RU2014110367A - Способ изготовления системы со слоем низкой излучательной способности - Google Patents

Способ изготовления системы со слоем низкой излучательной способности Download PDF

Info

Publication number
RU2014110367A
RU2014110367A RU2014110367/03A RU2014110367A RU2014110367A RU 2014110367 A RU2014110367 A RU 2014110367A RU 2014110367/03 A RU2014110367/03 A RU 2014110367/03A RU 2014110367 A RU2014110367 A RU 2014110367A RU 2014110367 A RU2014110367 A RU 2014110367A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
low emissivity
layer
electromagnetic radiation
heat treatment
substrate
Prior art date
Application number
RU2014110367/03A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2577562C2 (ru
Inventor
Йорг НАЙДХАРДТ
Христоф КЁКЕРТ
Original Assignee
Фон Арденне Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Фон Арденне Гмбх filed Critical Фон Арденне Гмбх
Publication of RU2014110367A publication Critical patent/RU2014110367A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2577562C2 publication Critical patent/RU2577562C2/ru

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • EFIXED CONSTRUCTIONS
    • E04BUILDING
    • E04BGENERAL BUILDING CONSTRUCTIONS; WALLS, e.g. PARTITIONS; ROOFS; FLOORS; CEILINGS; INSULATION OR OTHER PROTECTION OF BUILDINGS
    • E04B1/00Constructions in general; Structures which are not restricted either to walls, e.g. partitions, or floors or ceilings or roofs
    • E04B1/62Insulation or other protection; Elements or use of specified material therefor
    • E04B1/74Heat, sound or noise insulation, absorption, or reflection; Other building methods affording favourable thermal or acoustical conditions, e.g. accumulating of heat within walls
    • E04B1/76Heat, sound or noise insulation, absorption, or reflection; Other building methods affording favourable thermal or acoustical conditions, e.g. accumulating of heat within walls specifically with respect to heat only
    • E04B1/78Heat insulating elements
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/06Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with metals
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3657Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties
    • C03C17/366Low-emissivity or solar control coatings
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
    • C03C23/0005Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation
    • C03C23/001Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation by infrared light
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
    • C03C23/0005Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation
    • C03C23/0015Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation by visible light
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
    • C03C23/0005Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation
    • C03C23/0025Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation by a laser beam
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14Metallic material, boron or silicon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/58After-treatment
    • C23C14/5806Thermal treatment
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00Methods for coating glass
    • C03C2218/30Aspects of methods for coating glass not covered above
    • C03C2218/32After-treatment

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Architecture (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Civil Engineering (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)

Abstract

1. Способ изготовления системы со слоем с низкой излучательной способностью на по меньшей мере одной стороне субстрата, включающий стадии:- получения субстрата,- формирования по меньшей мере одного прозрачного металлического слоя, отражающего ИК излучение и обозначаемого в дальнейшем как слой с низкой излучательной способностью, на по меньшей мере одной стороне субстрата системы со слоем с низкой излучательной способностью, с использованием методов нанесения,- последующей краткой термообработки по меньшей мере одного нанесенного слоя с использованием электромагнитного облучения, избегая, при этом, непосредственного нагрева всего субстрата,характеризующийся тем, что по меньшей мере один слой с низкой излучательной способностью кратко термически обрабатывают, где электромагнитное излучение, используемое для краткой термообработки, регулируют таким образом, чтобы поверхностное сопротивление и, таким образом, поглощение в инфракрасной области спектра и/или пропускание в видимой области спектра и/или спектральное отражение системы со слоем с низкой излучательной способностью принимали значения, характерные для обычных термически обработанных систем безопасного стекла со слоем с низкой излучательной способностью.2. Способ по п. 1, характеризующийся тем, что стадию краткой термообработки слоя с низкой излучательной способностью с использованием электромагнитного излучения осуществляют при такой эмиссионной длине волны электромагнитного излучения, при которой электромагнитное излучение по меньшей мере частично поглощается нанесенным слоем с низкой излучательной способностью.3. Способ по п. 1, хара�

Claims (18)

1. Способ изготовления системы со слоем с низкой излучательной способностью на по меньшей мере одной стороне субстрата, включающий стадии:
- получения субстрата,
- формирования по меньшей мере одного прозрачного металлического слоя, отражающего ИК излучение и обозначаемого в дальнейшем как слой с низкой излучательной способностью, на по меньшей мере одной стороне субстрата системы со слоем с низкой излучательной способностью, с использованием методов нанесения,
- последующей краткой термообработки по меньшей мере одного нанесенного слоя с использованием электромагнитного облучения, избегая, при этом, непосредственного нагрева всего субстрата,
характеризующийся тем, что по меньшей мере один слой с низкой излучательной способностью кратко термически обрабатывают, где электромагнитное излучение, используемое для краткой термообработки, регулируют таким образом, чтобы поверхностное сопротивление и, таким образом, поглощение в инфракрасной области спектра и/или пропускание в видимой области спектра и/или спектральное отражение системы со слоем с низкой излучательной способностью принимали значения, характерные для обычных термически обработанных систем безопасного стекла со слоем с низкой излучательной способностью.
2. Способ по п. 1, характеризующийся тем, что стадию краткой термообработки слоя с низкой излучательной способностью с использованием электромагнитного излучения осуществляют при такой эмиссионной длине волны электромагнитного излучения, при которой электромагнитное излучение по меньшей мере частично поглощается нанесенным слоем с низкой излучательной способностью.
3. Способ по п. 1, характеризующийся тем, что стадию краткой термообработки слоя с низкой излучательной способностью осуществляют при эмиссионной длине волны электромагнитного излучения в интервале от 250 нм до менее чем 500 нм и/или в интервале от более 500 до 1000 нм.
4. Способ по п. 3, характеризующийся тем, что стадию краткой термообработки слоя с низкой излучательной способностью осуществляют при эмиссионной длине волны электромагнитного излучения в интервале от 250 до 350 нм и/или в интервале от 650 до 850 нм.
5. Способ по пп. 1, 2, 3 или 4, характеризующийся тем, что электромагнитное излучение, используемое для краткой термообработки, регулируют таким образом, чтобы слой с низкой излучательной способностью получал предопределенную энергию в области облучения.
6. Способ по пп. 1, 2, 3 или 4, характеризующийся тем, что электромагнитное излучение, используемое для краткой термообработки, регулируют таким образом, чтобы оно имело линейное распределение интенсивности перпендикулярно направлению перемещения субстрата.
7. Способ по п. 6, характеризующийся тем, что длина линейного распределения интенсивности электромагнитного излучения, используемого для краткой термообработки соответствует по меньшей мере ширине нанесенного на субстрат слоя с низкой излучательной способностью в направлении продольной части линейного распределения интенсивности электромагнитного излучения.
8. Способ по п. 6, характеризующийся тем, что как длина, так и плотность энергии линейного распределения интенсивности электромагнитного излучения, используемого для краткой термообработки, могут изменяться.
9. Способ по любому из пп. 1, 2, 3 или 4, характеризующийся тем, что электромагнитное облучение слоя с низкой излучательной способностью осуществляют с использованием одного или нескольких лазеров.
10. Способ по п. 9, характеризующийся тем, что энергия, подводимая энергия, получаемая слоем с низкой излучательной способностью в области облучения, регулируется отношением плотности энергии линейных лазеров, используемых в процессе облучения.
11. Способ по п. 9, характеризующийся тем, что по меньшей мере один линейный лазер сфокусирован на плоскости поверхности субстрата на стороне покрытия с низкой излучательной способностью, и по меньшей мере один линейный лазер расфоркусирован.
12. Способ по любому из пп. 1, 2, 3 или 4, характеризующийся тем, что электромагнитное облучение слоя с низкой излучательной способностью осуществляют непрерывно испускающими диодами посредством газоразрядной лампы непрерывного излучения или посредством электронного луча.
13. Способ по п. 12, характеризующийся тем, что электромагнитное облучение, используемое для краткой термообработки, регулируют таким образом, чтобы оно имело линейное распределение интенсивности перпендикулярно направлению перемещения субстрата.
14. Способ по п. 12, характеризующийся тем, что как длина, так и плотность энергии линейного распределения интенсивности электромагнитного излучения, используемого для краткой термообработки, могут изменяться.
15. Способ по пп. 1, 2, 3 или 4, характеризующийся тем, что он включает на стадии формирования по меньшей мере одного слоя с низкой излучательной способностью несколько слоев для формирования системы слоев с низкой излучательной способностью.
16. Способ по пп. 1, 2, 3 или 4, характеризующийся тем, что по меньшей мере один слой с низкой излучательной способностью включает серебро или состоит из серебра.
17. Способ по пп. 1, 2, 3 или 4, характеризующийся тем, что он осуществляется в рамках действующей установки для нанесения покрытия методом напыления в вакууме.
18. Покрытие с низкой излучательной способностью, полученное способом по любому из пп. 1-17.
RU2014110367/03A 2011-08-19 2012-08-20 Способ изготовления системы со слоем низкой излучательной способности RU2577562C2 (ru)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102011081281.4 2011-08-19
DE102011081281 2011-08-19
DE102011089884.0A DE102011089884B4 (de) 2011-08-19 2011-12-23 Niedrigemittierende Beschichtung und Verfahren zur Herstellung eines niedrigemittierenden Schichtsystems
DE102011089884.0 2011-12-23
PCT/EP2012/066174 WO2013026819A1 (de) 2011-08-19 2012-08-20 Verfahren zur herstellung eines niedrigemittierenden schichtsystems

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2014110367A true RU2014110367A (ru) 2015-09-27
RU2577562C2 RU2577562C2 (ru) 2016-03-20

Family

ID=47625162

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014110367/03A RU2577562C2 (ru) 2011-08-19 2012-08-20 Способ изготовления системы со слоем низкой излучательной способности

Country Status (7)

Country Link
US (2) US9453334B2 (ru)
EP (2) EP2744764A1 (ru)
CN (2) CN103987674A (ru)
DE (2) DE102011089884B4 (ru)
EA (1) EA201400222A1 (ru)
RU (1) RU2577562C2 (ru)
WO (2) WO2013026819A1 (ru)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8815059B2 (en) * 2010-08-31 2014-08-26 Guardian Industries Corp. System and/or method for heat treating conductive coatings using wavelength-tuned infrared radiation
DE102014105300A1 (de) * 2014-03-12 2015-09-17 Von Ardenne Gmbh Prozessieranordnung und Verfahren zum Betreiben einer Prozessieranordnung
FR3022904B1 (fr) 2014-06-27 2016-07-01 Saint Gobain Procede d'activation de couche sur substrat verrier
DE102014116244A1 (de) * 2014-07-07 2016-01-07 Von Ardenne Gmbh Beschichtungsanordnung
FR3025936B1 (fr) * 2014-09-11 2016-12-02 Saint Gobain Procede de recuit par lampes flash
EP3209812A1 (en) * 2014-10-22 2017-08-30 AGC Glass Europe Manufacturing of substrates coated with a conductive layer
DE102015105203A1 (de) * 2015-04-07 2016-10-13 Von Ardenne Gmbh Verfahren zum Bearbeiten einer Schichtenstruktur und Verfahren zum Herstellen einer elektrisch hochleitfähigen Kupferschicht auf einem lichtdurchlässigen Substrat
US10011524B2 (en) * 2015-06-19 2018-07-03 Guardian Glass, LLC Coated article with sequentially activated low-E coating, and/or method of making the same
US11220455B2 (en) * 2017-08-04 2022-01-11 Vitro Flat Glass Llc Flash annealing of silver coatings
ES2967924T3 (es) * 2017-08-04 2024-05-06 Vitro Flat Glass Llc Recocido por destellos de revestimientos de semiconductor y de óxido conductor transparente
FR3070387A1 (fr) * 2017-08-30 2019-03-01 Saint-Gobain Glass France Dispositif de traitement thermique ameliore
US10822270B2 (en) 2018-08-01 2020-11-03 Guardian Glass, LLC Coated article including ultra-fast laser treated silver-inclusive layer in low-emissivity thin film coating, and/or method of making the same
DE102019134818A1 (de) * 2019-02-16 2020-08-20 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein Verfahren zum Erhöhen der Festigkeit eines Glassubstrates
FR3105212A1 (fr) 2019-12-20 2021-06-25 Saint-Gobain Glass France Procédé de traitement thermique rapide de couches minces sur substrats en verre trempé
FR3111842A1 (fr) 2020-06-26 2021-12-31 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Procede d’elaboration et de controle de la qualite d’un empilement oxyde/metal/oxyde

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6294219B1 (en) * 1998-03-03 2001-09-25 Applied Komatsu Technology, Inc. Method of annealing large area glass substrates
US6408649B1 (en) * 2000-04-28 2002-06-25 Gyrotron Technology, Inc. Method for the rapid thermal treatment of glass and glass-like materials using microwave radiation
US6673462B2 (en) * 2001-04-27 2004-01-06 Central Glass Company, Limited Frequency selective plate and method for producing same
US7232615B2 (en) * 2001-10-22 2007-06-19 Ppg Industries Ohio, Inc. Coating stack comprising a layer of barrier coating
JP2004172331A (ja) * 2002-11-20 2004-06-17 Ushio Inc 電気伝導性制御方法
US6835657B2 (en) 2002-12-02 2004-12-28 Applied Materials, Inc. Method for recrystallizing metal in features of a semiconductor chip
US7582161B2 (en) * 2006-04-07 2009-09-01 Micron Technology, Inc. Atomic layer deposited titanium-doped indium oxide films
DE102006047472A1 (de) * 2006-10-05 2008-04-10 Fhr Anlagenbau Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur oberflächennahen Behandlung von flächigen Substraten
FR2911130B1 (fr) * 2007-01-05 2009-11-27 Saint Gobain Procede de depot de couche mince et produit obtenu
US20080169064A1 (en) * 2007-01-11 2008-07-17 Ushio Denki Kabushiki Kaisha Surface-treating apparatus
US7800081B2 (en) * 2007-11-08 2010-09-21 Applied Materials, Inc. Pulse train annealing method and apparatus
US20090263944A1 (en) * 2008-04-17 2009-10-22 Albert Chin Method for making low Vt gate-first light-reflective-layer covered dual metal-gates on high-k CMOSFETs
EP2347032B1 (en) * 2008-10-17 2017-07-05 Ncc Nano, Llc Method for reducing thin films on low temperature substrates
DE102009033417C5 (de) * 2009-04-09 2022-10-06 Interpane Entwicklungs-Und Beratungsgesellschaft Mbh Verfahren und Anlage zur Herstellung eines beschichteten Gegenstands mittels Tempern
FR2946639B1 (fr) * 2009-06-12 2011-07-15 Saint Gobain Procede de depot de couche mince et produit obtenu.
FR2950878B1 (fr) * 2009-10-01 2011-10-21 Saint Gobain Procede de depot de couche mince
WO2011066256A1 (en) * 2009-11-25 2011-06-03 E. I. Du Pont De Nemours And Company Screen-printable quaternary chalcogenide compositions
US10000965B2 (en) * 2010-01-16 2018-06-19 Cardinal Cg Company Insulating glass unit transparent conductive coating technology
RU2558063C2 (ru) * 2010-01-16 2015-07-27 КАРДИНАЛ СиДжи КОМПАНИ Высококачественные низкоэмиссионные покрытия, низкоэмиссионные стеклопакеты и способы их изготовления
US10060180B2 (en) * 2010-01-16 2018-08-28 Cardinal Cg Company Flash-treated indium tin oxide coatings, production methods, and insulating glass unit transparent conductive coating technology
US10000411B2 (en) * 2010-01-16 2018-06-19 Cardinal Cg Company Insulating glass unit transparent conductivity and low emissivity coating technology
FR2963342B1 (fr) * 2010-07-27 2012-08-03 Saint Gobain Procede d'obtention d'un materiau comprenant un substrat muni d'un revetement
US20120156827A1 (en) * 2010-12-17 2012-06-21 General Electric Company Method for forming cadmium tin oxide layer and a photovoltaic device
FR2969391B1 (fr) * 2010-12-17 2013-07-05 Saint Gobain Procédé de fabrication d'un dispositif oled
FR2972447B1 (fr) * 2011-03-08 2019-06-07 Saint-Gobain Glass France Procede d'obtention d'un substrat muni d'un revetement
TWI566300B (zh) * 2011-03-23 2017-01-11 斯克林集團公司 熱處理方法及熱處理裝置
FR2981346B1 (fr) * 2011-10-18 2014-01-24 Saint Gobain Procede de traitement thermique de couches d'argent

Also Published As

Publication number Publication date
WO2013026819A1 (de) 2013-02-28
CN103987674A (zh) 2014-08-13
US9453334B2 (en) 2016-09-27
EA201400222A1 (ru) 2014-08-29
CN103889915A (zh) 2014-06-25
RU2577562C2 (ru) 2016-03-20
US20140199496A1 (en) 2014-07-17
EP2744764A1 (de) 2014-06-25
US20140197350A1 (en) 2014-07-17
EP2744763A1 (de) 2014-06-25
DE102011089884B4 (de) 2016-03-10
DE102012200665B4 (de) 2016-06-02
DE102012200665A1 (de) 2013-02-21
DE102011089884A1 (de) 2013-02-21
WO2013026817A1 (de) 2013-02-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2014110367A (ru) Способ изготовления системы со слоем низкой излучательной способности
JP6309078B2 (ja) 低減されたデブリ生成を有するレーザ生成プラズマeuv源
RU2430832C2 (ru) Способ обработки инфракрасным лазерным излучением с заданной длиной волны и предназначенная для этого система
US10882781B2 (en) Method for obtaining a substrate coated with a functional layer by using a sacrificial layer
JP6054890B2 (ja) 被覆物を備えた基材を得る方法
CN105658592B (zh) 制造涂覆有包括导电透明氧化物膜的叠层的基底的方法
RU2666808C2 (ru) Окно с обработанным уф-излучением низкоэмиссионным покрытием и способ его изготовления
JP6139600B2 (ja) 太陽電池の後処理装置
EA022598B1 (ru) Способ нанесения тонкого слоя на подложку
JP6553595B2 (ja) コーティングを備えた基材の製造方法
Emelyanov et al. Femtosecond laser induced crystallization of hydrogenated amorphous silicon for photovoltaic applications
JP2014509296A (ja) 真空断熱ガラスユニット向け可変赤外線素子を組み込んだ局所加熱技術、及び/又は局所加熱装置
Zimakov et al. Bistable behavior of a continuous optical discharge as a laser beam propagation effect
JP6900327B2 (ja) 逐次的に活性化された低eコーティングを有する被覆物品、及び/又はその製造方法
JP2023126975A (ja) エネルギー制御コーティング構造、装置、及びそれらの製造方法
Komlenok et al. High-damage-threshold antireflection coatings on diamond for CW and pulsed CO2 lasers
Hassanein et al. Analysis, simulation, and experimental studies of YAG and CO [sub] 2 [/sub] laser-produced plasma for EUV lithography sources
Rahmonberdievich Physical principles of dry vegetables fruit products under the influence of Infrared
US20090176033A1 (en) Manufacturing Optical Elements With Refractive Functions
Bergel'son et al. Parameters of a plasma formed by the action of microsecond laser pulses on an aluminum target in vacuum
Marchenko Spectroscopy and energy balance of the Nd 2 O 3 selective emission upon the laser thermal excitation
JP2006269451A (ja) レーザによる成膜装置
Lotin et al. The quantum confinement effect observed in the multiple quantum wells Mg 0.27 Zn 0.73 O/ZnO
Papanyan et al. XUV spectroscopy of laser plasma from molecular coated metal targets
Alekseev et al. Asymmetric gratings on surfaces of glass waveguides