RU2134160C1 - Устройство для измельчения образцов материалов - Google Patents

Устройство для измельчения образцов материалов Download PDF

Info

Publication number
RU2134160C1
RU2134160C1 RU96105927A RU96105927A RU2134160C1 RU 2134160 C1 RU2134160 C1 RU 2134160C1 RU 96105927 A RU96105927 A RU 96105927A RU 96105927 A RU96105927 A RU 96105927A RU 2134160 C1 RU2134160 C1 RU 2134160C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
grinding
rotary table
samples
spindles
possibility
Prior art date
Application number
RU96105927A
Other languages
English (en)
Other versions
RU96105927A (ru
Inventor
Торесен Бьерн
Торкильсен Гейр
Original Assignee
Норск Хюдро А.С.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Норск Хюдро А.С. filed Critical Норск Хюдро А.С.
Publication of RU96105927A publication Critical patent/RU96105927A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2134160C1 publication Critical patent/RU2134160C1/ru

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/32Polishing; Etching
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B27/00Other grinding machines or devices
    • B24B27/0076Other grinding machines or devices grinding machines comprising two or more grinding tools
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B51/00Arrangements for automatic control of a series of individual steps in grinding a workpiece
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B7/00Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
    • B24B7/20Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
    • B24B7/22Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
    • B24B7/228Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain for grinding thin, brittle parts, e.g. semiconductors, wafers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24DTOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D7/00Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor
    • B24D7/02Wheels in one piece
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/286Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q involving mechanical work, e.g. chopping, disintegrating, compacting, homogenising

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Disintegrating Or Milling (AREA)

Abstract

Устройство включает конструкцию, состоящую из рамы и консоли с поворотным столом, который устроен так, что в нем удерживается множество образцов материалов. Над поворотным столом расположен по крайней мере один измельчающий шпиндель, который может перемещаться в вертикальном направлении. Программная контрольная система регулирует процесс измельчения. Обеспечивается большая точность процесса измельчения, исключается внедрение мелющих зерен в образцы материала при высокой производительности процесса измельчения. Предусмотрено использование двух измельчающих шпинделей для грубого и тонкого измельчения образцов материала. Измельчающие диски шпинделей имеют вкрапленные в них частицы алмаза. 9 з.п. ф-лы, 5 ил.

Description

Изобретение относится к устройствам для измельчения образцов материалов, например, до микроструктуры породы, нанесенных на предметное стекло микроскопа.
При извлечении нефти и газа из подземных горных пород (породы) очень важно получить данные о характеристиках этих пород. Их получают помимо всего прочего путем исследования микроструктуры породы под микроскопом для получения представления о пористости и структуре породы.
В начале процесса измельчения кусок породы отрезают и пропитывают. Затем поверхность пропитанного куска измельчают перед тем, как поместить его на предметное стекло микроскопа и окончательно измельчить.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту является устройство для измельчения образцов материалов, известное из патента SU, 710630, B 02 C 7/08, 1980.
Известное устройство, предназначенное для измельчения, например, до микроструктуры образцов породы, размещаемых на предметном стекле микроскопа, включает стол для размещения на нем измельчаемого материала и измельчающий узел, установленный над столом с возможностью вертикального перемещения. Вышеописанное устройство реализует традиционный способ измельчения, основанный на так называемом процессе "вкрапления", при котором зерна карбида кремния и водной суспензии подают на вращающийся литой чугунный диск, при этом образцы материала (предметные стекла микроскопа с образцами) размещают в одном или нескольких вращающихся держателях и прижимают к вращающемуся литому чугунному диску. При использовании этого устройства и применении зерен карбида кремния, которые играют роль мелющих тел, дисперсность продукта постепенно понижается до 30 мкм.
Известное устройство, однако, имеет ряд недостатков. Во-первых, мелющие тела впрессовывают в эпоксидную смолу в пробах материала во времени процесса "вкрапления", что приводит к появлению черных частиц в порах образцов измельченных материалов. Это в самом худшем случае может привести к тому, что образцы становятся непригодными для дальнейших анализов. Во-вторых, может произойти наклон рабочей поверхности вращающегося литого чугунного диска в процессе измельчения и его необходимо часто регулировать. Это включает значительный объем работ.
Наклон литого чугунного диска может привести к значительной неравномерности образцов материала, которые в результате этого не могут быть использованы для дальнейших испытаний.
Другим недостатком известного устройства является необходимость в операторе для контроля процесса, что повышает стоимость работы.
В основу изобретения положена задача создания устройства для измельчения образцов материалов, в котором были бы исключены вышеуказанные недостатки.
Поставленная задача решается тем, что в устройстве для измельчения образцов материалов, например, до микроструктуры образцов породы, размещаемых на предметном стекле микроскопа, включающем поворотный стол для размещения на нем измельчаемого материала и установленный над ним с возможностью вертикального перемещения измельчающий узел, согласно изобретению измельчающий узел выполнен в виде по меньшей мере одного измельчающего шпинделя, а стол выполнен с возможностью удержания на нем множества образцов материала и снятия их, при этом измельчающий узел и поворотный стол размещены на раме и консоли, а устройство снабжено программной контрольной системой для контроля процесса измельчения.
Целесообразно, когда устройство включает два измельчающих шпинделя, одни из которых служит для грубого измельчения образцов материала, а другой - для тонкого. Предпочтительно, когда измельчающие шпиндели снабжены измельчающими дисками, выполненными из металла с вкрапленными частицами алмазов, при этом измельчающий диск выполнен в форме чаши. Желательно, когда измельчающие шпиндели размещены на тележке или салазках, установленных с возможностью передвижения в вертикальном направлении по рельсам посредством серводвигателя и пары винт - гайка. Рекомендуется поворотный стол установить с возможностью дополнительного вибрационного движения относительно измельчающих шпинделей и смонтировать на каретке или салазках, которые расположены с возможностью передвижения вдоль рельсов посредством серводвигателя и пары винт - гайка.
Для удержания образцов материала по окружности поворотного стола выполнен ряд отверстий, сообщенных с источником вакуума.
Валы поворотного стола и измельчающих шпинделей установлены на опорных подшипниках посредством пружинного устройства таким образом, что вал свободно раздвигается под влиянием тепла без сдвига поворотного стола или измельчающих шпинделей, при этом вал установлен с опорой на два упорных шариковых подшипника, размещенных в контакте друг с другом и имеющих различные диаметры и число шариков.
Устройство, выполненное согласно изобретению:
существенно проще в работе,
дает значительно большую точность процесса измельчения,
исключает внедрение мелющих зерен в образцы материалов,
требует минимального участия оператора,
создает существенно более тонкую и равномерную поверхность измельченных образцов материалов,
сокращает время, связанное с последующим полированием образцов материалов,
создает высокую производительность процесса измельчения.
Изобретение далее будет описано посредством примеров со ссылками на фигуры, на которых показаны:
фиг. 1 изображает а) вид спереди, в) вид сбоку, с) вид сверху устройства для измельчения в соответствии с изобретением;
фиг. 2 - в увеличенном масштабе опору для измельчающего шпинделя устройства для измельчения;
фиг. 3 - в увеличенном масштабе вид сверху поворотного стола в соответствии с изобретением;
фиг. 4 - два примера образцов материала, измельченных двумя способами: а) устройством для измельчения в соответствии с изобретением; в) известным устройством в соответствии со способом "вкрапления".
Устройство в соответствии с изобретением, как показано на фиг. 1, состоит из четырех основных частей, а именно конструкции рамы с консолью 1, устройства 2 измельчающего шпинделя, поворотного стола 3 и узла управления 4.
Конструкция 1, включающая раму и консоль, спроектирована таким образом, чтобы поглощать большие энергии во время процесса измельчения, когда используется устройство для измельчения, и поэтому изготовлена из мощных стальных балок и ребер жесткости 5, 6, 7 для обеспечения достаточной стабильности и предотвращения неравномерности измельчения образцов. Относительно других деталей рамы и консоли необходимо отметить, что эти детали относятся к компетенции специалистов в данной области и далее не будут здесь описаны.
Устройство 2 измельчающего шпинделя включает, как показано на фиг. 1, два шпинделя-измельчителя, размещенных над поворотным столом 3, один из которых предназначен для грубого помола, другой - для тонкого измельчения, каждый из которых приводится в движение электродвигателем 8. Каждый шпиндель 2 и двигатель 8 опираются на салазки или каретку 9, которая может передвигаться в вертикальном направлении по рельсам 10 консольной конструкции.
Каретка 9 со шпинделем 2 может перемещаться вверх и вниз при помощи устройства 11 высокой точности "винт - гайка", которое управляется серводвигателем 12. Устройство для измельчения в соответствии с изобретением, как указано выше, спроектировано для того, чтобы производить тонкое измельчение проб материалов до дисперсности 20-30 мкм с точностью ± 1 мкм. Для того чтобы предотвратить отклонение в процессе измельчения в связи с тепловым расширением, измельчающий шпиндель 2 опирается на специальную опору 13 на салазках 9, что показано далее в увеличенном масштабе на фиг. 2. Детально изображены тефлоновые набивки 14, упорные контактные шариковые подшипники 15 и 16, винтовые пружины 17, радиальный контактный шариковый подшипник 18, запорная гайка 19, вал 20 шпинделя и центрирующее кольцо.
В качестве опоры используются упомянутые выше подшипники с различным диаметром и числом шариков, поскольку это предотвращает нежелательные оттиски на поверхности измельченных образцов материалов. Винтовые пружины осуществляют постоянное давление на подшипник 18, особенно на нижние опорные подшипники 15 и 16, что приводит к тому, что любой перегрев шпинделя не создает отклонения его положения относительно поверхности измельчения. Другими словами, вал шпинделя может свободно раздвигаться вверх. Тефлоновое уплотнение обеспечивает низкий коэффициент трения, что приводит к невысокому выделению тепла в кожухе шпинделя. Что касается конструкции измельчающих шпинделей, они состоят из алмазных частиц, вкрапленных в металлический материал, сформированный в виде дисков 21, выполненных предпочтительно в форме чаши для обеспечения интенсивного охлаждения во время процесса измельчения. Использование алмазных дисков является существенным преимуществом изобретения, поскольку образцы материалов получаются абсолютно чистыми и в составе измельченного материала отсутствуют нежелательные частицы.
На фиг. 4 показаны два примера образцов материала, измельченных посредством: а) устройства для измельчения в соответствии с изобретением и в) известного устройства в соответствии со способом "вкрапления". На фиг. 4 показано, что в образце имеется несколько нежелательных частиц 30 в материале структуры. Образец материала, показанный на фиг. 4а, не содержит подобных частиц.
Поворотный стол 3 (фиг. 2), который составляет третий важнейший элемент конструкции, включает круглый диск, который посредством ремня 22 или подобного устройства приводится в действие электродвигателем 23. Диск 3 с ведущими зубчатыми колесами 22 и 23 расположен на каретке, салазках и т.п. деталях 24, которые расположены на рельсах 25 рамы 5 с возможностью их передвижения. Каретка может передвигаться посредством сервомотора через устройство "винт - гайка", аналогичное устройству, которое уже было использовано для подъема и опускания измельчающего шпинделя 2.
Путем устройства поворотного стола, движущегося, как было указано выше, обеспечивается комбинированное вибрационное и вращательное движение образцов материала, которое обеспечивает равномерное их измельчение.
Образцы измельчаемых материалов удерживаются на столе 3 с возможностью снятия их при помощи вакуума. На фиг. 3 показан в увеличенном масштабе вид сверху поворотного стола 3, согласно изобретению. Поворотный стол изготовлен из латуни, причем напряжения в материале сняты, и имеет несколько отверстий 28, соединенных с канавками или выемками 31, которые образуют структуру с равными расстояниями между ними и соединены с источником вакуума (не показан). Общее количество подобных отверстий с канавками составляет 40, в которые может быть помещено соответствующее количество образцов.
Во время процесса измельчения на поворотный стол подается вода для охлаждения образцов материала через одну или несколько насадок, расположенных над столом. На фигурах это в дальнейшем не показано.
Четвертой основной частью, которую включает настоящее изобретение, является программный, логический контроль (ПЛК), составляющий контрольную систему 4, управляющую подачей раствора. Для управления системой ПЛК удобно применять так называемый "дисплей с сенсорным экраном", в котором различные меню с сенсорными кнопками используются для контроля устройства для измельчения. Вся система управления выведена на плату управления, размещенную на устройстве для измельчения или предпочтительно на отдельную плату управления, которая легко доступна для оператора.
Эта система ПЛК не является патентоспособной, поскольку она имеется в продаже и поэтому техническое решение системы ПЛК более описано не будет. Однако впоследствие будет дано краткое описание того, каким образом измельчитель управляется посредством системы ПЛК.
Когда основной выключатель повернут вокруг своей оси, это означает, что поворотный стол и измельчающие шпиндели вернулись в нулевую точку, так называемую "ориго". Одновременно текст "Поиск ориго" появится на дисплее оператора. Когда устройство готово к работе, на дисплее появится главное меню. Например, может быть предложен выбор между автоматическим измельчением образцов породы, автоматическим измельчением пластины стекла или измельчением вручную.
Если из всего главного меню выбирается измельчение вручную, на дисплее появляется подменю, которое включает выбор частоты вращения поворотного стола и выбор двигателя, который желательно использовать. Если выбраны процессы тонкого измельчения или грубого измельчения, на дисплее появятся другие подменю, относящиеся к ручному управлению процессом измельчения. При этом также возможно заложить в компьютер и сохранить в памяти основные параметры, которые позднее могут быть использованы для полностью автоматического измельчения, т. е. при измельчении образца при сохранении заданных параметров устройство может повторять процесс измельчения автоматически.
Выбор конечной позиции вибрационных движений поворотного стола производится отдельной строкой меню. В этой же строке может быть запрограммирована скорость автоматического измельчения.
Перед выбором автоматического режима измельчения образец материала сначала помещается на поворотный стол, включается подача вакуума и охлаждающей воды. Затем автоматически измельченный стеклянный образец или автоматически измельченный образец породы выбирается из главного меню. После того, как это проделано, появляются соответствующие подменю и становится возможным начать и остановить процесс измельчения по программе.
При этом весь процесс измельчения может быть произведен путем грубого и тонкого измельчения при одновременной вибрации поворотного стола до тех пор, пока не будет окончена операция измельчения. После этого поворотный стол задвигается обратно в начальное положение и образцы материалов готовы для дальнейшей обработки и анализа.
Относительно процесса измельчения необходимо отметить, что предпочтительно использовать два помольных колеса, как описано выше, поскольку это сокращает время измельчения. В этом случае образцы материалов измельчаются сначала грубо до толщины, соответствующей, например, 100 мкм при помощи диска грубого помола перед тем, как они измельчаются диском тонкого помола до желаемой толщины, например, 30 мкм. Изобретение, как определено в пунктах заявки, однако, не ограничивается двумя помольными дисками, но может быть снабжено только одним диском либо более чем тремя дисками этого типа.

Claims (10)

1. Устройство для измельчения образцов материалов, например, до микроструктуры образцов породы, размещаемых на предметном стекле микроскопа, включающее поворотной стол для размещения на нем измельчаемого материала и установленный над ним с возможностью вертикального перемещения измельчающий узел, отличающееся тем, что измельчающий узел выполнен в виде по меньшей мере одного измельчающего шпинделя, а стол выполнен с возможностью удержания на нем множества образцов материала и снятия их, при этом измельчающий узел и поворотный стол размещены на раме и консоли, а устройство снабжено программной контрольной системой для контроля процесса измельчения.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оно включает два измельчающих шпинделя, один из которых служит для грубого измельчения образцов материала, а другой - для тонкого.
3. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что измельчающие шпиндели снабжены измельчающими дисками, выполненными из металла с вкрапленными частицами алмазов.
4. Устройство по п.3, отличающееся тем, что измельчающий диск выполнен в форме чаши.
5. Устройство по любому из пп.1 - 4, отличающееся тем, что измельчающие шпиндели размещены на тележке или салазках, установленных с возможностью передвижения в вертикальном направлении по рельсам посредством серводвигателя и пары винт - гайка.
6. Устройство по п.1, отличающееся тем, что поворотный стол установлен с возможностью дополнительного вибрационного движения относительно измельчающих шпинделей.
7. Устройство по п.6, отличающееся тем, что поворотный стол смонтирован на каретке или салазках, которые расположены с возможностью передвижения вдоль рельсов посредством серводвигателя и пары винт - гайка.
8. Устройство по п.6 или 7, отличающееся тем, что для удержания образцов материала по окружности поворотного стола выполнен ряд отверстий, сообщенных с источником вакуума.
9. Устройство по любому из пп.1 - 8, отличающееся тем, что валы поворотного стола и измельчающих шпинделей установлены на опорных подшипниках посредством пружинного устройства так, что вал свободно раздвигается под влиянием тепла без сдвига поворотного стола или измельчающих шпинделей.
10. Устройство по п.9, отличающееся тем, что вал установлен с опорой на два упорных шариковых подшипника, размещенных в контакте друг с другом и имеющих различные диаметры и число шариков.
RU96105927A 1994-06-15 1995-06-14 Устройство для измельчения образцов материалов RU2134160C1 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NO942242 1994-06-15
NO942242A NO179238C (no) 1994-06-15 1994-06-15 Utstyr for tynnsliping av materialpröver
PCT/NO1995/000101 WO1995034802A1 (en) 1994-06-15 1995-06-14 Equipement for the grinding of material samples

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU96105927A RU96105927A (ru) 1998-05-27
RU2134160C1 true RU2134160C1 (ru) 1999-08-10

Family

ID=19897186

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU96105927A RU2134160C1 (ru) 1994-06-15 1995-06-14 Устройство для измельчения образцов материалов

Country Status (15)

Country Link
US (1) US5785578A (ru)
EP (1) EP0713575B1 (ru)
JP (1) JP3190972B2 (ru)
KR (1) KR100383524B1 (ru)
CN (1) CN1097726C (ru)
AT (1) ATE216071T1 (ru)
AU (1) AU692270B2 (ru)
CA (1) CA2167400A1 (ru)
CZ (1) CZ290918B6 (ru)
DE (1) DE69526307T2 (ru)
DK (1) DK0713575T3 (ru)
ES (1) ES2174949T3 (ru)
NO (1) NO179238C (ru)
RU (1) RU2134160C1 (ru)
WO (1) WO1995034802A1 (ru)

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE508604C2 (sv) * 1997-02-24 1998-10-19 Dentronic Ab Förfarande och arrangemang för abrasiv precisionsbearbetning av ett ämne
US7785173B2 (en) * 2005-07-05 2010-08-31 Supfina Machine Co. Superfinishing machine and method
AT502101B1 (de) * 2005-07-14 2007-09-15 Atomic Austria Gmbh Verfahren zur bearbeitung von laufflächen von wintersportgeräten sowie wintersportgerät und vorrichtung zur herstellung von belägen
ITTO20050765A1 (it) * 2005-10-27 2007-04-28 Biesse Spa Centro di lavoro a controllo numerico per lastre di vetro, pietra, marmo o simili, con due o piu' teste di lavorazione
CN101096074B (zh) * 2006-06-30 2010-11-24 上海中晶企业发展有限公司 大直径高精度玻璃抛光机的自动移盘机构
CN101339114B (zh) * 2008-09-03 2012-05-23 石家庄铁道学院 陶瓷磨削加工性能测试方法
CN103033403B (zh) * 2011-09-29 2015-09-02 鞍钢股份有限公司 一种薄板金属薄膜试样的制备方法
CN103308363B (zh) * 2013-06-24 2015-02-18 黄河勘测规划设计有限公司 岩体制样变形测试方法
CN104275638B (zh) * 2014-09-22 2016-10-19 广东省自动化研究所 自动抛光系统及其抛光方法
CN104406828B (zh) * 2014-10-30 2017-01-25 东北石油大学 含弱界面低强度岩石试样制备装置及其制备试样方法
CN104359288B (zh) * 2014-10-31 2016-09-28 湖南三德科技股份有限公司 可刮扫物料的风透式干燥设备
CN104551897B (zh) * 2015-01-04 2017-01-18 中国矿业大学 一种适应不同外形尺寸岩样批量打磨的加工设备及方法
CN105709904B (zh) * 2016-02-01 2017-10-31 上海化工研究院有限公司 一种均匀式微量样品研磨装置
WO2017138355A1 (ja) * 2016-02-09 2017-08-17 東京エレクトロン株式会社 研削装置および研削方法
CN107631898A (zh) * 2016-07-19 2018-01-26 广东石油化工学院 一种立式多功能岩石加工系统
TWI598150B (zh) * 2016-09-30 2017-09-11 財團法人工業技術研究院 硏磨機及微旋迴轉裝置
CN106584239B (zh) * 2016-12-07 2018-11-02 杭州正驰达精密机械有限公司 一种机械手表摆锤的自动磨削机床
CN106826405A (zh) * 2016-12-27 2017-06-13 中国石油天然气股份有限公司 岩石磨片方法
CN106826518A (zh) * 2017-01-26 2017-06-13 武汉科技大学 一种金相试样磨样机
CN108801724B (zh) * 2018-03-26 2021-09-24 翟如扬 一种污水污染物检验用样品处理装置
CN109176304A (zh) * 2018-08-28 2019-01-11 南京理工大学 一种平面磨削用试验台
CN109682659B (zh) * 2019-01-14 2021-01-15 邢华铭 一种农药残留检测用研磨设备
CN110328605B (zh) * 2019-07-09 2021-06-11 业成科技(成都)有限公司 治具、研磨装置及样品块的研磨方法
TWM597200U (zh) * 2020-02-18 2020-06-21 財團法人金屬工業研究發展中心 研磨輪量測裝置
KR102262825B1 (ko) * 2020-12-16 2021-06-09 주식회사 알엔비 복합 연마기
DE102022125705A1 (de) 2022-10-05 2024-04-11 Atm Qness Gmbh Teller-Schleif-/Poliergerät

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2869292A (en) * 1957-05-29 1959-01-20 Klugman Ira Louis Precision grinding machine
US3534506A (en) * 1968-05-17 1970-10-20 Us Army Lens polishing apparatus
DE1798139A1 (de) * 1968-08-29 1971-11-04 Telefunken Patent Vorrichtung zum Polieren von Proben
US3653854A (en) * 1969-09-29 1972-04-04 Toyoda Machine Works Ltd Digitally controlled grinding machines
US3704554A (en) * 1971-04-26 1972-12-05 Bausch & Lomb Lens processing machine with movable workpiece spindle
US3732647A (en) * 1971-08-05 1973-05-15 Coburn Manuf Co Inc Polisher-finer machine
US3872626A (en) * 1973-05-02 1975-03-25 Cone Blanchard Machine Co Grinding machine with tilting table
JPS5937037A (ja) * 1982-08-26 1984-02-29 Toshiba Corp 立軸回転テ−ブル形平面研削盤
JPS61230853A (ja) * 1985-04-03 1986-10-15 Shibayama Kikai Kk 半導体ウエハの自動平面研削盤における連続ダウンフイ−ド方式
DE3542508A1 (de) * 1985-07-22 1987-01-29 Biermann Alfred Verfahren und vorrichtung von fuer die mikroskopische untersuchung im durchlicht geeigneten duennschliffen aus proben mit harten bestandteilen
US4760668A (en) * 1986-07-02 1988-08-02 Alfred Schlaefli Surface grinding machine and method
EP0272531B1 (en) * 1986-12-08 1991-07-31 Sumitomo Electric Industries Limited Surface grinding machine
ATE107213T1 (de) * 1989-02-23 1994-07-15 Supfina Maschf Hentzen Verfahren und einrichtung zum feinbearbeiten und supfinieren.
JP2513426B2 (ja) * 1993-09-20 1996-07-03 日本電気株式会社 ウェ―ハ研磨装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Основы проектирования и технология изготовления абразивного и алмазного инструмента /Под ред. В.Н.Бакуля. - М.: Машиностроение, 1975, с. 50. *

Also Published As

Publication number Publication date
NO179238B (no) 1996-05-28
WO1995034802A1 (en) 1995-12-21
CN1129981A (zh) 1996-08-28
AU692270B2 (en) 1998-06-04
DE69526307D1 (de) 2002-05-16
EP0713575B1 (en) 2002-04-10
DE69526307T2 (de) 2002-11-07
EP0713575A1 (en) 1996-05-29
ATE216071T1 (de) 2002-04-15
CZ290918B6 (cs) 2002-11-13
NO942242D0 (no) 1994-06-15
CN1097726C (zh) 2003-01-01
AU2755095A (en) 1996-01-05
KR100383524B1 (ko) 2003-07-07
ES2174949T3 (es) 2002-11-16
DK0713575T3 (da) 2002-08-05
JPH09502275A (ja) 1997-03-04
US5785578A (en) 1998-07-28
CZ77396A3 (en) 1996-11-13
CA2167400A1 (en) 1995-12-21
NO942242L (no) 1995-12-18
JP3190972B2 (ja) 2001-07-23
NO179238C (no) 1996-09-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2134160C1 (ru) Устройство для измельчения образцов материалов
US4519168A (en) Liquid waxless fixturing of microsize wafers
US5472371A (en) Method and apparatus for truing and trued grinding tool
CN1072997C (zh) 工具磨床
RU96105927A (ru) Устройство для измельчения образцов материалов
JP5608310B1 (ja) 研磨盤及び研磨機
CN105717002B (zh) 一种单颗磨粒高速连续划擦干涉行为测试机及其应用
GB2058620A (en) A method and apparatus for effecting the lapping of wafers of semiconductive material
US3091144A (en) Method of cutting substances
JP4055796B2 (ja) 球体研磨装置
US3392494A (en) Grinding devices
CN114378704B (zh) 一种适用于大尺寸kdp晶体超精密高效抛光装置与方法
CN109459332A (zh) 一种参数可控式单/多颗磨粒高速刻划实验装置
Patten et al. Simple apparatus for sawing and grinding sections of bone and teeth
US5321918A (en) Spindle grinding method and apparatus
Wills-Moren et al. Ductile regime grinding of glass and other brittle materials by the use of ultrastiff machine tools
CN205483918U (zh) 一种单颗磨粒高速连续划擦干涉行为测试机
JPH0531669A (ja) 研削装置
JP4462497B2 (ja) ドレス装置、研削装置、及びドレス方法
JPH11320390A (ja) 面加工装置用定盤及びその使用方法
CN212601235U (zh) 一种砂轮加工用定位工装
JP5039875B2 (ja) ドレス装置、ドレス方法、及び数値制御プログラム
JP2594161B2 (ja) ハ−ドディスク基板研削装置の自動ドレッシング方法及び基板研磨装置の自動パツド清掃方法
JP2006239793A (ja) ドレス装置、研削装置、ドレス方法、数値制御プログラム、及びドレッサ
JPS6339378B2 (ru)

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20060615