RU2010117521A - Новое изделие и способ его изготовления при обработке материала - Google Patents

Новое изделие и способ его изготовления при обработке материала Download PDF

Info

Publication number
RU2010117521A
RU2010117521A RU2010117521/02A RU2010117521A RU2010117521A RU 2010117521 A RU2010117521 A RU 2010117521A RU 2010117521/02 A RU2010117521/02 A RU 2010117521/02A RU 2010117521 A RU2010117521 A RU 2010117521A RU 2010117521 A RU2010117521 A RU 2010117521A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
layer
deposition
carbon
metal
technology
Prior art date
Application number
RU2010117521/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2477672C2 (ru
Inventor
Рагнхильд МИХИК (SE)
Рагнхильд МИХИК
Петер МИХИК (SE)
Петер МИХИК
Original Assignee
Микрона Аб (Se)
Микрона Аб
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Микрона Аб (Se), Микрона Аб filed Critical Микрона Аб (Se)
Publication of RU2010117521A publication Critical patent/RU2010117521A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2477672C2 publication Critical patent/RU2477672C2/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641—Nitrides
    • C23C14/0658—Carbon nitride
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/002—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor with vibration damping means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/007—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor for internal turning
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B29/00—Holders for non-rotary cutting tools; Boring bars or boring heads; Accessories for tool holders
    • B23B29/02—Boring bars
    • B23B29/022—Boring bars with vibration reducing means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B29/00—Holders for non-rotary cutting tools; Boring bars or boring heads; Accessories for tool holders
    • B23B29/04—Tool holders for a single cutting tool
    • B23B29/043—Tool holders for a single cutting tool with cutting-off, grooving or profile cutting tools, i.e. blade- or disc-like main cutting parts
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B31/00—Chucks; Expansion mandrels; Adaptations thereof for remote control
    • B23B31/005—Cylindrical shanks of tools
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
    • B23Q11/0032—Arrangements for preventing or isolating vibrations in parts of the machine
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
    • C23C14/0036—Reactive sputtering
    • C23C14/0057—Reactive sputtering using reactive gases other than O2, H2O, N2, NH3 or CH4
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/34—Nitrides
    • C23C16/347—Carbon nitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/02—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material
    • C23C28/023—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material only coatings of metal elements only
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
    • C23C28/32—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer
    • C23C28/322—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer only coatings of metal elements only
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
    • C23C28/34—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
    • C23C28/34—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates
    • C23C28/345—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates with at least one oxide layer
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
    • C23C28/34—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates
    • C23C28/347—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates with layers adapted for cutting tools or wear applications
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/40—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
    • C23C28/42—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by the composition of the alternating layers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B2226/00—Materials of tools or workpieces not comprising a metal
    • B23B2226/18—Ceramic
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B2228/00—Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner
    • B23B2228/10—Coatings
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10S428/9088—Wear-resistant layer
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T407/00—Cutters, for shaping
    • Y10T407/19—Rotary cutting tool
    • Y10T407/1906—Rotary cutting tool including holder [i.e., head] having seat for inserted tool
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T407/00—Cutters, for shaping
    • Y10T407/22—Cutters, for shaping including holder having seat for inserted tool
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T408/00—Cutting by use of rotating axially moving tool
    • Y10T408/76—Tool-carrier with vibration-damping means
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T409/00—Gear cutting, milling, or planing
    • Y10T409/30—Milling
    • Y10T409/304312—Milling with means to dampen vibration
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
    • Y10T428/12576—Boride, carbide or nitride component
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/249921—Web or sheet containing structurally defined element or component
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/29—Coated or structually defined flake, particle, cell, strand, strand portion, rod, filament, macroscopic fiber or mass thereof
    • Y10T428/2982—Particulate matter [e.g., sphere, flake, etc.]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31678—Of metal

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Vibration Prevention Devices (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Drilling Tools (AREA)
  • Milling Processes (AREA)
  • Turning (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)

Abstract

1. Устройство, предназначенное для удаления стружки, содержащее вибродемпфирующий материал, представляющий керамический материал, содержащий CNx, расположенный в виде наномерного кластера. ! 2. Устройство по п.1, в котором керамический материал присутствует в виде слоя на поверхности устройства, при этом слой составляет от 1 мкм до 1 см, предпочтительно от 1 мкм до 1000 мкм, и наиболее предпочтительно от 50 мкм до 500 мкм. ! 3. Устройство по п.1 или 2, в котором нанесенный демпфирующий материал представляет собой композитный материал, сформированный в виде многослойной структуры, которая состоит из чередующихся слоев металла или соединений металла одного вида и металла или соединений металла другого вида, причем чередующиеся слои металла состоят из нитрида металла или оксида металла. ! 4. Устройство по п.1, в котором нанесенный демпфирующий материал представляет собой композитный материал, сформированный в виде двухслойной структуры, которая состоит из вязкоэластичного слоя и слоя нитрида углерода, причем предпочтительно, чтобы слой нитрида углерода являлся ограничивающим слоем. ! 5. Устройство по п.1, в котором устройство представляет собой держатель инструмента (1), такой как держатель инструмента, режущая пластина, сверло, зачистной круг, фрезер-расширитель, цанга, фреза, пазовая фреза, концевая фреза или крепежное устройство, содержащее ! - вал (2), выполненный с возможностью установки в обрабатывающей машине или в держателе инструмента обрабатывающей машины; ! - головку (3), на которой устанавливается резец; и ! - вибродемпфирующий материал (4), установленный таким образом, чтобы резец находился в контакте с обрабатывающе�

Claims (15)

1. Устройство, предназначенное для удаления стружки, содержащее вибродемпфирующий материал, представляющий керамический материал, содержащий CNx, расположенный в виде наномерного кластера.
2. Устройство по п.1, в котором керамический материал присутствует в виде слоя на поверхности устройства, при этом слой составляет от 1 мкм до 1 см, предпочтительно от 1 мкм до 1000 мкм, и наиболее предпочтительно от 50 мкм до 500 мкм.
3. Устройство по п.1 или 2, в котором нанесенный демпфирующий материал представляет собой композитный материал, сформированный в виде многослойной структуры, которая состоит из чередующихся слоев металла или соединений металла одного вида и металла или соединений металла другого вида, причем чередующиеся слои металла состоят из нитрида металла или оксида металла.
4. Устройство по п.1, в котором нанесенный демпфирующий материал представляет собой композитный материал, сформированный в виде двухслойной структуры, которая состоит из вязкоэластичного слоя и слоя нитрида углерода, причем предпочтительно, чтобы слой нитрида углерода являлся ограничивающим слоем.
5. Устройство по п.1, в котором устройство представляет собой держатель инструмента (1), такой как держатель инструмента, режущая пластина, сверло, зачистной круг, фрезер-расширитель, цанга, фреза, пазовая фреза, концевая фреза или крепежное устройство, содержащее
- вал (2), выполненный с возможностью установки в обрабатывающей машине или в держателе инструмента обрабатывающей машины;
- головку (3), на которой устанавливается резец; и
- вибродемпфирующий материал (4), установленный таким образом, чтобы резец находился в контакте с обрабатывающей машиной исключительно через вибродемпфирующий материал (4).
6. Устройство по п.1, в котором вся поверхность держателя инструмента или по меньшей мере, те части поверхности (5) вала (2), которые должны находиться в контакте с обрабатывающей машиной или с держателем инструмента обрабатывающей машины, удерживающей держатель инструмента, снабжены вибродемпфирующим материалом.
7. Способ изготовления устройства для удаления стружки по любому из пп.1-6, включающий следующие этапы:
a) обеспечивают способ изготовления устройства для применения при удалении стружки; и
b) осаждают на упомянутое устройство керамический материал, содержащий CNx в форме наномерного кластера, что, таким образом, приводит к вибродемпфирующему эффекту в упомянутом устройстве.
8. Способ по п.7, в котором керамический материал осаждают в виде тонкого слоя на поверхность упомянутого устройства, причем упомянутый слой составляет от 1 мкм до 1 см, предпочтительно от 1 мкм до 1000 мкм, и наиболее предпочтительно от 50 мкм до 500 мкм.
9. Способ по п.7, в котором осаждение согласно этапу b) осуществляют путем использования технологии осаждения магнетронным распылением, такой как технология постоянного тока, радиочастотная технология, импульсная технология, технология импульсов высокой мощности, технология нанесения химически активного покрытия или электродуговая технология, такая как технология управляемой или неуправляемой дуги, или технология химического осаждения из паровой фазы (CVD), например радиочастотного осаждения, осаждения при постоянном токе, осаждения при низком давлении, осаждения при высоком давлении, осаждения в плазменной среде, или технология физического осаждения из паровой фазы (PVD), или технология плазменной струи, или сочетание упомянутых технологий; предпочтительно используют технологии PVD и CVD.
10. Способ по п.7, в котором осаждение согласно этапу b) осуществляют с использованием газообразных Ar, N, CH4 или С2Н2, или СО, или CO2, или их сочетания.
11. Способ по п.7, в котором осаждение согласно этапу b) осуществляют в реакторе, снабженном необязательно мишенью на магнетронном катоде в реакторе; содержащем катод и анод, разделенные магнитным полем, и путем
(a) обеспечения катодом магнетроноподобного магнитного поля в реакторе;
(b) помещения устройства в камеру;
(c) введения одного или нескольких углеродсодержащих технологических газов и химически активного газа в камеру;
(d) подачи электроэнергии к технологическому газу и химически активному газу с образованием плазмы для разложения технологического газа на радикалы и дальнейшего осаждения углеродного материала на устройство и ионизации химически активного газа с повышением скорости хемосорбции азота в углерод; и
(е) выпуска газов из камеры после разложения и хемосорбции.
12. Способ по п.7, в котором устройство вращают при скорости примерно 0,25 оборотов в минуту.
13. Способ по п.1, в котором технологические газы представляют собой ацетилен, и/или метан, и/или оксид углерода, и/или диоксид углерода, а химически активный газ представляет собой азот, причем предпочтительным является, чтобы соотношение между технологическим газом и химически активным газом составляло примерно 1/10-10/1, а наиболее предпочтительным является, чтобы соотношение между ацетиленом и/или метаном и азотом составляло примерно 50/50.
14. Способ по п.7, в котором давление в реакторе составляет 10-4-1000 торр, предпочтительно 10-3-10 торр.
15. Применение обрабатываемой детали или изделия, полученного способом для осаждения нитрида углерода на обрабатываемой детали или изделии в реакторе, содержащем магнетронный катод, причем является предпочтительным, чтобы упомянутый нитрид углерода при его нанесении состоял из нано- и/или субнаномерных кластеров/агрегатов, причем в способе
(a) обеспечивают катод, обладающий магнитным полем (предпочтительно, магнетроноподобным магнитным полем) в реакторе;
(b) помещают обрабатываемую деталь или изделие в реактор;
(c) осуществляют ввод одного или нескольких углеродсодержащих технологических газов и химически активного газа в реактор;
(d) подают электроэнергию к технологическому газу и химически активному газу с образованием плазмы для разложения технологического газа на радикалы и дальнейшего разложения углеродного материала на подложке обрабатываемой детали или изделия, и ионизации химически активного газа, для повышения скорости хемосорбции азота в углерод; и
(е) выпускают газы из камеры после их разложения и хемосорбции
в устройстве, предназначенном для удаления стружки предпочтительно в режущих пластинах, наиболее предпочтительно в инструментах, которые отвечают за токарную обработку, расточку, сверление, раззенковывание, резьбонарезание, размалывание, вычерчивание диаграмм, удаление заусенцев, проходку и/или протяжку.
RU2010117521/02A 2007-10-01 2008-09-29 Новое изделие и способ его изготовления при обработке материала RU2477672C2 (ru)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US97650207P 2007-10-01 2007-10-01
SE0702184A SE532721C2 (sv) 2007-10-01 2007-10-01 Produkt med vibrationsdämpande keramisk beläggning för spånavskiljning vid materialbearbetning samt metod för dess tillverkning
US60/976,502 2007-10-01
SE0702184-3 2007-10-01
PCT/SE2008/051090 WO2009045155A1 (en) 2007-10-01 2008-09-29 A new product and method for its manufacture within material processing

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2010117521A true RU2010117521A (ru) 2011-11-10
RU2477672C2 RU2477672C2 (ru) 2013-03-20

Family

ID=40526453

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2010117521/02A RU2477672C2 (ru) 2007-10-01 2008-09-29 Новое изделие и способ его изготовления при обработке материала

Country Status (15)

Country Link
US (1) US8895160B2 (ru)
EP (1) EP2205383B1 (ru)
JP (1) JP5362730B2 (ru)
KR (1) KR101557513B1 (ru)
CN (1) CN101883652B (ru)
BR (1) BRPI0817931B1 (ru)
CZ (1) CZ2010196A3 (ru)
ES (1) ES2715048T3 (ru)
PL (1) PL227782B1 (ru)
PT (1) PT2205383T (ru)
RU (1) RU2477672C2 (ru)
SE (1) SE532721C2 (ru)
TR (1) TR201903800T4 (ru)
TW (1) TWI460359B (ru)
WO (1) WO2009045155A1 (ru)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5289863B2 (ja) * 2008-08-28 2013-09-11 東京エレクトロン株式会社 アモルファスカーボンナイトライド膜の形成方法、多層レジスト膜、半導体装置の製造方法および制御プログラムが記憶された記憶媒体
NO335949B1 (no) * 2010-05-10 2015-03-30 Teeness Asa Stangformet verktøyholder for innfesting av skjær i knutepunkt
JP5805019B2 (ja) * 2012-06-29 2015-11-04 独立行政法人国立高等専門学校機構 切削工具把持具
US10040127B2 (en) * 2014-03-14 2018-08-07 Kennametal Inc. Boring bar with improved stiffness
SE540533C2 (en) * 2016-02-12 2018-09-25 Plasmatrix Mat Ab Cutting tool assembly with controlled resilience using hyperelastic materials
DE102018219609A1 (de) * 2017-11-17 2019-05-23 Minebea Mitsumi Inc. Spannzange zum Einspannen eines Dentalwerkzeugs und Verfahren zur Herstellung einer solchen Spannzange
CN108165952B (zh) * 2017-12-07 2019-11-08 三峡大学 一种透光性硬质氮化碳薄膜的制备方法
CN114293188A (zh) * 2021-12-30 2022-04-08 中国重汽集团济南动力有限公司 一种多元涂层减振结构刀垫及其制备方法

Family Cites Families (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0741451B2 (ja) * 1985-07-31 1995-05-10 京セラ株式会社 エンドミル保持具
US5193945A (en) * 1991-02-25 1993-03-16 Mitsubishi Materials Corporation Cutting tool
US5776615A (en) * 1992-11-09 1998-07-07 Northwestern University Superhard composite materials including compounds of carbon and nitrogen deposited on metal and metal nitride, carbide and carbonitride
DE4242459A1 (de) 1992-12-16 1994-06-23 Merck Patent Gmbh Imidazopyridine
RU94025120A (ru) * 1994-07-05 1996-05-10 Научно-производственное государственное предприятие "Синтез" при Донском государственном техническом университете Шпиндельная бабка
US5573344A (en) 1994-10-17 1996-11-12 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy High damping composite joint for mechanical vibration and acoustic energy dissipation
US5593234A (en) * 1995-05-16 1997-01-14 Ntn Corporation Bearing assembly with polycrystalline superlattice coating
JP3119172B2 (ja) * 1995-09-13 2000-12-18 日新電機株式会社 プラズマｃｖｄ法及び装置
CN1059716C (zh) * 1995-12-13 2000-12-20 武汉大学 射频化学气相沉积法合成β－C3N4超硬薄膜材料
CA2242676A1 (en) * 1996-01-16 1997-07-24 Corning Incorporated Athermal optical device
WO2000052225A1 (en) * 1999-03-02 2000-09-08 Kennametal Inc. A tool having a multilayer coating comprising multiple mtcvd layers
JP3957955B2 (ja) * 1999-08-04 2007-08-15 株式会社Ｉｎａｘ セラミックス製品の製造方法及びセラミックス製品
RU2161661C1 (ru) * 1999-08-16 2001-01-10 Падеров Анатолий Николаевич Способ нанесения износостойких покрытий и повышения долговечности деталей
DE19948891A1 (de) * 1999-10-11 2001-04-19 Boehringer Werkzeugmaschinen Gedämpftes Werkzeug
DE10002861A1 (de) * 2000-01-24 2001-08-09 Walter Ag Zerspannungswerkzeug mit Carbonitrid-Beschichtung
RU14828U1 (ru) * 2000-04-28 2000-09-10 Государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский и проектный институт медицинских инструментов" Наконечник стоматологический турбинный фрикционный (варианты)
CN100500613C (zh) * 2000-12-19 2009-06-17 本田技研工业株式会社 机加工工具及其制造方法
JP2002233911A (ja) * 2001-02-07 2002-08-20 Hitachi Tool Engineering Ltd 防振アーバ
ATE541098T1 (de) * 2001-05-09 2012-01-15 Damptech As Reibungsdämpfer zur bewegungsdämpfung von strukturen
JP2003117751A (ja) 2001-10-16 2003-04-23 Seiwa Seiki Kk ツールホルダおよびそのツールホルダを用いる加工方法
JP2004202649A (ja) * 2002-12-26 2004-07-22 Sumitomo Electric Ind Ltd 切削工具
JP2005001088A (ja) * 2003-06-13 2005-01-06 Osg Corp 硬質被膜被覆部材、およびその製造方法
US7125211B2 (en) 2003-10-17 2006-10-24 Racer Machinery International Inc. Apparatus and method for damping vibration in a machine tool
SE528470C2 (sv) * 2004-02-03 2006-11-21 Mircona Ab Vibrationsdämpad verktygshållare med viskoelastiskt dämpningsmaterial
SE528247C2 (sv) * 2004-05-07 2006-10-03 Mircona Ab Vibrationsdämpad verktygshållare
CN1648286A (zh) * 2004-05-17 2005-08-03 成都凯贝克纳米镀膜技术有限公司 TiN－TiAIN系列硬质纳米结构多层膜镀层
US7144208B2 (en) * 2004-06-07 2006-12-05 Kennametal Inc. Low torque tap
CN1316062C (zh) * 2004-10-28 2007-05-16 河北工业大学 反应等离子喷涂纳米晶氮化钛涂层的方法
JP2006152424A (ja) * 2004-12-01 2006-06-15 Osg Corp 硬質被膜および硬質被膜被覆加工工具
TWI269849B (en) * 2005-02-22 2007-01-01 Jang Yung Ching Anti-noise, self-cleaning, and strength-reinforced water-discharging pipe made of nano-material
TWM277500U (en) * 2005-05-17 2005-10-11 Hamson Global Co Ltd Vibration damping for a cue stick
TWM314601U (en) 2007-01-16 2007-07-01 Jr-Cheng Jiang Pneumatic massage bra
WO2008105736A2 (en) * 2007-03-01 2008-09-04 Plasmatrix Materials Ab Method, material and apparatus for enhancing dynamic stiffness

Also Published As

Publication number Publication date
EP2205383B1 (en) 2018-12-26
CZ2010196A3 (cs) 2011-02-16
SE532721C2 (sv) 2010-03-23
PL227782B1 (pl) 2018-01-31
TWI460359B (zh) 2014-11-11
BRPI0817931A2 (pt) 2015-04-07
US8895160B2 (en) 2014-11-25
KR101557513B1 (ko) 2015-10-06
EP2205383A1 (en) 2010-07-14
JP2010540262A (ja) 2010-12-24
ES2715048T3 (es) 2019-05-31
RU2477672C2 (ru) 2013-03-20
EP2205383A4 (en) 2015-05-06
JP5362730B2 (ja) 2013-12-11
TR201903800T4 (tr) 2019-04-22
CN101883652A (zh) 2010-11-10
WO2009045155A1 (en) 2009-04-09
US20120121349A1 (en) 2012-05-17
PT2205383T (pt) 2019-03-20
PL391672A1 (pl) 2010-12-06
SE0702184L (sv) 2009-04-02
CN101883652B (zh) 2013-08-21
BRPI0817931B1 (pt) 2019-11-19
BRPI0817931A8 (pt) 2019-01-29
KR20100106303A (ko) 2010-10-01
TW200918780A (en) 2009-05-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2010117521A (ru) Новое изделие и способ его изготовления при обработке материала
BR112013031584B1 (pt) processo para remoção reativa de camadas de carbono de um substrato, e seu uso
BRPI0609661A2 (pt) revestimento com material duro de múltiplas camadas para ferramentas
JP2011045994A (ja) 切削工具
JP2006152424A (ja) 硬質被膜および硬質被膜被覆加工工具
MX2010011294A (es) Procedimiento de revestimiento, pieza de trabajo o herramienta y su utilizacion.
JP2017524543A (ja) ダイヤモンドコーティングされた切削工具およびその製造方法
Uhlmann et al. Influence of grain size on the wear behavior of CVD diamond coatings in micro-EDM
JP2001062605A (ja) 非晶質カーボン被覆工具
JP4652446B2 (ja) 硬質被膜の脱膜方法
US6274837B1 (en) Method and apparatus for in-situ solid state doping of CVD diamonds and diamonds so made
EP0931177B1 (en) Post treated diamond coated body
JP4284941B2 (ja) 硬質炭素膜被覆部材及び成膜方法
JP2007136611A (ja) 非晶質カーボン被覆切削工具及びその製造方法
WO2014103318A1 (ja) プラズマｃｖｄ法による保護膜の形成方法
JP5241538B2 (ja) 切削工具
JP2003175406A (ja) 硬質被膜被覆加工工具
TW200916600A (en) Hot filament diamond film deposition apparatus and method thereof
JP2003145309A (ja) ダイヤモンド被覆加工工具
Lin et al. Effects of surface modification on improvement of diamond coating on tungsten carbide cutting tool
JP2007160506A (ja) 非晶質カーボン被覆工具
JP5408091B2 (ja) ボロン含有ダイヤモンド膜被覆工具の成膜方法
Park et al. Grain size refinement of the diamond film deposited on the WC–Co cutting inserts using direct current biasing
KR100466406B1 (ko) 미세, 정밀, 건식 가공이 가능한 다이아몬드 막이 증착된절삭공구 및 이의 제조방법
Chen et al. CVD diamond coating technologies and application in cutting abrasive materials