Przedmiotem wynalazku jest struktura kontaktowa przeznaczona do stosowania w cienkowarstwowych mikroukladach hybrydowych wytwarzanych technika napylania lub naparowywania, zwlaszcza posiadaja¬ cych nichromowa warstwa rezystywna. Sluzy ona do tworzenia polaczen lutowniczych mikroukladu hybry¬ dowego z innymi elementami ukladu elektronicznego.Znanajest z polskiego opisu patentowego nr 92 205 struktura kontaktowa, stosowana w cienkowarstwo¬ wych mikroukladach hybrydowych z nichromowa warstwa rezystywna, skladajaca sie z trzech kolejnych warstw: tytanu, nichromu, zlota. Warstwa tytanu o grubosci powyzej 40 nm, nalozona bezposrednio na warstwe rezystywna, zapewnia dobra adhezje oraz spelnia zadanie bariery oddzielajacej rezystywna warstwe nichromu od warstwy nichromu wchodzacej w sklad struktury kontaktowej. Znajdujaca sie na powierzchni warstwa zlota o grubosci powyzej 100 nm ma za zadanie zapewnic lutowalnosc struktury kontaktowej oraz konieczna bardzo mala rezystancje powierzchniowa. Warstwa nichromu o grubosci od 20 do 100 nm, znajdujaca sie pomiedzy tytanem i zlotem, dzieki dyfuzji chromu do zlota podczas operacji starzenia termicznego, wplywa na wydluzenie czasu rozpuszczania zlota w roztopionym lutowiu, co przy stosunkowo malej grubosci zlota, umozliwia cynowanie kontaktów metoda zanurzeniowa. Struktura kontaktowa wedlug wynalazku sklada sie z dwu warstw: adhezyjnej warstwy stopu zelazo-niklowego o zawartosci od 5 do 70 procent zelaza, korzystnie o grubosci od 25 do 1000 nm oraz warstwy powierzchniowej zlota, korzystnie o grubosci od 100 do 6000 nm. Warstwa ze stopu zelazoniklowego zapewnia dobra adhezje struktury kontakto¬ wej do warstwy rezystywnej.Na granicy miedzy stopem zelazoniklowym a zlotem, podczas operacji starzenia termicznego wytwarza sie warstwa przejsciowa, co uwidacznia sie dobra odpornoscia struktury kontaktowej na rozpuszczanie w roztopionym lutowiu. Znajdujaca sie na powierzchni warstwa zlota gwarantuje dobra zwilzalnosc, a tym samym lutowalnosc struktury kontaktowej. Zastosoanie w mikroukladach hybrydowych z nichromowa warstwa rezystywna, struktury kontaktowej wedlug wynalazku w miejsce wielowarstwy kontaktowej tytan- nichrom-zloto, pozwala na uproszczenie procesu technologicznego wytwarzania mikroukladów.Przedmiot wynalazku jest przedstawiony w przykladzie wykonania na rysunku, ukazujacym strukture kontaktowa w przekroju poprzecznym.Struktura kontaktowa, skladajaca sie z warstwy adhezyjnej 1 i warstwy powierzchniowej zlota 2, naniesiona jest na nichromowa warstwe rezystywna 3 wytworzona na podlozu 4 ze szkla polikrystalicznego.Warstwe adhezyjna 1 o grubosci 200nm stanowi stop o zawartosci 10% zelaza i 90% niklu. Warstwa powierzchniowa zlota 2 ma grubosc 300 nm. Taka struktura kontaktowa charakteryzuje sie dobra zwilzal-2 120 004 noscie równa zwilzalnosci czystego zlota, a czas jej rozpuszczania w roztopionym lutowiu o skladzie 96,5% Sn i 3,5% Ag, wynosi wiecej nit 2,5 minuty. Podobne parametry wykazuje struktura kontaktowa posiadajaca warstwe adhezyjna 1 o zawartosci 70% zelaza i grubosci 150nm, przy warstwie powierzchniowej zlota 2 o grubosci 4000 nm.Dla struktury kontaktowej posiadajacej warstwe adhezyjna 1 o grubosci 1000 nm przy zawartosci 10% zelaza oraz warstwe powierzchniowa zlota 2 o grubosci 800 nm, czas rozpuszczania w roztopionym lutowiu siega powyzej 5 minut, przy zachowaniu zwilzalnosci równej zwilzalnosci czystego zlota.Zastrzezenia patentowe 1. Struktura kontaktowa dla cienkowarstwowych mikroukladów hybrydowych, zwlaszcza z nichro- mowa warstwa rezystywna, skladajaca sie z warstwy adhezyjnej i warstwy powierzchniowej zlota, znamienna tym, ze warstwe adhezyjna (1) stanowi stop zelaza z niklem o zawartosci od 5 do 70 procent zelaza. 2. Struktura wedlug zastrz. I, znamienna tym, ze grubosc warstwy adhezyjnej (1) wynosi od 25 do 1000 nm, a grubosc warstwy powierzchniowej zlota (2) wynosi od 100 do 6000 nm.Pracownia Poligraficzna UP PRL. Naklad 120 cgz.Cena 100 zl PL