KR102341606B1 - Cutting apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 피가공물의 절삭 시에 있어서, 절삭 블레이드가 장착된 스핀들의 부하 전류값이 높아진 부분을 오퍼레이터가 특정하기 쉽게 하는 것을 과제로 한다.
본 발명은, 회전 구동되는 스핀들(111)과, 스핀들(111)의 선단에 장착되어 척 테이블(10)에 유지된 피가공물(W)을 절삭하는 절삭 블레이드(113)를 구비하고, 피가공물(W)을 가공 예정 라인을 따라 절삭 가공하는 절삭 장치(1)로서, 절삭 가공 시에 있어서의 스핀들(111)의 부하 전류값을 검출하는 부하 전류값 검출 수단(15)과, 부하 전류값 검출 수단(15)에 의해 검출한 부하 전류값을 표시하는 표시 수단(18)을 구비하고, 가공 예정 라인과 가공 예정 라인의 가공 시의 스핀들(111)의 부하 전류값을 대응시켜 표시 수단(18)에 표시하는 것인, 절삭 장치이다.An object of the present invention is to make it easy for an operator to specify a portion in which the load current value of a spindle to which a cutting blade is mounted is increased when cutting a workpiece.
The present invention is provided with a spindle 111 that is driven rotationally, and a cutting blade 113 that is mounted on the tip of the spindle 111 and cuts the workpiece W held in the chuck table 10, and the workpiece ( A cutting device 1 for cutting W) along a machining schedule line, comprising: a load current value detecting means 15 for detecting a load current value of the spindle 111 during cutting, and a load current value detecting means Display means (18) for displaying the load current value detected by (15) is provided, and the load current value of the spindle 111 at the time of machining of the line to be machined and the line to be machined is matched to the display means (18) It is a cutting device that is displayed.

Description

절삭 장치{CUTTING APPARATUS}CUTTING APPARATUS {CUTTING APPARATUS}

본 발명은 피가공물을 절삭하는 절삭 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cutting device for cutting a workpiece.

절삭 장치에 있어서는, 절삭 블레이드를 피가공물의 가공 예정 라인에 절단진입시켜 절삭을 행하고 있다. 절삭 블레이드는, 스핀들에 장착되고, 스핀들의 회전에 의해 절삭 블레이드도 회전하는 구성으로 이루어진다.In a cutting device, cutting is performed by cutting a cutting blade into a line to be processed on a workpiece. The cutting blade is mounted on the spindle, and the cutting blade is also rotated by the rotation of the spindle.

절삭 블레이드에 의한 절삭 가공에 있어서는, 절삭 블레이드가 마모되거나 하여 절삭 능력이 저하하면, 피가공물에 치핑(chipping)이 생기는 등의 문제가 생길 수 있다. 그래서, 절삭 장치에서는, 스핀들이 일정한 회전수로 회전하도록 제어를 행하고, 스핀들의 부하 전류값을 감시하여, 부하 전류값이 상승한 경우에는, 절삭 블레이드를 드레싱(dressing)하는 등의 처리를 행함으로써, 절삭 품질의 유지를 도모하고 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조).In cutting with a cutting blade, if the cutting ability is reduced due to wear of the cutting blade or the like, problems such as chipping may occur in the workpiece. Therefore, in the cutting device, by controlling the spindle to rotate at a constant rotation speed, monitoring the load current value of the spindle, and performing processing such as dressing the cutting blade when the load current value increases, The maintenance of cutting quality is aimed at (for example, refer patent document 1).

특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2009-283604호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Laid-Open No. 2009-283604

그러나, 부하 전류값을 감시함으로써, 절삭 시에 부하 전류값이 상승한 것은 파악할 수 있어도, 그것이 어떤 가공 예정 라인의 절삭 시에 생긴 것인지를 아는 것은 용이하지 않다. 그 때문에, 피가공물이 분할되어 형성되는 다수의 칩 중, 어떤 칩의 품질에 문제가 있는 것인지는 파악할 수 없다. 한편, 어느 절삭 시에 얼마만큼의 부하 전류값이 검출된 것인지를 오퍼레이터가 파악할 수 있게 되면, 품질에 문제가 있다고 생각되는 칩을 특정하기 쉬워진다.However, although it can be grasped that the load current value rose during cutting by monitoring the load current value, it is not easy to know what kind of processing line was generated at the time of cutting. Therefore, it cannot be grasped which chip has a problem in quality among a plurality of chips formed by dividing the workpiece. On the other hand, if the operator can grasp how much of the load current value was detected during which cutting, it becomes easier to specify the chip considered to have a quality problem.

본 발명은 이러한 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 피가공물의 절삭 시에 있어서, 절삭 블레이드가 장착된 스핀들의 부하 전류값이 높아진 부분을 오퍼레이터가 특정하기 쉽게 하는 것을 과제로 한다.The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to make it easier for the operator to specify a portion where the load current value of the spindle to which the cutting blade is mounted is increased when cutting a workpiece.

본 발명은 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 회전 구동되는 스핀들과, 상기 스핀들의 선단에 장착되어 상기 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 구비하고, 상기 피가공물을 가공 예정 라인을 따라 절삭 가공하는 절삭 장치로서, 절삭 가공 시에 있어서의 상기 스핀들의 부하 전류값을 검출하는 부하 전류값 검출 수단과, 상기 부하 전류값 검출 수단에 의해 검출한 부하 전류값을 표시하는 표시 수단과, 적어도 상기 부하 전류값 검출 수단과 상기 표시 수단을 제어하는 제어 수단을 구비하고, 상기 제어 수단은 가공 예정 라인과 상기 가공 예정 라인의 가공 시의 상기 스핀들의 부하 전류값을 대응시켜 상기 표시 수단에 표시한다.The present invention is provided with a chuck table for holding a workpiece, a spindle driven by rotation, and a cutting blade mounted on the tip of the spindle for cutting a workpiece held on the chuck table, wherein the workpiece is processed on a line A cutting device for cutting according to the cutting process, comprising: a load current value detecting means for detecting a load current value of the spindle during cutting; a display means for displaying the load current value detected by the load current value detecting means; and control means for controlling at least the load current value detecting means and the display means, wherein the control means matches the load current value of the spindle during machining of the machining line and the machining line to be displayed on the display means do.

상기 절삭 장치에 있어서, 상기 제어 수단은 부하 전류값의 값에 따라, 가공 예정 라인을 색별, 선 종류별 중 어느 한쪽 또는 양쪽에 의해 상기 표시 수단에 표시하는 것이 바람직하다.In the cutting device, it is preferable that the control means displays the line to be machined on the display means by either one or both of a color and a line type according to the value of the load current value.

본 발명에서는, 제어 수단이, 가공 예정 라인과 그 가공 예정 라인의 가공 시의 스핀들의 부하 전류값을 대응시켜 표시 수단에 표시하기 때문에, 어떤 가공 예정 라인의 절삭 시에 얼마만큼의 부하 전류가 생긴 것인지를 한눈에 파악할 수 있다. 따라서, 품질에 문제가 있다고 생각되는 칩을 특정하기 쉬워진다.In the present invention, since the control means displays on the display means the load current value of the spindle at the time of machining of the machining line and the machining line, how much load current is generated during cutting of a certain machining line You can see at a glance whether Therefore, it becomes easy to specify the chip which is considered to have a quality problem.

도 1은 절삭 장치의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 2는 피가공물의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 3은 표시 수단에 있어서의 표시예를 나타내는 정면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a perspective view which shows an example of a cutting device.
It is a perspective view which shows an example of a to-be-processed object.
Fig. 3 is a front view showing a display example in the display means.

도 1에 나타내는 절삭 장치(1)는, 피가공물(W)에 절삭 가공을 실시하는 장치로서, 예컨대, 피가공물(W)을 유지하는 척 테이블(10)과, 척 테이블(10)에 유지된 피가공물(W)을 절삭하는 절삭 수단(11)을 적어도 구비한다.The cutting device 1 shown in FIG. 1 is a device for performing cutting on a workpiece W, and includes, for example, a chuck table 10 holding the workpiece W, and a chuck table 10 held by the chuck table 10 . The cutting means 11 for cutting the to-be-processed object W is provided at least.

절삭 장치(1)의 베이스(1A)의 전방(+Y 방향측)에는, X축 방향으로 척 테이블(10)을 왕복 이동시키는 절삭 이송 수단(12)이 구비된다. 절삭 이송 수단(12)은, X축 방향의 축심을 갖는 볼 나사(120)와, 볼 나사(120)와 평행하게 배치되는 한 쌍의 가이드 레일(121)과, 볼 나사(120)를 회동시키는 모터(122)와, 내부의 너트가 볼 나사(120)에 나사 결합하여 바닥부가 가이드 레일(121)에 미끄럼 접촉하는 가동판(123)으로 구성된다. 그리고, 모터(122)가 볼 나사(120)를 회동시키면, 이에 따라 가동판(123)이 가이드 레일(121)에 가이드되어 X축 방향으로 이동하고, 가동판(123) 상에 배치된 척 테이블(10)이 가동판(123)의 이동에 따라 X축 방향으로 이동함으로써, 척 테이블(10)에 유지된 피가공물(W)이 절삭 이송된다.A cutting feed means 12 for reciprocating the chuck table 10 in the X-axis direction is provided in front (+Y direction side) of the base 1A of the cutting device 1 . The cutting feed means 12 includes a ball screw 120 having an axial center in the X-axis direction, a pair of guide rails 121 arranged parallel to the ball screw 120 , and rotating the ball screw 120 . It is composed of a motor 122 and a movable plate 123 in which the inner nut is screwed to the ball screw 120 and the bottom part is in sliding contact with the guide rail 121 . Then, when the motor 122 rotates the ball screw 120 , the movable plate 123 is guided by the guide rail 121 to move in the X-axis direction, and the chuck table disposed on the movable plate 123 . As the 10 moves in the X-axis direction in accordance with the movement of the movable plate 123 , the workpiece W held by the chuck table 10 is cut and fed.

도 1에 나타내는 척 테이블(10)은, 피가공물(W)을 흡착하는 다공성 부재 등으로 이루어지는 흡착부(100)와, 흡착부(100)를 지지하는 프레임(101)을 구비한다. 흡착부(100)는 도시하지 않는 흡인원에 연통되어, 흡착부(100)의 노출면인 유지면(100a) 상에서 피가공물(W)을 흡인 유지한다. 척 테이블(10)은, 커버(102)에 의해 주위로부터 둘러싸이고, 척 테이블(10)의 바닥면측에 배치된 회전 수단(103)에 의해 구동되어 회전할 수 있게 된다. 또한, 프레임(101)의 주위에는, 환형 프레임(F)을 고정하는 고정 클램프(104)가 둘레 방향으로 균등하게 4개 배치된다.The chuck table 10 shown in FIG. 1 is provided with the adsorption|suction part 100 which consists of a porous member etc. which adsorb|sucks the to-be-processed object W, and the frame 101 which supports the adsorption|suction part 100. As shown in FIG. The adsorption part 100 communicates with a suction source (not shown), and the to-be-processed object W is attracted|sucked and held on the holding surface 100a which is an exposed surface of the adsorption|suction part 100. As shown in FIG. The chuck table 10 is surrounded from the periphery by the cover 102 , and is driven by the rotation means 103 disposed on the bottom surface side of the chuck table 10 to be able to rotate. Further, around the frame 101, four fixing clamps 104 for fixing the annular frame F are arranged equally in the circumferential direction.

절삭 장치(1)의 베이스(1A) 상에는, Y축 방향으로 절삭 수단(11)을 왕복 이동시키는 인덱싱 이송 수단(13)이 구비된다. 인덱싱 이송 수단(13)은, Y축 방향의 축심을 갖는 볼 나사(130)와, 볼 나사(130)와 평행하게 배치되는 한 쌍의 가이드 레일(131)과, 볼 나사(130)를 회동시키는 모터(132)와, 내부의 너트가 볼 나사(130)에 나사 결합하여 바닥부가 가이드 레일(131)에 미끄럼 접촉하는 가동판(133)으로 구성된다. 그리고, 모터(132)가 볼 나사(130)를 회동시키면, 이에 따라 가동판(133)이 가이드 레일(131)에 가이드되어 Y축 방향으로 이동하고, 가동판(133) 상에 배치되는 절삭 수단(11)이 가동판(133)의 이동에 따라 Y축 방향으로 이동함으로써, 절삭 수단(11)이 인덱싱 이송된다.On the base 1A of the cutting device 1, the indexing feed means 13 for reciprocating the cutting means 11 in the Y-axis direction is provided. The indexing transport means 13 includes a ball screw 130 having an axial center in the Y-axis direction, a pair of guide rails 131 arranged in parallel with the ball screw 130 , and a ball screw 130 for rotating the ball screw 130 . It is composed of a motor 132 and a movable plate 133 in which the inner nut is screwed to the ball screw 130 and the bottom part is in sliding contact with the guide rail 131 . Then, when the motor 132 rotates the ball screw 130 , the movable plate 133 is guided by the guide rail 131 to move in the Y-axis direction, and a cutting means disposed on the movable plate 133 . As the 11 moves in the Y-axis direction according to the movement of the movable plate 133 , the cutting means 11 is indexed.

가동판(133) 상으로부터는 벽부(145)가 일체적으로 세워서 설치되고, 벽부(145)의 +X 방향측의 측면에는 Z축 방향으로 절삭 수단(11)을 왕복 이동시키는 절단진입 이송 수단(14)이 구비된다. 절단진입 이송 수단(14)은, Z 방향의 축심을 갖는 볼 나사(140)와, 볼 나사(140)와 평행하게 배치되는 한 쌍의 가이드 레일(141)과, 볼 나사(140)를 회동시키는 모터(142)와, 내부의 너트가 볼 나사(140)에 나사 결합하여 측부가 가이드 레일(141)에 미끄럼 접촉하는 홀더(143)로 구성된다. 그리고, 모터(142)가 볼 나사(140)를 회동시키면, 이에 따라 홀더(143)가 가이드 레일(141)에 가이드되어 Z축 방향으로 이동하고, 홀더(143)에 하우징(11A)를 통해 지지되는 절삭 수단(11)이 홀더(143)의 이동에 따라 Z축 방향으로 이동한다.On the movable plate 133, the wall portion 145 is integrally installed, and on the side surface of the wall portion 145 on the +X direction side, a cutting entry transfer means for reciprocating the cutting means 11 in the Z-axis direction ( 14) is provided. The cutting entry transport means 14 includes a ball screw 140 having an axial center in the Z direction, a pair of guide rails 141 arranged in parallel with the ball screw 140, and rotating the ball screw 140 . It is composed of a motor 142 and a holder 143 in which the inner nut is screwed to the ball screw 140 so that the side is in sliding contact with the guide rail 141 . Then, when the motor 142 rotates the ball screw 140 , the holder 143 is guided by the guide rail 141 and moves in the Z-axis direction, and is supported by the holder 143 through the housing 11A. The cutting means 11 to be moved moves in the Z-axis direction according to the movement of the holder 143 .

절삭 수단(11)은, 홀더(143)에 의해 지지되는 하우징(110)과, 하우징(110)에 의해 회전 가능하게 지지되는 스핀들(111)과, 스핀들(111)을 회전 구동시키는 모터(112)와, 스핀들(111)의 선단부에 장착되는 절삭 블레이드(113)를 갖는다.The cutting means 11 includes a housing 110 supported by a holder 143 , a spindle 111 rotatably supported by the housing 110 , and a motor 112 for rotationally driving the spindle 111 . and a cutting blade 113 mounted on the tip of the spindle 111 .

도 1에 나타내는 절삭 블레이드(113)는, 예컨대, 허브 블레이드이고, 원반형으로 형성되어 중앙에 장착 구멍을 구비하는 알루미늄제의 베이스와, 베이스의 외주부에 고정한 절단날을 구비한다. 또한, 절삭 블레이드(113)는 허브 블레이드에 한정되는 것이 아니며, 외형이 환형인 와셔형 블레이드여도 좋다.The cutting blade 113 shown in FIG. 1 is, for example, a hub blade, and is provided with the base made of aluminum formed in the disk shape and provided with the mounting hole in the center, and the cutting blade fixed to the outer peripheral part of the base. Further, the cutting blade 113 is not limited to a hub blade, and may be a washer-type blade having an annular outer shape.

스핀들(111)은, 그 축 방향이 척 테이블(10)의 이동 방향(X축 방향)에 대하여 수평 방향으로 직교하는 방향(Y축 방향)이고, 스핀들(111)의 후단측(-Y 방향측의 단부측)은, 모터(112)의 회전력을 전달하는 샤프트에 연결되며, 스핀들(111)의 전단측에 절삭 블레이드(113)가 장착된다. 그리고, 모터(112)에 의해 스핀들(111)이 회전 구동됨에 따라, 절삭 블레이드(113)도 고속 회전한다.The spindle 111 has an axial direction perpendicular to the horizontal direction (Y-axis direction) with respect to the movement direction (X-axis direction) of the chuck table 10 , and the rear end side (-Y direction side) of the spindle 111 . end side) is connected to a shaft that transmits the rotational force of the motor 112 , and a cutting blade 113 is mounted on the front end side of the spindle 111 . And, as the spindle 111 is rotationally driven by the motor 112 , the cutting blade 113 also rotates at high speed.

모터(112)는 전동 모터이고, 모터(112)에는, 모터(112)에 전력을 공급하는 도시하지 않는 전원과, 모터(112)에 공급되는 전력의 부하 전류값을 검출하는 부하 전류값 검출 수단(15)이 접속된다.The motor 112 is an electric motor, and the motor 112 includes a power source (not shown) for supplying electric power to the motor 112 , and load current value detection means for detecting a load current value of the electric power supplied to the motor 112 . (15) is connected.

하우징(110)에는, 블레이드 커버(114)가 부착된다. 블레이드 커버(114)는, 그 대략 중앙부에 절삭 블레이드(113)를 부착하기 위한 개구부를 구비하고, 개구부에 절삭 블레이드(113)를 위치 부여하며, 절삭 블레이드(113)를 상방으로부터 덮는다. 또한, 블레이드 커버(114)에는, 피가공물(W)에 대하여 절삭 블레이드(113)가 접촉하는 가공점에 절삭수를 공급하는 절삭수 공급 노즐(115)이 부착된다. 예컨대, Y축 방향에서 보아 L자형으로 형성된 절삭수 공급 노즐(115)은, 절삭 블레이드(113)를 Y축 방향 양측으로부터 사이에 끼우도록 2개 배치되고, 절삭 블레이드(113)의 측면을 향하는 분사구를 구비하며, 도시하지 않는 절삭수 공급원에 연통된다.A blade cover 114 is attached to the housing 110 . The blade cover 114 has an opening for attaching the cutting blade 113 to its substantially central portion, positions the cutting blade 113 in the opening, and covers the cutting blade 113 from above. In addition, a cutting water supply nozzle 115 is attached to the blade cover 114 to supply cutting water to the machining point where the cutting blade 113 comes into contact with the workpiece W. For example, two cutting water supply nozzles 115 formed in an L-shape as viewed in the Y-axis direction are disposed so as to sandwich the cutting blades 113 from both sides in the Y-axis direction, and nozzles facing the side of the cutting blades 113 . and is connected to a cutting water supply source (not shown).

하우징(110)의 측면에는 얼라인먼트 수단(19)이 배치된다. 얼라인먼트 수단(19)은, 피가공물(W)을 촬상하는 촬상 수단(190)을 구비하고, 촬상 수단(190)은, 예컨대, 피가공물(W)에 광을 조사하는 광 조사부와, 피가공물(W)로부터의 반사광을 포착하는 광학계 및 반사광에 대응하는 전기 신호를 출력하는 촬상 소자(CCD) 등으로 구성되는 카메라를 구비한다. 얼라인먼트 수단(19)은, 촬상 수단(190)에 의해 취득한 화상에 기초하여, 피가공물(W)의 절삭하여야 하는 가공 예정 라인을 검출할 수 있다. 얼라인먼트 수단(19)과 절삭 수단(11)은 일체로 구성되고, 양자는 연동하여 Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동한다.Alignment means 19 are arranged on the side of the housing 110 . The alignment means 19 includes an imaging means 190 for imaging the workpiece W, and the imaging means 190 includes, for example, a light irradiator for irradiating the workpiece W with light, and the workpiece ( A camera comprising an optical system for capturing reflected light from W) and an image pickup device (CCD) for outputting an electric signal corresponding to the reflected light, etc. is provided. The alignment means 19 can detect the processing schedule line in which the to-be-processed object W should be cut based on the image acquired by the imaging means 190 . The alignment means 19 and the cutting means 11 are integrally constituted, and both move in the Y-axis direction and the Z-axis direction in conjunction with each other.

절삭 장치(1)는, CPU 및 메모리 등의 기억 소자로 구성되어 장치 전체의 제어를 행하는 제어 수단(16)을 구비한다. 제어 수단(16)은, 배선에 의해 절삭 이송 수단(12) 및 절단진입 이송 수단(14) 등의 각 장치 구성 요소에 접속되고, 제어 수단(16)에 의한 제어 하에서, 절삭 이송 수단(12)에 의한 척 테이블(10)의 X축 방향으로의 절삭 이송 동작이나, 절단진입 이송 수단(14)에 의한 절삭 수단(11)의 Z축 방향으로의 절단진입 이송 동작 등이 제어된다. 또한, 제어 수단(16)은, 부하 전류값 검출 수단(15)에 접속되고, 부하 전류값 검출 수단(15)은, 검출한 모터(112)의 부하 전류값에 대한 정보를 제어 수단(16)에 보낼 수 있어, 제어 수단(16)은, 부하 전류값에 기초한 제어를 행한다.The cutting apparatus 1 is comprised with memory elements, such as a CPU and a memory, and is provided with the control means 16 which controls the whole apparatus. The control means 16 is connected to each device component such as the cutting feed means 12 and the cut-in feed means 14 by wiring, and under the control by the control means 16, the cutting feed means 12 The cutting feed operation in the X-axis direction of the chuck table 10 by Further, the control means 16 is connected to the load current value detection means 15 , and the load current value detection means 15 transmits information about the detected load current value of the motor 112 to the control means 16 . , and the control means 16 performs control based on the load current value.

제어 수단(16)에는, 메모리 등의 기억 소자를 구비한 기억부(17)와, 제어 수단(16)으로부터의 출력 정보를 화면 표시하는 표시 수단(18)을 구비하고 있다.The control means 16 is provided with the storage part 17 provided with storage elements, such as a memory, and the display means 18 which displays the output information from the control means 16 on a screen.

이하에서는, 도 1에 나타내는 피가공물(W)을 종횡으로 절삭하여 분할 가공하는 경우에 있어서의 절삭 장치(1)의 동작에 대해서 설명한다. 도 1에 나타내는 피가공물(W)은 직사각 형상으로 형성되어 있고, 그 내부에는, 격자형의 영역에 다수의 디바이스가 형성되어 있다. 피가공물(W)의 이면(Wb)은, 다이싱 테이프(T)에 점착되어 있어, 다이싱 테이프(T)에 의해 보호되고 있다. 다이싱 테이프(T)의 점착면의 외주 영역에는 원형의 개구를 구비하는 환형 프레임(F)이 점착되어 있고, 피가공물(W)은, 다이싱 테이프(T)를 통해 환형 프레임(F)에 의해 지지되어 있다. 또한, 피가공물(W)은, 직사각형의 것으로 한정되지는 않는다.Below, the operation|movement of the cutting device 1 in the case where the to-be-processed object W shown in FIG. 1 is cut longitudinally and horizontally and divided processing is demonstrated. The to-be-processed object W shown in FIG. 1 is formed in the rectangular shape, and many devices are formed in the grid-shaped area|region inside it. The back surface Wb of the to-be-processed object W is adhered to the dicing tape T, and is protected by the dicing tape T. An annular frame F having a circular opening is adhered to the outer peripheral region of the adhesive surface of the dicing tape T, and the workpiece W is attached to the annular frame F via the dicing tape T. is supported by In addition, the to-be-processed object W is not limited to a rectangular thing.

먼저, 오퍼레이터에 의해, 도시하지 않는 조작 수단에 의해, 척 테이블(10)의 절삭 이송 속도, 피가공물(W)의 크기, 인접하는 절삭 라인 사이의 간격, 절삭 블레이드(113)의 절단진입 깊이 등의 가공 조건이 제어 수단(16)에 입력된다.First, by an operator, by operation means (not shown), the cutting feed rate of the chuck table 10, the size of the workpiece W, the spacing between adjacent cutting lines, the cutting depth of the cutting blade 113, etc. The processing conditions of are input to the control means (16).

피가공물(W)은, 도 1에 나타내는 척 테이블(10)의 중심과 피가공물(W)의 중심이 합치하도록, 다이싱 테이프(T)측을 아래로 하여 유지면(100a) 상에 배치된다. 그리고, 도시하지 않는 흡인원에 의해 만들어지는 흡인력을 유지면(100a)에 작용시킴으로써, 피가공물(W)의 피가공면(Wa)과 반대의 면인 이면(Wb)이 척 테이블(10)에 의해 흡인 유지된다. 또한, 각 고정 클램프(104)에 의해 환형 프레임(F)이 고정된다.The to-be-processed object W is arrange|positioned on the holding surface 100a with the dicing tape T side down so that the center of the chuck table 10 shown in FIG. 1 and the center of the to-be-processed object W may coincide. . Then, by applying a suction force generated by a suction source (not shown) to the holding surface 100a, the back surface Wb, which is a surface opposite to the processing surface Wa of the workpiece W, is moved by the chuck table 10. aspiration is maintained. Further, the annular frame F is fixed by each fixing clamp 104 .

계속해서, 절삭 이송 수단(12)이 척 테이블(10)에 유지된 피가공물(W)을 +X 방향으로 보내고, 절삭 블레이드(113)를 절단진입시켜야 하는 가공 예정 라인이 얼라인먼트 수단(19)에 의해 검출된다. 즉, 촬상 수단(190)에 의해 촬상된 피가공물(W)의 표면(Wa)의 화상에 의해, 얼라인먼트 수단(19)이 패턴 매칭 등의 화상 처리를 실행하여, 절삭 블레이드(113)를 절단진입시켜야 하는 가공 예정 라인이 검출된다. 가공 예정 라인이 검출됨에 따라, 절삭 수단(11)이 인덱싱 이송 수단(13)에 의해 Y축 방향으로 구동되어, 절삭하여야 하는 가공 예정 라인과 절삭 블레이드(113)의 Y축 방향에 있어서의 위치 맞춤이 행해진다.Subsequently, the cutting feed means 12 sends the workpiece W held on the chuck table 10 in the +X direction, and the machining schedule line in which the cutting blade 113 is to be cut into is aligned to the alignment means 19 . is detected by That is, according to the image of the surface Wa of the workpiece W imaged by the imaging means 190, the alignment means 19 performs image processing such as pattern matching, and the cutting blade 113 enters the cut. The line to be processed is detected. As the machining schedule line is detected, the cutting means 11 is driven in the Y-axis direction by the indexing feed means 13 to align the machining schedule line to be cut with the cutting blade 113 in the Y-axis direction. this is done

절삭 수단(11)을 구성하는 모터(112)에는 교류 전력이 공급되어, 스핀들(111) 및 절삭 블레이드(113)는 고속 회전한다. 그 상태에서, 절단진입 이송 수단(14)이 절삭 수단(11)을 -Z 방향으로 절단진입 이송하여, 절삭 블레이드(113)를 미리 정해진 높이 위치에 위치 부여한다.AC power is supplied to the motor 112 constituting the cutting means 11 , and the spindle 111 and the cutting blade 113 rotate at high speed. In that state, the cutting-in and out-feeding means 14 feeds the cutting means 11 in the -Z direction to position the cutting blade 113 at a predetermined height position.

절삭 블레이드(113)와 검출한 가공 예정 라인의 Y축 방향의 위치 맞춤이 이루어진 상태에서, 피가공물(W)을 유지하는 척 테이블(10)이 미리 정해진 절삭 이송 속도로 더욱 +X 방향으로 송출됨으로써, 척 테이블(10)과 절삭 블레이드(113)가 상대적으로 미리 정해진 속도로 절삭 이송 방향(X축 방향)으로 이동하여, 절삭 블레이드(113)가 고속 회전하면서 피가공물(W)의 검출된 가공 예정 라인에 절단진입되어, 그 가공 예정 라인이 절삭된다. 절삭 도중에, 절삭수 공급 노즐(115)로부터 절삭 블레이드(113)에 대하여 절삭수를 공급한다.With the cutting blade 113 and the detected machining line aligned in the Y-axis direction, the chuck table 10 holding the workpiece W is further fed in the +X direction at a predetermined cutting feed rate. , The chuck table 10 and the cutting blade 113 move in the cutting feed direction (X-axis direction) at a relatively predetermined speed, and the cutting blade 113 rotates at a high speed to detect the machining of the workpiece W It enters the line by cutting, and the line to be processed is cut. During cutting, cutting water is supplied from the cutting water supply nozzle 115 to the cutting blade 113 .

다음에, 인접하는 가공 예정 라인의 간격만큼 절삭 수단(11)을 Y축 방향으로 인덱싱 이송하여, 동일한 절삭을 행함으로써, 절삭 종료된 가공 예정 라인 옆의 가공 예정 라인을 절삭한다. 이와 같이 하여, 인덱싱 이송과 절삭을 반복해서 행함으로써, 같은 방향의 가공 예정 라인이 전부 절삭된다. 또한, 척 테이블(10)을 90도 회전시키고 나서 동일한 절삭을 행함으로써, 도 2에 나타내는 바와 같이, 모든 가공 예정 라인이 종횡으로 절삭되어, 개개의 칩으로 분할된다.Next, by performing the same cutting by indexing the cutting means 11 in the Y-axis direction by the interval of the adjacent machining line, the machining line next to the finished machining line is cut. In this way, by repeatedly performing indexing feed and cutting, all the machining lines in the same direction are cut. In addition, by rotating the chuck table 10 by 90 degrees and then performing the same cutting, as shown in FIG. 2 , all the planned processing lines are cut vertically and horizontally, and are divided into individual chips.

이와 같이 하여 행하는 절삭의 과정에 있어서는, 제어 수단(16)이, 절삭 이송 수단(12)을 구성하는 모터(122)에 관한 제어 정보[예컨대 모터(122)에 송출한 펄스 수 또는 인코더로부터의 정보]에 기초하여 피가공물(W)의 X축 방향의 위치를 검출하며, 인덱싱 이송 수단(13)을 구성하는 모터(132)에 관한 제어 정보[예컨대 모터(132)에 송출한 펄스 수 또는 인코더로부터의 정보]에 기초하여, 절삭 블레이드(113)의 Y축 방향의 위치를 검출한다. 즉, 이러한 2개의 제어 정보에 기초하여, 제어 수단(16)은, 현재의 절삭 가공 위치를 인식한다. 그리고, 도 3에 나타내는 바와 같이, 가공에 의해 형성되는 절삭홈(G)을, 표시 수단(18)에 리얼 타임으로 표시해 간다.In the process of cutting performed in this way, the control means 16 controls information regarding the motor 122 constituting the cutting feed means 12 (eg, the number of pulses sent to the motor 122 or information from the encoder). ], the position of the workpiece W in the X-axis direction is detected, and control information related to the motor 132 constituting the indexing transfer means 13 (for example, the number of pulses sent to the motor 132 or from the encoder) information], the position of the cutting blade 113 in the Y-axis direction is detected. That is, based on these two pieces of control information, the control means 16 recognizes the current cutting position. And as shown in FIG. 3, the cutting groove G formed by processing is displayed on the display means 18 in real time.

또한, 이와 병행하여, 제어 수단(16)은, 부하 전류값 검출 수단(15)에 있어서의 부하 전류를 순서대로 읽는다. 그리고, 가공 위치와 그 가공 위치의 가공 시에 있어서의 부하 전류값을 대응시킨 가공 위치별 부하 전류값 정보를 기억 수단(17)에 기억한다. 또한, 제어 수단(16)은, 가공 위치별 부하 전류값 정보를, 가공의 진행에 맞추어 표시 수단(18)에 리얼 타임으로 표시한다.Moreover, in parallel with this, the control means 16 reads the load current in the load current value detection means 15 in order. Then, information on the load current value for each machining position in which the machining position and the load current value at the time of machining the machining position are correlated is stored in the storage means 17 . In addition, the control means 16 displays the load current value information for each machining position in real time on the display means 18 according to the progress of the machining.

절삭 블레이드(113)에 의한 절삭 가공 시는, 절삭 블레이드(113)에 관한 부하가 커지면, 절삭 블레이드(113)에는 보다 강한 회전력이 필요해진다. 제어 수단(16)은, 스핀들(111)이 일정한 회전수로 회전하도록 모터(112)를 제어하기 때문에, 절삭 블레이드(113)에 작용하는 부하가 커지면, 모터(112)의 부하 전류값은 상승한다. 제어 수단(16)은, 도 3에 나타내는 바와 같이, 위에서 본 상태의 피가공물(W)을 표시하며, 절삭 가공에 의해 형성되는 절삭홈(G)을 표시하고, 절삭홈(G)의 형성 시의 부하 전류값을, 절삭홈(G)에 대응시켜 표시한다. 도 3의 예에서는, 부하 전류값에 맞추어 절삭홈(G)의 굵기를 바꿈으로써, 부하 전류값이 높은 부분을 한눈에 파악할 수 있도록 하고 있다. 즉, 또한, 도 3에 나타낸 예는, 모든 가공 예정 라인의 절삭이 종료되고, 모든 가공 예정 라인을 따라 절삭홈이 형성된 상태를 나타내고 있다.In the case of cutting with the cutting blade 113 , if the load on the cutting blade 113 increases, the cutting blade 113 requires a stronger rotational force. Since the control means 16 controls the motor 112 so that the spindle 111 rotates at a constant rotation speed, when the load acting on the cutting blade 113 increases, the load current value of the motor 112 rises. . As shown in FIG. 3 , the control means 16 displays the workpiece W in the state viewed from above, displays the cutting groove G formed by cutting, and when the cutting groove G is formed The load current value of is displayed in correspondence with the cutting groove (G). In the example of Fig. 3, by changing the thickness of the cutting groove (G) according to the load current value, it is possible to grasp the portion with a high load current value at a glance. That is, in the example shown in Fig. 3 , the cutting of all the planned machining lines is finished and the cutting grooves are formed along all the machining planned lines.

도 3의 예에 있어서는, 통상의 부하 전류값을 나타낸 부분과, 통상의 부하 전류값보다 큰 값을 나타낸 부분을, 오퍼레이터가 식별할 수 있도록 표시하고 있다. 구체적으로는, 절삭 중의 부하 전류값이 통상의 값이었던 부분은 세선으로 나타내고, 절삭 중의 부하 전류값이 1.0 A였던 부분은 굵은 선(G1), 절삭 중의 부하 전류값이 1.5 A였던 부분은 극히 굵은 선(G2), 절삭 중의 부하 전류값이 2.0 A였던 부분은 파선(G3), 부하 전류값이 2.5 A였던 부분은 파동형 선(G4)에 의해 표시하고 있다. 또한, 가공 예정 라인의 선 종류에 의한 식별(선 종류별) 대신에, 예컨대 색별에 의해 부하 전류값의 값을 식별할 수 있도록 하여도 좋다. 또한, 선 종류별과 색별을 병용하여도 좋다.In the example of FIG. 3, the part which showed the normal load current value and the part which showed the value larger than the normal load current value are displayed so that an operator can distinguish. Specifically, the portion where the load current value during cutting was a normal value is indicated by a thin line, the portion where the load current value during cutting was 1.0 A is indicated by a thick line (G1), and the portion where the load current value during cutting was 1.5 A is indicated by an extremely thick line. Line G2, the part where the load current value during cutting was 2.0 A is indicated by a broken line G3, and the part where the load current value was 2.5 A is indicated by a wavy line G4. In addition, instead of identification by line type (by line type) of the line to be processed, the value of the load current value may be identified by, for example, color classification. Moreover, you may use together line type classification and color classification.

부하 전류값이 높지 않은 부분에 대해서는, 가공 품질이 낮지 않다고 추정되고, 부하 전류값이 높은 부분에 대해서는, 가공 품질이 낮다고 추정된다. 따라서, 오퍼레이터는, 부하 전류값이 높은 부분에서 어떠한 가공 트러블이 발생하였다고 추정할 수 있고, 그 부분을 용이하게 특정할 수 있다. 또한, 부하 전류값이 높게 표시된 절삭홈의 양측의 칩만을 검사하도록 할 수도 있어, 생산성을 향상시킬 수 있다.It is estimated that the machining quality is not low for the portion where the load current value is not high, and it is estimated that the machining quality is low for the portion where the load current value is high. Therefore, the operator can estimate that some processing trouble has arisen in the part with a high load current value, and can specify the part easily. In addition, it is also possible to inspect only the chips on both sides of the cutting groove in which the load current value is displayed high, so that productivity can be improved.

가공 예정 라인에는, TEG(Test Element Group)라고 불리는 금속이 매립되어 있는 경우도 있다. 절삭 블레이드(113)가 TEG 등의 금속에 절단진입되면, 절삭 블레이드(113)에 걸리는 부하가 커지기 때문에, 모터(112)의 부하 전류값은 상승한다. 예컨대, TEG가 없는 부분의 절삭 시의 부하 전류값이 1.5 A인 경우는, TEG를 절삭하면, 부하 전류값이 2.0 A 정도가 된다. 따라서, 국소적으로 부하 전류값이 상승한 경우에는, TEG의 존재가 추정되어, 절삭 블레이드(113)의 절삭 능력의 저하에 기초한 부하 전류값의 증가가 아니라고 판단할 수 있다. 또한, TEG의 존재 위치를 확인할 수 있기 때문에, 다음에 동종의 피가공물을 절삭할 때에는, TEG의 존재 위치에 기초하여, 가공 예정 라인의 절삭 순서를 조정할 수 있다. 예컨대, TEG가 존재하는 가공 예정 라인을 마지막으로 절삭함으로써, 절삭 블레이드의 드레싱 횟수나 교환 횟수를 저감하는 것이 가능해져, 생산성이 향상된다.In some cases, a metal called TEG (Test Element Group) is embedded in the line to be processed. When the cutting blade 113 cuts into metal such as TEG, the load applied to the cutting blade 113 increases, so the load current value of the motor 112 increases. For example, if the load current value at the time of cutting the portion without the TEG is 1.5 A, when the TEG is cut, the load current value becomes about 2.0 A. Therefore, when the load current value locally increases, the existence of the TEG is estimated, and it can be determined that the load current value is not increased based on the decrease in the cutting ability of the cutting blade 113 . In addition, since the existence position of the TEG can be confirmed, the cutting order of the line to be machined can be adjusted based on the position of the TEG when cutting a workpiece of the same kind next time. For example, by last cutting the machining line in which the TEG is present, it becomes possible to reduce the number of dressings and replacements of the cutting blade, thereby improving productivity.

절삭 블레이드(113)를 오래 사용함으로써 절삭 능력이 저하한 경우도, 부하 전류값은 높아진다. 예컨대, 부하 전류값이 2.5 A∼3.0 A가 되면, 가공 품질이 저하한다. 그리고, 절삭 능력의 저하에 기인하여 부하 전류값이 높아진 경우는, 부하 전류값이 높은 상태가 쭉 계속되게 된다. 따라서, 오퍼레이터는, 표시 수단(18)에 표시되는 가공 위치별 부하 전류값 정보에 기초하여, 절삭 블레이드(113)의 절삭 능력이 저하하였기 때문에 부하 전류값이 높은 상태가 계속되고 있다고 판단한 경우는, 절삭 블레이드의 드레싱을 행한다. 예컨대, 도 1에 나타낸 척 테이블(10)의 근방에 도시하지 않는 드레싱 보드 등을 배치하고, 절삭 블레이드(113)를 드레싱 보드에 절단진입시킴으로써, 절삭 블레이드의 절삭 능력을 높일 수 있다. 또한, 드레싱 대신에, 절삭 블레이드(113)를 교환하여도 좋다.Even when the cutting ability is reduced by using the cutting blade 113 for a long time, the load current value is increased. For example, when the load current value is 2.5 A to 3.0 A, the machining quality deteriorates. And when the load current value becomes high due to the fall of the cutting ability, the state where the load current value is high continues all the time. Therefore, when the operator determines that the high load current value continues because the cutting ability of the cutting blade 113 has decreased based on the load current value information for each machining position displayed on the display means 18, Dressing of the cutting blade is performed. For example, by disposing a dressing board (not shown) or the like in the vicinity of the chuck table 10 shown in FIG. 1 and cutting the cutting blade 113 into the dressing board, the cutting ability of the cutting blade can be increased. Also, instead of dressing, the cutting blade 113 may be replaced.

또한, 피가공물(W)의 사이즈에 기초하여 절삭한 가공 예정 라인의 총거리를 구할 수 있기 때문에, 드레싱 후에 재차 절삭 능력이 저하하여 부하 전류값이 미리 정해진 값 이상이 된 경우는, 드레싱 후의 절삭 재개 시부터 부하 전류값이 미리 정해진 값 이상이 되기까지 사이의 총절삭 거리를 산출함으로써, 얼마만큼의 거리를 절삭한 시점에 드레싱(중간 드레스)을 행하면 좋은지를 파악하는 것이 가능해진다.In addition, since the total distance of the line to be cut can be calculated based on the size of the workpiece W, the cutting ability after dressing decreases and the load current value becomes greater than or equal to a predetermined value after dressing. By calculating the total cutting distance between the restart and the time when the load current value becomes equal to or greater than a predetermined value, it becomes possible to grasp how much distance the dressing (intermediate dress) should be performed at the time of cutting.

표시 수단(18)에 표시된 가공 위치별 부하 전류값 정보는, 도 1에 나타낸 기억 수단(17)에 기억시킬 수 있다. 즉, 피가공물 1장 단위로, 가공 위치별 부하 전류값 정보를 각각 기억시켜 둘 수 있다. 따라서, 개개의 피가공물마다, 칩의 품질 관리를 할 수 있다. 또한, 전체 가공 예정 라인의 부하 전류값을 기억할 수 있기 때문에, 절삭이 종료한 피가공물에 대해서도 부하 전류값이 이상이라고 생각되는 위치를 확인할 수 있다.The load current value information for each machining position displayed on the display means 18 can be stored in the storage means 17 shown in FIG. 1 . That is, it is possible to store load current value information for each machining position in units of one workpiece. Therefore, it is possible to control the quality of the chips for each individual to-be-processed object. Moreover, since the load current value of all the machining schedule lines can be memorize|stored, it can confirm the position where the load current value is considered to be abnormal also for the to-be-processed object which cutting has finished.

본 실시형태에서는, 피가공물의 절삭 부분의 X축 방향의 위치를 절삭 이송 수단을 구성하는 모터의 제어 정보에 기초하여 인식하고, 피가공물의 절삭 부분의 Y축 방향의 위치를 인덱싱 이송 수단을 구성하는 모터의 제어 정보에 기초하여 인식하는 것으로 하였지만, 절삭 부분의 인식에는, 이외의 방법을 채용할 수도 있다. 예컨대, X축 방향과 Y축 방향에 각각 눈금자(scale)를 배치해 두고, 눈금자의 판독값에 따라 절삭 부분을 인식하도록 하여도 좋다.In this embodiment, the position in the X-axis direction of the cutting part of the workpiece is recognized based on the control information of the motor constituting the cutting feed means, and the Y-axis direction position of the cutting part of the workpiece is configured by the indexing feed means. Although it is assumed that the recognition is based on the control information of the motor, other methods may be employed for the recognition of the cut part. For example, the ruler may be arranged in the X-axis direction and the Y-axis direction, respectively, and the cut portion may be recognized according to the reading value of the ruler.

또한, 본 실시형태에서는, 가공 예정 라인의 어떤 부분에서 부하 전류값이 상승하였는지에 대해서도 파악할 수 있도록 하였지만, 어떤 가공 예정 라인에 있어서 부하 전류값이 상승하였는지만을 파악하고, 그 가공 예정 라인 중의 위치까지 특정하지 않도록 하여도 좋다. 이 경우는, 인덱싱 이송 수단(13)을 구성하는 모터(132)의 제어 정보에만 기초하여 가공 예정 라인을 특정하면 좋고, 절삭 이송 수단(12)을 구성하는 모터(122)의 제어 정보를 이용하지 않아도 좋다.In addition, in the present embodiment, it is possible to grasp the increase in the load current value in which part of the processing scheduled line. However, only the increase in the load current value in the processing scheduled line is grasped, and the position in the processing scheduled line is specified. It may be better not to do it. In this case, it is only necessary to specify the processing schedule line based on the control information of the motor 132 constituting the indexing feed means 13 , and control information of the motor 122 constituting the cutting feed means 12 is not used. no need to

1: 절삭 장치 10: 척 테이블
100: 흡착부 100a: 유지면
101: 프레임 102: 커버 103: 회전 수단
11: 절삭 수단 110: 하우징
111: 스핀들 112: 모터
113: 절삭 블레이드 114: 블레이드 커버
115: 절삭수 공급 노즐 12: 절삭 이송 수단
120: 볼 나사 121: 가이드 레일
122: 모터 123: 가동판
13: 인덱싱 이송 수단 130: 볼 나사
131: 가이드 레일 132: 모터
133: 가동판 14: 절단진입 이송 수단
140: 볼 나사 141: 가이드 레일
142: 모터 143: 홀더
145: 벽부 15: 부하 전류값 검출 수단
16: 제어 수단 17: 기억 수단
18: 표시 수단 19: 얼라인먼트 수단
190: 촬상 수단 W: 피가공물
Wa: 표면 Wb: 이면
T: 다이싱 테이프 F: 환형 프레임
G: 절삭홈1: Cutting device 10: Chuck table
100: adsorption unit 100a: holding surface
101: frame 102: cover 103: rotating means
11: cutting means 110: housing
111: spindle 112: motor
113: cutting blade 114: blade cover
115: cutting water supply nozzle 12: cutting feed means
120: ball screw 121: guide rail
122: motor 123: movable plate
13: indexing conveyance means 130: ball screw
131: guide rail 132: motor
133: movable plate 14: cutting entry transport means
140: ball screw 141: guide rail
142: motor 143: holder
145: wall 15: load current value detection means
16: control means 17: memory means
18: indication means 19: alignment means
190: imaging means W: to-be-processed object
Wa: surface Wb: back side
T: dicing tape F: annular frame
G: cutting groove

Claims (2)

피가공물을 유지하는 척 테이블과, 회전 구동되는 스핀들과, 상기 스핀들의 선단에 장착되어 상기 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 구비하고, 상기 피가공물을 가공 예정 라인을 따라 절삭 가공하는 절삭 장치로서,
절삭 가공 시에 있어서의 상기 스핀들의 부하 전류값을 검출하는 부하 전류값 검출 수단과,
상기 부하 전류값 검출 수단에 의해 검출한 부하 전류값을 표시하는 표시 수단과,
적어도 상기 부하 전류값 검출 수단과 상기 표시 수단을 제어하는 제어 수단
을 구비하고,
상기 제어 수단은 상기 피가공물 상의 모든 가공 예정 라인과 상기 모든 가공 예정 라인 각각의 가공 시의 상기 스핀들의 부하 전류값을 서로 대응시켜 상기 표시 수단에 표시하며,
가공 위치별 부하 전류값 정보를 가공의 진행에 맞춰 상기 표시 수단에 리얼 타임으로 표시하는 것인, 절삭 장치.A chuck table for holding a workpiece, a spindle driven by rotation, and a cutting blade mounted on the tip of the spindle for cutting the workpiece held in the chuck table, the workpiece is cut along a line to be machined As a cutting device to
load current value detecting means for detecting the load current value of the spindle during cutting;
display means for displaying the load current value detected by the load current value detection means;
Control means for controlling at least the load current value detection means and the display means
to provide
The control means displays, on the display means, the load current values of the spindle at the time of each machining of all the machining lines on the workpiece and all of the machining lines on the workpiece.
A cutting device that displays load current value information for each machining position in real time on the display means in accordance with the progress of machining. 제 1항에 있어서,
상기 제어 수단은 상기 스핀들의 부하 전류값의 값에 따라, 가공 예정 라인을 색별, 선 종류별 중 어느 한쪽 또는 양쪽에 의해 상기 표시 수단에 표시하는 것인, 절삭 장치.The method of claim 1,
The cutting device, wherein the control means displays the line to be machined on the display means by either or both of a color and a line type according to the value of the load current value of the spindle.
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