RU2011153091A

RU2011153091A - Суспензия абразивных зерен

Info

Publication number: RU2011153091A
Application number: RU2011153091/04A
Authority: RU
Inventors: Ана-Мария ПОПА; Ян Олаф РОШИНСКИЙ; Сив М. ЭМАНУЭЛЬСЕН; Фабио НЕУМАН
Original assignee: Сен-Гобен Сантр Де Решерш Э Д'Этюд Эропен
Priority date: 2009-07-09
Filing date: 2010-07-09
Publication date: 2013-08-20
Also published as: EP2451884A1; WO2011004352A1; CN102482554B; KR20120039006A; SG177524A1; FR2947831B1; RU2529856C2; UA105529C2; ES2421751T3; EP2451884B1; JP2012533172A; US20120132045A1; FR2947831A1; CN102482554A

Abstract

1. Суспензия, содержащая совокупность абразивных зерен и связующее вещество, отличающаяся тем, что:- гранулометрическая фракция D-Dуказанной совокупности абразивных зерен содержит более 15 об.% и менее 80 об.% зерен, имеющих округлость менее 0,85, при этом процентили Dи Dпредставляют собой процентили интегральной кривой гранулометрического состава размеров зерен, соответствующие размерам зерен, которые позволяют отделять фракции, которые составляют 40 об.% и 60 об.%, соответственно, зерен, имеющих наибольшие размеры; и- указанные абразивные зерна представляют собой более 25% и менее 46% от массы указанной суспензии.2. Суспензия по п.1, где гранулометрическая фракция D-Dуказанной совокупности абразивных зерен содержит менее 40 об.% зерен, имеющих округлость менее 0,85.3. Суспензия по п.1, где абразивные зерна представляют собой более 37% и менее 43% от массы указанной суспензии.4. Суспензия по п.1, где соотношение Rобъемного процента зерен, имеющих округлость менее 0,85, в гранулометрической фракции D-D, деленное на медианный размер D, составляет больше 1 и меньше 5.5. Суспензия по п.4, где соотношение Rобъемного процента зерен, имеющих округлость менее 0,85, в гранулометрической фракции D-D, деленное на медианный размер D, составляет больше 1,5 и меньше 3.6. Суспензия по п.1, где:25%<Δ<50% и/или0%<Δ<20%,где «Δ» представляет собой соотношение (S(D-D)-S(D-D))/S(D-D) в процентах, где «S(D-D)» представляет собой объемный процент зерен, имеющих округлость менее 0,85 в гранулометрической фракции D-D.7. Суспензия по п.1, где гранулометрическая фракция D-Dсодержит более 15 об.% зерен, имеющих округлость менее 0,85.8. Суспензия по п.1, где гранулометрическая фракция D-Dсодержит более 15 об.% зерен

Claims

1. Суспензия, содержащая совокупность абразивных зерен и связующее вещество, отличающаяся тем, что:

- гранулометрическая фракция D₄₀-D₆₀ указанной совокупности абразивных зерен содержит более 15 об.% и менее 80 об.% зерен, имеющих округлость менее 0,85, при этом процентили D₄₀ и D₆₀ представляют собой процентили интегральной кривой гранулометрического состава размеров зерен, соответствующие размерам зерен, которые позволяют отделять фракции, которые составляют 40 об.% и 60 об.%, соответственно, зерен, имеющих наибольшие размеры; и

- указанные абразивные зерна представляют собой более 25% и менее 46% от массы указанной суспензии.

2. Суспензия по п.1, где гранулометрическая фракция D₄₀-D₆₀ указанной совокупности абразивных зерен содержит менее 40 об.% зерен, имеющих округлость менее 0,85.

3. Суспензия по п.1, где абразивные зерна представляют собой более 37% и менее 43% от массы указанной суспензии.

4. Суспензия по п.1, где соотношение R_40-60 объемного процента зерен, имеющих округлость менее 0,85, в гранулометрической фракции D₄₀-D₆₀, деленное на медианный размер D₅₀, составляет больше 1 и меньше 5.

5. Суспензия по п.4, где соотношение R_40-60 объемного процента зерен, имеющих округлость менее 0,85, в гранулометрической фракции D₄₀-D₆₀, деленное на медианный размер D₅₀, составляет больше 1,5 и меньше 3.

6. Суспензия по п.1, где:

25%<Δ_20-40-60<50% и/или

0%<Δ_40-60-80<20%,

где «Δ_n-m-p» представляет собой соотношение (S(D_n-D_m)-S(D_m-D_p))/S(D_m-D_p) в процентах, где «S(D_i-D_j)» представляет собой объемный процент зерен, имеющих округлость менее 0,85 в гранулометрической фракции D_i-D_j.

7. Суспензия по п.1, где гранулометрическая фракция D₂₀-D₄₀ содержит более 15 об.% зерен, имеющих округлость менее 0,85.

8. Суспензия по п.1, где гранулометрическая фракция D₁₀-D₂₀ содержит более 15 об.% зерен, имеющих округлость менее 0,85.

9. Суспензия по п.1, где гранулометрическая фракция D₃-D₁₀ содержит более 30 об.% и/или гранулометрическая фракция D₄₀-D₆₀ содержит менее 50 об.% зерен, имеющих округлость менее 0,85.

10. Суспензия по п.1, где медианный размер D₅₀ составляет более 3 мкм и/или менее 30 мкм.

11. Суспензия по п.1, где совокупность абразивных зерен имеет содержание кислорода от 0,2 мас.% до 0,6 мас.%.

12. Суспензия по п.1, имеющая вязкость от 20 до 30 сПа·с, измеренную вискозиметром Брукфильда DV-II+Pro с использованием шпинделя 63 и скоростью вращения 200 об./мин.

13. Абразивная проволока, предназначенная для распила блоков, в частности блоков кремния, содержащая абразивные зерна, скрепленные с основой или агломерированные друг с другом с помощью суспензии по п.1.

14. Способ распила блока на основе кремния с использованием абразивной проволоки по п.13, приспособленный таким образом, чтобы получать по окончании указанного способа распила пластину, обладающую толщиной меньше 200 мкм.

15. Способ обработки слитка, включающий следующие операции:

а. получение суспензии путем смешивания порошка абразивных зерен и связующего вещества;

b. обработка указанного слитка с использованием абразивного инструмента, который повторно загружают путем пропускания через указанную суспензию;

отличающийся тем, что для получения указанной суспензии массовое содержание абразивных зерен в указанной суспензии регулируют в зависимости от удельной поверхности указанного порошка, причем указанная суспензия является такой как заявлено в п.1.