RU2016102322A - Элементная подложка и головка для выброса жидкости - Google Patents

Элементная подложка и головка для выброса жидкости Download PDF

Info

Publication number
RU2016102322A
RU2016102322A RU2016102322A RU2016102322A RU2016102322A RU 2016102322 A RU2016102322 A RU 2016102322A RU 2016102322 A RU2016102322 A RU 2016102322A RU 2016102322 A RU2016102322 A RU 2016102322A RU 2016102322 A RU2016102322 A RU 2016102322A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
heating element
resistive heating
layer
electrical conductors
head
Prior art date
Application number
RU2016102322A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2645565C2 (ru
Inventor
Рио КАСАИ
Нобуюки ХИРАЯМА
Масатака САКУРАИ
Кенго УМЕДА
Хиденори ЯМАТО
Макото ТАКАГИ
Тацухито ГОДЕН
Садайоси САКУМА
Нобуюки СУДЗУКИ
Тору ЭТО
Original Assignee
Кэнон Кабусики Кайся
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Кэнон Кабусики Кайся filed Critical Кэнон Кабусики Кайся
Publication of RU2016102322A publication Critical patent/RU2016102322A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2645565C2 publication Critical patent/RU2645565C2/ru

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/015Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/05Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers produced by the application of heat
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14016Structure of bubble jet print heads
    • B41J2/14088Structure of heating means

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Claims (74)

1. Элементная подложка головки для выброса жидкости, содержащая:
материал основания;
изолирующую пленку, расположенную на материале основания;
резистивный нагревательный элемент, выполненный с возможностью формирования тепловой энергии для выброса жидкости;
защитную пленку, выполненную с возможностью покрытия резистивного нагревательного элемента;
первый слой электрических проводников, который размещен в изолирующей пленке и выполнен с возможностью подачи тока к резистивному нагревательному элементу;
второй слой электрических проводников, который размещен на слое, отличном от первого слоя электрических проводников в изолирующей пленке, и выполнен с возможностью подачи тока к резистивному нагревательному элементу; и
по меньшей мере один соединительный элемент, выполненный с возможностью проходить в изолирующую пленку для соединения первого слоя электрических проводников и резистивного нагревательного элемента,
причем резистивный нагревательный элемент выполнен с возможностью вызывать протекание тока в первом направлении,
резистивный нагревательный элемент содержит область соединения, с которой соединен по меньшей мере один соединительный элемент,
область соединения проходит во втором направлении, пересекающем первое направление.
2. Элементная подложка головки для выброса жидкости по п. 1, в которой прилегающая поверхность по меньшей мере одного соединительного элемента с резистивным нагревательным элементом и прилегающая поверхность изолирующей пленки с резистивным нагревательным элементом расположены в одной плоскости.
3. Элементная подложка головки для выброса жидкости по п. 1 или 2, в которой по меньшей мере один соединительный элемент покрыт резистивным нагревательным элементом, если смотреть с направления, ортогонального поверхности, на которой размещается резистивный нагревательный элемент.
4. Элементная подложка головки для выброса жидкости по п. 1 или 2, дополнительно содержащая на слое, отличном от первого слоя электрических проводников и второго слоя электрических проводников в изолирующей пленке, третий слой электрических проводников, содержащий проводники логического электропитания для возбуждения резистивного нагревательного элемента.
5. Элементная подложка головки для выброса жидкости по п. 1 или 2, дополнительно содержащая, на слое, отличном от первого слоя электрических проводников и второго слоя электрических проводников в изолирующей пленке, четвертый слой электрических проводников, содержащий сигнальные проводники для возбуждения резистивного нагревательного элемента.
6. Элементная подложка головки для выброса жидкости по п. 4, в которой первый слой электрических проводников и второй слой электрических проводников размещены на стороне, более близкой к резистивному нагревательному элементу, чем третий слой электрических проводников.
7. Элементная подложка головки для выброса жидкости по п. 1 или 2,
в которой резистивный нагревательный элемент содержит область вспенивания, которая размещена рядом с областью соединения в первом направлении, и в которой жидкость вспенивается, и
при этом область соединения проходит через область, включающую в себя полную длину области вспенивания во втором направлении.
8. Элементная подложка головки для выброса жидкости по п. 1 или 2, в которой по меньшей мере один соединительный элемент содержит штекер, выполненный с возможностью проходить в изолирующую пленку.
9. Элементная подложка головки для выброса жидкости по п. 1 или 2,
в которой резистивный нагревательный элемент разделен в первом направлении на две электродные области, каждая из которых содержит по меньшей мере один соединительный элемент, и центральную область, расположенную между двумя электродными областями, и
при этом две электродные области и центральная область имеют одинаковый размер во втором направлении.
10. Элементная подложка головки для выброса жидкости по п. 1 или 2, в которой множество соединительных элементов расположены во втором направлении с зазором между соседними соединительными элементами.
11. Элементная подложка головки для выброса жидкости по п. 9, в которой сумма длин множества соединительных элементов во втором направлении равна 50% или менее от длины двух электродных областей во втором направлении.
12. Элементная подложка головки для выброса жидкости по п. 10, в которой два из множества соединительных элементов на обоих концевых участках во втором направлении разделены одинаковым расстоянием от периферийного участка резистивного нагревательного элемента во втором направлении.
13. Элементная подложка головки для выброса жидкости по п. 12, в которой расстояние между каждым из двух из множества соединительных элементов на обоих концевых участках во втором направлении и периферийным участком резистивного нагревательного элемента равно от 1/4 или более до менее одного среднего зазора множества соединительных элементов во втором направлении.
14. Элементная подложка головки для выброса жидкости по п. 1 или 2, в которой соединительные элементы непрерывно размещены во втором направлении.
15. Элементная подложка головки для выброса жидкости по п. 14, в которой соединительные элементы отделены одинаковым расстоянием от периферийного участка обеих сторон резистивного нагревательного элемента во втором направлении.
16. Элементная подложка головки для выброса жидкости по п. 1 или 2,
в которой резистивный нагревательный элемент разделен в первом направлении на две электродные области, каждая из которых содержит по меньшей мере один соединительный элемент, и центральную область, расположенную между двумя электродными областями, и
при этом две электродные области имеют размер, более длинный, чем размер центральной области во втором направлении.
17. Элементная подложка головки для выброса жидкости по п. 16, в которой область соединения размещена в пределах центральной области во втором направлении.
18. Элементная подложка головки для выброса жидкости по п. 16, в которой множество соединительных элементов расположены во втором направлении с зазором между соседними соединительными элементами.
19. Элементная подложка головки для выброса жидкости по п. 18, в которой расстояние между каждым из двух из множества соединительных элементов на обоих концевых участках во втором направлении и периферийным участком резистивного нагревательного элемента двух электродных областей больше среднего зазора множества соединительных элементов во втором направлении.
20. Элементная подложка головки для выброса жидкости по п. 16, в которой соединительные элементы непрерывно размещены во втором направлении.
21. Элементная подложка головки для выброса жидкости по п. 1 или 2,
в которой резистивный нагревательный элемент разделен в первом направлении на две электродных области, каждая из которых содержит по меньшей мере один соединительный элемент, и центральную область, расположенную между двумя электродными областями, и
при этом часть первого слоя электрических проводников и часть второго слоя электрических проводников размещены в области нижнего участка центральной области.
22. Элементная подложка головки для выброса жидкости по п. 1 или 2,
в которой резистивный нагревательный элемент разделен в первом направлении, на две электродные области, каждая из которых содержит по меньшей мере один соединительный элемент, и центральную область, расположенную между двумя электродными областями, и
при этом транзистор размещен в области нижнего участка центральной области.
23. Элементная подложка головки для выброса жидкости, содержащая:
материал основания;
изолирующую пленку, расположенную на материале основания;
резистивный нагревательный элемент, который расположен на материале основания и выполнен с возможностью формирования тепловой энергии для выброса жидкости;
защитную пленку, выполненную с возможностью покрытия резистивного нагревательного элемента;
электрические проводники, которые размещены в материале основания и выполнены с возможностью подачи тока к резистивному нагревательному элементу; и
по меньшей мере один соединительный элемент, выполненный с возможностью проходить в изолирующую пленку для соединения электрических проводников и резистивного нагревательного элемента,
причем резистивный нагревательный элемент имеет толщину в диапазоне от 0,01 мкм до 0,05 мкм,
причем защитная пленка имеет толщину в диапазоне от 0,15 мкм до 0,3 мкм.
24. Элементная подложка головки для выброса жидкости по п. 23,
в которой резистивный нагревательный элемент выполнен с возможностью вызывать протекание тока в первом направлении, и
при этом множество соединительных элементов размещено во втором направлении, пересекающем первое направление с зазором между соседними соединительными элементами.
25. Элементная подложка головки для выброса жидкости по п. 23,
в которой резистивный нагревательный элемент выполнен с возможностью вызывать протекание тока в первом направлении, и
при этом соединительные элементы непрерывно размещены во втором направлении, пересекающем первое направление.
26. Элементная подложка головки для выброса жидкости по любому из пп. 23-25, в которой по меньшей мере один соединительный элемент содержит штекер, выполненный с возможностью проходить в изолирующую пленку.
27. Головка для выброса жидкости, содержащая элементную подложку,
причем элементная подложка содержит:
материал основания;
изолирующую пленку, расположенную на материале основания;
резистивный нагревательный элемент, выполненный с возможностью формирования тепловой энергии для выброса жидкости;
защитную пленку, выполненную с возможностью покрытия резистивного нагревательного элемента;
первый слой электрических проводников, который размещен в изолирующей пленке и выполнен с возможностью подачи тока к резистивному нагревательному элементу;
второй слой электрических проводников, который размещен на слое, отличном от первого слоя электрических проводников в изолирующей пленке, и выполнен с возможностью подачи тока к резистивному нагревательному элементу; и
по меньшей мере один соединительный элемент, выполненный с возможностью проходить в изолирующую пленку для соединения первого слоя электрических проводников и обратной поверхности резистивного нагревательного элемента, на которой не размещена защитная пленка,
причем резистивный нагревательный элемент содержит на каждом из первого конца и другого конца в первом направлении область соединения, с которой соединен по меньшей мере один соединительный элемент,
причем область соединения выполнена с возможностью проходить во втором направлении, пересекающем первое направление.
28. Головка для выброса жидкости по п. 27, дополнительно содержащая на слое, отличном от первого слоя электрических проводников и второго слоя электрических проводников в изолирующей пленке, третий слой электрических проводников, содержащий проводники логического электропитания для возбуждения резистивного нагревательного элемента.
29. Головка для выброса жидкости по п. 27 или 28, дополнительно содержащая на слое, отличном от первого слоя электрических проводников и второго слоя электрических проводников в изолирующей пленке, четвертый слой электрических проводников, содержащий сигнальные проводники для возбуждения резистивного нагревательного элемента.
30. Головка для выброса жидкости по п. 28, в которой первый слой электрических проводников и второй слой электрических проводников размещены на стороне, более близкой к резистивному нагревательному элементу, чем третий слой электрических проводников.
31. Головка для выброса жидкости по п. 28, дополнительно содержащая возбуждающую схему, которая выполнена с возможностью возбуждения резистивного нагревательного элемента и размещена на материале основания на стороне изолирующей пленки,
при этом третий слой электрических проводников размещен на стороне, более близкой к возбуждающей схеме, чем первый слой электрических проводников и второй слой электрических проводников.
RU2016102322A 2015-01-27 2016-01-26 Элементная подложка и головка для выброса жидкости RU2645565C2 (ru)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015013197 2015-01-27
JP2015-013197 2015-01-27
JP2015233689A JP6598658B2 (ja) 2015-01-27 2015-11-30 液体吐出ヘッドの素子基板及び液体吐出ヘッド
JP2015-233689 2015-11-30

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2016102322A true RU2016102322A (ru) 2017-08-01
RU2645565C2 RU2645565C2 (ru) 2018-02-21

Family

ID=56559802

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2016102322A RU2645565C2 (ru) 2015-01-27 2016-01-26 Элементная подложка и головка для выброса жидкости

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP6598658B2 (ru)
CN (2) CN105818537B (ru)
RU (1) RU2645565C2 (ru)
SG (1) SG10201600629QA (ru)
TW (1) TWI610820B (ru)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018150830A1 (en) * 2017-02-17 2018-08-23 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge head substrate, method of manufacturing the same, liquid discharge head, and liquid discharge apparatus
JP2018130942A (ja) * 2017-02-17 2018-08-23 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド用基板の製造方法
JP7037334B2 (ja) 2017-02-17 2022-03-16 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド用基板、その製造方法、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置
US10300698B2 (en) 2017-06-05 2019-05-28 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection head
JP6625158B2 (ja) * 2017-06-05 2019-12-25 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド
JP6942537B2 (ja) * 2017-06-29 2021-09-29 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド
EP3470228B1 (en) * 2017-10-11 2021-06-30 Canon Kabushiki Kaisha Element substrate, manufacturing method thereof, printhead, and printing apparatus
JP7005376B2 (ja) 2018-02-15 2022-01-21 キヤノン株式会社 素子基板、記録ヘッド、及び記録装置
JP6701255B2 (ja) * 2018-04-12 2020-05-27 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド基板、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および、液体吐出ヘッド基板の製造方法
JP7114380B2 (ja) * 2018-07-20 2022-08-08 キヤノン株式会社 素子基板および液体吐出ヘッド
WO2020068035A1 (en) * 2018-09-24 2020-04-02 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Connected field effect transistors
JP7171426B2 (ja) * 2018-12-27 2022-11-15 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドおよびその製造方法と液体吐出装置
JP7344669B2 (ja) * 2019-04-23 2023-09-14 キヤノン株式会社 素子基板、液体吐出ヘッド、及び記録装置
JP7328787B2 (ja) 2019-04-23 2023-08-17 キヤノン株式会社 素子基板、液体吐出ヘッド、及び記録装置
JP7465096B2 (ja) 2020-01-20 2024-04-10 キヤノン株式会社 素子基板、液体吐出ヘッド、及び記録装置
JP2021187121A (ja) 2020-06-03 2021-12-13 キヤノン株式会社 素子基板、液体吐出ヘッド、及び記録装置
JP2022078882A (ja) * 2020-11-13 2022-05-25 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド用基板、及び液体吐出ヘッド
JP2022078883A (ja) 2020-11-13 2022-05-25 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド用基板、及び液体吐出ヘッド

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2708557B2 (ja) * 1988-07-26 1998-02-04 キヤノン株式会社 液体噴射記録ヘッド用素子基板,液体噴射記録ヘッド,ヘッドカートリッジおよび記録装置
US6142606A (en) * 1997-12-22 2000-11-07 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording head, substrate for use of such head, ink jet cartridge, and ink jet recording apparatus
US6382782B1 (en) * 2000-12-29 2002-05-07 Eastman Kodak Company CMOS/MEMS integrated ink jet print head with oxide based lateral flow nozzle architecture and method of forming same
JP2005067164A (ja) * 2003-08-28 2005-03-17 Sony Corp 液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの製造方法
JP2005205891A (ja) * 2003-12-26 2005-08-04 Canon Inc インクジェットヘッド用の基体、インクジェットヘッド、該インクジェットヘッドの駆動方法およびインクジェット記録装置
KR100553914B1 (ko) * 2004-01-29 2006-02-24 삼성전자주식회사 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법
KR100717023B1 (ko) * 2005-08-27 2007-05-10 삼성전자주식회사 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법
JP2008307828A (ja) * 2007-06-15 2008-12-25 Canon Inc 記録ヘッド
JP2010023397A (ja) * 2008-07-23 2010-02-04 Canon Finetech Inc 液体吐出ヘッド
JP5328608B2 (ja) * 2008-12-15 2013-10-30 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド及びそれらの製造方法
JP5404121B2 (ja) * 2009-03-25 2014-01-29 キヤノン株式会社 記録基板、該記録基板の製造方法及び液体吐出ヘッド
JP5606213B2 (ja) * 2009-09-04 2014-10-15 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド用基板の製造方法
JP6222968B2 (ja) * 2013-04-09 2017-11-01 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドのクリーニング方法、液体吐出装置
JP6289234B2 (ja) * 2014-04-15 2018-03-07 キヤノン株式会社 記録素子基板及び液体吐出装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN108372722B (zh) 2020-04-21
JP6598658B2 (ja) 2019-10-30
CN105818537B (zh) 2018-03-06
CN105818537A (zh) 2016-08-03
CN108372722A (zh) 2018-08-07
SG10201600629QA (en) 2016-08-30
TWI610820B (zh) 2018-01-11
RU2645565C2 (ru) 2018-02-21
TW201632362A (zh) 2016-09-16
JP2016137705A (ja) 2016-08-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2016102322A (ru) Элементная подложка и головка для выброса жидкости
JP2016137705A5 (ru)
RU2016136340A (ru) Система, генерирующая аэрозоль, имеющая проницаемый для жидкости нагреватель в сборе
JP5608187B2 (ja) ヒートシンク
JP6439149B2 (ja) チップ抵抗器
JP2016210070A5 (ru)
RU2017134972A (ru) Картридж для системы, генерирующей аэрозоль
RU2017134811A (ru) Модуль нагревательного элемента для образующего аэрозоль устройства
CN105895794B (zh) 热转换装置
JP2008544540A5 (ru)
EP3050707A3 (en) Element substrate and liquid ejection head
JP2018530857A (ja) 加熱パネル
JP2016004828A (ja) 液冷式冷却装置
JP2014124921A5 (ru)
US8456273B2 (en) Chip resistor device and a method for making the same
JP2016045371A5 (ru)
JP2013161973A (ja) 熱電変換モジュール
ES2847889T3 (es) Elemento de cuerpo radiante con múltiples zonas de calefacción
JP2008270459A5 (ru)
JP2018198266A5 (ru)
JP2017007295A5 (ru)
IT201800020902A1 (it) Modulo di raffreddamento di un sistema di accumulo di energia elettrica per un veicolo con propulsione elettrica
US9651517B2 (en) Ceramic heater and gas sensor element using the same
JP2017199565A5 (ru)
JP5353815B2 (ja) 半導体モジュール