RU2010136169A

RU2010136169A - Порошок из абразивных зерен

Info

Publication number: RU2010136169A
Application number: RU2010136169/02A
Authority: RU
Inventors: Ив БУССАН-РУ (US); Ив Буссан-Ру; Йостейн МОСБЮ (NO); Йостейн МОСБЮ; Ана-Мария ПОПА (FR); Ана-Мария ПОПА; Арне МЕННЕ (NO); Арне МЕННЕ; Абхая Кумар БАКШИ (US); Абхая Кумар БАКШИ
Original assignee: Сен-Гобен Сантр де Решерш э д`Этюд Эропен (FR); Сен-Гобен Сантр де Решерш э д`Этюд Эропен
Priority date: 2008-02-07
Filing date: 2009-02-06
Publication date: 2012-03-20
Also published as: JP2015110267A; WO2009101339A2; CN101939137B; US20110100346A1; WO2009101339A3; KR101553291B1; RU2481187C2; US8002861B2; MY157494A; ES2417204T3; CA2715053C; UA100256C2; EP2252432B1; JP5882508B2; FR2927272B1; JP2011510828A; KR20100111316A; CA2715053A1; CN101939137A; FR2927272A1

Abstract

1. Порошок из абразивных зерен, предназначенный, в частности, для механической обработки кремниевых слитков, у которого гранулометрическая фракция D40-D60 содержит более 15 об.% и менее 80 об.% зерен с округлостью (S) менее 0,85, причем процентили D40 и D60 представляют собой процентили кумулятивной кривой гранулометрического распределения размеров зерен порошка и соответствуют таким размерам зерен, которые отделяют фракции порошка, состоящие из 40 об.% и 60 об.%, соответственно, от зерен порошка большего размера. ! 2. Порошок по п.1, у которого значение коэффициента R40-60, соответствующего отношению выраженной в объемных процентах доли S(D40-D60) зерен с округлостью менее 0,85 в гранулометрической фракции D40-D60 к среднему диаметру D50, составляет более 0,85, но менее 3,5. ! 3. Порошок по п.1, у которого значение коэффициента R40-60, соответствующего отношению выраженной в объемных процентах доли S(D40-D60) зерен с округлостью менее 0,85 в гранулометрической фракции D40-D60 к среднему диаметру D50, составляет более 0,85, но менее 2,0. ! 4. Порошок по п.1, у которого: ! 10%<Δ20-40-60<30% ! или 15%<Δ40-60-80<60%, ! где Δn-m-p соответствует отношению (S(Dn-Dm)-S(Dm-Dp))/S(Dm-Dp), выраженному процентах, a S(Di-Dj) соответствует выраженной в объемных процентах доли зерен с округлостью менее 0,85 в гранулометрической фракции Di-Dj. ! 5. Порошок по п.1, у которого ! 10%<Δ20-40-60<30% ! и 15%<Δ40-60-80<60%. ! 6. Порошок по п.1, у которого гранулометрическая фракция D20-D40 содержит более 15 об.% зерен с округлостью (S) менее 0,85. ! 7. Порошок по п.1, у которого гранулометрическая фракция D20-D40 и/или гранулометрическая фракция D40-D60 содержит более 20 об.% зерен с округлостью менее 0,85. ! 8. Порошок по п.1, у которого гранулометрическая фракция D20-D40 и/или гра

Claims

1. Порошок из абразивных зерен, предназначенный, в частности, для механической обработки кремниевых слитков, у которого гранулометрическая фракция D₄₀-D₆₀ содержит более 15 об.% и менее 80 об.% зерен с округлостью (S) менее 0,85, причем процентили D₄₀ и D₆₀ представляют собой процентили кумулятивной кривой гранулометрического распределения размеров зерен порошка и соответствуют таким размерам зерен, которые отделяют фракции порошка, состоящие из 40 об.% и 60 об.%, соответственно, от зерен порошка большего размера.

2. Порошок по п.1, у которого значение коэффициента R_40-60, соответствующего отношению выраженной в объемных процентах доли S(D₄₀-D₆₀) зерен с округлостью менее 0,85 в гранулометрической фракции D₄₀-D₆₀ к среднему диаметру D₅₀, составляет более 0,85, но менее 3,5.

3. Порошок по п.1, у которого значение коэффициента R_40-60, соответствующего отношению выраженной в объемных процентах доли S(D₄₀-D₆₀) зерен с округлостью менее 0,85 в гранулометрической фракции D₄₀-D₆₀ к среднему диаметру D₅₀, составляет более 0,85, но менее 2,0.

4. Порошок по п.1, у которого:

10%<Δ_20-40-60<30%

или 15%<Δ_40-60-80<60%,

где Δ_n-m-p соответствует отношению (S(D_n-D_m)-S(D_m-D_p))/S(D_m-D_p), выраженному процентах, a S(D_i-D_j) соответствует выраженной в объемных процентах доли зерен с округлостью менее 0,85 в гранулометрической фракции D_i-D_j.

5. Порошок по п.1, у которого

10%<Δ_20-40-60<30%

и 15%<Δ_40-60-80<60%.

6. Порошок по п.1, у которого гранулометрическая фракция D₂₀-D₄₀ содержит более 15 об.% зерен с округлостью (S) менее 0,85.

7. Порошок по п.1, у которого гранулометрическая фракция D₂₀-D₄₀ и/или гранулометрическая фракция D₄₀-D₆₀ содержит более 20 об.% зерен с округлостью менее 0,85.

8. Порошок по п.1, у которого гранулометрическая фракция D₂₀-D₄₀ и/или гранулометрическая фракция D₄₀-D₆₀ содержит менее 30 об.% зерен с округлостью менее 0,85.

9. Порошок по п.1, у которого средний размер D₅₀ меньше 30 мкм.

10. Порошок по п.9, у которого средний размер D₅₀ меньше 20 мкм.

11. Порошок по п.1, у которого средний размер D₅₀ больше 3 мкм.

12. Порошок по п.11, у которого средний размер D₅₀ больше 5 мкм.

13. Порошок по п.1, у которого абразивные зерна выполнены из материала, имеющего твердость по Виккерсу HV_0,5 более 7 ГПа.

14. Порошок по п.13, у которого абразивные зерна содержат более 95 мас.% карбида кремния SiC.

15. Порошок по п.1, у которого гранулометрическая фракция D₄₀-D₆₀ содержит менее 50 об.% зерен с округлостью (S) менее 0,85.

16. Абразивная проволока для резки блоков, в частности, кремниевых блоков, содержащая несущую проволоку, порошок по п.1 и связующее, обеспечивающее жесткую или иную фиксацию зерен указанного порошка на указанной несущей проволоке.

17. Способ резки блока на основе кремния посредством абразивной проволоки по п.16, обеспечивающий получение, по окончании указанной резки, пластины толщиной менее 200 мкм.

18. Способ по п.17, обеспечивающий получение, по окончании указанной резки, пластины толщиной менее 150 мкм.

19. Способ по п.18, в котором пластина имеет толщину не больше 100 мкм.