RU2005129845A - Система и способ для защиты массива микроэлектромеханических систем, использующих структурно усиленную заднюю пластину - Google Patents
Система и способ для защиты массива микроэлектромеханических систем, использующих структурно усиленную заднюю пластину Download PDFInfo
- Publication number
- RU2005129845A RU2005129845A RU2005129845/28A RU2005129845A RU2005129845A RU 2005129845 A RU2005129845 A RU 2005129845A RU 2005129845/28 A RU2005129845/28 A RU 2005129845/28A RU 2005129845 A RU2005129845 A RU 2005129845A RU 2005129845 A RU2005129845 A RU 2005129845A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- electronic device
- back plate
- array
- substrate
- reinforcing structures
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
- B81B3/0064—Constitution or structural means for improving or controlling the physical properties of a device
- B81B3/0067—Mechanical properties
- B81B3/007—For controlling stiffness, e.g. ribs
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B7/00—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
- B81B7/0032—Packages or encapsulation
- B81B7/0058—Packages or encapsulation for protecting against damages due to external chemical or mechanical influences, e.g. shocks or vibrations
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C2203/00—Forming microstructural systems
- B81C2203/01—Packaging MEMS
- B81C2203/0163—Reinforcing a cap, e.g. with ribs
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
Claims (48)
1. Электронное устройство, содержащее подложку; массив микроэлектромеханических устройств, сформированных на подложке, причем массив имеет заднюю поверхность, обращенную от подложки; заднюю пластину, помещенную над массивом и имеющую внутреннюю поверхность и внешнюю поверхность, причем внутренняя поверхность обращена на заднюю поверхность массива с зазором между ними, причем внешняя поверхность обращена от подложки; и одну или более усиливающих структур, объединенных с задней пластиной.
2. Электронное устройство по п.1, в котором усиливающие структуры увеличивают жесткость задней пластины.
3. Электронное устройство по п.1, в котором расстояние между внутренней поверхностью и подложкой изменяется над внутренней поверхностью.
4. Электронное устройство по п.3, в котором внутренняя поверхность содержит центральную область и периферийную область, и причем расстояние, в общем, в центральной области больше, чем в периферийной области.
5. Электронное устройство по п.1, в котором задняя пластина имеет изменяющуюся толщину.
6. Электронное устройство по п.1, в котором задняя пластина изогнута от массива.
7. Электронное устройство по п.1, в котором одна или более усиливающих структур формируются на, по меньшей мере, одной из: внутренней поверхности и внешней поверхности задней пластины.
8. Электронное устройство по п.1, в котором внутренняя поверхность содержит центральную область и периферийную область, и причем одна или более усиливающих структур формируются в центральной области более плотно, чем в периферийной области.
9. Электронное устройство по п.1, в котором одна или более усиливающих структур содержат, по меньшей мере, одну связывающую структуру, связывающую две или более усиливающие структуры.
10. Электронное устройство по п.9, в котором, по меньшей мере, одна связывающая структура дополнительно добавляет жесткость задней пластине.
11. Электронное устройство по п.1, дополнительно содержащее одну или более распорок, обеспеченных в упомянутом зазоре, причем упомянутые одна или более частей предохраняют заднюю пластину от прямого контакта с задней поверхностью массива.
12. Электронное устройство по п.11, в котором одна или более распорок формируются на внутренней поверхности или на задней поверхности массива.
13. Электронное устройство по п.1, дополнительно содержит уплотнение, размещенное между подложкой и задней пластиной вдоль краев внутренней поверхности.
14. Электронное устройство по п.1, в котором задняя пластина содержит выступ, простирающийся по направлению к подложке вдоль края задней пластины.
15. Электронное устройство по п.1, в котором задняя пластина содержит периферийную зону вдоль ее краев, и причем периферийная зона задней пластины формируется непосредственно на подложке.
16. Электронное устройство по п.1, в котором массив содержит дисплейный массив.
17. Электронное устройство по п.1, дополнительно содержащее процессор, который находится в электрическом взаимодействии с упомянутым массивом микроэлектромеханических устройств, причем упомянутый процессор конфигурируется для обработки данных изображений; и запоминающее устройство в электрическом взаимодействии с упомянутым процессором.
18. Электронное устройство по п.17, дополнительно содержащее схему драйвера, сконфигурированную для направления, по меньшей мере, одного сигнала в упомянутый массив микроэлектромеханических устройств.
19. Электронное устройство по п.18, дополнительно содержащее контроллер, сконфигурированный для направления, по меньшей мере, части упомянутых данных изображений в упомянутую схему драйвера.
20. Электронное устройство по п.17, дополнительно содержащее модуль источника изображений, сконфигурированный для направления упомянутых данных изображений в упомянутый процессор.
21. Электронное устройство по п.20, в котором упомянутый модуль источника изображений содержит, по меньшей мере, одно из: приемник, приемопередатчик и передатчик.
22. Электронное устройство по п.17, дополнительно содержащее устройство ввода, сконфигурированное для приема входных данных и передачи упомянутых входных данных в упомянутый процессор.
23. Способ формирования электронного устройства, содержащий обеспечение промежуточного устройства, содержащего подложку и массив микроэлектромеханических устройств, сформированных на подложке; и формирование задней пластины над массивом промежуточного устройства с зазором между задней пластиной и массивом, причем задняя пластина имеет внутреннюю поверхность и внешнюю поверхность, причем внутренняя поверхность обращена на массив, причем задняя пластина интегрирована с одной или более усиливающих структур, сформированных на, по меньшей мере, одной из: внутренней поверхности и внешней поверхности.
24. Способ по п.23, в котором формирование задней пластины дополнительно содержит размещение задней пластины над массивом промежуточного устройства; и связывание задней пластины с подложкой вдоль периферии задней пластины.
25. Способ по п.23, в котором формирование задней пластины дополнительно содержит формирование защитного слоя над массивом промежуточного устройства; избирательное травление защитного слоя таким образом, чтобы сформировать одно или более углублений; осаждение слоя задней пластины над защитным слоем; и удаление защитного слоя таким образом, чтобы сформировать зазор между массивом и слоем задней пластины.
26. Способ по п.25, дополнительно содержащий наполнение одного или более углублений некоторым материалом до осаждения слоя задней пластины.
27. Электронное устройство, изготовленное способом по п.23.
28. Электронное устройство по п.27, в котором расстояние между задней пластиной и подложкой изменяется над внутренней поверхностью.
29. Электронное устройство по п.27, в котором внутренняя поверхность содержит центральную область и периферийную область, и причем расстояние в центральной области больше, чем в периферийной области.
30. Электронное устройство, содержащее средство для поддержки массива микромеханических устройств; средство для обеспечения микроэлектромеханических устройств на поддерживающем средстве; средство для покрытия упомянутого средства для обеспечения микроэлектромеханических устройств; и средство для усиления упомянутого средства для покрытия.
31. Электронное устройство по п.30, в котором упомянутое средство для поддержки содержит прозрачную подложку.
32. Электронное устройство по п.30 или 31, в котором упомянутое средство для обеспечения содержит массив интерферометрических модуляторов.
33. Электронное устройство по п.30, или 31, в котором упомянутое средство для покрытия содержит заднюю пластину.
34. Электронное устройство по п.30 или 31, в котором упомянутое усиливающее средство содержит одну или более усиливающих структур, интегрированных с упомянутым средством для покрытия.
35. Электронное устройство по п.34, в котором усиливающие структуры увеличивают жесткость средства для покрытия.
36. Электронное устройство по п.30, в котором расстояние между внутренней поверхностью средства для покрытия и средством для поддержки изменяется над внутренней поверхностью.
37. Электронное устройство по п.36, в котором внутренняя поверхность содержит центральную область и периферийную область, и причем упомянутое расстояние, в общем, в центральной области больше, чем в периферийной области.
38. Электронное устройство по п.33, в котором задняя пластина имеет изменяющуюся толщину.
39. Электронное устройство по п.33, в котором задняя пластина изгибается от средства для обеспечения.
40. Электронное устройство по п.34, в котором одна или более усиливающих структур формируются на, по меньшей мере, одной из: внутренней поверхности и внешней поверхности средства для покрытия.
41. Электронное устройство по п.34, в котором упомянутое средство для покрытия содержит внутреннюю поверхность, имеющую центральную область и периферийную область, и причем одна или более усиливающих структур формируются более плотно в центральной области, чем в периферийной области.
42. Электронное устройство по п.34, в котором одна или более усиливающих структур содержат, по меньшей мере, одну связывающую структуру, связывающую две или более усиливающие структуры.
43. Электронное устройство по п.42, в котором, по меньшей мере, одна связывающая структура дополнительно добавляет жесткость средству для покрытия.
44. Электронное устройство по п.30, дополнительно содержащее средство для предохранения упомянутого средства для покрытия от прямого контакта со средством для обеспечения.
45. Электронное устройство по п.44, в котором упомянутое средство для предохранения содержит одну или более распорок.
46. Электронное устройство по п.45, в котором одна или более распорок формируются на внутренней поверхности или на задней поверхности массива.
47. Электронное устройство по п.30, в котором средство для покрытия содержит выступ, простирающийся по направлению к средству для поддержки вдоль края средства для покрытия.
48. Электронное устройство по п.34, в котором одна или более усиливающих структур выполняются из материала, содержащего десикант.
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US61340804P | 2004-09-27 | 2004-09-27 | |
US60/613,408 | 2004-09-27 | ||
US11/090,774 | 2005-03-25 | ||
US11/090,774 US7405924B2 (en) | 2004-09-27 | 2005-03-25 | System and method for protecting microelectromechanical systems array using structurally reinforced back-plate |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2005129845A true RU2005129845A (ru) | 2007-04-10 |
Family
ID=35482168
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2005129845/28A RU2005129845A (ru) | 2004-09-27 | 2005-09-26 | Система и способ для защиты массива микроэлектромеханических систем, использующих структурно усиленную заднюю пластину |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7405924B2 (ru) |
EP (1) | EP1640329A3 (ru) |
JP (1) | JP2006099069A (ru) |
KR (1) | KR20060092877A (ru) |
AU (1) | AU2005203430A1 (ru) |
BR (1) | BRPI0503937A (ru) |
CA (1) | CA2516638A1 (ru) |
MX (1) | MXPA05009409A (ru) |
RU (1) | RU2005129845A (ru) |
SG (1) | SG121062A1 (ru) |
TW (1) | TW200618214A (ru) |
Families Citing this family (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7710629B2 (en) * | 2004-09-27 | 2010-05-04 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | System and method for display device with reinforcing substance |
US7573547B2 (en) * | 2004-09-27 | 2009-08-11 | Idc, Llc | System and method for protecting micro-structure of display array using spacers in gap within display device |
JP4575247B2 (ja) * | 2005-07-11 | 2010-11-04 | 株式会社東芝 | 高周波パッケージ装置 |
WO2007120885A2 (en) * | 2006-04-13 | 2007-10-25 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Mems devices and processes for packaging such devices |
US8040587B2 (en) | 2006-05-17 | 2011-10-18 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Desiccant in a MEMS device |
FR2901264B1 (fr) * | 2006-05-22 | 2008-10-10 | Commissariat Energie Atomique | Microcomposant muni d'une cavite delimitee par un capot a resistance mecanique amelioree |
JP2008135690A (ja) * | 2006-10-30 | 2008-06-12 | Denso Corp | 半導体力学量センサおよびその製造方法 |
US7816164B2 (en) | 2006-12-01 | 2010-10-19 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | MEMS processing |
DE102006061943B4 (de) | 2006-12-29 | 2023-03-30 | Pictiva Displays International Limited | Lichtemittierende Vorrichtung |
US8830695B2 (en) | 2007-01-25 | 2014-09-09 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Encapsulated electronic device |
EP2064148A1 (en) * | 2007-09-28 | 2009-06-03 | Qualcomm Mems Technologies, Inc | Optimization of desiccant usage in a mems package |
US20090145802A1 (en) * | 2007-12-11 | 2009-06-11 | Apple Inc. | Storage system for components incorporating a liquid-metal thermal interface |
DE102008003345A1 (de) * | 2008-01-07 | 2009-07-09 | Robert Bosch Gmbh | Mikrospiegelvorrichtung und Herstellungsverfahren für eine Mikrospiegelvorrichtung |
US8592925B2 (en) * | 2008-01-11 | 2013-11-26 | Seiko Epson Corporation | Functional device with functional structure of a microelectromechanical system disposed in a cavity of a substrate, and manufacturing method thereof |
JP5435199B2 (ja) * | 2008-01-11 | 2014-03-05 | セイコーエプソン株式会社 | 機能デバイス及びその製造方法 |
US8349635B1 (en) * | 2008-05-20 | 2013-01-08 | Silicon Laboratories Inc. | Encapsulated MEMS device and method to form the same |
US7855826B2 (en) | 2008-08-12 | 2010-12-21 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and apparatus to reduce or eliminate stiction and image retention in interferometric modulator devices |
EP2349914A2 (en) * | 2008-10-29 | 2011-08-03 | Nxp B.V. | An integrated component and a method of manufacturing an integrated component |
US8410690B2 (en) * | 2009-02-13 | 2013-04-02 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Display device with desiccant |
KR20100093359A (ko) * | 2009-02-16 | 2010-08-25 | 삼성전자주식회사 | 반도체 모듈의 제조 방법 |
US8379392B2 (en) | 2009-10-23 | 2013-02-19 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Light-based sealing and device packaging |
DE202009016312U1 (de) * | 2009-12-02 | 2010-04-15 | Surftable Ag, Immensee | Gehäuse für Anzeige- und/oder Bedien- und/oder Steuergerät und Gerät hierfür |
MX2012012033A (es) | 2010-04-16 | 2013-05-20 | Flex Lighting Ii Llc | Dispositivo de iluminacion que comprende una guia de luz a base de pelicula. |
WO2011130718A2 (en) | 2010-04-16 | 2011-10-20 | Flex Lighting Ii, Llc | Front illumination device comprising a film-based lightguide |
JP5204171B2 (ja) * | 2010-08-25 | 2013-06-05 | 株式会社東芝 | 電気部品およびその製造方法 |
JP2012096316A (ja) * | 2010-11-02 | 2012-05-24 | Seiko Epson Corp | 電子装置および電子装置の製造方法 |
US9148726B2 (en) | 2011-09-12 | 2015-09-29 | Infineon Technologies Ag | Micro electrical mechanical system with bending deflection of backplate structure |
US9181086B1 (en) | 2012-10-01 | 2015-11-10 | The Research Foundation For The State University Of New York | Hinged MEMS diaphragm and method of manufacture therof |
US9018715B2 (en) | 2012-11-30 | 2015-04-28 | Silicon Laboratories Inc. | Gas-diffusion barriers for MEMS encapsulation |
CN103051244B (zh) * | 2012-12-15 | 2016-01-13 | 华中科技大学 | 一种纸基柔性发电装置及其制造方法 |
US8921956B2 (en) | 2013-01-25 | 2014-12-30 | Infineon Technologies Ag | MEMS device having a back plate with elongated protrusions |
US9448126B2 (en) * | 2014-03-06 | 2016-09-20 | Infineon Technologies Ag | Single diaphragm transducer structure |
CN105338458B (zh) | 2014-08-01 | 2019-06-07 | 无锡华润上华科技有限公司 | Mems麦克风 |
DE102014112672B4 (de) | 2014-09-03 | 2018-05-09 | Snaptrack, Inc. | Abdeckung für ein Bauelement und Verfahren zur Herstellung einer Abdeckung für ein Bauelement |
KR102365285B1 (ko) * | 2014-11-05 | 2022-02-18 | 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하 | 제품 기판을 코팅하기 위한 방법 및 장치 |
US10185363B2 (en) | 2014-11-28 | 2019-01-22 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electronic device |
TWI587776B (zh) * | 2015-07-31 | 2017-06-11 | 友達光電股份有限公司 | 可彎曲之顯示裝置 |
JP6707694B2 (ja) * | 2019-03-29 | 2020-06-10 | エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー | 製品基板をコーティングするための方法と装置 |
US20230062454A1 (en) * | 2021-08-30 | 2023-03-02 | Apple Inc. | Recessed Lid and Ring Designs and Lid Local Peripheral Reinforcement Designs |
DE102022116700A1 (de) * | 2022-07-05 | 2024-01-11 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optische Baugruppe, Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie und Verfahren |
Family Cites Families (163)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2534846A (en) | 1946-06-20 | 1950-12-19 | Emi Ltd | Color filter |
DE1288651B (de) | 1963-06-28 | 1969-02-06 | Siemens Ag | Anordnung elektrischer Dipole fuer Wellenlaengen unterhalb 1 mm und Verfahren zur Herstellung einer derartigen Anordnung |
FR1603131A (ru) | 1968-07-05 | 1971-03-22 | ||
US3653741A (en) | 1970-02-16 | 1972-04-04 | Alvin M Marks | Electro-optical dipolar material |
US3813265A (en) | 1970-02-16 | 1974-05-28 | A Marks | Electro-optical dipolar material |
DE2336930A1 (de) | 1973-07-20 | 1975-02-06 | Battelle Institut E V | Infrarot-modulator (ii.) |
US4036360A (en) | 1975-11-12 | 1977-07-19 | Graham Magnetics Incorporated | Package having dessicant composition |
US4074480A (en) | 1976-02-12 | 1978-02-21 | Burton Henry W G | Kit for converting single-glazed window to double-glazed window |
US4099854A (en) | 1976-10-12 | 1978-07-11 | The Unites States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Optical notch filter utilizing electric dipole resonance absorption |
DE2802728C2 (de) | 1977-01-24 | 1984-03-15 | Sharp K.K., Osaka | Elektrochrome Anzeigezelle |
US4389096A (en) | 1977-12-27 | 1983-06-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Image display apparatus of liquid crystal valve projection type |
US4663083A (en) | 1978-05-26 | 1987-05-05 | Marks Alvin M | Electro-optical dipole suspension with reflective-absorptive-transmissive characteristics |
US4445050A (en) | 1981-12-15 | 1984-04-24 | Marks Alvin M | Device for conversion of light power to electric power |
US4431691A (en) | 1979-01-29 | 1984-02-14 | Tremco, Incorporated | Dimensionally stable sealant and spacer strip and composite structures comprising the same |
US4228437A (en) | 1979-06-26 | 1980-10-14 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Wideband polarization-transforming electromagnetic mirror |
NL8001281A (nl) | 1980-03-04 | 1981-10-01 | Philips Nv | Weergeefinrichting. |
US4377324A (en) | 1980-08-04 | 1983-03-22 | Honeywell Inc. | Graded index Fabry-Perot optical filter device |
US4441791A (en) | 1980-09-02 | 1984-04-10 | Texas Instruments Incorporated | Deformable mirror light modulator |
FR2506026A1 (fr) | 1981-05-18 | 1982-11-19 | Radant Etudes | Procede et dispositif pour l'analyse d'un faisceau de rayonnement d'ondes electromagnetiques hyperfrequence |
NL8103377A (nl) | 1981-07-16 | 1983-02-16 | Philips Nv | Weergeefinrichting. |
US4571603A (en) | 1981-11-03 | 1986-02-18 | Texas Instruments Incorporated | Deformable mirror electrostatic printer |
NL8200354A (nl) | 1982-02-01 | 1983-09-01 | Philips Nv | Passieve weergeefinrichting. |
US4500171A (en) | 1982-06-02 | 1985-02-19 | Texas Instruments Incorporated | Process for plastic LCD fill hole sealing |
US4482213A (en) | 1982-11-23 | 1984-11-13 | Texas Instruments Incorporated | Perimeter seal reinforcement holes for plastic LCDs |
US4710732A (en) | 1984-07-31 | 1987-12-01 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US4566935A (en) | 1984-07-31 | 1986-01-28 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US4662746A (en) | 1985-10-30 | 1987-05-05 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US4596992A (en) | 1984-08-31 | 1986-06-24 | Texas Instruments Incorporated | Linear spatial light modulator and printer |
US5096279A (en) | 1984-08-31 | 1992-03-17 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US5061049A (en) | 1984-08-31 | 1991-10-29 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US4615595A (en) | 1984-10-10 | 1986-10-07 | Texas Instruments Incorporated | Frame addressed spatial light modulator |
US5172262A (en) | 1985-10-30 | 1992-12-15 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
GB8610129D0 (en) | 1986-04-25 | 1986-05-29 | Secr Defence | Electro-optical device |
US4748366A (en) | 1986-09-02 | 1988-05-31 | Taylor George W | Novel uses of piezoelectric materials for creating optical effects |
US4786128A (en) | 1986-12-02 | 1988-11-22 | Quantum Diagnostics, Ltd. | Device for modulating and reflecting electromagnetic radiation employing electro-optic layer having a variable index of refraction |
US4977009A (en) | 1987-12-16 | 1990-12-11 | Ford Motor Company | Composite polymer/desiccant coatings for IC encapsulation |
US4956619A (en) | 1988-02-19 | 1990-09-11 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator |
US4856863A (en) | 1988-06-22 | 1989-08-15 | Texas Instruments Incorporated | Optical fiber interconnection network including spatial light modulator |
US5028939A (en) | 1988-08-23 | 1991-07-02 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator system |
US4982184A (en) | 1989-01-03 | 1991-01-01 | General Electric Company | Electrocrystallochromic display and element |
US5214420A (en) | 1989-02-27 | 1993-05-25 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator projection system with random polarity light |
US5192946A (en) | 1989-02-27 | 1993-03-09 | Texas Instruments Incorporated | Digitized color video display system |
US5162787A (en) | 1989-02-27 | 1992-11-10 | Texas Instruments Incorporated | Apparatus and method for digitized video system utilizing a moving display surface |
US5206629A (en) | 1989-02-27 | 1993-04-27 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and memory for digitized video display |
US5214419A (en) | 1989-02-27 | 1993-05-25 | Texas Instruments Incorporated | Planarized true three dimensional display |
US5170156A (en) | 1989-02-27 | 1992-12-08 | Texas Instruments Incorporated | Multi-frequency two dimensional display system |
US5446479A (en) | 1989-02-27 | 1995-08-29 | Texas Instruments Incorporated | Multi-dimensional array video processor system |
US5272473A (en) | 1989-02-27 | 1993-12-21 | Texas Instruments Incorporated | Reduced-speckle display system |
US5287096A (en) | 1989-02-27 | 1994-02-15 | Texas Instruments Incorporated | Variable luminosity display system |
US5079544A (en) | 1989-02-27 | 1992-01-07 | Texas Instruments Incorporated | Standard independent digitized video system |
US5022745A (en) | 1989-09-07 | 1991-06-11 | Massachusetts Institute Of Technology | Electrostatically deformable single crystal dielectrically coated mirror |
US4954789A (en) | 1989-09-28 | 1990-09-04 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator |
US5381253A (en) | 1991-11-14 | 1995-01-10 | Board Of Regents Of University Of Colorado | Chiral smectic liquid crystal optical modulators having variable retardation |
US5124834A (en) | 1989-11-16 | 1992-06-23 | General Electric Company | Transferrable, self-supporting pellicle for elastomer light valve displays and method for making the same |
US5037173A (en) | 1989-11-22 | 1991-08-06 | Texas Instruments Incorporated | Optical interconnection network |
CH682523A5 (fr) | 1990-04-20 | 1993-09-30 | Suisse Electronique Microtech | Dispositif de modulation de lumière à adressage matriciel. |
GB9012099D0 (en) | 1990-05-31 | 1990-07-18 | Kodak Ltd | Optical article for multicolour imaging |
US5083857A (en) | 1990-06-29 | 1992-01-28 | Texas Instruments Incorporated | Multi-level deformable mirror device |
US5018256A (en) | 1990-06-29 | 1991-05-28 | Texas Instruments Incorporated | Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates |
EP0467048B1 (en) | 1990-06-29 | 1995-09-20 | Texas Instruments Incorporated | Field-updated deformable mirror device |
US5142405A (en) | 1990-06-29 | 1992-08-25 | Texas Instruments Incorporated | Bistable dmd addressing circuit and method |
US5099353A (en) | 1990-06-29 | 1992-03-24 | Texas Instruments Incorporated | Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates |
US5216537A (en) | 1990-06-29 | 1993-06-01 | Texas Instruments Incorporated | Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates |
US5304419A (en) | 1990-07-06 | 1994-04-19 | Alpha Fry Ltd | Moisture and particle getter for enclosures |
US5153771A (en) | 1990-07-18 | 1992-10-06 | Northrop Corporation | Coherent light modulation and detector |
US5192395A (en) | 1990-10-12 | 1993-03-09 | Texas Instruments Incorporated | Method of making a digital flexure beam accelerometer |
US5044736A (en) | 1990-11-06 | 1991-09-03 | Motorola, Inc. | Configurable optical filter or display |
US5331454A (en) | 1990-11-13 | 1994-07-19 | Texas Instruments Incorporated | Low reset voltage process for DMD |
US5233459A (en) | 1991-03-06 | 1993-08-03 | Massachusetts Institute Of Technology | Electric display device |
CA2063744C (en) | 1991-04-01 | 2002-10-08 | Paul M. Urbanus | Digital micromirror device architecture and timing for use in a pulse-width modulated display system |
US5142414A (en) | 1991-04-22 | 1992-08-25 | Koehler Dale R | Electrically actuatable temporal tristimulus-color device |
US5226099A (en) | 1991-04-26 | 1993-07-06 | Texas Instruments Incorporated | Digital micromirror shutter device |
US5268533A (en) | 1991-05-03 | 1993-12-07 | Hughes Aircraft Company | Pre-stressed laminated lid for electronic circuit package |
US5179274A (en) | 1991-07-12 | 1993-01-12 | Texas Instruments Incorporated | Method for controlling operation of optical systems and devices |
US5168406A (en) | 1991-07-31 | 1992-12-01 | Texas Instruments Incorporated | Color deformable mirror device and method for manufacture |
US5254980A (en) | 1991-09-06 | 1993-10-19 | Texas Instruments Incorporated | DMD display system controller |
CA2081753C (en) | 1991-11-22 | 2002-08-06 | Jeffrey B. Sampsell | Dmd scanner |
US5233385A (en) | 1991-12-18 | 1993-08-03 | Texas Instruments Incorporated | White light enhanced color field sequential projection |
US5233456A (en) | 1991-12-20 | 1993-08-03 | Texas Instruments Incorporated | Resonant mirror and method of manufacture |
US5244707A (en) | 1992-01-10 | 1993-09-14 | Shores A Andrew | Enclosure for electronic devices |
US5296950A (en) | 1992-01-31 | 1994-03-22 | Texas Instruments Incorporated | Optical signal free-space conversion board |
US5231532A (en) | 1992-02-05 | 1993-07-27 | Texas Instruments Incorporated | Switchable resonant filter for optical radiation |
DE69310974T2 (de) | 1992-03-25 | 1997-11-06 | Texas Instruments Inc | Eingebautes optisches Eichsystem |
US5312513A (en) | 1992-04-03 | 1994-05-17 | Texas Instruments Incorporated | Methods of forming multiple phase light modulators |
US5401983A (en) | 1992-04-08 | 1995-03-28 | Georgia Tech Research Corporation | Processes for lift-off of thin film materials or devices for fabricating three dimensional integrated circuits, optical detectors, and micromechanical devices |
US5311360A (en) | 1992-04-28 | 1994-05-10 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Junior University | Method and apparatus for modulating a light beam |
US5327286A (en) | 1992-08-31 | 1994-07-05 | Texas Instruments Incorporated | Real time optical correlation system |
US5325116A (en) | 1992-09-18 | 1994-06-28 | Texas Instruments Incorporated | Device for writing to and reading from optical storage media |
US5365283A (en) | 1993-07-19 | 1994-11-15 | Texas Instruments Incorporated | Color phase control for projection display using spatial light modulator |
US5457493A (en) | 1993-09-15 | 1995-10-10 | Texas Instruments Incorporated | Digital micro-mirror based image simulation system |
US5452024A (en) | 1993-11-01 | 1995-09-19 | Texas Instruments Incorporated | DMD display system |
US5448314A (en) | 1994-01-07 | 1995-09-05 | Texas Instruments | Method and apparatus for sequential color imaging |
US5444566A (en) | 1994-03-07 | 1995-08-22 | Texas Instruments Incorporated | Optimized electronic operation of digital micromirror devices |
US20010003487A1 (en) * | 1996-11-05 | 2001-06-14 | Mark W. Miles | Visible spectrum modulator arrays |
US7123216B1 (en) * | 1994-05-05 | 2006-10-17 | Idc, Llc | Photonic MEMS and structures |
US5454906A (en) | 1994-06-21 | 1995-10-03 | Texas Instruments Inc. | Method of providing sacrificial spacer for micro-mechanical devices |
US6969635B2 (en) * | 2000-12-07 | 2005-11-29 | Reflectivity, Inc. | Methods for depositing, releasing and packaging micro-electromechanical devices on wafer substrates |
US6046840A (en) * | 1995-06-19 | 2000-04-04 | Reflectivity, Inc. | Double substrate reflective spatial light modulator with self-limiting micro-mechanical elements |
US7907319B2 (en) * | 1995-11-06 | 2011-03-15 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and device for modulating light with optical compensation |
US5999306A (en) | 1995-12-01 | 1999-12-07 | Seiko Epson Corporation | Method of manufacturing spatial light modulator and electronic device employing it |
US5939785A (en) * | 1996-04-12 | 1999-08-17 | Texas Instruments Incorporated | Micromechanical device including time-release passivant |
US5789848A (en) | 1996-08-02 | 1998-08-04 | Motorola, Inc. | Field emission display having a cathode reinforcement member |
US6303986B1 (en) * | 1998-07-29 | 2001-10-16 | Silicon Light Machines | Method of and apparatus for sealing an hermetic lid to a semiconductor die |
US6843936B1 (en) * | 1998-10-22 | 2005-01-18 | Texas Instruments Incorporated | Getter for enhanced micromechanical device performance |
US6004179A (en) * | 1998-10-26 | 1999-12-21 | Micron Technology, Inc. | Methods of fabricating flat panel evacuated displays |
US6384473B1 (en) * | 2000-05-16 | 2002-05-07 | Sandia Corporation | Microelectronic device package with an integral window |
US6661084B1 (en) * | 2000-05-16 | 2003-12-09 | Sandia Corporation | Single level microelectronic device package with an integral window |
US6379988B1 (en) * | 2000-05-16 | 2002-04-30 | Sandia Corporation | Pre-release plastic packaging of MEMS and IMEMS devices |
US6686653B2 (en) * | 2000-06-28 | 2004-02-03 | Institut National D'optique | Miniature microdevice package and process for making thereof |
DE60142383D1 (de) * | 2000-07-03 | 2010-07-29 | Sony Corp | Optische mehrschichtige Struktur, optische Schalteinrichtung, und Bildanzeigevorrichtung |
TWI251101B (en) * | 2000-08-02 | 2006-03-11 | Allied Material Technology Cor | A liquid crystal display and a method for fabricating the same |
US6466354B1 (en) * | 2000-09-19 | 2002-10-15 | Silicon Light Machines | Method and apparatus for interferometric modulation of light |
US6762868B2 (en) * | 2000-11-16 | 2004-07-13 | Texas Instruments Incorporated | Electro-optical package with drop-in aperture |
US6664779B2 (en) * | 2000-11-16 | 2003-12-16 | Texas Instruments Incorporated | Package with environmental control material carrier |
US20020075551A1 (en) * | 2000-11-29 | 2002-06-20 | Onix Microsystems, Inc | Enclosure for MEMS apparatus and method of using the same |
US6906847B2 (en) * | 2000-12-07 | 2005-06-14 | Reflectivity, Inc | Spatial light modulators with light blocking/absorbing areas |
US7307775B2 (en) * | 2000-12-07 | 2007-12-11 | Texas Instruments Incorporated | Methods for depositing, releasing and packaging micro-electromechanical devices on wafer substrates |
US6455927B1 (en) * | 2001-03-12 | 2002-09-24 | Amkor Technology, Inc. | Micromirror device package |
US6462302B1 (en) * | 2001-04-05 | 2002-10-08 | Bar Code Bullet Industries, Llc | Rifled weapon barrel engraver and scanner |
KR100387239B1 (ko) * | 2001-04-26 | 2003-06-12 | 삼성전자주식회사 | Mems 릴레이 및 그 제조방법 |
US6706316B2 (en) * | 2001-05-08 | 2004-03-16 | Eastman Kodak Company | Ultrasonically sealing the cover plate to provide a hermetic enclosure for OLED displays |
US6589625B1 (en) * | 2001-08-01 | 2003-07-08 | Iridigm Display Corporation | Hermetic seal and method to create the same |
US6893574B2 (en) * | 2001-10-23 | 2005-05-17 | Analog Devices Inc | MEMS capping method and apparatus |
US6776538B2 (en) * | 2001-12-12 | 2004-08-17 | Axsun Technologies, Inc. | MEMS tunable optical filter system with moisture getter for frequency stability |
JP3755460B2 (ja) * | 2001-12-26 | 2006-03-15 | ソニー株式会社 | 静電駆動型mems素子とその製造方法、光学mems素子、光変調素子、glvデバイス、レーザディスプレイ、及びmems装置 |
US6794119B2 (en) * | 2002-02-12 | 2004-09-21 | Iridigm Display Corporation | Method for fabricating a structure for a microelectromechanical systems (MEMS) device |
US6603182B1 (en) * | 2002-03-12 | 2003-08-05 | Lucent Technologies Inc. | Packaging micromechanical devices |
US20030183916A1 (en) * | 2002-03-27 | 2003-10-02 | John Heck | Packaging microelectromechanical systems |
US6707351B2 (en) * | 2002-03-27 | 2004-03-16 | Motorola, Inc. | Tunable MEMS resonator and method for tuning |
US7034984B2 (en) * | 2002-06-19 | 2006-04-25 | Miradia Inc. | Fabrication of a high fill ratio reflective spatial light modulator with hidden hinge |
JP3758622B2 (ja) * | 2002-08-08 | 2006-03-22 | セイコーエプソン株式会社 | 光学装置、光学ユニット、および、プロジェクタ |
US20040140557A1 (en) * | 2003-01-21 | 2004-07-22 | United Test & Assembly Center Limited | Wl-bga for MEMS/MOEMS devices |
TW591778B (en) * | 2003-03-18 | 2004-06-11 | Advanced Semiconductor Eng | Package structure for a microsystem |
US7015885B2 (en) * | 2003-03-22 | 2006-03-21 | Active Optical Networks, Inc. | MEMS devices monolithically integrated with drive and control circuitry |
TWI226504B (en) * | 2003-04-21 | 2005-01-11 | Prime View Int Co Ltd | A structure of an interference display cell |
US20040232535A1 (en) * | 2003-05-22 | 2004-11-25 | Terry Tarn | Microelectromechanical device packages with integral heaters |
TW200506479A (en) * | 2003-08-15 | 2005-02-16 | Prime View Int Co Ltd | Color changeable pixel for an interference display |
TWI305599B (en) * | 2003-08-15 | 2009-01-21 | Qualcomm Mems Technologies Inc | Interference display panel and method thereof |
TWI251712B (en) * | 2003-08-15 | 2006-03-21 | Prime View Int Corp Ltd | Interference display plate |
TW593127B (en) * | 2003-08-18 | 2004-06-21 | Prime View Int Co Ltd | Interference display plate and manufacturing method thereof |
JP3979982B2 (ja) * | 2003-08-29 | 2007-09-19 | シャープ株式会社 | 干渉性変調器および表示装置 |
US7161728B2 (en) * | 2003-12-09 | 2007-01-09 | Idc, Llc | Area array modulation and lead reduction in interferometric modulators |
TW200530669A (en) * | 2004-03-05 | 2005-09-16 | Prime View Int Co Ltd | Interference display plate and manufacturing method thereof |
US7060895B2 (en) * | 2004-05-04 | 2006-06-13 | Idc, Llc | Modifying the electro-mechanical behavior of devices |
US7164520B2 (en) * | 2004-05-12 | 2007-01-16 | Idc, Llc | Packaging for an interferometric modulator |
US20050253283A1 (en) * | 2004-05-13 | 2005-11-17 | Dcamp Jon B | Getter deposition for vacuum packaging |
US7126741B2 (en) * | 2004-08-12 | 2006-10-24 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Light modulator assembly |
US8124434B2 (en) * | 2004-09-27 | 2012-02-28 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and system for packaging a display |
US7916103B2 (en) * | 2004-09-27 | 2011-03-29 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | System and method for display device with end-of-life phenomena |
US7668415B2 (en) * | 2004-09-27 | 2010-02-23 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and device for providing electronic circuitry on a backplate |
US20060076634A1 (en) * | 2004-09-27 | 2006-04-13 | Lauren Palmateer | Method and system for packaging MEMS devices with incorporated getter |
US7692839B2 (en) * | 2004-09-27 | 2010-04-06 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | System and method of providing MEMS device with anti-stiction coating |
US7551246B2 (en) * | 2004-09-27 | 2009-06-23 | Idc, Llc. | System and method for display device with integrated desiccant |
US7184202B2 (en) * | 2004-09-27 | 2007-02-27 | Idc, Llc | Method and system for packaging a MEMS device |
US20060076631A1 (en) * | 2004-09-27 | 2006-04-13 | Lauren Palmateer | Method and system for providing MEMS device package with secondary seal |
US7327510B2 (en) * | 2004-09-27 | 2008-02-05 | Idc, Llc | Process for modifying offset voltage characteristics of an interferometric modulator |
US20060076632A1 (en) * | 2004-09-27 | 2006-04-13 | Lauren Palmateer | System and method for display device with activated desiccant |
US7710629B2 (en) * | 2004-09-27 | 2010-05-04 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | System and method for display device with reinforcing substance |
US7259449B2 (en) * | 2004-09-27 | 2007-08-21 | Idc, Llc | Method and system for sealing a substrate |
US7573547B2 (en) * | 2004-09-27 | 2009-08-11 | Idc, Llc | System and method for protecting micro-structure of display array using spacers in gap within display device |
US7368803B2 (en) * | 2004-09-27 | 2008-05-06 | Idc, Llc | System and method for protecting microelectromechanical systems array using back-plate with non-flat portion |
US7446926B2 (en) * | 2004-09-27 | 2008-11-04 | Idc, Llc | System and method of providing a regenerating protective coating in a MEMS device |
US20060077126A1 (en) * | 2004-09-27 | 2006-04-13 | Manish Kothari | Apparatus and method for arranging devices into an interconnected array |
-
2005
- 2005-03-25 US US11/090,774 patent/US7405924B2/en active Active
- 2005-08-03 AU AU2005203430A patent/AU2005203430A1/en not_active Abandoned
- 2005-08-11 TW TW094127351A patent/TW200618214A/zh unknown
- 2005-08-16 JP JP2005235798A patent/JP2006099069A/ja active Pending
- 2005-08-17 SG SG200505240A patent/SG121062A1/en unknown
- 2005-08-22 CA CA002516638A patent/CA2516638A1/en not_active Abandoned
- 2005-09-02 MX MXPA05009409A patent/MXPA05009409A/es not_active Application Discontinuation
- 2005-09-13 KR KR1020050085223A patent/KR20060092877A/ko not_active Application Discontinuation
- 2005-09-14 EP EP05255678A patent/EP1640329A3/en not_active Withdrawn
- 2005-09-23 BR BRPI0503937-1A patent/BRPI0503937A/pt not_active Application Discontinuation
- 2005-09-26 RU RU2005129845/28A patent/RU2005129845A/ru not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20060092877A (ko) | 2006-08-23 |
EP1640329A3 (en) | 2007-12-05 |
SG121062A1 (en) | 2006-04-26 |
US7405924B2 (en) | 2008-07-29 |
EP1640329A2 (en) | 2006-03-29 |
US20060076648A1 (en) | 2006-04-13 |
AU2005203430A1 (en) | 2006-04-13 |
CA2516638A1 (en) | 2006-03-27 |
JP2006099069A (ja) | 2006-04-13 |
BRPI0503937A (pt) | 2006-05-09 |
MXPA05009409A (es) | 2006-03-29 |
TW200618214A (en) | 2006-06-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2005129845A (ru) | Система и способ для защиты массива микроэлектромеханических систем, использующих структурно усиленную заднюю пластину | |
US11088700B2 (en) | Rollable display device and rollable device | |
US8817223B2 (en) | Flexible display device and fabrication method thereof | |
CN106325496B (zh) | 具有力触摸功能的电子装置 | |
US8520180B2 (en) | Display device having transparent layer partially covered with sealant and method for fabricating same | |
JP2007094408A5 (ru) | ||
RU2007115880A (ru) | Устройство и способ уменьшения проскальзывания между структурами в интерференционном модуляторе | |
RU2005129864A (ru) | Способ и система для запечатывания подложки | |
CN110634399B (zh) | 一种柔性盖板、柔性显示装置及柔性盖板的制作方法 | |
KR20090032001A (ko) | 표시 장치 | |
JP2009008703A5 (ru) | ||
CN101813837A (zh) | 液晶显示装置 | |
CN109887413A (zh) | 显示装置 | |
US9158142B2 (en) | Display unit, electronic device and assembling method for electronic device | |
CN109377886A (zh) | 覆盖窗结构及柔性显示装置 | |
US9450202B2 (en) | Environmental sensitive electronic device package having side wall barrier structure | |
US9176585B2 (en) | Touch panel support | |
KR101530520B1 (ko) | 휴대기기 보호커버 및 그 제작방법 | |
CN107797318A (zh) | 显示设备及显示设备的制造方法 | |
CN106910422B (zh) | 一种显示面板和显示设备 | |
KR20150007107A (ko) | 터치센서 | |
CN110931536A (zh) | 一种有机发光显示面板及显示装置 | |
KR20150049174A (ko) | 터치센서 | |
JP6018899B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
TW200722878A (en) | Liquid crystal display device and method of fabricating the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FA93 | Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination) |
Effective date: 20080927 |
|
FA93 | Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination) |
Effective date: 20080927 |