RU2016135638A - Эмиттер электронов для рентгеновской трубки - Google Patents

Эмиттер электронов для рентгеновской трубки Download PDF

Info

Publication number
RU2016135638A
RU2016135638A RU2016135638A RU2016135638A RU2016135638A RU 2016135638 A RU2016135638 A RU 2016135638A RU 2016135638 A RU2016135638 A RU 2016135638A RU 2016135638 A RU2016135638 A RU 2016135638A RU 2016135638 A RU2016135638 A RU 2016135638A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
emitter
electrons
electrically conductive
conductive substrate
electron
Prior art date
Application number
RU2016135638A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2016135638A3 (ru
RU2682182C2 (ru
Inventor
Цю-Хун ХУ
Original Assignee
Люксбрайт Аб
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Люксбрайт Аб filed Critical Люксбрайт Аб
Publication of RU2016135638A publication Critical patent/RU2016135638A/ru
Publication of RU2016135638A3 publication Critical patent/RU2016135638A3/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2682182C2 publication Critical patent/RU2682182C2/ru

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/06—Cathodes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/06—Cathodes
    • H01J35/065—Field emission, photo emission or secondary emission cathodes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
    • G01N23/046—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material using tomography, e.g. computed tomography [CT]
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01V—GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
    • G01V5/00—Prospecting or detecting by the use of ionising radiation, e.g. of natural or induced radioactivity
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2201/00—Electrodes common to discharge tubes
    • H01J2201/30—Cold cathodes
    • H01J2201/304—Field emission cathodes
    • H01J2201/30446—Field emission cathodes characterised by the emitter material
    • H01J2201/30488—Nitrides
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2201/00—Electrodes common to discharge tubes
    • H01J2201/30—Cold cathodes
    • H01J2201/304—Field emission cathodes
    • H01J2201/30446—Field emission cathodes characterised by the emitter material
    • H01J2201/30496—Oxides

Landscapes

  • X-Ray Techniques (AREA)
  • Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Claims (16)

1. Эмиттер (22, 22_1, 22_2, 22_3) электронов для рентгеновской трубки, содержащий:
электропроводящую подложку (23) и
наноструктурный материал (24), содержащийся на по меньшей мере участке электропроводящей подложки, причем наноструктурный материал сделан из оксидов, нитридов, силицидов, селинидов или теллуридов.
2. Эмиттер (22, 22_1, 22_2, 22_3) электронов по п. 1, дополнительно содержащий сетку (30), расположенную на фиксированном расстоянии от электропроводящей подложки (23) через разделитель (31), причем упомянутое расстояние составляет от 100 мкм до 1000 мкм.
3. Эмиттер (22, 22_1, 22_2, 22_3) электронов по любому из пп. 1 и 2, причем электропроводящая подложка (23) сделана из нержавеющей стали, никеля, сплавов на основе никеля, железа или сплавов на основе железа.
4. Эмиттер (22, 22_1, 22_2, 22_3) электронов по п. 3, причем электропроводящая подложка (23) имеет форму сплошного цилиндра с поперечным сечением в виде круга, многоугольника или звезды.
5. Эмиттер (22, 22_1, 22_2, 22_3) электронов по любому из пп. 1 и 2, причем наноструктурный материал (24) легирован или совместно легирован примесным элементом, содержащимся в столбцах IA, IIA, IB, IIIA, VIA или VIIA Периодической таблицы элементов.
6. Эмиттер (22, 22_1, 22_2, 22_3) электронов по любому из пунктов 1-2, причем наноструктурный материал (24) сделан из ZnO.
7. Эмиттер (22, 22_1, 22_2, 22_3) электронов по любому из пп. 1-2, причем участки электропроводящей подложки (23), которые не содержат наноструктурный материал (24), дополнительно содержат диэлектрический слой.
8. Эмиттер (22, 22_1, 22_2, 22_3) электронов по п. 7, причем диэлектрический слой представляет собой SiO2.
9. Эмиттер (22, 22_1, 22_2, 22_3) электронов по любому из пп. 1 и 2, причем электропроводящая подложка (23) является присоединяемой к нагревательному элементу (21).
10. Эмиттер (22, 22_1, 22_2, 22_3) электронов по п. 9, причем эмиттер электронов выполнен с возможностью эмиссии Шоттки, когда нагревательный элемент (21) находится во включенном состоянии, а эмиттер электронов смещен отрицательно.
11. Эмиттер (22, 22_1, 22_2, 22_3) электронов по п. 9, причем эмиттер электронов выполнен с возможностью автоэлектронной эмиссии, когда нагревательный элемент (21) находится в выключенном состоянии, а эмиттер электронов смещен отрицательно.
12. Рентгеновское устройство, содержащее эмиттер (22, 22_1, 22_2, 22_3) электронов по любому из пп. 1-11.
13. Рентгеновское устройство по п. 12, дополнительно содержащее множество эмиттеров (22, 22_1, 22_2, 22_3) электронов, расположенных для испускания электронов к принимающему электроны компоненту (14).
14. Рентгеновское устройство по п. 13, причем упомянутое множество эмиттеров (22, 22_1, 22_2, 22_3) электронов активируется индивидуально, одновременно или последовательно.
RU2016135638A 2014-02-10 2015-02-10 Эмиттер электронов для рентгеновской трубки RU2682182C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201461937677P 2014-02-10 2014-02-10
US61/937,677 2014-02-10
PCT/EP2015/052789 WO2015118178A1 (en) 2014-02-10 2015-02-10 An electron emitter for an x-ray tube

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2016135638A true RU2016135638A (ru) 2018-03-15
RU2016135638A3 RU2016135638A3 (ru) 2018-08-27
RU2682182C2 RU2682182C2 (ru) 2019-03-15

Family

ID=52473906

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2016135642A RU2675791C2 (ru) 2014-02-10 2015-02-10 Рентгеновское устройство
RU2016135638A RU2682182C2 (ru) 2014-02-10 2015-02-10 Эмиттер электронов для рентгеновской трубки

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2016135642A RU2675791C2 (ru) 2014-02-10 2015-02-10 Рентгеновское устройство

Country Status (12)

Country Link
US (2) US10825635B2 (ru)
EP (2) EP3105773B1 (ru)
JP (2) JP2017510051A (ru)
KR (2) KR102368515B1 (ru)
CN (2) CN106463320B (ru)
AU (2) AU2015213991B2 (ru)
BR (2) BR112016018345B1 (ru)
CA (2) CA2939139A1 (ru)
MX (2) MX360238B (ru)
RU (2) RU2675791C2 (ru)
SA (2) SA516371645B1 (ru)
WO (2) WO2015118178A1 (ru)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10283311B2 (en) * 2015-08-21 2019-05-07 Electronics And Telecommunications Research Institute X-ray source
GB2537196B (en) * 2015-10-02 2017-05-10 Mario Michan Juan Apparatus and method for electron irradiation scrubbing
MX2018006720A (es) 2015-12-04 2018-08-01 Luxbright Ab Un elemento de guia y recepcion de electrones.
US10096148B1 (en) 2017-04-26 2018-10-09 The Aerospace Corporation Portable x-ray computed tomography
TWI651748B (zh) * 2017-07-10 2019-02-21 法商歐洲雷射系統與方案解決公司 低壓佈線離子電漿放電源，及其用於具有二次發射之電子源的應用
DE102017008810A1 (de) * 2017-09-20 2019-03-21 Cetteen Gmbh MBFEX-Röhre
CN108072672B (zh) * 2017-12-14 2021-03-02 清华大学 一种烧蚀结构形貌及产物的在线监测装置及其监测方法
CN112368795A (zh) * 2018-04-06 2021-02-12 微-X有限公司 用于大电流应用的大规模稳定场发射体
KR102027407B1 (ko) * 2018-05-16 2019-11-04 원광대학교산학협력단 탄소나노튜브 실을 이용한 필드 에미터 및 냉음극 구조
KR101956153B1 (ko) 2018-10-04 2019-06-24 어썸레이 주식회사 탄소나노튜브를 포함하는 얀의 제조방법 및 이로부터 제조된 얀
KR101962215B1 (ko) 2018-11-30 2019-03-26 어썸레이 주식회사 일 방향으로 정렬된 얀을 포함하는 탄소나노튜브 시트를 제조하는 방법 및 이에 의해 제조된 탄소나노튜브 시트
KR101992745B1 (ko) 2019-01-24 2019-06-26 어썸레이 주식회사 구조적 안정성이 우수하고 전자 방출 효율이 향상된 이미터 및 이를 포함하는 x-선 튜브
US10825634B2 (en) * 2019-02-21 2020-11-03 Varex Imaging Corporation X-ray tube emitter
US11315751B2 (en) * 2019-04-25 2022-04-26 The Boeing Company Electromagnetic X-ray control
RU2710455C1 (ru) * 2019-06-06 2019-12-26 Закрытое акционерное общество "СуперОкс" (ЗАО "СуперОкс") Многополостной катод для плазменного двигателя
KR102099411B1 (ko) * 2019-07-26 2020-04-09 어썸레이 주식회사 구조적 안정성이 우수한 전계 방출 장치 및 이를 포함하는 x-선 튜브
US11719652B2 (en) * 2020-02-04 2023-08-08 Kla Corporation Semiconductor metrology and inspection based on an x-ray source with an electron emitter array
CN113311012A (zh) * 2021-05-26 2021-08-27 西湖大学 基于多晶x射线衍射仪的电化学检测装置及其测试方法
RU209775U1 (ru) * 2021-08-31 2022-03-23 Общество с ограниченной ответственностью "Пространство-время" Импульсный пьезоэлектрический источник рентгеновского излучения

Family Cites Families (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4924485A (en) * 1987-09-22 1990-05-08 Hoeberling Robert F Portable radiography system using a relativistic electron beam
KR0141174B1 (ko) * 1994-12-28 1998-06-15 윤종용 초 순간 수상관의 직렬형 음극 신호 개선장치
JPH08250054A (ja) * 1995-03-14 1996-09-27 Hitachi Ltd 拡散補給型電子線源およびそれを用いた電子線装置
EP1361592B1 (en) * 1997-09-30 2006-05-24 Noritake Co., Ltd. Method of manufacturing an electron-emitting source
CA2312910A1 (en) * 1997-12-04 1999-06-10 Printable Field Emitters Limited Field electron emission materials and devices
US6277318B1 (en) * 1999-08-18 2001-08-21 Agere Systems Guardian Corp. Method for fabrication of patterned carbon nanotube films
WO2001015192A1 (en) * 1999-08-20 2001-03-01 Fei Company Schottky emitter having extended life
US6456691B2 (en) 2000-03-06 2002-09-24 Rigaku Corporation X-ray generator
JP2001250496A (ja) * 2000-03-06 2001-09-14 Rigaku Corp Ｘ線発生装置
US6334939B1 (en) * 2000-06-15 2002-01-01 The University Of North Carolina At Chapel Hill Nanostructure-based high energy capacity material
US20040240616A1 (en) 2003-05-30 2004-12-02 Applied Nanotechnologies, Inc. Devices and methods for producing multiple X-ray beams from multiple locations
US6553096B1 (en) * 2000-10-06 2003-04-22 The University Of North Carolina Chapel Hill X-ray generating mechanism using electron field emission cathode
US6876724B2 (en) * 2000-10-06 2005-04-05 The University Of North Carolina - Chapel Hill Large-area individually addressable multi-beam x-ray system and method of forming same
US7085351B2 (en) 2000-10-06 2006-08-01 University Of North Carolina At Chapel Hill Method and apparatus for controlling electron beam current
JP2002238885A (ja) * 2001-02-02 2002-08-27 Ge Medical Systems Global Technology Co Llc Ｘ線焦点位置制御方法及びそのプログラム並びにｘ線ｃｔ装置及びｘ線管
JP3810656B2 (ja) * 2001-07-23 2006-08-16 株式会社神戸製鋼所 微小ｘ線源
US6672925B2 (en) * 2001-08-17 2004-01-06 Motorola, Inc. Vacuum microelectronic device and method
US6828717B2 (en) * 2001-10-26 2004-12-07 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Electron gun having short length and cathode-ray tube apparatus using such electron gun
US7233101B2 (en) * 2002-12-31 2007-06-19 Samsung Electronics Co., Ltd. Substrate-supported array having steerable nanowires elements use in electron emitting devices
JP2004241295A (ja) * 2003-02-07 2004-08-26 Hitachi Zosen Corp カーボンナノチューブを用いた電子放出素子用電極材料およびその製造方法
ATE441202T1 (de) * 2004-05-17 2009-09-15 Mapper Lithography Ip Bv Belichtungssystem mit einem geladenen teilchenstrahl
JP2005332735A (ja) 2004-05-21 2005-12-02 Ci Techno:Kk 電子放出素子及びその製造方法
EP1791186A1 (en) * 2005-11-25 2007-05-30 Stormled AB Light emitting diode and method for manufacturing the same
US7850941B2 (en) * 2006-10-20 2010-12-14 General Electric Company Nanostructure arrays and methods for forming same
JP4984234B2 (ja) * 2007-03-30 2012-07-25 国立大学法人長岡技術科学大学 Ｘ線発生装置
WO2008124084A2 (en) * 2007-04-03 2008-10-16 Pinkerton Joseph F Nanoelectromechanical systems and methods for making the same
US7627087B2 (en) 2007-06-28 2009-12-01 General Electric Company One-dimensional grid mesh for a high-compression electron gun
DE102007034222A1 (de) 2007-07-23 2009-01-29 Siemens Ag Röntgenröhre mit einer Feldemissionskathode
KR100911434B1 (ko) 2007-12-17 2009-08-11 한국전자통신연구원 Ｃｎｔ를 이용한 삼극형 구조의 초소형 ｘ 선관
EP2079095B1 (en) * 2008-01-11 2012-01-11 UVIS Light AB Method of manufacturing a field emission display
JP5294653B2 (ja) * 2008-02-28 2013-09-18 キヤノン株式会社 マルチｘ線発生装置及びｘ線撮影装置
JP2010186694A (ja) * 2009-02-13 2010-08-26 Toshiba Corp Ｘ線源、ｘ線発生方法およびｘ線源製造方法。
CN102365703A (zh) * 2009-03-27 2012-02-29 皇家飞利浦电子股份有限公司 用于利用x射线管进行编码源成像的结构化的电子发射器
JP2011034734A (ja) * 2009-07-30 2011-02-17 Stanley Electric Co Ltd 電界放出型電子源
EP2375435B1 (en) * 2010-04-06 2016-07-06 LightLab Sweden AB Field emission cathode
US20110280371A1 (en) * 2010-05-12 2011-11-17 Sabee Molloi TiO2 Nanotube Cathode for X-Ray Generation
JP5578612B2 (ja) 2010-07-30 2014-08-27 株式会社リガク 電子放出装置の電流制御装置
WO2012138041A1 (ko) * 2011-04-04 2012-10-11 (주) 브이에스아이 전계방출원을 이용한 고효율 평면형 포토바 및 그 제조방법
CN102262990A (zh) * 2011-07-04 2011-11-30 中山大学 一种改善氧化铁纳米冷阴极发射特性的方法
US9099273B2 (en) * 2011-10-05 2015-08-04 Lightlab Sweden Ab Method for manufacturing nanostructures and cathode for field emission lighting arrangement
CN103959422A (zh) * 2011-11-28 2014-07-30 皇家飞利浦有限公司 具有可加热场致发射电子发射器的x射线管和操作其的方法
KR101917742B1 (ko) * 2012-07-06 2018-11-12 삼성전자주식회사 메쉬 전극 접합 구조체, 전자 방출 소자, 및 전자 방출 소자를 포함하는 전자 장치
DE102013214096A1 (de) * 2012-10-04 2014-04-10 Siemens Aktiengesellschaft Substrat für einen Feldemitter, Verfahren zur Herstellung des Substrates und Verwendung des Substrates

Also Published As

Publication number Publication date
EP3105773A1 (en) 2016-12-21
CN106463321B (zh) 2019-06-07
NZ723275A (en) 2021-09-24
KR20170007238A (ko) 2017-01-18
US10319555B2 (en) 2019-06-11
WO2015118178A1 (en) 2015-08-13
MX360238B (es) 2018-10-26
JP6804304B2 (ja) 2020-12-23
SA516371645B1 (ar) 2020-10-22
NZ723276A (en) 2021-07-30
WO2015118177A1 (en) 2015-08-13
RU2016135642A (ru) 2018-03-15
AU2015213991B2 (en) 2019-09-26
KR102368515B1 (ko) 2022-02-25
BR112016018345A2 (ru) 2017-08-08
CA2939138C (en) 2022-05-03
AU2015213990B2 (en) 2019-07-11
BR112016018369A2 (ru) 2017-08-08
SA516371636B1 (ar) 2021-01-25
EP3105773B1 (en) 2018-10-10
CN106463320A (zh) 2017-02-22
US20170011880A1 (en) 2017-01-12
RU2016135638A3 (ru) 2018-08-27
BR112016018369B1 (pt) 2022-08-30
BR112016018345B1 (pt) 2022-08-30
CN106463320B (zh) 2020-02-04
KR20160145548A (ko) 2016-12-20
AU2015213991A1 (en) 2016-09-01
RU2016135642A3 (ru) 2018-08-23
US20160358740A1 (en) 2016-12-08
EP3105772B1 (en) 2018-04-04
MX2016010341A (es) 2017-04-27
RU2675791C2 (ru) 2018-12-25
AU2015213990A1 (en) 2016-09-01
MX2016010340A (es) 2017-04-27
CA2939139A1 (en) 2015-08-13
RU2682182C2 (ru) 2019-03-15
US10825635B2 (en) 2020-11-03
EP3105772A1 (en) 2016-12-21
JP2017510051A (ja) 2017-04-06
KR102313234B1 (ko) 2021-10-14
CA2939138A1 (en) 2015-08-13
CN106463321A (zh) 2017-02-22
MX363864B (es) 2019-04-05
JP2017510052A (ja) 2017-04-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2016135638A (ru) Эмиттер электронов для рентгеновской трубки
JP2014075616A5 (ja) 発光素子、発光装置、照明機器および電子機器
EP2778511A3 (en) Light emitting module
MX2018001008A (es) Dispositivo de vapor electronico que incluye una estructura de calentamiento con capa de cubierta rebajada.
JP2015232993A5 (ru)
AR103796A1 (es) Composiciones y métodos para el control de plagas de insectos
JP2011187982A5 (ru)
JP2014063734A5 (ru)
WO2014124041A3 (en) Individually switched field emission arrays
WO2014027294A3 (en) Image capture device
JP2017500997A5 (ru)
JP2014150257A5 (ru)
JP2017163140A5 (ru)
JP2016511924A5 (ru)
JP2014154499A5 (ru)
EP2763195A3 (en) Light emitting device
TW201615059A (en) Organic light emitting element
JP2015079955A5 (ja) 発光装置
JP2012182444A5 (ja) 発光素子、発光装置、および照明装置
ES2511315B1 (es) Procedimiento para la producción controlada de grafeno a muy baja presión y dispositivo para llevar a cabo el procedimiento
CO2017005969A2 (es) Trampa para insectos rastreros y método de captura de insectos
FR3030873B1 (fr) Source d'electrons de haute energie a base de nanotubes/nanofibres de carbone avec element de commande par onde eletromagnetique deportee
EP2645495A3 (en) Optical semiconductor device, light emitting device, optical transmitting device, and method of manufacturing optical semiconductor device
JP2009301933A5 (ru)
RU2016136831A (ru) Генератор пучка электронов и устройство электронно-лучевой стерилизации