности партий полупроводниковых изделий
RU2490656C2 (ru) Способ отбраковки потенциально ненадежных транзисторов
RU2292052C1 (ru) Способ разделения полупроводниковых изделий по надежности
RU2464583C2 (ru) Способ сравнительной оценки надежности полупроводниковых изделий в пластмассовых корпусах
JP4894575B2 (ja) 半導体評価装置およびその方法、並びにプログラム
RU2253168C1 (ru) Способ разбраковки полупроводниковых приборов
CN113866511B (zh) 在片电容测量系统和测量方法
RU2278392C1 (ru) Способ разделения интегральных схем