CZ290918B6 - Zařízení pro brouąení vzorků materiálu - Google Patents

Zařízení pro brouąení vzorků materiálu Download PDF

Info

Publication number
CZ290918B6
CZ290918B6 CZ1996773A CZ77396A CZ290918B6 CZ 290918 B6 CZ290918 B6 CZ 290918B6 CZ 1996773 A CZ1996773 A CZ 1996773A CZ 77396 A CZ77396 A CZ 77396A CZ 290918 B6 CZ290918 B6 CZ 290918B6
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
grinding
rotary table
material samples
spindles
turntable
Prior art date
Application number
CZ1996773A
Other languages
English (en)
Other versions
CZ77396A3 (en
Inventor
Bjorn Thoresen
Geir Thorkilsen
Original Assignee
Norsk Hydro A. S.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Norsk Hydro A. S. filed Critical Norsk Hydro A. S.
Publication of CZ77396A3 publication Critical patent/CZ77396A3/cs
Publication of CZ290918B6 publication Critical patent/CZ290918B6/cs

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/32Polishing; Etching
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B27/00Other grinding machines or devices
    • B24B27/0076Other grinding machines or devices grinding machines comprising two or more grinding tools
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B51/00Arrangements for automatic control of a series of individual steps in grinding a workpiece
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B7/00Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
    • B24B7/20Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
    • B24B7/22Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
    • B24B7/228Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain for grinding thin, brittle parts, e.g. semiconductors, wafers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24DTOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D7/00Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor
    • B24D7/02Wheels in one piece
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/286Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q involving mechanical work, e.g. chopping, disintegrating, compacting, homogenising

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
  • Disintegrating Or Milling (AREA)

Abstract

Za° zen je ur eno nap° klad pro brou en mikrostruktury vzorku horniny, nanesen na podlo n m skl ku mikroskopu. Mikroskop obsahuje konzolovou a r movou konstrukci (1) s oto n²m stolem (3), na kter m lze pevn um stit v t po et vzork materi lu, d le nejm n jedno svisle pohybliv brousic v°eteno (2), ulo en nad oto n²m stolem (3) a programovatelnou ° dic jednotku (4) pro ° zen brousic ho postupu. Oto n² st l (3) je upraven pro bo n vykyvov n v i brousic m v°eten m (2).\

Description

Zařízení pro broušení vzorků materiálu
Oblast techniky
Vynález se týká zařízení pro broušení vzorků materiálu, například broušení mikrostruktury vzorku horniny, naneseného na podložním sklíčku mikroskopu.
Při těžení oleje a plynu z podzemního útvaru (skály) má zásadní důležitost získání znalostí o povaze tohoto útvaru. Toho se mezi jiným dosáhne studiem mikrostruktury příslušné horniny v mikroskopu pro získání poznatků o průlinčitosti a struktuře horniny. Broušení začíná tím, že se oddělí kus horniny a impregnuje se. Potom se impregnovaný kus brousí na povrchu, než se nanese na podložní sklíčko mikroskopu a definitivně vybrousí.
Dosavadní stav techniky
Nejobvyklejší způsob broušení je založen na nanášení brusného materiálu, tj. karbid křemíku v podobě zrn se ve vodné suspenzi nanáší na otáčivý litinový kotouč, vzorky materiálu (sklíčko mikroskopu se vzorky) se umístí na jeden nebo několik otáčivých držáků a přitlačí na otáčivý litinový kotouč. U tohoto druhu zařízení a postupu působí zrna karbidu křemíku jako taková jako brusná látka tloušťka se postupně sníží na přibližně 30 mikrometrů.
Známý způsob a zařízení jsou však spojeny s určitými nevýhodami. Především jsou nanesená brusná zrna zatlačována do epoxidové plastické hmoty a jeví se jako černé částice v pórech vzorků broušeného materiálu. V nejhorším případě to může vyvolat nezpůsobilost vzorků pro další analýzu. Kromě toho může litinový kotouč při průběhu broušení získat šikmý povrch a musí být často seřizován. To znamená zvýšené množství práce. Sikmost u litinového kotouče může také vést ke značné nerovnosti u vzorků materiálu, kterých proto nelze použít pro další zkoumání.
Další nevýhodou známého uspořádání je, že vyžaduje trvalý dohled pracovníka a tím se jeho používání prodraží.
Vynález si klade za úkol navrhnout zařízení pro broušení vzorků materiálu, u něhož jsou shora uvedené nevýhody odstraněny a které
- je podstatně snadnější při používání,
- poskytuje podstatně vyšší přesnost při broušení,
- brání proniknutí brusných zrn do vzorků materiálu,
- vyžaduje minimální účast pracovníka,
- vede k podstatně jemnějšímu a hladšímu povrchu hotových vzorků broušeného materiálu,
- šetří čas ve spojení s pozdějším leštěním povrchu vzorků materiálu,
- má větší brusný výkon.
Podstata vynálezu
Podstatu vynálezu tvoří zařízení pro broušení vzorků materiálu, například broušení mikrostruktury vzorku horniny, nanesené na podložním sklíčku mikroskopu, obsahující konzolovou
-1 CZ 290918 B6 a rámovou konstrukci s otočným stolem, na kterém lze pevně umístit větší počet vzorků materiálu, dále nejméně jedno svisle pohyblivé brousicí vřeteno, uložené nad otočným stolem a programovatelnou řídicí jednotku pro řízení brousicího postupu, otočný stůl je upraven pro boční vykyvování vůči brousicím vřetenům.
Ve výhodném provedení zařízení obsahuje dvě brousicí vřetena, jedno pro broušení vzorků materiálu na hrubo a druhé pro jejich broušení na jemno.
Další provedení spočívá v tom, že brousicí vřetena jsou vybavena brusným kotoučem s diamantovými částicemi, vázanými do kovu.
Brusný kotouč je s výhodou vytvořen ve tvaru misky.
Další výhodné provedení spočívá v tom, že jedno nebo více brousicích vřeten je umístěno na vozíku, pohyblivém ve svislém směru podél kolejnic za pomoci servomotoru přes první uspořádání matice/šroub.
V dalším výhodném provedení je otočný stůl umístěn na saních, upravených na druhých kolejnicích saní a podél nich pohyblivých pomocí druhého servomotoru přes druhé uspořádání matice/šroub.
Otočný stůl je s výhodou konstruován pro držení vzorků materiálu pomocí vakua a je opatřen větším počtem otvorů, jež jsou spojeny se zdrojem vakua a uspořádány v obrazci kolem obvodu otočného stolu.
Další provedení spočívá v tom, že hřídel pro otočný stůl a brousicí vřetena je vůči šikmým ložiskům předem nastaven pružinou tak, že se hřídel může účinkem tepla volně roztahovat bez posunutí otočného stolu nebo brousicích vřeten.
Hřídel je s výhodou nesen dvěma šikmými ložisky, navzájem styčně upravenými a že šikmá ložiska jsou typu Šikmých styčných kuličkových ložisek s odlišným průměrem a počtem kuliček.
Přehled obrázků na výkresech
Vynález bude nyní blíže popsán na příkladech provedení v souvislosti s výkresy, kde obr. 1 znázorňuje A pohled zpředu, B pohled ze strany a C pohled shora na zařízení podle vynálezu, obr. 2 znázorňuje ve zvětšeném měřítku nosič pro brousicí vřeteno, které je v zařízení zahrnuto, a obr. 3 znázorňuje v pohledu shora a ve zvětšeném měřítku otáčivý stůl podle vynálezu, obr. 4 znázorňuje dva příklady vzorků materiálu, které jsou broušeny a) brousicím zařízením podle vynálezu a b) známým zařízením na základě nanášení brusného materiálu.
Příklady provedení vynálezu
Zařízení podle vynálezu zahrnuje, jak je znázorněno na obr. 1, čtyři hlavní složky, totiž konzolovou a rámovou konstrukci 1, uspořádání brousicího vřetena 2, otočný stůl 3 a řídicí jednotku 4.
Konzolová a rámová konstrukce 1 je určena k absorbování velkých energií při brousicím postupu, když se zařízení používá, a je proto provedeno ze silných ocelových nosníků a výztuh 5,
-2CZ 290918 B6
6, 7, aby se zajistila dostatečná stabilita a bylo zabráněno nerovnoměrnosti brusných vzorků. Pokud jde o bližší podrobnosti konzolové a rámové konstrukce 1, lze předpokládat, že takové podrobnosti náležejí do kompetence odborníka v oboru a nebudou proto zde blíže popisovány.
Uspořádání brousicích vřeten 2 obsahuje, jak je znázorněno na obr. 1, dvě brousicí vřetena 2, umístěná nad otočným stolem 3, a to jedno hrubé a jedno jemné vřeteno, z nichž každé je poháněno elektrickým motorem 8. Každá jednotka brousicího vřetena 2 a elektrického motoru 8 je nesena vozíkem 9, pohyblivým ve svislém směru podél kolejnic 10 v konzolové a rámové konstrukci L
Vozík 9 může být i s brousicími vřeteny 2 posunován nahoru a dolů vysoce přesným uspořádáním 11 šroub/matice (vnitřní závitovky), které je ovládáno servomotorem 12. Zařízení podle vynálezu je, jak shora uvedeno, konstruováno tak, že může jemně brousit vzorky materiálu na tloušťku 20 až 30 mikrometrů a s přesností ± 1 mikrometr. Aby se zabránilo odchylkám v důsledku roztahování teplem, je brousicí vřeteno 2 uloženo na zvláštním nosiči 13 na vozíku 9, jak je dále znázorněno ve zvětšeném měřítku na obr. 2. Podrobně jsou znázorněna teflonová těsnění 14, šikmá ložiska 15 a 16, pružiny 17, radiální styčné kuličkové ložisko 18, pojistná matice 19, hřídel 20 a středící kroužek.
V nosiči je užito shora uvedených ložisek, která mají různé rozměry a čísla kuliček, aby se zabránilo tomu, že by drážka kuliček vytvořila nežádoucí obrazce v brusném povrchu vzorků materiálu. Pružiny 77 vytvářejí trvalý tlak na radiální styčné kuličkové ložisko 18, popřípadě na šikmá ložiska 15, 16, což vede k tomu, že jakéhokoliv přehřátí brousicího vřetena 2 nevytvoří nepřesnost, pokud jde o brusný povrch. Hřídel 20 má jinými slovy volnost se roztahovat ve směru vzhůru. Teflonové těsnění 14 má nízké tření, což vede k nízkému vyvíjení teplota ve skříni brousicího vřetena 2. Pokud jde o brousicí vřetena 2 jako taková, sestávající z diamantových částic, vázaných v kovovém materiálu, vytvořeném jako brusné kotouče 21, s výhodou v podobě pohárků, aby se při brousicím postupu dosáhlo dobrého chlazení. Použití diamantových kotoučů představuje podstatnou výhodu vynálezu, jelikož vzorky materiálu se úplně očistí a oprostí od nežádoucích částic ve struktuře mletého materiálu.
Na obr. 4 jsou znázorněny dva příklady vzorků materiálu, které jsou broušeny: 4a, brousicím zřízením podle vynálezu, a 4b, známým ústrojím pomocí usazování brusných částic. Z obr. 4b vyplývá, že ve struktuře materiálu jsou nežádoucí částice. Vzorky materiálu, znázorněné na obr. 4a, nemají takové částice.
Otočný stůl 3 (viz obr. 2), který tvoří třetí důležitou součást vynálezu, sestává z okrouhlého kotouče, který je přes pás 22 nebo pod., poháněn elektrickým motorem 23. Otočný stůl 3 s hnacím soukolím 22, 23 je umístěn na sáních 24 nebo pod., jež jsou pohyblivé na druhých kolejnicích 25 na rámové konstrukci 5. Sáně 24 mohou být účelně poháněny druhým servomotorem 27 pomocí uspořádání 26 matice/šroub podobně k řešení, jehož je použito pro zvedání a snižování brousicích vřeten 2.
Tím, že se otočný stůl 3 upraví tak pohyblivě, jak je shora popsáno, vytvoří se pro vzorky materiálu výkyvný a otáčivý brousicí pohyb, který vede k jejich hladkému a přesnému vybroušení (po celém povrchu).
Vzorky materiálu, určené k broušení, jsou uvolnitelně umístěny na otočném stole 3 pomocí podtlaku. Obr. 3 znázorňuje ve zvětšeném měřítku otočný stůl 3 podle vynálezu v pohledu shora. Otočný stůl 3 je z mosazi, je prost napětí materiálu a má větší počet otvorů 28, spojených s drážkami 31, která jsou uspořádány v obrazci v určité vzájemné vzdálenosti a jsou spojeny s neznázoměným zdrojem podtlaku. Celkem má otočný stůl 3 čtyřicet takových otvorů 28 s drážkami 31, které mohou držet stejný počet vzorků.
-3CZ 290918 B6
Při brousicím postupu se k otočnému stolu 3 přivádí voda pro chlazení vzorků materiálu pomocí jedné nebo více trysek, umístěných nad stolem. To již není na výkresech znázorněno.
Čtvrtým důležitým znakem, který je ve vynálezu zahrnut, je programovatelné logické řízení (PLC), které tvoří řídicí jednotku 4. Činnost jednotky PLC může být vhodně prováděna tzv. „dotekovým zobrazovacím displejem“, kde se používá různých menu s tlačítky pro řízení brousicího zařízení. Celá řídicí soustava je provedena ve spojení s řídicím panelem, umístěným na brousicím zařízení, nebo s výhodou na odděleném ovládacím panelu, umístěném na brousicím zařízení, nebo s výhodou na zvláštním ovládacím panelu, umožňujícím operátorovi snadný přístup.
Tento druh jednotky PLC, jehož je použito, nepředstavuje jako takový žádný patentovatelný význam, neboť je na trhu dostupný a technické vyřešení jednotky PLC nebude blíže popisováno. Avšak v následujícím bude krátce vysvětleno, jak může být brousicí zařízení ovládáno pomocí jednotky PLC.
Když se zapojí hlavní spínač, pak všechny „osy“, které znázorňují otočný stůl 3 a brousicí vřetena 2, se posunou do nulového bodu, zvaného „origo“ (počátek). Zároveň se na operátorské zobrazovací jednotce objeví text „vyhledávání počátku“. Když je zařízení připraveno k použití, zobrazí se na displeji hlavní menu. Například si lze vybrat mezi samočinným broušením vzorků horniny, samočinným broušením skleněné tabule nebo ručním broušením.
Při zvolení ručního broušení v hlavním menu se přikročí k vedlejšímu menu s volbami, týkajícími se ovládání otočného stolu 3 a volbami, týkajícími se ovládání otočného stolu 3 a volbami, jak má být použito brousicího motoru. Zvolí-li se jemné nebo hrubé broušení, objeví se další vedlejší menu, kde se provádí ruční řízení brousicího postupu. Je také možno zjistit a uchovat (uložit do paměti) referenční body, jichž lze později použít pro úplně samočinné broušení strojem, tj. vybroušením vzorku a uložením referenčních bodů může stroj samočinně provést opakování brousicího postupu.
Volba koncových poloh výkyvných pohybů otočného stolu 3 se provádí na odděleném menu. Na tomto menu lze také programovat rychlost samočinného broušení.
Před zvolením samočinného broušení se vzorek materiálu nejdříve umístí na otočný stůl 3 a spustí se vakuum nebo chladicí voda. Potom se z hlavního menu zvolí samočinné broušení skleněného vzorku nebo samočinné broušení vzorku horniny. Když se tak stalo, objeví se příslušná submenu a je možno zahajovat a zastavovat brousicí postup kdykoliv v programu. Zde může být prováděn celý brousicí postup s broušením na hrubo a na jemno a se současným vykyvováním otočného stolu 3, až se brousicí postup ukončí. Pak se otočný stůl 3 navrátí do výchozího bodu a vzorky materiálu jsou připraveny k dalšímu zpracování a analýzám.
Pokud jde o brousicí postup, je třeba poznamenat, že je výhodné použít dvou brousicích kol, jak shora popsáno, jelikož se zkrátí doba broušení. V tomto případě se vzorky materiálu brousí nejdříve na hrubo na vhodnou tloušťku, například přibližně 100 mikrometrů, kotoučem, brousicím na hrubo, než se kotoučem, brousicím na jemno, vybrousí na žádanou tloušťku, například přibližně 30 mikrometrů. Vynález, jak je definován v přiložených nárocích, není ovšem omezen na dva brousicí kotouče, nýbrž může být opatřen pouze jedním nebo více než třemi brousicími kotouči tohoto druhu.

Claims (9)

1. Zařízení pro broušení vzorků materiálu, například broušení mikrostruktury vzorku horniny, nanesené na podložním sklíčku mikroskopu, obsahující konzolovou a rámovou konstrukci (1) s otočným stolem (3), na kterém lze pevně umístit větší počet vzorků materiálu, dále nejméně jedno svisle pohyblivé brousicí vřeteno (2), uložené nad otočným stolem (3) a programovatelnou řídicí jednotku (4) pro řízení brousicího postupu, vyznačující se tím, že otočný stůl (3) je upraven pro boční vykyvování vůči brousicím vřetenům (2).
2. Zařízení podle nároku 1,vyznačující se tím, že obsahuje dvě brousicí vřetena (2), jedno pro broušení vzorků materiálu na hrubo a druhé pro jejich broušení na jemno.
3. Zařízení podle nároku 1 nebo 2, vyznačující se tím, že brousicí vřetena (2) jsou vybavena brusným kotoučem (21) s diamantovými částicemi, vázanými do kovu.
4. Zařízení podle nároku 3,vyznačující se tím, že brusný kotouč (21) je vytvořen ve tvaru misky.
5. Zařízení podle nároků 1 až 4, vyznačující se tím, že jedno nebo více brousicích vřeten (2) je umístěno na vozíku (9), pohyblivém ve svislém směru podél kolejnic (10) za pomoci servomotoru (12) přes první uspořádání (11) matice/šroub.
6. Zařízení podle nároku 1, vyznačující se tím, že otočný stůl (3) je umístěn na saních (24), upravených na druhých kolejnicích (25) saní (24) a podél nich pohyblivých pomocí druhého servomotoru (27) přes druhé uspořádání (26) matice/šroub.
7. Zařízení podle nároku 6, vyznačující se tím, že otočný stůl (3), je konstruován pro držení vzorků materiálu pomocí vakua a je opatřen větším počtem otvorů (28), jež jsou spojeny se zdrojem vakua a uspořádány v obrazci drážek (31) kolem obvodu otočného stolu (3).
8. Zařízení podle nároků 1 až 7, vyznačující se tím, že hřídel (20) pro otočný stůl (3) a brousicí vřetena (2) je vůči šikmým ložiskům (15, 16) předem nastaven pružinou (17) tak, že se hřídel (20) může účinkem tepla volně roztahovat bez posunutí otočného stolu (3) nebo brousicích vřeten (2).
9. Zařízení podle nároku 8, vyznačující se tím, že hřídel (20) je nesen dvěma šikmými ložisky, navzájem styčně upravenými a že šikmá ložiska (15, 16) jsou typu šikmých styčných kuličkových ložisek s odlišným průměrem a počtem kuliček.
CZ1996773A 1994-06-15 1995-06-14 Zařízení pro brouąení vzorků materiálu CZ290918B6 (cs)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NO942242A NO179238C (no) 1994-06-15 1994-06-15 Utstyr for tynnsliping av materialpröver

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ77396A3 CZ77396A3 (en) 1996-11-13
CZ290918B6 true CZ290918B6 (cs) 2002-11-13

Family

ID=19897186

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ1996773A CZ290918B6 (cs) 1994-06-15 1995-06-14 Zařízení pro brouąení vzorků materiálu

Country Status (15)

Country Link
US (1) US5785578A (cs)
EP (1) EP0713575B1 (cs)
JP (1) JP3190972B2 (cs)
KR (1) KR100383524B1 (cs)
CN (1) CN1097726C (cs)
AT (1) ATE216071T1 (cs)
AU (1) AU692270B2 (cs)
CA (1) CA2167400A1 (cs)
CZ (1) CZ290918B6 (cs)
DE (1) DE69526307T2 (cs)
DK (1) DK0713575T3 (cs)
ES (1) ES2174949T3 (cs)
NO (1) NO179238C (cs)
RU (1) RU2134160C1 (cs)
WO (1) WO1995034802A1 (cs)

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE508604C2 (sv) * 1997-02-24 1998-10-19 Dentronic Ab Förfarande och arrangemang för abrasiv precisionsbearbetning av ett ämne
US7785173B2 (en) * 2005-07-05 2010-08-31 Supfina Machine Co. Superfinishing machine and method
AT502101B1 (de) * 2005-07-14 2007-09-15 Atomic Austria Gmbh Verfahren zur bearbeitung von laufflächen von wintersportgeräten sowie wintersportgerät und vorrichtung zur herstellung von belägen
ITTO20050765A1 (it) * 2005-10-27 2007-04-28 Biesse Spa Centro di lavoro a controllo numerico per lastre di vetro, pietra, marmo o simili, con due o piu' teste di lavorazione
CN101096074B (zh) * 2006-06-30 2010-11-24 上海中晶企业发展有限公司 大直径高精度玻璃抛光机的自动移盘机构
CN101339114B (zh) * 2008-09-03 2012-05-23 石家庄铁道学院 陶瓷磨削加工性能测试方法
CN103033403B (zh) * 2011-09-29 2015-09-02 鞍钢股份有限公司 一种薄板金属薄膜试样的制备方法
CN103308363B (zh) * 2013-06-24 2015-02-18 黄河勘测规划设计有限公司 岩体制样变形测试方法
CN104275638B (zh) * 2014-09-22 2016-10-19 广东省自动化研究所 自动抛光系统及其抛光方法
CN104406828B (zh) * 2014-10-30 2017-01-25 东北石油大学 含弱界面低强度岩石试样制备装置及其制备试样方法
CN104359288B (zh) * 2014-10-31 2016-09-28 湖南三德科技股份有限公司 可刮扫物料的风透式干燥设备
CN104551897B (zh) * 2015-01-04 2017-01-18 中国矿业大学 一种适应不同外形尺寸岩样批量打磨的加工设备及方法
CN105709904B (zh) * 2016-02-01 2017-10-31 上海化工研究院有限公司 一种均匀式微量样品研磨装置
WO2017138355A1 (ja) * 2016-02-09 2017-08-17 東京エレクトロン株式会社 研削装置および研削方法
CN107631898A (zh) * 2016-07-19 2018-01-26 广东石油化工学院 一种立式多功能岩石加工系统
TWI598150B (zh) * 2016-09-30 2017-09-11 財團法人工業技術研究院 硏磨機及微旋迴轉裝置
CN106584239B (zh) * 2016-12-07 2018-11-02 杭州正驰达精密机械有限公司 一种机械手表摆锤的自动磨削机床
CN106826405A (zh) * 2016-12-27 2017-06-13 中国石油天然气股份有限公司 岩石磨片方法
CN106826518A (zh) * 2017-01-26 2017-06-13 武汉科技大学 一种金相试样磨样机
CN108801724B (zh) * 2018-03-26 2021-09-24 翟如扬 一种污水污染物检验用样品处理装置
CN109176304A (zh) * 2018-08-28 2019-01-11 南京理工大学 一种平面磨削用试验台
CN109682659B (zh) * 2019-01-14 2021-01-15 邢华铭 一种农药残留检测用研磨设备
CN110328605B (zh) * 2019-07-09 2021-06-11 业成科技(成都)有限公司 治具、研磨装置及样品块的研磨方法
TWM597200U (zh) * 2020-02-18 2020-06-21 財團法人金屬工業研究發展中心 研磨輪量測裝置
KR102262825B1 (ko) * 2020-12-16 2021-06-09 주식회사 알엔비 복합 연마기
DE102022125705A1 (de) 2022-10-05 2024-04-11 Atm Qness Gmbh Teller-Schleif-/Poliergerät

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2869292A (en) * 1957-05-29 1959-01-20 Klugman Ira Louis Precision grinding machine
US3534506A (en) * 1968-05-17 1970-10-20 Us Army Lens polishing apparatus
DE1798139A1 (de) * 1968-08-29 1971-11-04 Telefunken Patent Vorrichtung zum Polieren von Proben
US3653854A (en) * 1969-09-29 1972-04-04 Toyoda Machine Works Ltd Digitally controlled grinding machines
US3704554A (en) * 1971-04-26 1972-12-05 Bausch & Lomb Lens processing machine with movable workpiece spindle
US3732647A (en) * 1971-08-05 1973-05-15 Coburn Manuf Co Inc Polisher-finer machine
US3872626A (en) * 1973-05-02 1975-03-25 Cone Blanchard Machine Co Grinding machine with tilting table
JPS5937037A (ja) * 1982-08-26 1984-02-29 Toshiba Corp 立軸回転テ−ブル形平面研削盤
JPS61230853A (ja) * 1985-04-03 1986-10-15 Shibayama Kikai Kk 半導体ウエハの自動平面研削盤における連続ダウンフイ−ド方式
DE3542508A1 (de) * 1985-07-22 1987-01-29 Biermann Alfred Verfahren und vorrichtung von fuer die mikroskopische untersuchung im durchlicht geeigneten duennschliffen aus proben mit harten bestandteilen
US4760668A (en) * 1986-07-02 1988-08-02 Alfred Schlaefli Surface grinding machine and method
US5035087A (en) * 1986-12-08 1991-07-30 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Surface grinding machine
ES2056448T3 (es) * 1989-02-23 1994-10-01 Supfina Maschf Hentzen Procedimiento y aparato para el trabajo de afino o microacabado.
JP2513426B2 (ja) * 1993-09-20 1996-07-03 日本電気株式会社 ウェ―ハ研磨装置

Also Published As

Publication number Publication date
AU692270B2 (en) 1998-06-04
NO942242D0 (no) 1994-06-15
US5785578A (en) 1998-07-28
ES2174949T3 (es) 2002-11-16
ATE216071T1 (de) 2002-04-15
NO179238C (no) 1996-09-04
WO1995034802A1 (en) 1995-12-21
DK0713575T3 (da) 2002-08-05
NO179238B (no) 1996-05-28
CA2167400A1 (en) 1995-12-21
JPH09502275A (ja) 1997-03-04
JP3190972B2 (ja) 2001-07-23
CZ77396A3 (en) 1996-11-13
DE69526307T2 (de) 2002-11-07
DE69526307D1 (de) 2002-05-16
EP0713575A1 (en) 1996-05-29
AU2755095A (en) 1996-01-05
NO942242L (no) 1995-12-18
CN1129981A (zh) 1996-08-28
KR100383524B1 (ko) 2003-07-07
RU2134160C1 (ru) 1999-08-10
EP0713575B1 (en) 2002-04-10
CN1097726C (zh) 2003-01-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CZ290918B6 (cs) Zařízení pro brouąení vzorků materiálu
US6336849B1 (en) Grinding spindle
CN1072997C (zh) 工具磨床
US6244928B1 (en) Machine tool system and machining method
US20050176350A1 (en) Semiconductor wafer grinder
US7163441B2 (en) Semiconductor wafer grinder
CN211639340U (zh) 一种基于万向工具系统的四反镜抛光测量装置
US5016399A (en) Planetary lap
CN110842693A (zh) 一种基于万向工具系统的四反镜抛光测量装备及加工控制方法
TWM597200U (zh) 研磨輪量測裝置
CN110000620A (zh) 一种光整加工深沟键槽内表面的磁粒研磨装置及方法
CN110142682B (zh) 一种机械工件抛光设备
US3392494A (en) Grinding devices
CN105717002B (zh) 一种单颗磨粒高速连续划擦干涉行为测试机及其应用
CN215967820U (zh) 一种内外圆复合磨床
JPH03149146A (ja) 自動彫刻盤
EP0509665A2 (en) Method and apparatus for grinding the end of a tubular workpiece
CN108747703B (zh) 一种冲击试样u型缺口加工系统
US6409578B1 (en) Adjustable grinding method and apparatus
US5321918A (en) Spindle grinding method and apparatus
Wills-Moren et al. Ductile regime grinding of glass and other brittle materials by the use of ultrastiff machine tools
CN205483918U (zh) 一种单颗磨粒高速连续划擦干涉行为测试机
JPH0531669A (ja) 研削装置
JPH01164547A (ja) 検鏡薄片作成用研磨機
JP4368570B2 (ja) ツルーイングにおける接点確立方法

Legal Events

Date Code Title Description
PD00 Pending as of 2000-06-30 in czech republic
MM4A Patent lapsed due to non-payment of fee

Effective date: 20060614