RU2189707C2 - Устройство для использования в трафаретной печати и способ совмещения обрабатываемой подложки и трафарета - Google Patents

Устройство для использования в трафаретной печати и способ совмещения обрабатываемой подложки и трафарета Download PDF

Info

Publication number
RU2189707C2
RU2189707C2 RU93057569/09A RU93057569A RU2189707C2 RU 2189707 C2 RU2189707 C2 RU 2189707C2 RU 93057569/09 A RU93057569/09 A RU 93057569/09A RU 93057569 A RU93057569 A RU 93057569A RU 2189707 C2 RU2189707 C2 RU 2189707C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
substrate
coordinate table
visual control
coordinate
alignment
Prior art date
Application number
RU93057569/09A
Other languages
English (en)
Other versions
RU93057569A (ru
Inventor
Джон Майкл ЛОУ
Original Assignee
Текнолоджи Девелопмент Ассошиэйт Оперейшнз Лимитед
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Текнолоджи Девелопмент Ассошиэйт Оперейшнз Лимитед filed Critical Текнолоджи Девелопмент Ассошиэйт Оперейшнз Лимитед
Publication of RU93057569A publication Critical patent/RU93057569A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2189707C2 publication Critical patent/RU2189707C2/ru

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1216Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/08Machines
    • B41F15/10Machines for multicolour printing
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S101/00Printing
    • Y10S101/36Means for registering or alignment of print plates on print press structure

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Screen Printers (AREA)
  • Acyclic And Carbocyclic Compounds In Medicinal Compositions (AREA)
  • Optical Communication System (AREA)
  • Iron Core Of Rotating Electric Machines (AREA)
  • Paper (AREA)
  • Holo Graphy (AREA)
  • Road Signs Or Road Markings (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Fluid-Damping Devices (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)

Abstract

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано в устройствах и способах трафаретной печати, например печатных схем на подложке. Техническая задача данного изобретения состоит в повышении эффективности и точности совмещения сетчатого трафарета и обрабатываемой подложки. Сущность изобретения: предложено устройство для использования при трафаретной печати, содержащее координатный стол, станину устройства, устройство визуального контроля, приспособление для закрепления подложки на координатном столе и приспособление для крепления сетчатого трафарета, отличающееся тем, что координатный стол установлен на станине устройства, опорное устройство жестко прикреплено к координатному столу, устройство визуального контроля установлено на опорном устройстве, расположенном так, что устройство визуального контроля просматривает основную часть поверхности координатного стола, причем устройство дополнительно содержит устройство для относительного перемещения между координатным столом и приспособлением для крепления сетчатого трафарета, при этом устройство визуального контроля позиционируется с возможностью наблюдения знаков совмещения, нанесенных на подложку, так что, когда сетчатый трафарет находится между устройством визуального контроля и подложкой, устройство визуального контроля может наблюдать знаки совмещения, нанесенные на сетчатый трафарет, посредством чего облегчается регулировка относительных положений сетчатого трафарета и подложки для совмещения знаков совмещения на сетчатом трафарете и подложке, таким образом осуществляется совмещение сетчатого трафарета и подложки. Предложен также способ совмещения нанесенных на обрабатываемую подложку и сетчатый трафарет знаков совмещения, осуществляемый с помощью охарактеризованного выше устройства. 2 с.п. и 6 з.п.ф-лы, 2 ил.

Description

Изобретение относится к устройствам и способам для точного совмещения сетчатого трафарета и обрабатываемой подложки, использующей систему визуального контроля, более конкретно для использования в трафаретной печати при производстве печатных плат.
Известные способы трафаретной печати, некоторые из которых все еще используются, связанные с ручной подгонкой сетчатого трафарета поверх обрабатываемой подложки так, что знаки отметки совмещения, часто называемые координатными метками, расположенные на трафарете и обрабатываемой подложке, совмещались при просмотре сквозь трафарет. Так как это было в сильной степени субъективным выбором, включенным в данный способ совмещения, то это была в основном система проб и ошибок и обычно требовала несколько попыток для того, чтобы достичь нужного результата.
Повторяемость результатов, полученная на основании этого способа совмещения, имела зависимость от совпадения аналогичных элементов подложек, точности размещения каждой обрабатываемой подложки на координатном столе для трафаретной печати и возможности установки трафаретной печати удерживать сетчатый трафарет в первоначально установленном положении.
Использование технологии трафаретной печати для многоцветных графических изображений и для осаждения травленного резиста и материала припоя резиста в технике производства печатных плат привело к все возрастающему спросу более современных способов точного совмещения.
Как реакция на потребность все более малого допуска при совмещении появились системы, включающие одну или несколько видеокамер на ПЗС (приборах с зарядовой связью), оборудованные удобной линзовой системой, которая вводилась в систему, обычно управляемую микропроцессором, которая обеспечивала увеличение изображений знаков совмещения, воспроизводимых на индикаторном устройстве (дисплее), созданном на базе электронно-лучевой трубки (ЭЛТ). Аналогичные индикаторные устройства обычно в дополнение к всему имели создаваемые электронным способом координатные сетки, которые позволяли выполнить высокоточную подгонку сетчатого трафарета и подложки с помощью микрометрических регулировок. Эти регулировки обычно выполнялись вручную, кроме некоторых систем, в которых были опробованы полуавтоматические или автоматические режимы. Патентное описание ЕР 204901 раскрывает полуавтоматическое устройство трафаретной печати, использующее шаговые электроприводы.
В упомянутых известных в технике системах видеокамеры устанавливались прямо над или под углом с помощью дополнительных подрамников по отношению к основной раме устройства трафаретной печати. Это приводит к появлению нескольких источников ошибок позиционирования, а именно: крепление сетчатого трафарета на основной раме устройства трафаретной печати, повторяемость положения "ввода" координатного стола, повторяемость положения "ухода" координатного стола, повторяемость положения подложки на координатном столе и жесткость креплений видеокамер.
Для того чтобы получить улучшенное необходимое абсолютное совмещение, ряд разработок в этой области сконцентрировались на повышении механической целостности устройства трафаретной печати. Более конкретно они нацелены на снижение ошибок смещения подвижных деталей. Исследуя ряд разработок было обнаружено, что, если три самых ответственных параметра контролируются с допуском 0,0025 см, которые в этом случае смещения координатного стола обычно соответствуют погрешности 0,003%, то отсюда общая максимальная погрешность совмещения такой системы будет равна 0,0075 см. Этого недостаточно в отношении степени точности, предпочтительной при некоторых случаях применения.
Известно устройство для использования при трафаретной печати, содержащее координатный стол, станину устройства, устройство визуального контроля, приспособление для закрепления подложки на координатном столе и приспособление для крепления сетчатого трафарета (ЕР 0 137 659).
Известен также способ совмещения нанесенных на подложку знаков совмещения и сетчатого трафарета, при котором используют устройство, содержащее координатный стол, станину устройства, устройство визуального контроля, приспособление для закрепления подложки на координатном столе и приспособление для крепления сетчатого трафарета (ЕР 0 137 659).
Этот патент отличается от настоящего изобретения тем, что он требует одновременного наблюдения знаков совмещения как на изделии, так и на сетчатом трафарете посредством устройства наблюдения, чья связь или с изделием, или с сетчатым трафаретом является неопределенной. Известное устройство регулируется, пока трафарет или маска не окажутся там, где они должны быть относительно трафарета, установленного на координатном столе. При вставлении нового трафарета его необходимо также регулировать до правильного положения, так как не существует никакого способа узнать, находится ли он каждый раз точно в одинаковом положении. Неизбежно будет некоторое относительное движение и, таким образом, при каждом использовании будут вноситься новые ошибки.
Для устранения вышеуказанных недостатков создано устройство для использования при трафаретной печати, содержащее координатный стол, станину устройства, устройство визуального контроля, приспособление для закрепления подложки на координатном столе и приспособление для крепления сетчатого трафарета, в котором согласно изобретению координатный стол установлен на станине устройства, опорное устройство жестко прикреплено к координатному столу, устройство визуального контроля установлено на опорном устройстве, расположенном так, что устройство визуального контроля просматривает основную часть поверхности координатного стола, причем устройство дополнительно содержит устройство для относительного перемещения между координатным столом и приспособлением для крепления сетчатого трафарета, при этом устройство визуального контроля позиционируется с возможностью наблюдения знаков совмещения, нанесенных на подложку, так что, когда сетчатый трафарет находится между устройством визуального контроля и подложкой, устройство визуального контроля может наблюдать знаки совмещения, нанесенные на сетчатый трафарет, посредством чего облегчается регулировка относительных положений сетчатого трафарета и подложки для совмещения знаков совмещения на сетчатом трафарете и подложке и, таким образом, осуществляется совмещение сетчатого трафарета и подложки. Опорное устройство содержит элементы, жестко соединенные в форме опорной рамы, жестко прикрепленной к опорному узлу, на котором устройство визуального контроля установлено посредством средства, которое неподвижно и крепко, но с возможностью регулировки положения, если это необходимо, закрепляет устройство визуального контроля.
Предпочтительно устройство содержит устройство для обработки изображения, приспособленное для обработки данных изображения, поступающих от устройства визуального контроля, и для вывода обработанных данных изображения на дисплей, при этом обработанные данные изображения вырабатывают изображение, которое просматривается устройством визуального контроля посредством дополнительной накладываемой координатной сетки с плавным позиционированием. Устройство может дополнительно содержать устройство для позиционирования координатной сетки с плавным позиционированием, приспособленное для управления человеком-оператором.
Координатный стол имеет установленную на нем обрабатываемую подложку, а сетчатый трафарет установлен на приспособлении для крепления сетчатого трафарета.
Также создан способ совмещения нанесенных на подложку знаков совмещения и сетчатого трафарета, при котором используют устройство, содержащее координатный стол, станину устройства, устройство визуального контроля, приспособление для закрепления подложки на координатном столе и приспособление для крепления сетчатого трафарета, в котором согласно изобретению неподвижно закрепляют положку на координатном столе, отмечают местоположение знаков совмещения положки при помощи координатной сетки, смещают опорную раму и сетчатый трафарет друг относительно друга таким образом, что знаки совмещения сетчатого трафарета совпали со знаками совмещения координатной сетки, осуществляя совмещение обрабатываемой подложки и трафарета. После отметки местоположения знаков совмещения обрабатываемой подложки изменяют местоположение координатной сетки параметрическим коэффициентом коррекции, полученным из предыдущего контрольного опыта трафаретной печати.
Обычно устройство трафаретной печати содержит приспособление для крепления сетчатого трафарета, используемого в процессе трафаретной печати, а координатные метки наносятся на сетчатый трафарет.
Устройство для визуального контроля может иметь две видеокамеры на ПЗС, каждая из которых снабжена линзовыми системами.
В одном из примеров осуществления изобретения опорное устройство содержит жесткую опорную раму, имеющую два прямоугольных элемента, жестко соединенных под прямыми углами друг с другом, образуя L-образную часть рамы, а также включающий опорный узел, расположенный в противоположном конце от соединения упомянутых плоских элементов, приспособленных для фиксации с регулировкой устройства визуального контроля.
В примере осуществления настоящего изобретения устройство к тому же включает блок обработки изображений, приспособленный к обработке информации о формируемом изображении, поступающих из устройства визуального контроля и к выводу обработанной информации о изображении на устройство воспроизведения изображения (дисплей). Упомянутый дисплей может иметь ЭЛТ. Блок обработки изображения предпочтительно является микропроцессорной системой. В дополнительном примере осуществления устройство формирует изображение на дисплейном устройстве, которое является изображением, которое просматривается устройством визуального контроля, но также имеет дополнительную изменяемую по положению координатную сетку, нанесенную на него. Координатная сетка может содержать пару перекрещенных линий. В еще одном предпочтительном примере применения человек-оператор контролирует позицию координатной сетки с переменным позицированием.
Устройство, соответствующее настоящему изобретению, далее будет описано со ссылкой на следующие чертежи.
Фиг.1 представляет собой вид спереди всего устройства.
Фиг.2 представляет собой вид сверху Фиг.1.
Жесткая опорная рама, обозначенная в целом 1, имеет два прямоугольных элемента, составленных перпендикулярно друг другу, образуя L-образную жесткую рамочную часть, которая приведена на Фиг.1, а именно элемент основания 2 и вертикальный элемент 3. Элемент основания 2 жестко соединен с обычным координатным столом 4. Координатный стол 4 приспособлен, чтобы установить и сохранить в неподвижном состоянии обрабатываемую подложку 9 способом, который аналогичен используемым в данной области техники, например, гнездовыми пластинами (на чертежах не приведены) или шрифтами 40. Вертикальный элемент 3, кроме того, соединен с противоположного конца с местом соединения элементов 2 и 3 рамы, с опорным узлом, который имеет первую пару параллельных опорных элементов 5, выступающих с противоположных боковых выступов элемента 3, расположенного параллельно по отношению и над боковым элементом 2, как показано на Фиг.2. Опорный узел имеет вторую пару параллельно расположенных опорных элементов 6, ориентированных в продольном направлении по отношению к первой паре опорных элементов 5, и обеспечивает опору соединения между ними. Опорные элементы 6 соединены с элементами 5 кронштейной системой 16, которая позволяет выполнить подгонку в направлении, отмеченном линией С-С.
Координатный стол 4 устанавливается на базовой раме оборудования для изменения положения загрузки и разгрузки относительно положения рабочей печати.
Пара опорных элементов 6 удерживает пару видеокамер на ПЗС и связанные с ними системы, обозначенные в целом позицией 7, площадь обзора которых обычно расположена в направлении координатного стола 4. Видеокамеры 7 снабжены линзами, которые дают достаточное увеличение при дискретной разрешающей способности системы, которая лучше, чем требуется при любой регулировке. Каждая видеокамера 7 устойчива закреплена на опорных элементах 6, используя кронштейны 8, которые допускают ручную, механическую регулировку положений видеокамер 7 вдоль оси, определенной линией В-В. Это вместе с кронштейнами 16 позволяет соответственно регулировать площадь обзора видеокамер 7 в соответствии с общим положением обрабатываемой подложки 9, закрепленной на координатном столе 4. Оба кронштейных набора 8 и 16 могут содержать любую конструкцию, которая будет неподвижно и крепко удерживать видеокамеры 7 и при этом будет позволять легко выполнить регулировку положения, если это требуется.
В этом предпочтительном примере воплощения изобретения видеокамеры и комбинации линз подсоединяются к блоку обработки изображения 10, который обычно имеет микропроцессорное управление через каналы связи 12, причем этот блок 10, в свою очередь, соединен с дисплеем 11 через канал связи 13. Дисплей обычно имеет электронно-лучевую трубку. Блок обработки изображения 10 принимает данные о формируемом изображении через канал 12 и соответственно обрабатывает их так, что, когда данные обработанного изображения 13 используются, чтобы запустить дисплей 11 через канал связи 13, координатная сетка накладывается на первоначальное изображение, которое просматривается видеокамерой 7. Абсолютно неподвижное положение координатной сетки на экране дисплея 11 регулируется оператором через блок обработки изображения 10. Лучше всего, если оператор воспользуется механическим манипулятором (джойстиком), чтобы отрегулировать положение координатной сетки. Очевидно, что, поскольку координатная сетка может быть получена программным способом, то возможно будет легче изменять конфигурацию геометрических размеров координатной сетки, чтобы приспособить к конкретному случаю применения.
Сетчатый трафарет 15 на Фиг.1 является хорошо известным типовым трафаретом, применяемым в области трафаретной печати.
В рабочем положении обрабатываемая подложка 9 неподвижно закрепляется на координатном столе 4. Видеокамеры 7 юстируются механическим способом, используя кронштейные приспособления 8 и 16, чтобы визуально проконтролировать примерное положение обрабатываемой подложки поверх поверхности, имеющей координатные метки, которые в тексте далее названы "знаками совмещения" обрабатываемой подложки. Затем оператор пользуется блоком обработки изображения 10, чтобы электронным способом совместить данные координатных сеток с центрированием знаков совмещения обрабатываемой подложки. Подобное электронное совмещение заменяет сложность механических манипуляций, свойственных прежней технике конструкций фиксации. Затем вся установка 1 перемещается к месту печати вместе с сетчатым трафаретом 15 таким образом, что сетчатый трафарет находится между подложкой 9 и камерами 7, позволяя камерам 7 просматривать сетчатый трафарет 15. Знаки совмещения трафарета 15 совмещаются регулировкой положения сетчатого трафарета с координатными сетками, которые все еще направлены к знакам совмещения обрабатываемой подложки 9, тем самым совмещая трафарет 15 с обрабатываемой подложкой 9. Координатные положения знаков совмещения подложки хранятся в памяти как положения координатных сеток оптоэлектронной системы.
Контрольная печать выполняется с помощью ракеля в соответствии с процессом трафаретной печати аналогично уже известной технике печати, и вся установка убирается так, что надпечатываемые обрабатываемые знаки совмещения просматриваются видеокамерами 7. Координатные сетки совмещаются с напечатанными знаками совмещения на обрабатываемой подложке 9 и, если они не совпадают с хранимыми в памяти первоначальными данными знаков совмещения, вычисляется параметрический коэффициент коррекции. Погрешности подобного типа обычно появляются после перемещения ракеля или из-за других параметрических причин системы. Этот коэффициент коррекции хранится в памяти и используется как смещение для последовательных циклов печати. Во время последовательных циклов печати подложка 9 закрепляется на координатном столе, используя систему локализации, например штифты 40, координатные сетки совмещаются со знаками совмещения подложки, координатный стол 4 перемещается в положение печати и знаки совмещения сетчатого трафарета выравниваются по координатным сеткам и выполняется операция печати. Точность контролируется проверкой знаков совмещения, напечатанных во время процессов трафаретной печати после того, как координатный стол 4 был удален с места печати.
Поскольку видеокамеры 7 действительно являются составной частью координатного стола 4, то точность выбора позиции "входа" и "ухода" координатного стола не является существенной. Поскольку координатные сетки видеокамеры совмещаются со знаком совмещения подложки и проходом подложки, то потребность в точном позиционировании подложек на координатном столе исключается, и поскольку трафарет совмещается с координатной сеткой как раз перед печатью, то необходимость точного повторения механического позиционирования трафарета, требуемого для уже известных систем, исключается.
Это пример воплощения настоящего изобретения обеспечивает повторно демонстрируемые совмещения с 0,0025 см или лучше без потребности установки трафаретной печати в очень высокоточном механизме позиционирования.
Для специалиста в данной области техники очевидно, что полуавтоматический вариант реализации настоящего изобретения, описанный ранее, можно было бы заменить полностью автоматическим вариантом исполнения установки в соответствии с настоящим изобретением, в которой соответствующие программные средства обработки изображения могут исполнять функцию оператора. Таким образом, их функция заключается в позиционировании соответствующих знаков совмещения и совмещения сетчатого трафарета и положки с помощью привода на базе шаговых электродвигателей или других высокоточных устройств позиционирования.

Claims (8)

1. Устройство для использования при трафаретной печати, содержащее координатный стол, станину устройства, устройство визуального контроля, приспособление для закрепления подложки на координатном столе и приспособление для крепления сетчатого трафарета, отличающееся тем, что координатный стол установлен на станине устройства, опорное устройство жестко прикреплено к координатному столу, устройство визуального контроля установлено на опорном устройстве, расположенном так, что устройство визуального контроля просматривает основную часть поверхности координатного стола, причем устройство дополнительно содержит устройство для относительного перемещения между координатным столом и приспособлением для крепления сетчатого трафарета, при этом устройство визуального контроля позиционируется с возможностью наблюдения знаков совмещения, нанесенных на подложку, так, что, когда сетчатый трафарет находится между устройством визуального контроля и подложкой, устройство визуального контроля может наблюдать знаки совмещения, нанесенные на сетчатый трафарет, посредством чего облегчается регулировка относительных положений сетчатого трафарета и подложки для совмещения знаков совмещения на сетчатом трафарете и подложке и таким образом осуществляется совмещение сетчатого трафарета и подложки.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что опорное устройство содержит элементы, жестко соединенные в форме опорной рамы, жестко прикрепленной к опорному узлу, на котором устройство визуального контроля установлено посредством средства, которое неподвижно и крепко, но с возможностью регулировки положения, если это необходимо, закрепляет устройство визуального контроля.
3. Устройство по п. 1 или 2, отличающееся тем, что оно содержит устройство для обработки изображения, приспособленное для обработки данных изображения, поступающих от устройства визуального контроля, и для вывода обработанных данных изображения на дисплей.
4. Устройство по п. 3, отличающееся тем, что обработанные данные изображения вырабатывают изображение, которое просматривается устройством визуального контроля посредством дополнительной накладываемой координатной сетки с плавным позиционированием.
5. Устройство по п. 4, отличающееся тем, что дополнительно содержит устройство для позиционирования координатной сетки с плавным позиционированием, приспособленное для управления человеком-оператором.
6. Устройство по п. 5, отличающееся тем, что координатный стол имеет установленную на нем обрабатываемую подложку, а сетчатый трафарет установлен на приспособлении для крепления сетчатого трафарета.
7. Способ совмещения нанесенных на подложку знаков совмещения и сетчатого трафарета, при котором используют устройство, содержащее координатный стол, станину устройства, устройство визуального контроля, приспособление для закрепления подложки на координатном столе и приспособление для крепления сетчатого трафарета, отличающийся тем, что неподвижно закрепляют подложку на координатном столе, отмечают местоположение знаков совмещения подложки при помощи координатной сетки, смещают опорную раму и сетчатый трафарет относительно друг друга так, чтобы знаки совмещения сетчатого трафарета совпали со знаками совмещения координатной сетки, осуществляя совмещение обрабатываемой подложки и трафарета.
8. Способ по п. 7, отличающийся тем, что после отметки местоположения знаков совмещения обрабатываемой подложки изменяют местоположение координатной сетки параметрическим коэффициентом коррекции, полученным из предыдущего контрольного опыта трафаретной печати.
RU93057569/09A 1991-03-06 1992-03-06 Устройство для использования в трафаретной печати и способ совмещения обрабатываемой подложки и трафарета RU2189707C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB9104705.0 1991-03-06
GB919104705A GB9104705D0 (en) 1991-03-06 1991-03-06 Vision system

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU93057569A RU93057569A (ru) 1996-06-10
RU2189707C2 true RU2189707C2 (ru) 2002-09-20

Family

ID=10691072

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU93057569/09A RU2189707C2 (ru) 1991-03-06 1992-03-06 Устройство для использования в трафаретной печати и способ совмещения обрабатываемой подложки и трафарета

Country Status (14)

Country Link
US (1) US5459941A (ru)
EP (1) EP0574459B1 (ru)
JP (1) JP3278657B2 (ru)
KR (1) KR100277089B1 (ru)
AT (1) ATE185466T1 (ru)
AU (1) AU665183B2 (ru)
BR (1) BR9205733A (ru)
CA (1) CA2105653C (ru)
DE (1) DE69230099T2 (ru)
DK (1) DK0574459T3 (ru)
ES (1) ES2139593T3 (ru)
GB (1) GB9104705D0 (ru)
RU (1) RU2189707C2 (ru)
WO (1) WO1992016090A1 (ru)

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5537927A (en) * 1994-08-26 1996-07-23 Tension Envelope Corporation Apparatus and method for precisely drilling alignment pin register holes in pre-marked flexible printing plates
DE19522676A1 (de) * 1995-06-22 1997-01-02 Polygram Manufacturing & Distr Verfahren zur exakten Ausrichtung eines Druckbildes auf eine geometrisch richtige Druckposition einer Druckmaschine
JP3310540B2 (ja) * 1996-05-22 2002-08-05 松下電器産業株式会社 スクリーン印刷方法とその装置
JPH10128951A (ja) * 1996-10-31 1998-05-19 Sakurai Graphic Syst:Kk スクリーン式印刷装置及び印刷位置調整方法
US5850789A (en) * 1997-07-22 1998-12-22 E. I. Du Pont De Nemours And Company Method and apparatus for mounting printing plates
WO1999019145A1 (de) * 1997-10-13 1999-04-22 Autotec Ag Siebvoreinstellung
US5901646A (en) * 1997-10-21 1999-05-11 Preco Industries, Inc. Screen printing machine having three axes screen registration with shiftable support vacuum table for web
JP3190956B2 (ja) * 1998-11-02 2001-07-23 株式会社金田機械製作所 新聞印刷用刷版の製造方法
US6205364B1 (en) 1999-02-02 2001-03-20 Creo Ltd. Method and apparatus for registration control during processing of a workpiece particularly during producing images on substrates in preparing printed circuit boards
US6199290B1 (en) * 1999-07-30 2001-03-13 Excellon Automation Co. Method and apparatus for automatic loading and registration of PCBs
JP2001062995A (ja) * 1999-08-30 2001-03-13 Minami Kk スクリーン印刷機
US6715413B2 (en) 2000-05-09 2004-04-06 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Apparatus and method of screen printing
US6609458B2 (en) * 2000-07-18 2003-08-26 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Screen printing apparatus and method of the same
JP4616451B2 (ja) * 2000-09-22 2011-01-19 株式会社小森コーポレーション 印刷品質検査装置
US6593066B2 (en) 2001-02-28 2003-07-15 Creo Il. Ltd. Method and apparatus for printing patterns on substrates
US6493064B2 (en) 2001-02-28 2002-12-10 Creo Il, Ltd. Method and apparatus for registration control in production by imaging
JP3504623B2 (ja) * 2001-03-12 2004-03-08 マイクロ・テック株式会社 スクリーン印刷装置及びスクリーン製版セット方法
DE10222119B4 (de) * 2002-05-17 2004-11-11 Asys Automatisierungssysteme Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Einstellen der relativen Lage zwischen einem zu bedruckenden Substrat und einem Druckmuster
JP2004351624A (ja) * 2003-05-27 2004-12-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd クリーム半田のスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法
DE102005007439A1 (de) * 2005-02-18 2006-08-31 Josef Lindthaler Verfahren zur Laserbelichtung eines in einem Rahmen gehaltenen Siebes und Laserbelichter hierfür
CN100418764C (zh) * 2005-09-08 2008-09-17 东莞市凯格精密机械有限公司 全自动视觉印刷机的顶升平台
JP4696861B2 (ja) * 2005-11-11 2011-06-08 パナソニック株式会社 スクリーン印刷装置
DE102008057005A1 (de) 2008-11-11 2010-05-12 Jonas & Redmann Automationstechnik Gmbh Verfahren zum Positionieren und/oder Führen mindestens eines beliebigen Prozesskopfes für die Metallisierung von dünnen Substraten in einem definierten Abstand über der Substratoberfläche
CN102501615A (zh) * 2011-10-12 2012-06-20 江苏锐毕利实业有限公司 刚性印制电路板喷印定位方法
CN103568506A (zh) * 2012-08-08 2014-02-12 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 网板印刷装置
CN107810112A (zh) * 2015-04-10 2018-03-16 奥梅茨私人公司 用于配准具有手动可调节印刷配准件的轮转印刷机的印刷单元的系统
WO2019089777A1 (en) 2017-10-31 2019-05-09 Nike Innovate C.V. Image registration for printing
CN108357193B (zh) * 2017-12-29 2019-12-31 广州泰行智能科技有限公司 丝印检测方法、装置、终端设备

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4005651A (en) * 1972-04-25 1977-02-01 Societe Honeywell Bull (Societe Anonyme) Apparatus for orienting patterns provided on masks for serigraphy
JPS6210128Y2 (ru) * 1978-09-19 1987-03-09
DE8007545U1 (de) * 1980-03-19 1980-06-12 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Justiereinrichtung an einer siebdruckmaschine
GB2088283B (en) * 1980-11-05 1984-08-08 Secr Defence Alignment drive
EP0126723A3 (en) * 1983-05-18 1986-10-29 Svecia Silkscreen Maskiner AB Method and arrangement for positioning a second pattern origination from a pattern formed on a stencil in relation to a material intended for the pattern
BE897929A (nl) * 1983-10-06 1984-04-06 Bell Telephone Mfg Zeefdrukinrichting
SE8405067L (sv) * 1984-10-10 1986-04-11 Svecia Silkscreen Maskiner Ab Anordning for att i en stenciltryckmaskin orientera ett fran ett forsta pa en stencil utbildat monster herrorande andra monster i forhallande till ett for monstret avsett material (samtidig stegmotorpaverkan)
DE3614578A1 (de) * 1986-04-30 1987-11-05 Koenig & Bauer Ag Registersystem fuer eine rotationsdruckmaschine
DE3633855A1 (de) * 1986-10-04 1988-04-14 Heidelberger Druckmasch Ag Verfahren und vorrichtung zur passerkorrektur
IT209972Z2 (it) * 1987-02-20 1988-11-14 Argon Ind Mecc Srl Dispositivo di lettura ottica per il rilevamento dei segni di registro di un supporto di stampa e di un telaio di stampa.
JPH0624840B2 (ja) * 1987-02-25 1994-04-06 ティーディーケイ株式会社 スクリ−ン印刷装置における版合わせ方法
JPS6465848A (en) * 1987-09-04 1989-03-13 Canon Kk Alignment
JP2666368B2 (ja) * 1988-05-25 1997-10-22 松下電器産業株式会社 スクリーン印刷機
JPH02123789A (ja) * 1988-11-02 1990-05-11 Sanyo Electric Co Ltd スクリーン印刷機のスクリーン位置合わせ方法及びその装置
JP2717707B2 (ja) * 1989-07-14 1998-02-25 株式会社村田製作所 スクリーン印刷方法、印刷版の製造方法及びそれらのための装置
JP2757036B2 (ja) * 1989-08-26 1998-05-25 株式会社新川 マーキング方法及び装置
JP2864553B2 (ja) * 1989-09-01 1999-03-03 ソニー株式会社 Ccd遅延装置
US5136948A (en) * 1990-10-31 1992-08-11 Kabushiki Kaisha Shinkawa Marking method and apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
CA2105653C (en) 2002-11-26
EP0574459B1 (en) 1999-10-06
US5459941A (en) 1995-10-24
DE69230099T2 (de) 2000-03-23
GB9104705D0 (en) 1991-04-17
ES2139593T3 (es) 2000-02-16
BR9205733A (pt) 1994-08-02
AU1354692A (en) 1992-10-06
WO1992016090A1 (en) 1992-09-17
ATE185466T1 (de) 1999-10-15
KR100277089B1 (ko) 2001-02-01
EP0574459A1 (en) 1993-12-22
CA2105653A1 (en) 1992-09-07
DK0574459T3 (da) 2000-04-17
JPH07500778A (ja) 1995-01-26
JP3278657B2 (ja) 2002-04-30
DE69230099D1 (de) 1999-11-11
AU665183B2 (en) 1995-12-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2189707C2 (ru) Устройство для использования в трафаретной печати и способ совмещения обрабатываемой подложки и трафарета
KR100436017B1 (ko) 스크린인쇄방법과그장치
EP0563829A2 (en) Device for inspecting printed cream solder
EP1921506A2 (en) Position Detecting Method and Device, Patterning Device, and Subject to be detected
GB2359515A (en) Fabricating printed circuits
CA2176250A1 (en) Alignment systems
CN100584151C (zh) 元件安装用基板制造装置
JP2010245508A (ja) ウェハアライメント装置及びウェハアライメント方法
WO2002069053A2 (en) Method and apparatus for registration control in production by imaging
JPS5814757B2 (ja) ゾウノセイゴウホウホウ オヨビ ソノソウチ
JPH0376195A (ja) 半田印刷装置の位置決め機構
JP2020010017A (ja) 素子取付装置のこう正方法
JPH0590799A (ja) プリント基板への接着剤付着方法及び装置
JPS63207646A (ja) スクリ−ン印刷装置における版合わせ方法
JPWO2007074509A1 (ja) Tcpハンドリング装置およびtcpハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法
JP3299160B2 (ja) 電子部品実装方法及び装置
JP2002076694A (ja) 部品実装装置及び部品実装方法
JPH10326997A (ja) 電子部品実装装置および該電子部品実装装置による位置補正方法
JPH0999547A (ja) 認識マーク位置の教示自動装置と教示方法
US6480223B1 (en) Method and device for detecting the position of terminals and/or edge of components
JPH0829458B2 (ja) 部品の自動マウント方法
EP1020106A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur lageerkennung von anschlüssen und/oder kanten von bauelementen
JP2593825B2 (ja) 投影光学装置及びこの投影光学装置を用いた投影露光装置
JP2000177101A (ja) スクリ―ン印刷装置における版の位置調整方法
KR100513202B1 (ko) 반도체 제조용 스텝퍼의 렌즈수차 보정장치 및 이를이용한 렌즈수차 보정방법

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20060307