RU2008110905A - TOOL WITH POLISHING SURFACE FROM SINTERED MATTER AND METHOD FOR ITS MANUFACTURE - Google Patents

TOOL WITH POLISHING SURFACE FROM SINTERED MATTER AND METHOD FOR ITS MANUFACTURE Download PDF

Info

Publication number
RU2008110905A
RU2008110905A RU2008110905/02A RU2008110905A RU2008110905A RU 2008110905 A RU2008110905 A RU 2008110905A RU 2008110905/02 A RU2008110905/02 A RU 2008110905/02A RU 2008110905 A RU2008110905 A RU 2008110905A RU 2008110905 A RU2008110905 A RU 2008110905A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
abrasive
tool according
abrasive tool
elements
grooves
Prior art date
Application number
RU2008110905/02A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2430827C2 (en
Inventor
Хироси ИСИЗУКА (JP)
Хироси ИСИЗУКА
Original Assignee
Хироси ИСИЗУКА (JP)
Хироси ИСИЗУКА
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Хироси ИСИЗУКА (JP), Хироси ИСИЗУКА filed Critical Хироси ИСИЗУКА (JP)
Publication of RU2008110905A publication Critical patent/RU2008110905A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2430827C2 publication Critical patent/RU2430827C2/en

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B53/00—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
    • B24B53/017—Devices or means for dressing, cleaning or otherwise conditioning lapping tools
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B53/00—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
    • B24B53/12—Dressing tools; Holders therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D3/00—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D7/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/21—Circular sheet or circular blank
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24479—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including variation in thickness
    • Y10T428/2457—Parallel ribs and/or grooves
    • Y10T428/24579—Parallel ribs and/or grooves with particulate matter
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24479—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including variation in thickness
    • Y10T428/24612—Composite web or sheet

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)

Abstract

1. Абразивный инструмент, содержащий абразивную часть, которая содержит слой спеченных суперабразивных частиц, причем указанная абразивная часть содержит множество абразивных элементов, которые имеют верхние концы, расположенные на одинаковом уровне. ! 2. Абразивный инструмент по п.1, отличающийся тем, что указанная абразивная часть состоит из слоя спеченных суперабразивных частиц, которые соединены в единое целое и соединены с подкладочным материалом из цементированного карбида, и указанные абразивные элементы расположены в указанной абразивной части вдоль групп у прямолинейных бороздок. ! 3. Абразивный инструмент по п.1 или 2, отличающийся тем, что указанные верхние концы имеют заостренные края. ! 4. Абразивный инструмент по п.1 или 2, отличающийся тем, что указанные абразивные элементы имеют форму усеченной или неусеченной прямоугольной пирамиды. ! 5. Абразивный инструмент по п.4, отличающийся тем, что указанные абразивные элементы имеют форму усеченной прямоугольной пирамиды, которая имеет заостренный край на своем верхнем конце. ! 6. Абразивный инструмент по п.1 или 2, отличающийся тем, что указанные абразивные элементы имеют форму усеченной или неусеченной треугольной пирамиды. ! 7. Абразивный инструмент по п.6, отличающийся тем, что указанные абразивные элементы имеют форму усеченной треугольной пирамиды, которая имеет заостренный край на своем верхнем конце. ! 8. Абразивный инструмент по п.1 или 2, отличающийся тем, что указанные абразивные элементы содержат прямолинейное ребро на своей вершине. ! 9. Абразивный инструмент по п.1, отличающийся тем, что указанные абразивные элементы имеют форму неусеченной прямоуго1. An abrasive tool containing an abrasive part that contains a layer of sintered superabrasive particles, and the specified abrasive part contains a plurality of abrasive elements that have upper ends located at the same level. ! 2. The abrasive tool according to claim 1, characterized in that said abrasive part consists of a layer of sintered superabrasive particles, which are connected in one piece and connected to a backing material made of cemented carbide, and said abrasive elements are located in said abrasive part along groups at straight grooves. ! 3. An abrasive tool according to claim 1 or 2, characterized in that said upper ends have sharpened edges. ! 4. The abrasive tool according to claim 1 or 2, characterized in that said abrasive elements have the shape of a truncated or non-truncated rectangular pyramid. ! 5. The abrasive tool of claim 4, wherein said abrasive elements are in the form of a truncated rectangular pyramid that has a pointed edge at its upper end. ! 6. The abrasive tool according to claim 1 or 2, characterized in that said abrasive elements have the shape of a truncated or non-truncated triangular pyramid. ! 7. The abrasive tool of claim 6, wherein said abrasive elements are in the form of a truncated triangular pyramid that has a pointed edge at its upper end. ! 8. An abrasive tool according to claim 1 or 2, characterized in that said abrasive elements comprise a straight edge at their apex. ! 9. The abrasive tool according to claim 1, characterized in that said abrasive elements have a non-truncated rectangular shape

Claims (26)

1. Абразивный инструмент, содержащий абразивную часть, которая содержит слой спеченных суперабразивных частиц, причем указанная абразивная часть содержит множество абразивных элементов, которые имеют верхние концы, расположенные на одинаковом уровне.1. An abrasive tool comprising an abrasive portion that contains a layer of sintered superabrasive particles, said abrasive portion comprising a plurality of abrasive elements that have upper ends located at the same level. 2. Абразивный инструмент по п.1, отличающийся тем, что указанная абразивная часть состоит из слоя спеченных суперабразивных частиц, которые соединены в единое целое и соединены с подкладочным материалом из цементированного карбида, и указанные абразивные элементы расположены в указанной абразивной части вдоль групп у прямолинейных бороздок.2. The abrasive tool according to claim 1, characterized in that said abrasive part consists of a layer of sintered superabrasive particles that are connected together and connected to a cemented carbide lining material, and said abrasive elements are located in said abrasive part along straight-line groups grooves. 3. Абразивный инструмент по п.1 или 2, отличающийся тем, что указанные верхние концы имеют заостренные края.3. The abrasive tool according to claim 1 or 2, characterized in that the said upper ends have pointed edges. 4. Абразивный инструмент по п.1 или 2, отличающийся тем, что указанные абразивные элементы имеют форму усеченной или неусеченной прямоугольной пирамиды.4. The abrasive tool according to claim 1 or 2, characterized in that said abrasive elements are in the form of a truncated or un-truncated rectangular pyramid. 5. Абразивный инструмент по п.4, отличающийся тем, что указанные абразивные элементы имеют форму усеченной прямоугольной пирамиды, которая имеет заостренный край на своем верхнем конце.5. The abrasive tool according to claim 4, characterized in that said abrasive elements have the shape of a truncated rectangular pyramid, which has a pointed edge at its upper end. 6. Абразивный инструмент по п.1 или 2, отличающийся тем, что указанные абразивные элементы имеют форму усеченной или неусеченной треугольной пирамиды.6. The abrasive tool according to claim 1 or 2, characterized in that said abrasive elements are in the form of a truncated or un-truncated triangular pyramid. 7. Абразивный инструмент по п.6, отличающийся тем, что указанные абразивные элементы имеют форму усеченной треугольной пирамиды, которая имеет заостренный край на своем верхнем конце.7. The abrasive tool according to claim 6, characterized in that said abrasive elements have the shape of a truncated triangular pyramid, which has a pointed edge at its upper end. 8. Абразивный инструмент по п.1 или 2, отличающийся тем, что указанные абразивные элементы содержат прямолинейное ребро на своей вершине.8. The abrasive tool according to claim 1 or 2, characterized in that the said abrasive elements contain a straight edge at its apex. 9. Абразивный инструмент по п.1, отличающийся тем, что указанные абразивные элементы имеют форму неусеченной прямоугольной или треугольной пирамиды и расположены с шагом 200 мкм или более, но не свыше 1500 мкм.9. The abrasive tool according to claim 1, characterized in that said abrasive elements are in the form of an unbroken rectangular or triangular pyramid and are arranged in increments of 200 μm or more, but not exceeding 1500 μm. 10. Абразивный инструмент по п.9, отличающийся тем, что указанные абразивные элементы имеют форму неусеченной прямоугольной или треугольной пирамиды и имеют высоту 30 мкм или более, но не свыше 200 мкм.10. The abrasive tool according to claim 9, characterized in that said abrasive elements have the shape of an unbroken rectangular or triangular pyramid and have a height of 30 μm or more, but not more than 200 μm. 11. Абразивный инструмент по п.1, отличающийся тем, что суперабразивом является алмаз.11. The abrasive tool according to claim 1, characterized in that the superabrasive is a diamond. 12. Абразивный инструмент по п.11, отличающийся тем, что указанный суперабразив, являющийся алмазом, имеет номинальный размер частиц от 40 до 60 мкм или менее.12. The abrasive tool according to claim 11, characterized in that said superabrasive, which is a diamond, has a nominal particle size of from 40 to 60 microns or less. 13. Абразивный инструмент по п.1, отличающийся тем, что указанный спеченный суперабразив имеет толщину слоя 0,1 мм или более.13. The abrasive tool according to claim 1, characterized in that said sintered superabrasive has a layer thickness of 0.1 mm or more. 14. Абразивный инструмент по п.1, отличающийся тем, что указанный инструмент имеет круглую или кольцеобразную форму.14. The abrasive tool according to claim 1, characterized in that said tool has a round or annular shape. 15. Абразивный инструмент по п.14, отличающийся тем, что указанная абразивная часть имеет круглую или кольцеобразную форму.15. The abrasive tool according to 14, characterized in that the said abrasive part has a round or annular shape. 16. Абразивный инструмент по п.15, отличающийся тем, что указанная абразивная часть имеет внешний диаметр 90 мм или более.16. An abrasive tool according to claim 15, characterized in that said abrasive part has an outer diameter of 90 mm or more. 17. Абразивный инструмент по п.1, отличающийся тем, что указанная абразивная часть имеет высоту относительно дна бороздок 1 мм или менее.17. The abrasive tool according to claim 1, characterized in that said abrasive part has a height relative to the bottom of the grooves of 1 mm or less. 18. Абразивный инструмент по любому из пп.14-17, отличающийся тем, что указанная абразивная часть состоит из 2 или 4 равных отдельных сегментов, которые имеют форму сектора с одинаковым центральным углом.18. An abrasive tool according to any one of paragraphs.14-17, characterized in that said abrasive part consists of 2 or 4 equal separate segments, which have the shape of a sector with the same central angle. 19. Абразивный инструмент по п.18, отличающийся тем, что каждый указанный сегмент содержит две группы бороздок, первая группа параллельна радиальной границе сегмента, а вторая группа распложена так, что перпендикулярно пересекает первую группу.19. An abrasive tool according to claim 18, characterized in that each said segment contains two groups of grooves, the first group is parallel to the radial boundary of the segment, and the second group is arranged so that it intersects the first group perpendicularly. 20. Абразивный инструмент по любому из пп.14-17, отличающийся тем, что указанная абразивная часть состоит из 3-6 равно разделенных сегментов, которые имеют форму сектора с одинаковым центральным углом.20. An abrasive tool according to any one of paragraphs.14-17, characterized in that said abrasive part consists of 3-6 equally divided segments, which have the shape of a sector with the same central angle. 21. Абразивный инструмент по п.20, отличающийся тем, что каждый сегмент содержит три группы бороздок, первая группа расположена параллельно радиальной границе сегмента, а вторая и третья группы расположены так, что пересекают первую группу соответственно под углом 60 и 120°.21. The abrasive tool according to claim 20, characterized in that each segment contains three groups of grooves, the first group is located parallel to the radial boundary of the segment, and the second and third groups are located so that they intersect the first group at an angle of 60 and 120 °. 22. Абразивный инструмент по п.2, отличающийся тем, что указанные бороздки образованы вырезной электроэрозионной обработкой (W-EDM).22. The abrasive tool according to claim 2, characterized in that said grooves are formed by a notched EDM (W-EDM). 23. Абразивный инструмент по п.1, отличающийся тем, что указанный абразивный инструмент является средством обработки ХМП-полировальника.23. The abrasive tool according to claim 1, characterized in that the specified abrasive tool is a means of processing a CMP polisher. 24. Способ изготовления абразивного инструмента, имеющего абразивную часть, которая содержит слой спеченных суперабразивных частиц, причем указанная абразивная часть содержит множество абразивных элементов, которые имеют верхние концы, расположенные на одинаковом уровне, предусматривающий:24. A method of manufacturing an abrasive tool having an abrasive part, which contains a layer of sintered superabrasive particles, and the specified abrasive part contains many abrasive elements that have upper ends located at the same level, comprising: 1) обеспечение композитного материала, который содержит спеченные суперабразивные частицы, которые как единое целое соединены с подкладочным материалом из цементированного карбида,1) providing a composite material that contains sintered superabrasive particles, which as a whole are connected to the lining material of cemented carbide, 2) выравнивание поверхности указанного композитного материала, и2) leveling the surface of the specified composite material, and 3) разрезание указанной поверхности композитного материала для формирования групп прямолинейных бороздок и матрицы абразивных элементов вдоль указанных бороздок.3) cutting the specified surface of the composite material to form groups of straight grooves and a matrix of abrasive elements along these grooves. 25. Способ изготовления абразивного инструмента, имеющего абразивную часть, которая содержит слой спеченных суперабразивных частиц, предусматривающий:25. A method of manufacturing an abrasive tool having an abrasive portion, which contains a layer of sintered superabrasive particles, comprising: 1) обеспечение спеченного композитного материала, содержащего слой спеченных суперабразивных частиц, которые соединены как единое целое с подкладочным материалом из цементированного карбида,1) providing a sintered composite material containing a layer of sintered superabrasive particles that are connected as a unit with the cemented carbide lining material, 2) разрезание указанного композитного материала для получения сегмента в форме сектора,2) cutting the specified composite material to obtain a segment in the form of a sector, 3) сбор множества сегментов, имеющих одинаковую геометрическую форму и одинаковый центральный угол с сегментом, полученным в 2),3) collecting a plurality of segments having the same geometric shape and the same central angle with the segment obtained in 2), 4) расположение указанных сегментов вблизи друг друга так, чтобы в целом получить поверхность из композитного материала круглой или кольцеобразной формы, прикрепив указанные сегменты к базовой пластине на ее плоской поверхности, и4) the location of these segments close to each other so as a whole to obtain a surface from a composite material of a circular or annular shape, attaching these segments to the base plate on its flat surface, and 5) разрезание указанных сегментах для получения матрицы абразивных элементов на указанном композитном материале, при этом формируются группы бороздок, параллельные радиальной границе каждого сегмента, полученной в 4).5) cutting the indicated segments to obtain a matrix of abrasive elements on the specified composite material, while groups of grooves are formed, parallel to the radial border of each segment obtained in 4). 26. Способ восстановления абразивного инструмента по любому из пп.1-23, причем указанную абразивную часть, износившуюся в такой степени, что уменьшилась высота абразивного элемента, разрезают вдоль указанных бороздок посредством вырезной электроэрозионной обработки для восстановления бороздок и верхних концов абразивных элементов. 26. The method of restoring an abrasive tool according to any one of claims 1 to 23, wherein said abrasive part, worn to such an extent that the height of the abrasive element has decreased, is cut along said grooves by means of a cutting EDM to restore the grooves and upper ends of the abrasive elements.
RU2008110905/02A 2005-08-25 2006-08-25 Tool with polishing surface from sintered substance and method of its fabrication RU2430827C2 (en)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005243529 2005-08-25
JP2005-243529 2005-08-25
JP2006-209236 2006-07-31
JP2006209236 2006-07-31

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2008110905A true RU2008110905A (en) 2009-09-27
RU2430827C2 RU2430827C2 (en) 2011-10-10

Family

ID=37771687

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008110905/02A RU2430827C2 (en) 2005-08-25 2006-08-25 Tool with polishing surface from sintered substance and method of its fabrication

Country Status (12)

Country Link
US (1) US20090215366A1 (en)
EP (1) EP1944125B1 (en)
JP (1) JP5033630B2 (en)
KR (1) KR101293461B1 (en)
CN (2) CN101693353A (en)
AU (1) AU2006282293B2 (en)
BR (1) BRPI0615020A2 (en)
CA (1) CA2620407A1 (en)
IL (1) IL189314A (en)
RU (1) RU2430827C2 (en)
TW (1) TWI406736B (en)
WO (1) WO2007023949A1 (en)

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009113133A (en) * 2007-11-05 2009-05-28 Hiroshi Ishizuka Cmp-pad conditioner
CA2797096C (en) * 2010-04-27 2018-07-10 3M Innovative Properties Company Ceramic shaped abrasive particles, methods of making the same, and abrasive articles containing the same
US20120171935A1 (en) * 2010-12-20 2012-07-05 Diamond Innovations, Inc. CMP PAD Conditioning Tool
JP5809880B2 (en) * 2011-08-25 2015-11-11 新日鉄住金マテリアルズ株式会社 Polishing cloth dresser
KR20170018102A (en) * 2011-12-30 2017-02-15 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 Shaped abrasive particle and method of forming same
EP2879838B1 (en) * 2012-08-02 2023-09-13 3M Innovative Properties Company Abrasive articles with precisely shaped features and method of making thereof
CN102862121B (en) * 2012-09-17 2015-05-20 上海华力微电子有限公司 Chemical mechanical polishing (CMP) grinding pad finishing structure
ES2756849T3 (en) * 2013-08-07 2020-04-27 Reishauer Ag Grinding tool and manufacturing procedure
WO2015029987A1 (en) * 2013-08-26 2015-03-05 株式会社東京精密 Dicing blade
KR20160071416A (en) * 2013-10-18 2016-06-21 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 Coated abrasive article and method of making the same
KR102304574B1 (en) * 2014-03-21 2021-09-27 엔테그리스, 아이엔씨. Chemical mechanical planarization pad conditioner with elongated cutting edges
TWI609742B (en) * 2015-04-20 2018-01-01 中國砂輪企業股份有限公司 Grinding tool
CN108698202B (en) * 2016-02-22 2021-06-04 联合材料公司 Abrasive tool
CN106078516B (en) * 2016-06-21 2018-09-04 大连理工大学 A kind of CMP pad trimmer
EP3621771A1 (en) 2017-05-12 2020-03-18 3M Innovative Properties Company Tetrahedral abrasive particles in abrasive articles
EP3713711A4 (en) * 2017-11-21 2021-08-18 3M Innovative Properties Company Coated abrasive disc and methods of making and using the same
CN111372728B (en) 2017-11-21 2022-08-09 3M创新有限公司 Coated abrasive disk and methods of making and using same
JP6899490B2 (en) 2017-11-21 2021-07-07 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー Coated polishing disc and its manufacturing method and usage method
KR102026250B1 (en) * 2018-02-05 2019-09-27 에스케이실트론 주식회사 Wafer polishing pad and Manufacturing Method of it
MX2020011232A (en) * 2018-04-27 2020-11-11 Sumitomo Electric Industries Polycrystalline abrasive grains, and grinding wheel provided with same.
TWI735795B (en) * 2018-08-24 2021-08-11 宋健民 Polishing pad dresser and chemical mechanical planarization method
KR102440315B1 (en) * 2020-05-11 2022-09-06 한국생산기술연구원 Pad for chemical mechanical polishing having pattern structure and manufacturing method therefor
DK180350B1 (en) * 2019-09-18 2021-01-22 Flex Trim As GRINDING ELEMENT FOR USE IN ROTARY GRINDING OR GRINDING TOOLS
CN112677062B (en) * 2019-10-18 2022-12-09 江苏韦尔博新材料科技有限公司 Special abrasive grain landform for polishing steel grinding disc, diamond grinding disc and preparation method thereof

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5739106A (en) * 1980-08-14 1982-03-04 Hiroshi Ishizuka Production of diamond ultrahard alloy composite
JPS58199776A (en) * 1982-05-12 1983-11-21 住友電気工業株式会社 Diamond sintered body for tool and manufacture
JPS6184303A (en) * 1984-09-28 1986-04-28 Ishizuka Kenkyusho:Kk Manufacture of composite sintered body
JP2601284B2 (en) * 1987-09-01 1997-04-16 株式会社石塚研究所 Sintered diamond composite and manufacturing method thereof
US4925457B1 (en) * 1989-01-30 1995-09-26 Ultimate Abrasive Syst Inc Method for making an abrasive tool
US5049165B1 (en) * 1989-01-30 1995-09-26 Ultimate Abrasive Syst Inc Composite material
US4954139A (en) * 1989-03-31 1990-09-04 The General Electric Company Method for producing polycrystalline compact tool blanks with flat carbide support/diamond or CBN interfaces
JPH08243927A (en) * 1995-03-02 1996-09-24 Fuji Xerox Co Ltd Grinding tool and its manufacture and grinding device
US5560754A (en) * 1995-06-13 1996-10-01 General Electric Company Reduction of stresses in the polycrystalline abrasive layer of a composite compact with in situ bonded carbide/carbide support
JPH09254042A (en) * 1996-03-15 1997-09-30 Symtec:Kk Grinding wheel for cutting groove and manufacture thereof
JP2957519B2 (en) * 1996-05-23 1999-10-04 旭ダイヤモンド工業株式会社 Dresser for semiconductor wafer polishing pad and method of manufacturing the same
JPH10138120A (en) * 1996-10-31 1998-05-26 Kyocera Corp Jig for dressing
US6054183A (en) * 1997-07-10 2000-04-25 Zimmer; Jerry W. Method for making CVD diamond coated substrate for polishing pad conditioning head
US6027659A (en) * 1997-12-03 2000-02-22 Intel Corporation Polishing pad conditioning surface having integral conditioning points
JPH11267902A (en) * 1998-03-23 1999-10-05 Hiroshi Hashimoto Tool having ultra-fine cutting blade and processing tool having ultra-fine cutting blade
JP2000190200A (en) * 1998-12-25 2000-07-11 Mitsubishi Materials Silicon Corp Seasoning jig for polishing cloth
JP4332980B2 (en) * 1999-03-18 2009-09-16 株式会社デンソー Manufacturing method of mold for forming honeycomb structure
JP2001088028A (en) * 1999-09-17 2001-04-03 Koremura Toishi Seisakusho:Kk Rotary dressor
TW467802B (en) * 1999-10-12 2001-12-11 Hunatech Co Ltd Conditioner for polishing pad and method for manufacturing the same
KR100387954B1 (en) * 1999-10-12 2003-06-19 (주) 휴네텍 Conditioner for polishing pad and method of manufacturing the same
TW436375B (en) * 1999-11-16 2001-05-28 Asia Ic Mic Process Inc Formation method for dresser of chemical mechanical polishing pad
JP2001347454A (en) * 2000-06-09 2001-12-18 Koremura Toishi Seisakusho:Kk Dresser and method of manufacturing the same
US20070060026A1 (en) * 2005-09-09 2007-03-15 Chien-Min Sung Methods of bonding superabrasive particles in an organic matrix
US20060258276A1 (en) * 2005-05-16 2006-11-16 Chien-Min Sung Superhard cutters and associated methods

Also Published As

Publication number Publication date
EP1944125A1 (en) 2008-07-16
CN101247923A (en) 2008-08-20
WO2007023949A1 (en) 2007-03-01
RU2430827C2 (en) 2011-10-10
CN101247923B (en) 2010-12-08
EP1944125A4 (en) 2009-12-16
KR101293461B1 (en) 2013-08-07
CN101693353A (en) 2010-04-14
AU2006282293A1 (en) 2007-03-01
EP1944125B1 (en) 2012-01-25
KR20080037693A (en) 2008-04-30
JPWO2007023949A1 (en) 2009-03-05
JP5033630B2 (en) 2012-09-26
US20090215366A1 (en) 2009-08-27
BRPI0615020A2 (en) 2009-08-04
AU2006282293B2 (en) 2011-06-23
TWI406736B (en) 2013-09-01
TW200714416A (en) 2007-04-16
CA2620407A1 (en) 2007-03-01
IL189314A0 (en) 2008-06-05
IL189314A (en) 2013-01-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2008110905A (en) TOOL WITH POLISHING SURFACE FROM SINTERED MATTER AND METHOD FOR ITS MANUFACTURE
JP3829092B2 (en) Conditioner for polishing pad and method for producing the same
US20080292869A1 (en) Methods of bonding superabrasive particles in an organic matrix
CN102574276B (en) There is abrasive product of real core and preparation method thereof
JPH09512756A (en) Abrasive material products
JPH08502930A (en) Polishing tool components
CN205817619U (en) A kind of diamond disk
CN101879702B (en) Combined trimmer and manufacturing method thereof
TWI623382B (en) Hybrid chemical mechanical polishing dresser
KR20140123906A (en) Grinding stone for high hardness brittle material
US11697186B2 (en) Abrasive article
CN213106374U (en) Novel coated abrasive tool
JP2011020182A (en) Polishing tool suitable for pad conditioning, and polishing method using the same
JP2012213833A (en) Sintered body for pad conditioning and its manufacturing method
JP4281253B2 (en) Electrodeposition whetstone, manufacturing apparatus and manufacturing method thereof
CN201592394U (en) Flap disc with flexible strips
CN218927436U (en) Trimmer
CN1807023A (en) Grinding wheel
CN209175017U (en) A kind of saw blade with polishing function
JP2003048163A (en) Electrodeposition grinding wheel
TWI469207B (en) Chemical mechanical grinding dresser
JPH07251321A (en) Saw blade containing super-abrasive grain
JP5307686B2 (en) Rotating whetstone
TW201908064A (en) Device for grinding, polishing and/or cutting device an article
JP3035486B2 (en) Diamond dresser

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20170826