NL1026080C2

NL1026080C2 - Device and method for conditioning and monitoring a saw blade.

Info

Publication number: NL1026080C2
Application number: NL1026080A
Authority: NL
Inventors: Wilhelmus Gijsbertus Le Sprang; Gerard Adriaan In T Veld
Original assignee: Besi Singulation B V
Priority date: 2004-04-29
Filing date: 2004-04-29
Publication date: 2005-11-01
Also published as: KR20070015175A; TWI346596B; KR101255692B1; TW200603938A; MY159395A; CN1956814A; CN1956814B; WO2005105354A1; JP2007534511A

Description

4D' .·Ρ4D '. · Ρ

Inrichting en werkwijze voor het conditioneren en monitoren van een zaagbladDevice and method for conditioning and monitoring a saw blade

De onderhavige uitvinding heeft bedekking op een inrichting voor het separeren van op -een drager bevestigde elektronische componenten, omvattende: een roteerbaar zaagblad 5 met een in hoofdzaak cirkelvormige snijrand, ten minste één sensor voor het waarnemen van de in hoofdzaak cirkelvormige snijrand, en een dispenser voor een medium. De uitvinding heeft tevens betrekking op een werkwijze voor het separeren van op een drager bevestigde elektronische componenten, door het ten opzichte van elkaar verplaatsen van een roterend zaagblad en de op te delen drager met elektronische 10 componenten.The present invention covers a device for separating electronic components mounted on a support, comprising: a rotatable saw blade 5 with a substantially circular cutting edge, at least one sensor for detecting the substantially circular cutting edge, and a dispenser for a medium. The invention also relates to a method for separating electronic components mounted on a carrier, by moving a rotating saw blade and the carrier to be divided with electronic components relative to each other.

Het separeren van elektronische componenten, zoals in het bijzonder halfgeleiders, vindt ondermeer plaats door middel van het met een roterend zaagblad verspanen van de drager waarop de elektronische componenten zijn bevestigd. Zo een drager wordt ook 15 wel aangeduid als een “lead frame”, een “wafer” of een “board”. Tijdens de : verspanende bewerking is het ook mogelijk dat gelijktijdig ander materiaal wordt gesepareerd zoals bijvoorbeeld omhulmateriaal (in de vorm van uitgeharde epoxy) . . waarmee de elektronische componenten zijn ingekapseld. Bij de hooggemechaniseerde verwerking van veelal kostbare elektronische componenten is het van belang de 20 procescondities tijdens separeren goed te beheersen om zo een goed bewerkingsresultaat te kunnen garanderen. Er wordt daartoe volgens de stand der techniek gebmik gemaakt van sensoren waarmee de omvang van een zaagblad kan worden waargenomen. Tussen opvolgende bewerkingsgangen wordt zo een sensor ten opzichte van het zaagblad verplaatst ten gevolge waarvan de omvang van het zaagblad 25 kan worden vastgesteld. Afhankelijk van de aldus geregistreerde meetwaarde kan een opvolgende procesgang worden aangestuurd, zoals bijvoorbeeld een aanpassing in de hoogte instelling van een zaagblad of het uitwisselen van een zaagblad dat niet aan de benodigde kwalificaties voldoet voor een ander zaagblad. Een nadeel van de bestaande apparatuur voor het separeren van elektronische componenten is dat deze een relatief 30 complexe en arbeidsintensieve bediening behoeftThe separation of electronic components, such as semiconductors in particular, takes place, among other things, by means of machining the carrier to which the electronic components are mounted with a rotating saw blade. Such a carrier is also referred to as a "lead frame", a "wafer" or a "board". During the machining operation, it is also possible for other materials to be separated at the same time, such as encapsulating material (in the form of cured epoxy). . with which the electronic components are encapsulated. In the highly mechanized processing of mostly expensive electronic components, it is important to properly control the process conditions during separation in order to guarantee a good processing result. To this end, according to the state of the art, use is made of sensors with which the size of a saw blade can be observed. A sensor is thus displaced relative to the saw blade between successive processing steps, as a result of which the size of the saw blade 25 can be determined. Depending on the measured value thus registered, a subsequent process run can be controlled, such as, for example, an adjustment in height adjustment of a saw blade or the exchange of a saw blade that does not meet the required qualifications for another saw blade. A drawback of the existing equipment for separating electronic components is that they require a relatively complex and labor-intensive operation

Doel van de onderhavige uitvinding is het verschaffen van een verbeterde inrichting en verbeterde werkwijze voor het separeren van elektronische componenten waarmee op eenvoudige wijze een verbeterde procesbeheersing kan worden gerealiseerd.The object of the present invention is to provide an improved device and method for separating electronic components with which improved process control can be realized in a simple manner.

10280 80 210280 80 2

<a CS<a CS

De uitvinding verschaft daartoe een inrichting van het in aanhef genoemde type met het kenmerk dat de sensor en de dispenser zijn samengebouwd op een gemeenschappelijke drager, welke gemeenschappelijke drager langs een geleiding verplaatsbaar is ten 5 opzichte van het zaagblad. De sensor kan daarbij zijn ingericht voor het meten van de diameter van het zaagblad en/of voor het waarnemen van onderbrekingen in dé cirkelvormige snijrand. Uiteraard is het ook mogelijk hiervoor twee (of zelfs meer dan twee) aparte sensoren in de inrichting te plaatsen. Met de sensoren kan worden bewaakt dat het zaagblad aan de minimaal vereiste specificaties voldoet. De dispenser kan 10 bestaan uit een op de cirkelvormige snijrand te richten spuitkop en/of uit een (doorgaans meervoudige) spuitkop welke een medium naar een nabij de bovenzijde van het zaagblad gelegen locatie voert. Met zo een dispenser kan de snijrand worden gekoeld en gereinigd, respectievelijk kunnen bij het zagen vrijkomende delen (spanen, stof en zo voorts) worden afgevoerd van een drager, althans indien de drager van de onderzijde 15 wordt gezaagd. Het bijzonder voordelige van de inrichting overeenkomstig de uitvinding is dat de verplaatsing die gebruikelijk benodigd is voor het verplaatsen van de sensor (of de sensoren) gelijktijdig nuttig wordt aangewend voor het positioneren . van één of meerdere dispensers. Zo wordt zonder dat hiertoe afzonderlijke actie genomen dient te worden de positie van de dispensers) gelijktijdig met het verplaatsen 20 van de sensor geregeld. Dit maakt het mogelijk de plaatsing van de dispensers) te optimaliseren afhankelijk van de met de sensoren) waargenomen dimensie(s) van het zaagblad zonder dat dit extra werklast met zich mee brengt. Bijvoorbeeld bij een afnemende diameter (zoals dit kan resulteren ten gevolge van slijtage) van het zaagblad zal de sensor die de omvang van het zaagblad detecteert dichter naar de rotatie-as van 25 het zaagblad worden verplaatst. Deze verplaatsing van de detector leidt door de gemeenschappelijke drager waarmee de detectoren) en de dispensers) zijn samengebouwd eveneens tot een gedwongen verplaatsing van de dispensers). Aldus kan worden gerealiseerd dat de positionering van de dispensers) steeds optimaal is in relatie tot de omvang van het zaagblad. Dit leidt zonder extra arbeidslast tot een 30 verbetering van de procesbeheersing.To this end, the invention provides a device of the type mentioned in the preamble, characterized in that the sensor and the dispenser are assembled on a common carrier, which common carrier is movable along a guide relative to the saw blade. The sensor can be arranged for measuring the diameter of the saw blade and / or for detecting interruptions in the circular cutting edge. It is of course also possible to place two (or even more than two) separate sensors in the device for this purpose. The sensors can be used to monitor that the saw blade meets the minimum required specifications. The dispenser may consist of a spray head to be directed at the circular cutting edge and / or a (usually multiple) spray head which carries a medium to a location located near the top of the saw blade. With such a dispenser, the cutting edge can be cooled and cleaned, or parts released during sawing (chips, dust and so on) can be discharged from a carrier, at least if the carrier is sawn from the underside. The particularly advantageous feature of the device according to the invention is that the displacement usually required for displacement of the sensor (or sensors) is simultaneously used for positioning purposes. of one or more dispensers. Thus, without separate action having to be taken for this purpose, the position of the dispensers is controlled simultaneously with the displacement of the sensor. This makes it possible to optimize the placement of the dispensers, depending on the dimension (s) of the saw blade observed with the sensors, without this entailing additional workload. For example, with a decreasing diameter (as this may result due to wear) of the saw blade, the sensor which detects the size of the saw blade will be moved closer to the axis of rotation of the saw blade. This displacement of the detector also leads to a forced displacement of the dispensers due to the common carrier with which the detectors) and the dispensers are assembled. It can thus be realized that the positioning of the dispensers is always optimal in relation to the size of the saw blade. This leads to an improvement of process control without additional workload.

Bij voorkeur is de geleiding van de gemeenschappelijke drager van de sensor en de dispenser evenwijdig opgesteld aan het zaagblad. Een verstelling van sensor en dispenser is onder normale omstandigheden slechts gewenst in relatie tot 10260 80 3 diametervariatie van het zaagblad. De vrijheidgraad van verstelling (dat wil zeggen het vlak waardoor de geleiding voert) is daarom in het bijzonder gewenst in het vlak dat loodrecht staat op de rotatie-as van het zaagblad, hetgeen met ander woorden een vlak is . dat evenwijdig is aan het zaagblad. - 5The guide of the common carrier of the sensor and the dispenser is preferably arranged parallel to the saw blade. Under normal circumstances, a sensor and dispenser adjustment is only required in relation to 10260 80 3 diameter variation of the saw blade. The degree of freedom of adjustment (i.e. the plane through which the guide passes) is therefore particularly desirable in the plane perpendicular to the axis of rotation of the saw blade, which is in other words a plane. that is parallel to the saw blade. - 5

In weer een ander voorkeursvariant van de inrichting overeenkomstig de uitvinding is. het zaagblad vertikaal opgesteld en sluit de geleiding onder een hoek van 45° in met de vertikaal. Met een dergelijke hoek van een lineaire geleiding kan een detector voor het bepalen van de omvang die detecteert nabij de positie van het zaagblad waar deze langs 10 een horizontaal de grootste maat heeft (op 3 of 9 uur) star worden samengebouwd met een dispenser die nabij de snijlocatie waar het zaagblad, gewoonlijk aan bovenzijde of aan onderzijde van het zaagblad, aangrijpt op de drager van elektronische componenten (12 of 6 uur) waarbij een horizontale verplaatsing van de detector resulteert in een verplaatsing over een identieke afstand in verticale richting van de dispenser. Alzo zal .15 de dispenser zonder de tussenkomst van complexe overbrengingen op optimale wijze worden verplaatst ten gevolge van een diametervariatie van het zaagblad die wordt waargenomen in horizontale richting.In yet another preferred variant of the device according to the invention is. the saw blade is arranged vertically and encloses the guide at an angle of 45 ° with the vertical. With such an angle of a linear guide, a detector for determining the size that detects near the position of the saw blade where it has the largest dimension along a horizontal (at 3 or 9 o'clock) can be rigidly assembled with a dispenser close to the cutting location where the saw blade, usually at the top or bottom of the saw blade, engages the support of electronic components (12 or 6 hours) where a horizontal movement of the detector results in an movement over an identical distance in the vertical direction of the dispenser . Thus, without the intervention of complex transfers, the dispenser will be optimally displaced as a result of a diameter variation of the saw blade which is observed in the horizontal direction.

De sensor kan eenvoudig, betrouwbaar en goedkoop worden gevormd door een discrete 20 optische detector die samenwerkt met een positie-indicator zodanig dat bij een wijziging van de discrete waarde van de optische detector een positie kan worden vastgesteld.The sensor can be formed simply, reliably and cheaply by a discrete optical detector which cooperates with a position indicator such that a position can be determined in the event of a change in the discrete value of the optical detector.

Zulke sensoren zijn tegen geringe kosten algemeen verkrijgbaar en zijn weinig storingsgevoelig.Such sensors are generally available at low costs and are not susceptible to interference.

25 In weer een andere uitvoeringsvariant omvat de dispenser twee aan weerzijden van het zaagblad geplaatste meervoudige spuitkoppen welke zijn ingericht voor het naar nabij de bovenzijde of nabij de onderzijde van het zaagblad gelegen locaties voeren van een medium. Zo kan bijvoorbeeld van aan weerzijden van het zaagblad gelegen locaties spanen, stof of andere verontreinigend materiaal worden afgevoerd met een medium 30 (veelal een spoelvloeistof).In yet another embodiment variant, the dispenser comprises two multiple nozzles placed on either side of the saw blade which are adapted to carry a medium located near the top or near the bottom of the saw blade. For example, chips, dust or other contaminating material can be discharged from locations located on either side of the saw blade with a medium (usually a rinsing liquid).

In weer een andere uitvoeringsvariant is de inrichting voorzien van ten minste twee evenwijdig aan elkaar opgestelde roteerbare zaagbladen die zijn bevestigd op afzonderlijk instelbare aandrijfassen. Dergelijke zaagbladen zijn bij voorkeur beiden 10260 80 % tl 4 voorzien van een op een gemeenschappelijke drager samengebouwdë sensor en de dispenser. Juist bij een meervoudige (dubbele) separatie-inrichting met onafhankelijk verplaatsbare zaagbladen is het noodzakelijk de benodigde onderdelen compact samen te bouwen. De gemeenschappelijke drager overeenkomstig de uitvinding maak dit S mogelijk, zodat de onderhavige uitvinding in het bijzonder voordelig kan worden toegepast bij een meervoudige separatie-inrichting. Anderzijds is het ook mógelijk de onderhavige inrichting ook toe te passen bij twee of meerdere zaagbladen die zijn samengebouwd op een zelfde aandrijfas (dat wil zeggen eèn enkele spindel). Bij de op een zelfde as samengebouwde zaagbladen kan voordelig gebruik worden gemaakt van 10 een gemeenschappelijke drager voor de sensoren en dispensers van alle samengebouwde zaagbladen.In yet another embodiment, the device is provided with at least two rotatable saw blades arranged parallel to each other and mounted on separately adjustable drive shafts. Such saw blades are preferably both 10260 80% tl 4 provided with a sensor assembled on a common carrier and the dispenser. Especially with a multiple (double) separation device with independently movable saw blades, it is necessary to compactly assemble the required parts. The common carrier according to the invention makes this S possible, so that the present invention can be used particularly advantageously with a multiple separation device. On the other hand, it is also possible to apply the present device also to two or more saw blades that are assembled on the same drive shaft (i.e., a single spindle). With the saw blades assembled on the same axis, advantageous use can be made of a common carrier for the sensors and dispensers of all assembled saw blades.

. Verder is het ook wenselijk dat de sensor is aangesloten op een gegevensverwerkende eenheid, en dat de gegevens verwerkende eenheid is ingericht voor het afhankelijk van 15 de met de sensor waargenomen meetwaarden aansturen van aandrijfmiddelen waarmee . de gemeenschappelijke drager verplaatsbaar is langs de geleiding. Zo kan de beheersing van de procesconditie op geautomatiseerde wijze worden uitgevoerd zonder dat er complexe besturingsmiddelen benodigd zijn. Een enkele aandrijving volstaat volgens de uitvinding.. Furthermore, it is also desirable that the sensor is connected to a data processing unit, and that the data processing unit is adapted to control drive means with which, depending on the measured values observed with the sensor. the common carrier is movable along the guide. The control of the process condition can thus be carried out in an automated manner without the need for complex control means. A single drive is sufficient according to the invention.

2020

De uitvinding verschaft tevens een werkwijze voor het separeren van op een drager bevestigde elektronische componenten, door het ten opzichte van elkaar verplaatsen van een roterend zaagblad en de op te delen drager met elektronische componenten, waarbij de rand van het althans in hoofdzaak cirkelvoimige zaagblad wordt 25 waargenomen met sensormiddelen, op basis van welke waarneming door gezamenlijke verplaatsing de sensormiddelen en ten opzichte van het zaagblad te positioneren dispensermiddelén voor een medium ten opzichte van het zaagblad worden gepositioneerd. Door middel van deze werkwijze kunnen de voordelen worden gerealiseerd zoals voorgaand beschreven aan de hand van de inrichting volgens de 30 uitvinding.The invention also provides a method for separating electronic components mounted on a carrier, by moving a rotating saw blade and the carrier to be divided with electronic components relative to each other, wherein the edge of the at least substantially circular saw blade becomes observed with sensor means, on the basis of which perception by joint displacement the sensor means and dispenser means to be positioned relative to the saw blade are positioned for a medium relative to the saw blade. By means of this method the advantages can be realized as described above with reference to the device according to the invention.

In een voorkeurstoepassing van deze werkwijze wordt de drager gelijktijdig door twee roterende zaagbladen bewerkt, ten opzichte van welke zaagbladen beiden, en onafhankelijk van elkaar, gezamenlijk sensormiddelen en dispensermiddelen 10260 80 % fr 5 verplaatsbaar zijn. Aldus worden in een meervoudige separatie-inrichting 4e detectoren en de dispensers van de verschillende zaagbladen per zaagblad onafhankelijk verplaatst. Dit kan eenvoudig worden uitgevoerd indien de sensormiddelen en de dispensermiddelen verplaatst worden langs een gezamenlijke geleiding.In a preferred application of this method, the carrier is processed simultaneously by two rotating saw blades, relative to which saw blades both, and independently of each other, are jointly displaceable sensor means and dispensing means 10260 80% fr. Thus, in a multiple separation device, the detectors and the dispensers of the different saw blades are independently displaced per saw blade. This can easily be carried out if the sensor means and the dispensing means are moved along a common guide.

55

De onderhavige uitvinding zal verder worden verduidelijkt aan de hand van de in navolgende.figuren weergegeven niet-limitatieve uitvoeringsvoorbeelden. Hierin toont: figuur IA een schematisch aanzicht op een inrichting overeenkomstig de uitvinding, figuur 1B een schematisch aanzicht op de inrichting getoond in figuur IA in een 10 gewijzigde toestand, en figuur 2 een perspectivisch aanzicht op de inrichting volgens de figuren IA en 1B.The present invention will be further elucidated with reference to the non-limitative exemplary embodiments shown in the following figures. Herein: figure IA shows a schematic view of a device according to the invention, figure 1B shows a schematic view of the device shown in figure IA in a modified state, and figure 2 a perspective view of the device according to figures IA and 1B.

Figuur 1 toont een inrichting 1 voor het met een zaagblad 2 separeren van, in deze figuur niet getoonde, elektronische componenten. Het zaagblad 2 is met een 15 bevestigingsflens 3 star verbonden met een roteerbare aandrijfas 4. Op een vaste positie ten opzichte van de aandrijfas 4 bevindt zich een geleiding 5 waarlangs een wagen 6 verplaatsbaar is overeenkomstig de pijl Pi. De wagen 6 draagt een buis 7 met sleuven 8 waaruit een voor een toevoerbuis 9 aangevoerde vloeistof kan worden gespoten. De door de buis 8 aangevoerde vloeistof wordt met name aangewend voor het verwijderen 20 van zaagafval, hetgeen in de navolgende figuur verder zal worden verduidelijkt De wagen draagt tevens een mondstuk 10 waaruit eveneens de door de toevoerbuis.9 aangevoerde vloeistof kan worden gespoten. Als. alternatief is het ook mogelijk dat een separate toevoer voor het mondstuk 10 (dat wil zeggen separaat van de toevoer 9 voor de buis 8) aansluit op de inrichting 1. Het mondstuk 10 i's er met name voor om een 25 vloeistof te spuiten op de cirkelvormige snij rand 11 van het zaagblad 2. De wagen 6 draagt ook nog een detector 12 waarmee kan worden waargenomen of deze wordt afgeschermd door het zaagblad 2 of dat deze wordt vrijgelaten. Het detectiesignaal afkomstig van de detector 12 wordt doorgeleid door een signaalleiding 13. In de in deze figuur weergeven stand van de wagen 6 wordt de detector 12 niet afgeschermd door het 30 zaagblad 2. De buis 7, het mondstuk 10 en de detector 12 zijn onderling star verbonden. Op de geleiding 5 is een schaalverdeling 13 aangebracht waarmee de positie van d@ wagen kan worden bepaald op het moment dat bij verplaatsing van de wagen 6 het signaal van de detector 12 wijzigt. Met behulp van deze maat kan de diameter D2 van het zaagblad worden bepaald.Figure 1 shows a device 1 for separating electronic components, not shown in this figure, with a saw blade 2. The saw blade 2 is rigidly connected to a rotatable drive shaft 4 with a mounting flange 3. At a fixed position relative to the drive shaft 4 there is a guide 5 along which a carriage 6 can be moved in accordance with the arrow Pi. The carriage 6 carries a tube 7 with slots 8 from which a liquid supplied for a supply tube 9 can be sprayed. The liquid supplied by the tube 8 is used in particular for removing sawing waste, which will be further elucidated in the following figure. The carriage also carries a nozzle 10 from which the liquid supplied by the supply tube 9 can also be sprayed. If. alternatively it is also possible that a separate supply for the nozzle 10 (i.e. separately from the supply 9 for the tube 8) connects to the device 1. The nozzle 10 is in particular for spraying a liquid on the circular cutting edge 11 of the saw blade 2. The carriage 6 also carries a detector 12 with which it can be observed whether it is shielded by the saw blade 2 or whether it is released. The detection signal from the detector 12 is passed through a signal line 13. In the position of the carriage 6 shown in this figure, the detector 12 is not shielded by the saw blade 2. The tube 7, the nozzle 10 and the detector 12 are mutually rigidly connected. Arranged on the guide 5 is a scale 13 with which the position of the carriage can be determined at the moment that the signal from the detector 12 changes when the carriage 6 is displaced. With this measure the diameter D2 of the saw blade can be determined.

10260 8010260 80

\ B\ B

66

In figuur 1B wordt de inrichting 1 getoond echter nu met schematisch weergegeven met een drager geïntegreerde te separeren elektronische componenten 14 die door een manipulator 15 worden vastgehouden. Zoals uit deze figuur duidelijk blijkt worden de 5 producten 14 aan de bovenzijde van het zaagblad 2 gezaagd. De inrichting 1 kan evenwel ook worden gespiegeld zodat producten 14 aan de onderzijde van het zaagblad 2 kunnen worden gezaagd. De buis 7 met sleuven 8 is zo opgesteld dat de vloeistof uit de sleuven 8 doelmatig tegen de componenten 14 en het zaagblad 2 wordt gesproeid voor het verwijderen van stof, en andere verontreinigende delen ten gevolge van de 10 zaagbewerking. De wagen 6 is in figuur 1B naar beneden verplaatst ten opzichte van de positie van de wagen 6 in figuur IA. De wagen 6 is in figuur 1B zover naar beneden bewogen dat de detector 12 de snijrand 11 van het zaagblad 2 over enige afstand is gepasseerd. Xn deze stand van de detector 12 kan als breukdetectie tijdens het zagen worden gemeten of er geen randdelen van het zaagblad 2 ontbreken. Ten gevolge van 15 deze positionering van de detector 2 staan gelijktijdig de spuitkop 10 en de buis 7 in een werkpositie waarin zij doelmatig functioneren.In figure 1B the device 1 is shown, but now with electronic components 14 to be separated, integrated schematically with a carrier, which components are retained by a manipulator 15. As is clear from this figure, the products 14 are sawn on the top of the saw blade 2. However, the device 1 can also be mirrored so that products 14 can be sawn on the underside of the saw blade 2. The tube 7 with slots 8 is arranged such that the liquid from the slots 8 is effectively sprayed against the components 14 and the saw blade 2 for removing dust and other contaminating parts as a result of the sawing operation. The carriage 6 is moved downwards in Figure 1B with respect to the position of the carriage 6 in Figure 1A. The carriage 6 is lowered in figure 1B so far that the detector 12 has passed the cutting edge 11 of the saw blade 2 over some distance. In this position of the detector 12 it can be measured as fracture detection during sawing whether no edge parts of the saw blade 2 are missing. As a result of this positioning of the detector 2, the spray head 10 and the tube 7 are simultaneously in a working position in which they function effectively.

In figuur 2 is een perspectivisch aanzicht op de inrichting 1 getoond in de voorgaande figuren. Duidelijk zichtbaar is dat de buis 7 dubbel is uitgevoerd zodanig dat deze aan 20 twee zijden van het zaagblad 2 een reinigende werking kan uitoefenen. Ook zichtbaar is dat de aandrijfas 4 wordt aangedreven door een stationair geplaatste elektromotor 16.Figure 2 shows a perspective view of the device 1 in the preceding figures. It is clearly visible that the tube 7 has a double design, such that it can exert a cleaning effect on two sides of the saw blade 2. It is also visible that the drive shaft 4 is driven by a stationary electric motor 16.

De sensor 12 is samen met een positie-bepaler 17 (waarmee de positie van de wagen 6 - ten opzichte van de geleiding 5 wordt bepaald) onder tussenkomst van signaalleidingm 13,18 verbonden met een computer 19. Voor de automatische positionering en voor het 25 uivoeren van metingen (door het langs de geleiding 5 verplaatsen van de wagen 6 totdat een signaalverandering van de detector 12 wordt geregistreerd) kan de computer 19 een actuator (cilinder of als alternatief mógelijk een spindelaandrijving) 20 aansturen. De geleiding is onder een hoek van 45° geplaatst ten opzichte van een horizontaal 21 zodat een verplaatsing van de detector 12 ten opzichte van de snijrand 1! resulteert in een 30 (althans in hoofdzaak) corresponderende verplaatsing van de dispensers 8,10 (de sleuven 8 in de buis 7 en het mondstuk 10).The sensor 12 is connected to a computer 19 together with a position determiner 17 (with which the position of the carriage 6 - relative to the guide 5) is connected via signal line 13,18. For automatic positioning and for Performing measurements (by moving the carriage 6 along the guide 5 until a signal change from the detector 12 is registered), the computer 19 can control an actuator (cylinder or alternatively a spindle drive). The guide is positioned at an angle of 45 ° with respect to a horizontal 21 so that a displacement of the detector 12 relative to the cutting edge 1! results in a (at least substantially) corresponding displacement of the dispensers 8,10 (the slots 8 in the tube 7 and the nozzle 10).

Het moge duidelijk zijn dat de uitvinding niet beperkt is tot de hier weergegeven en beschreven uitvoeringsvoorbeelden, maar dat binnen het kader van de bijgaande 10260 §0 » 0 7 conclusies legio varianten mogelijk zijn, die voor de vakman op dit gebied voor de hand zullen liggen.It will be clear that the invention is not limited to the exemplary embodiments shown and described here, but that within the scope of the appended 10260 claims, numerous variants are possible which will be obvious to those skilled in the art. .

x ‘ ! 10260 80 · .x "! 10260 80 ·.

Claims

Device for separating electronic components mounted on a carrier, comprising: 5. a rotatable saw blade with a substantially circular cutting edge, - at least one sensor for detecting the substantially circular cutting edge, and - a dispenser for a medium, characterized in that the sensor and the dispenser are assembled together on a common carrier, which common carrier is movable along a guide relative to the saw blade.

Device according to claim 1, characterized in that the guide is parallel to the saw blade. IS

Device according to claim 2, characterized in that the saw blade is arranged vertically and encloses the guide at an angle of 45 ° with the vertical.

; Device as claimed in any of the foregoing claims, characterized in that the sensor is adapted to measure the diameter of the saw blade.

Device as claimed in any of the foregoing claims, characterized in that the sensor is adapted to detect interruptions in the circular incisor. 25

Device as claimed in any of the foregoing claims, characterized in that the sensor is formed by a discrete optical detector which cooperates with a position indicator.

Device as claimed in any of the foregoing claims, characterized in that the dispenser comprises a spray head to be directed at the circular cutting edge.

Device as claimed in any of the foregoing claims, characterized in that the dispenser comprises a spray head which carries a medium to a location located near the top of the saw blade.

Device as claimed in claim 8, characterized in that the dispenser comprises two multiple nozzles placed on either side of the saw blade which are adapted to guide a medium located near the top of the saw blade.

Device as claimed in any of the foregoing claims, characterized in that the device is provided with at least two rotatable saw blades arranged parallel to each other and mounted on separately adjustable drive shafts.

11. Device as claimed in any of the foregoing claims, characterized in that the sensor is connected to a data processing unit, and the data processing unit is adapted for controlling drive means with which the common carrier is displaceable along the measured values observed with the sensor the guidance.

12. Method for separating electronic components mounted on a support, by moving a rotating saw blade and the support to be divided with electronic components relative to each other, wherein the edge of the at least substantially circular saw blade is sensed with sensor means, on the basis of which observation by joint displacement the sensor means and dispensing means to be positioned relative to the saw blade for a medium are positioned relative to the saw blade.

13. Method as claimed in claim 12, characterized in that the carrier is simultaneously processed by two rotating saw blades, relative to which saw blades both, and independently of each other, are jointly displaceable sensor means and dispensing means. $ 10260) <Y *

A method according to claim 12 or 13, characterized in that the sensor means and the dispensing means are displaced along a common guide. 10260 80