MXPA05010097A - Metodo y sistema para detectar luz utilizando elementos interferometricos. - Google Patents

Metodo y sistema para detectar luz utilizando elementos interferometricos.

Info

Publication number
MXPA05010097A
MXPA05010097A MXPA05010097A MXPA05010097A MXPA05010097A MX PA05010097 A MXPA05010097 A MX PA05010097A MX PA05010097 A MXPA05010097 A MX PA05010097A MX PA05010097 A MXPA05010097 A MX PA05010097A MX PA05010097 A MXPA05010097 A MX PA05010097A
Authority
MX
Mexico
Prior art keywords
light
wavelength
temperature
partially
interferometric
Prior art date
Application number
MXPA05010097A
Other languages
English (en)
Inventor
Manish Kothari
Original Assignee
Idc Llc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Idc Llc filed Critical Idc Llc
Publication of MXPA05010097A publication Critical patent/MXPA05010097A/es

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/34Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source
    • G09G3/3433Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using light modulating elements actuated by an electric field and being other than liquid crystal devices and electrochromic devices
    • G09G3/3466Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using light modulating elements actuated by an electric field and being other than liquid crystal devices and electrochromic devices based on interferometric effect
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/26Generating the spectrum; Monochromators using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/34Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source
    • G09G3/3406Control of illumination source
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/001Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2320/00Control of display operating conditions
    • G09G2320/04Maintaining the quality of display appearance
    • G09G2320/041Temperature compensation
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2320/00Control of display operating conditions
    • G09G2320/06Adjustment of display parameters
    • G09G2320/0626Adjustment of display parameters for control of overall brightness
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2360/00Aspects of the architecture of display systems
    • G09G2360/14Detecting light within display terminals, e.g. using a single or a plurality of photosensors
    • G09G2360/144Detecting light within display terminals, e.g. using a single or a plurality of photosensors the light being ambient light

Abstract

Ciertas modalidades de la invencion proporcionan un sensor de luz que comprende por lo menos un elemento interferometrico que absorbe luz en por lo menos una longitud de onda. El elemento interferometrico comprende una primera superficie y una segunda superficie sustancialmente paralela a la primera superficie. La segunda superficie se separa a una distancia de espacio desde la primera superficie en una direccion sustancialmente perpendicular a la primera superficie. La longitud de onda de luz absorbida es dependiente de la distancia de espacio. El elemento interferometrico ademas comprende un sensor de temperatura. El sensor de temperatura es sensible a cambios en temperatura de por lo menos una porcion del elemento interferometrico debido a la absorcion de luz por el elemento interferometrico.

Description

MÉTODO Y SISTEMA PARA DETECTAR LUZ UTILIZANDO ELEMENTOS INTERPEROMETRICOS Campo de la Invención El campo de la invención se refiere a sistemas microelectromecánicos (MEMS) y más particularmente, a arquitecturas de conexión eléctrica para disposiciones de elementos de MEMS.
Antecedentes de la Invención Los sistemas microelectromecánicos (MEMS) incluyen elementos micromecánicos , activadores y electrónicos. Los elementos micromecánicos pueden crearse utilizando deposición, grabado al aguafuerte, y/u otros procesos micromecánicos que graban al aguafuerte las partes de sustratos y/o capas de material depositado o que agregan capas para formar dispositivos eléctricos y electromecánicos. Un tipo de dispositivo de MEMS se llama modulador interferométrico . Un modulador interferométrico puede comprender un par de placas conductivas, una o ambas de las cuales pueden ser parcialmente transparentes y con capacidad de movimiento relativo con la aplicación de una señal eléctrica apropiada. Una placa puede comprender una capa estacionaria depositada en un sustrato, la otra placa puede comprender una membrana metálica suspendida sobre la capa estacionaria. Las disposiciones de moduladores de luz interferométricos independientemente activables se utilizan en ciertas configuraciones de pantalla como elementos de pantalla. Los moduladores de luz se conectan eléctricamente para proporcionar los voltajes de control o señales utilizados para activar individualmente cada modulador de luz .
SUMARIO DE LA INVENCIÓN El sistema, método y dispositivo de la invención tienen cada uno varios aspectos, ni uno solo de los cuales es solamente responsable por sus atributos deseables. Sin limitar el alcance de esta invención, sus características más prominentes ahora se discutirán brevemente. Después de considerar esta r discusión, y particularmente después de leer la sección titulada "Descripción Detallada de la Invención" uno entenderá cómo las características de esta invención proporcionan ventajas sobre otros dispositivos de pantalla. Una modalidad de la invención incluye un método para detectar luz que comprende proporcionar una primera superficie que es parcialmente transmisiva y parcialmente reflectiva de por lo menos una longitud de onda de luz, proporcionar una segunda superficie separada a una distancia de espacio desde la primera superficie para reflejar por lo menos una porción de por lo menos una longitud de onda de luz, absorber por lo menos una longitud de onda de luz en la primera superficie, y detectar un cambio de temperatura de por lo menos una porción de la primera superficie. Ciertas modalidades distintas incluyen un método para fabricar un sensor de luz que tiene por lo menos un modulador interferométrico, y un sensor de luz fabricado mediante el método, el método comprende formar una primera superficie que es parcialmente transmisiva y parcialmente reflectiva por lo menos para una longitud de onda de luz, formar una segunda superficie sus ancialmente paralela a la primera superficie y separada a una primera distancia desde la primera para reflejar por lo menos una porción de por lo menos una longitud de onda de luz, y formar un sensor de temperatura acoplado a la primera superficie y sensible a cambios de temperatura de por lo menos una porción de la primera superficie provocados por lo menos en parte por la absorción de por lo menos una longitud de onda de luz. Aún otra modalidad incluye un dispositivo de pantalla que tiene un sensor de luz, el dispositivo de pantalla comprende un alojamiento y un modulador interferométrico dentro del alojamiento. El modulador interferométrico comprende una primera superficie que es parcialmente transmisiva y parcialmente reflectiva por lo menos para una longitud de onda de luz, una segunda superficie sustancialmente paralela a la primera superficie y separada una primera distancia de la primera superficie para reflejar por lo menos una porción de por lo menos una longitud de onda de luz, y un sensor de temperatura acoplado a la primera superficie y sensible a un cambio de temperatura de por lo menos una porción de la primera superficie provocados por lo menos en parte por la absorción de por lo menos una longitud de onda de luz. Otra modalidad incluye un sensor de luz. El sensor de luz tiene por lo menos un modulador interferométrico . En una modalidad, el modulador interferométrico comprende medios para transmitir parcialmente y reflejar parcialmente por lo menos una longitud de onda de luz, medios para reflejar por lo menos una porción de por lo menos una longitud de onda de luz, y medios para detectar cambios de temperatura de y acoplados a, el medio que transmite parcialmente y refleja parcialmente provocados por lo menos en parte por la absorción de por lo menos una longitud de onda de luz. Otra modalidad comprende una cámara que tiene un sensor de luz. La cámara comprende: un alojamiento; medios para transmitir parcialmente y reflejar parcialmente por lo menos una longitud de onda de luz colocada dentro del alojamiento; medios para reflejar por lo menos una porción de por lo menos una longitud de onda de luz colocados dentro del alojamiento; y medios para detectar cambios de temperatura de, y acoplados a los medios para transmitir parcialmente y reflejar parcialmente por lo menos una longitud de onda de luz provocados por lo menos en parte por la absorción de por lo menos una longitud de onda de luz . Otra modalidad incluye un sensor de luz que tiene por lo menos un modulador interferométrico, el modulador interferométrico comprende una primera superficie que es parcialmente transmisiva y parcialmente reflectiva por lo menos para una longitud de onda de luz, una segunda superficie sustancialmente paralela a la primera superficie y separada una primera distancia de la primera superficie para reflejar por lo menos una porción de por lo menos una longitud de onda de luz, y un sensor de temperatura acoplado a la primera superficie y sensible a cambios de temperatura de por lo menos una porción de la primera superficie provocados por lo menos en parte por la absorción de por lo menos una longitud de onda luz. Aún otra modalidad incluye una cámara que tiene un sensor de luz, la cámara comprende un alojamiento y un modulador interferométrico dentro del alojamiento. El modulador interferométrico comprende una primera superficie que es parcialmente transmisiva y parcialmente reflectiva por lo menos para una longitud de onda luz, una segunda superficie sustancialmente paralela a la primera superficie y separada a una primera distancia desde la primera superficie para reflejar por lo menos una porción de por lo menos una longitud de onda de luz, y un sensor de temperatura acoplado a la primera superficie y sensible a cambios de temperatura de por lo menos una porción de la primera superficie provocados por lo menos en parte por la absorción de por lo menos una longitud de onda de luz.
BREVE DESCRIPCIÓN DE LOS DIBUJOS La Figura 1 es una vista isométrica que representa una porción de una modalidad de una pantalla de moduladores interferométricos en la cual una capa reflectiva móvil de un primer modulador interferométrico está en una posición liberada y una capa reflectiva móvil de un segundo modulador interferométrico está en una posición activada. La Figura 2 es un diagrama de bloque del sistema que ilustra una modalidad de un dispositivo electrónico que incorpora una pantalla de moduladores interferométricos de 3x3. La Figura 3 es un diagrama de una posición de espejo móvil versus voltaje aplicado para una modalidad ejemplar de un modulador interferométrico de la Figura 1. La Figura 4 es una ilustración de un conjunto de voltajes de filas y columnas que pueden utilizarse para excitar una pantalla de moduladores interferométricos . Las Figuras 5A y 5B ilustran un diagrama de tiempos ejemplar para señales de filas y columnas que pueden utilizarse para escribir un cuadro de datos de pantalla para la pantalla de moduladores interferométricos de 3x3 de la Figura 3. La Figura 6? es una sección transversal del dispositivo de la Figura 1. La Figura 6B es una sección transversal de una modalidad alternativa de un modulador interferométrico . La Figura 6C es una sección transversal de otra modalidad alternativa de un modulador interferométrico . La Figura 7 ilustra esquemáticamente un elemento interferométrico compatible con modalidades descritas en la presente . La Figura 8 ilustra esquemáticamente una pluralidad de elementos interferométricos, cada elemento teniendo una distancia de espacio diferente. Las Figura 9 ilustra esquemáticamente una pluralidad de elementos interferométricos , cada uno teniendo sensores de temperatura sensibles a diferentes márgenes de temperatura.
Las Figuras 10A y 10B ilustran esquemáticamente dos modalidades de un sensor de , luz que tiene una pluralidad de elementos interferométricos con distancias de espacio sustancialmente iguales y una pluralidad de filtros de colores. La Figura 11 es una gráfica de los espectros de transmitancia de un conjunto de tres materiales de filtro de color ejemplares compatibles con modalidades descritas en la presente. Las Figuras 12A, 12B y 12C son tres gráficas de los espectros de transmitancia de los materiales de filtro de color de la Figura 1 superpuestas con el espectro de emisión desde una fuente de retroiluminación. La Figura 13 es un diagrama de bloque de sistema que ilustra una modalidad de un dispositivo electrónico que incorpora un elemento interferométrico que tiene un sensor de temperatura para su uso con una fuente de iluminación lateral . La Figura 14 es un diagrama de bloque de sistema que ilustra una modalidad de un dispositivo electrónico que incorpora un elemento interferométrico que tiene un sensor de temperatura para su uso con una fuente de retroiluminación . La Figura 15 ilustra una serie de etapas ejemplares para detectar la luz mediante un dispositivo electrónico que tiene un elemento interferométrico y sensor de temperatura. Las Figuras 16A y 16B son diagramas de bloque del sistema que ilustran una modalidad de un dispositivo de pantalla visual que comprende una pluralidad de moduladores interferométricos .
DESCRIPCIÓN DETALLADA DE LA INVENCIÓN Una modalidad ejemplar de un sensor de luz que tiene por lo menos un elemento interferométrico y un sensor de temperatura se describe. El elemento interferométrico absorbe una longitud de onda de luz ambiente en forma de calor en una superficie del modulador interferométrico . El calor absorbido se detecta por el sensor de temperatura. El sensor de temperatura puede ser un sensor de contacto o sin contacto. El sensor de temperatura responde al calor absorbido por la superficie del modulador interferométrico . El sensor de temperatura produce datos, por ejemplo un voltaje , indicativos de la temperatura detectada. En ciertas modalidades, los datos producidos se procesan y se almacenan como una imagen digital. En ciertas modalidades distintas, los datos producidos se utilizan para establecer la cantidad de luz frontal o luz posterior que ilumina un dispositivo de pantalla para hacer mejor al dispositivo de pantalla leíble en la luz ambiente.
La siguiente descripción detallada se dirige a ciertas modalidades especificas de la invención. Sin embargo, la invención puede representarse en una pluralidad de diferentes formas. En esta descripción, se hace referencia a los dibujos donde partes similares se designan con números similares a través de las mismas. Como será aparente a partir de la siguiente descripción, la invención puede implementarse en cualquier dispositivo que se configure para visualizar una imagen, ya sea en movimiento (por ejemplo, video) o estacionaria (por ejemplo, imagen fija), y ya sea con texto o con imágenes. Más particularmente, se contempla que la invención pueda implementarse en o asociarse con una variedad de dispositivos electrónicos tales como, pero no limitados a, teléfonos móviles, dispositivos inalámbricos, asistentes de datos personales (los PDA) , computadoras de bolsillo o portátiles, receptores/navegadores de GPS, cámaras, reproductores de MP3, videocámaras , consolas de juegos, relojes de muñeca, relojes, calculadoras, monitores de televisión, pantallas de panel plano, monitores de computadora, autovisualizadores (por ejemplo, visualizador de odómetro, etc.), controles y/o pantallas de cabina, pantalla de vistas de cámara (por ejemplo, pantalla de una cámara de vista posterior en un vehículo) , fotografías electrónicas, anuncios y señales electrónicos, proyectores, estructuras arquitectónicas, empacado, estructuras estéticas (por ejemplo, pantalla de imágenes en una pieza de joyería) . Los dispositivos de ???? de estructura similar a aquellos descritos en la presente también pueden utilizarse en aplicaciones sin pantalla tales como en dispositivos electrónicos de conmutación. Una modalidad de la pantalla de moduladores interferométricos que comprende un elemento de pantalla de MEMS interferométricos se ilustra en la Figura 1. En estos dispositivos, los pixeles están en un estado ya sea luminoso u oscuro. En el estado luminoso ("encendido" o "abierto"), el elemento de pantalla refleja una porción grande de luz visible incidente a un usuario. Cuando está en el estado oscuro ("apagado" o "cerrado"), el elemento de pantalla refleja poca luz visible incidente al usuario. Dependiendo de la modalidad, las propiedades de reflectancia de luz de los estados "encendido" y "apagado" pueden invertirse. Los pixeles de MEMS pueden configurarse para reflejar predominantemente en colores seleccionados, permitiendo una pantalla en color además de blanco y negro. La Figura 1 es una vista isométrica que representa dos pixeles adyacentes en una serie de pixeles de una pantalla visual, donde cada pixel comprende un modulador interferométrico de MEMS. En algunas modalidades, una pantalla de moduladores interferométricos comprende una disposición de filas/columnas de estos moduladores interferométricos . Cada modulador interferométrico incluye un par de capas reflectivas colocadas a una distancia variable y controlable entre si para formar una cavidad óptica resonante con por lo menos una dimensión variable. En una modalidad, una de las capas reflectivas puede moverse entre dos posiciones. En la primera posición, referida en la presente como el estado liberado, la capa móvil se coloca a una distancia relativamente larga desde una capa parcialmente reflectiva fija. En la segunda posición, la capa móvil se coloca más estrechamente adyacente a la capa parcialmente reflectiva. La luz incidente que se refleja de las dos capas interfiere constructiva o destructivamente dependiendo de la posición de la capa reflectiva móvil, produciendo ya sea un estado general reflectxvo o no reflectxvo para cada pixel. La porción representada de la disposición de pixeles en la Figura 1 incluye dos moduladores 12a y 12b interferométricos adyacentes. En el modulador 12a interferométrico a la izquierda, una capa 14a móvil y altamente reflectiva se ilustra en una posición liberada a una distancia predeterminada desde una capa 16a parcialmente reflectiva fija. En el modulador 12b interferométrico a la derecha, la capa 14b altamente reflectiva móvil se ilustra en una posición activada adyacente a la capa 16b parcialmente reflectiva fija. Las capas 16a, 16b fijas son eléctricamente conductivas, parcialmente transparentes y parcialmente reflectivas, y pueden fabricarse, por ejemplo, al depositar una o más capas cada una de cromo y de indio-estaño-óxido sobre un sustrato 20 transparente. Las capas se diseñan en tiras paralelas, y pueden formar electrodos de filas en un dispositivo de pantalla como se describe además en lo siguiente. Las capas 14a, 14b móviles pueden formarse como una serie de tiras paralelas de una capa de metal depositado o capas (ortogonales a los electrodos 16a, 16b de fila) depositadas en la parte superior de los postes 18 y en un material de sacrificio de intervención depositado entre los postes 18. Cuando el material de sacrificio se graba al aguafuerte, las capas de metal deformables se separan de las capas de metal fijas mediante un entrehierro 19 definido. Un material altamente conductivo y reflectivo tal como aluminio puede utilizarse para las capas deformables, y estas tiras pueden formar electrodos de columnas en un dispositivo de pantalla. Sin voltaje aplicado, la cavidad 19 permanece entre las capas 14a, 16a y la capa deformable está en un estado mecánicamente relajado como se ilustra por el pixel 12a en la Figura 1. Sin embargo, cuando una diferencia de potencia se aplica a una fila y columna seleccionadas, el condensador formado en la intersección de los electrodos de filas y columnas en el pixel correspondiente se carga, y las fuerzas electrostáticas jalan juntas los electrodos. Si el voltaje es demasiado elevado, la capa móvil se deforma y se obliga contra la capa fija (un material dieléctrico el cual no se ilustra en la Figura puede depositarse en la capa fija para evitar cortocircuito y controlar la distancia de separación) como se ilustra por el pixel 12b a la derecha de la Figura 1. El comportamiento es el mismo independientemente de la polaridad de la diferencia de potencia aplicada. De esta forma, la activación de filas/columnas que puede controlar los estados de pixeles reflectivos versus no reflectivos es análoga en muchas formas a aquella utilizada en LCD convencional y otras tecnologías de pantalla. Las Figuras 2 a 5 ilustran un proceso ejemplar y sistema para utilizar una disposición de moduladores interferométricos en una aplicación de pantalla. La Figura 2 es un diagrama de bloque de sistema que ilustra una modalidad de un dispositivo electrónico que puede incorporar aspectos de la invención. En la modalidad ejemplar el dispositivo electrónico incluye un procesador 21 el cual puede ser cualquier microprocesador de propósito general de uno solo o varios chips tal como una ARM, Pentium®, Pentium II®, Pentium III®, Pentium IVo, Pentium®Pro, un 8051, un MIPS®, una Power PC®, una ALPHA0, o cualquier microprocesador de propósito especial tal como un procesador digital de señales, microcontrolador o una disposición de puerta programable . Como es convencional en la técnica, el procesador 21 puede configurarse para ejecutar uno o más módulos de software. Además de ejecutar un sistema operativo, el procesador puede configurarse para ejecutar una o más aplicaciones de software, incluyendo un navegador de red, una aplicación telefónica, un programa de correo electrónico, o cualquier otra aplicación de software . En una modalidad, el procesador 21 también se configura para comunicarse con un controlador 22 de disposición. En una modalidad, el controlador 22 de disposición incluye un circuito 24 controlador de fila y un circuito 26 controlador de columna que proporcionan señales a una disposición 30 de pixeles. La sección transversal de la disposición ilustrada en la Figura 1 se muestra por las lineas 1-1 en la Figura 2. Para moduladores interferométricos de MEMS, el protocolo de activación de filas/columnas puede tomar ventaja de una propiedad de histéresis de estos dispositivos ilustrados en la Figura 3. Puede requerir, por ejemplo, una diferencia de potencia de 10 voltios para provocar que una capa móvil se deforme del estado liberado al estado activado. Sin embargo, cuando el voltaje se reduce de ese valor, la capa móvil mantiene su estado cuando el voltaje cae nuevamente por debajo de 10 voltios. En la modalidad ejemplar de la Figura 3, la capa móvil no se libera completamente hasta que el voltaje cae por debajo de 2 voltios. De este modo, existe un margen de voltaje, aproximadamente 3 a 7 voltios en el ejemplo ilustrado en la Figura 3, donde existe una ventana de voltaje aplicado dentro de la cual el dispositivo es estable en cualquier estado liberado o activado. Ésta se refiere en la presente como la "ventana de histéresis" o "ventana de estabilidad". Para una disposición de pantalla que tiene las características de histéresis de la Figura 3, el protocolo de activación de filas/columnas puede diseñarse de manera que durante la estroboscopia de filas, los pixeles en la fila con estroboscopia que van a activarse se exponen a una diferencia de voltaje de aproximadamente 10 voltios, y los pixeles que van a liberarse se exponen a una diferencia de voltaje de casi 0 voltios. Después de la estroboscopia, los pixeles se exponen a una diferencia de voltaje de estado estable de aproximadamente 5 voltios de manera que permanecen en cualquier estado en el que los puso la estroboscopia de filas. Después de escribirse, cada pixel ve una diferencia de potencia dentro de la "ventana de estabilidad" de 3-7 voltios en este ejemplo. Esta característica hace al diseño de pixel ilustrado en la Figura 1 estable bajo las mismas condiciones de voltaje aplicado en cualquiera de un estado preexistente activado o liberado. Puesto que cada pixel del modulador interferométrico, ya sea en el estado activado o liberado, esencialmente es un condensador formado por las capas reflectivas fijas y móviles, este estado estable puede mantenerse en un voltaje dentro de la ventana de histéresis con casi ninguna disipación de energía. Esencialmente nada de corriente fluye en el pixel si el potencial aplicado es fijo. En aplicaciones típicas, un dato de pantalla puede crearse al ajusfar el conjunto de electrodos de columnas de acuerdo con el conjunto deseado de pixeles activados en la primera fila. Un impulso de fila entonces se aplica al electrodo de la fila 1, activando los pixeles que corresponden a las líneas de columnas ajustadas. El conjunto ajustado de electrodos de columnas entonces se cambia para corresponder al conjunto deseado de pixeles activados en la segunda fila. Entonces un impulso se aplica al electrodo de la fila 2 activando los pixeles apropiados en la fila 2 de acuerdo con los electrodos de columna ajustados. Los pixeles de la fila 1 no se afectan por el impulso de la fila 2 y permanecen en el estado en que se establecieron durante el impulso de la fila 1. Esto puede repetirse durante toda la sex-ie de filas en una forma secuencial para producir el cuadro. Generalmente, los cuadros se renueven y/o se actualizan con nuevos datos de pantalla al repetir continuamente este proceso en cierto número deseado de cuadros por segundo. Una amplia variedad de protocolos para excitar electrodos de filas y columnas de disposiciones de pixeles para producir datos de pantalla también se conoce bien y puede utilizarse junto con la presente invención. Las Figuras 4 y 5 ilustran un protocolo de activación posible para crear un dato de pantalla en la disposición de 3x3 de la Figura 2. La Figura 4 ilustra un conjunto posible de niveles de voltaje de columnas y filas que pueden utilizarse para que los pixeles que muestran las curvas de istéresis de la Figura 3. En la modalidad de la Figura 4, activar un pixel involucra establecer la columna apropiada en -Vpoiarlzacl6nr y la fila apropiada en +AV lo cual puede corresponder a -5 voltios y +5 voltios, respectivamente. Liberar el pixel se logra al establecer la columna apropiada en +Vpoiarización, y la fila apropiada en el mismo +??, produciendo una diferencia de potencia de 0 voltios a través del pixel. En aquellas filas donde el voltaje de filas se mantiene en 0 voltios, los pixeles son estables en cualquier estado en que se pusieron originalmente, independientemente de si la columna está en tVpolarización O —^polarización .
La Figura 5B es un diagrama de tiempos que muestra una serie de señales de filas y columnas aplicadas a la disposición de 3x3 de la Figura 2 que resultará en la disposición de pantalla ilustrada en la Figura 5?, donde los pixeles activados no son reflectivos. Antes de escribir el cuadro ilustrada en la Figura 5A, los pixeles pueden estar en cualquier estado, y en este ejemplo, todas las filas están en 0 voltios y todas las columnas están en +5 voltios. Con estos voltajes aplicados, todos los pixeles son estables en sus estados existentes activado o liberado. En el cuadro de la Figura 5?, los pixeles (1,1), (1,2), (2,2), (3,2) y (3,3) se activan. Para lograr esto, durante un "tiempo de linea" para la fila 1, las columnas 1 y 2 se establecen en -5 voltios y la columna 3 se establece en +5 voltios. Esto no cambia el estado de ninguno de los pixeles, debido a que todos los pixeles permanecen en la ventana de estabilidad de 3-7 voltios. La fila 1 entonces tiene estroboscopia con un impulso que va de 0 hasta 5 voltios, y nuevamente a 0. Esto activa los pixeles (1,1), y (1,2) y libera el pixel (1,3). Ningún otro pixel en la disposición se afecta. Para establecer la fila 2 como se desea, la columna 2 se establece en -5 voltios y las columnas 1 y 3 se establecen en +5 voltios. La misma estroboscopia aplicada a la fila 2 entonces activará el pixel (2,2) y liberará a los pixeles (2,1), y (2,3) .
Nuevamente, ningún otro pixel de la disposición se afecta. La fila 3 se establece similarmente al establecer las columnas 2 y 3 en -5 voltios y la columna 1 en +5 voltios. La estroboscopia de la fila 3 establece los pixeles de la fila 3 como se muestra en la Figura 5A. Después de escribir el cuadro, los potenciales de las filas son cero, y los potenciales de las columnas pueden permanecer en cualquiera de +5 o -5 voltios, y la pantalla entonces es estable en la disposición de la Figura 5A. Se apreciará que el mismo procedimiento puede emplearse para disposiciones de docenas o cientos de filas y columnas. También se apreciará que el tiempo, secuencia y niveles de voltaje utilizados para realizar la activación de filas y columnas puede variarse ampliamente dentro de los principios generales representados en lo anterior, y el ejemplo anterior solamente es ejemplar y cualquier método de voltaje de activación puede utilizarse con la presente invención. Los detalles de la estructura de los moduladores interferométricos que operan de acuerdo con los principios establecidos en lo anterior pueden variar ampliamente. Por ejemplo, las Figuras 6A-6C ilustran tres diferentes modalidades de la estructura de espejo móvil. La Figura 6A es una sección transversal de la modalidad de la Figura 1, donde una tira de material 14 de metal se deposita en los soportes 18 que se extienden ortogonalmente . En la Figura 6B, el material 14 reflectivo móvil se une a los soportes en las esquinas solamente, en las correas 32. En la Figura 6C, el material 14 reflectivo móvil se suspende de una capa 34 deformable. Esta modalidad tiene beneficios debido a que el diseño estructural y materiales utilizados para el material 14 reflectivo pueden optimizarse con respecto a las propiedades ópticas, y el diseño y materiales estructurales utilizados para la capa 34 deformable pueden optimizarse con respecto a las propiedades mecánicas deseadas. La producción de varios tipos de dispositivos interferométricos se describe en una variedad de documentos publicados, que incluyen, por ejemplo, la Solicitud Publicada Norteamericana 2004/0051929. Una amplia variedad de técnicas bien conocidas pueden utilizarse para producir las estructuras descritas en lo anterior que involucran una serie de etapas de deposición, diseño y grabado al aguafuerte de material. En ciertas modalidades, estos elementos interferométricos proporcionan la capacidad de dirigir individualmente y conmutar los elementos interferométricos seleccionados entre por lo menos dos estados con diferentes propiedades de reflexión y transmisión. Otros elementos interferométricos los cuales no se pueden conmutar también son compatibles con modalidades descritas en la presente. La Figura 7 ilustra esquemáticamente un elemento 700 interferométrico que tiene un sensor 708 de temperatura. La modalidad ilustrada del elemento 700 interferométrico no se puede conmutar y de este modo no conmuta entre los estados "apagado y encendido" como se describe en lo anterior. Sin embargo, la descripción del elemento 700 interferométrico aplica igualmente a modalidades conmutables que incluye las modalidades conmutables ejemplares ilustradas en las Figuras 6?, 6B y 6C. Por ejemplo, las modalidades conmutables ejemplares ilustradas en las Figuras 6A, 6B y 6C pueden incluir el sensor 708 de temperatura. En tales modalidades, el elemento interferométrico puede cambiar entre los estados "encendido" y "apagado" asi como detectar la luz ambiente. Las modalidades de los ejemplos conmutables ejemplares ilustradas en las Figuras 6?, 6B y 6C que tienen un sensor 708 de temperatura pueden ser ventajosas para dispositivos electrónicos de pantalla que incorporan elementos interferométricos no sólo para propósitos de pantalla sino también para la capacidad de detectar la luz ambiente. Por ejemplo, las características detectadas por el elemento interferométrico pueden utilizarse para controlar una estructura de compensación óptica. En ciertas modalidades, la estructura de compensación óptica es una luz frontal, luz lateral, o una luz posterior asociadas con un dispositivo electrónico de pantalla. La intensidad detectada o brillo de luz ambiente pueden utilizarse ventajosamente en tales modalidades para establecer la cantidad de luz de iluminación para el dispositivo electrónico de pantalla para hacer mejor al dispositivo de pantalla leíble en la luz ambiente. El elemento 700 interferométrico se configura para detectar la luz ambiente. En ciertas modalidades, el sensor 708 de temperatura proporciona una o más características de la luz ambiente detectada para un dispositivo electrónico. Las características de luz ambiente incluyen, pero no se limitan a longitud de onda e intensidad. Los dispositivos electrónicos ejemplares incluyen cámaras y sensores de huella digital. En ciertas modalidades, el elemento 700 interferométrico detecta la luz ambiente que tiene por lo menos una longitud de onda y una intensidad asociada con la longitud de onda. En ciertas modalidades, un dispositivo de cámara recibe y almacena estas características. Para formar una imagen, la cámara puede recibir características de una pluralidad de elementos interferométricos adyacentes acomodados en una disposición de elementos interferométricos . En ciertas modalidades, las características recibidas de la disposición de elementos interferométricos se procesan y almacenan como una imagen digital. Los usos del elemento 700 interferométrico como una cámara u otro dispositivo de captura de imagen se describen en mayor detalle junto con la Figura 8. En ciertas modalidades, los elementos interferométricos conmutables y no conmutables se utilizan ambos en un dispositivo electrónico de pantalla. Uno o más de los conmutables o no conmutables pueden incluir un sensor 708 de temperatura. El elemento interferométrico conmutable o no conmutable que tiene el sensor puede localizarse dentro o fuera de la disposición de elementos interferométricos de conmutación. El elemento 700 interferométrico comprende una primera superficie 702 y una segunda superficie 704 sustancialmente paralela a la primera superficie 702. La segunda superficie 704 se separa una distancia do de espacio desde la primera superficie 702 en una dirección sustancialmente perpendicular a la primera superficie 702. La primera superficie 702 es parcialmente transmisiva y parcialmente reflectiva por lo menos para una longitud de onda. La segunda superficie 704 por lo menos es parcialmente reflectiva de luz. Los materiales ejemplares para la primera superficie 702 y la segunda superficie 704 incluyen, pero no se limitan a cromo o titanio. La primera superficie 702 y la segunda superficie 704 forman una cavidad resonante (por ejemplo, etalon) en la cual la luz interfiere con si misma cuando se refleja entre la primera superficie 702 y la segunda superficie 704. El elemento 700 interferométrico absorbe luz que tiene por lo menos una longitud de onda. Por lo menos una longitud de onda es dependiente de la distancia d0 de espacio. En la modalidad ilustrada esquemáticamente por la Figura 1, el elemento 700 interferométrico además comprende un sustrato 706 el cual es sustancialmente transrnisivo por lo menos para una longitud de onda. La luz entra al elemento 700 interferométrico a través del sustrato 706 y se refleja entre la primera superficie 702 y la segunda superficie 704. Por lo menos una porción de la luz incidente en el elemento 700 interferométrico que tiene por lo menos una longitud de onda se absorbe por un elemento 700 interferométrico . La energía asociada con esta luz absorbida en la primera superficie 702 se disipa como calor. Aunque la primera superficie 702 de ciertas modalidades está en el sustrato 706, como se ilustra esquemáticamente por la Figura 7 en otras modalidades, existen una o más capas de intervención (por ejemplo capas dieléctricas) entre el sustrato 706 y la primera superficie 702. En aún otras modalidades, el elemento 700 interferométrico comprende una o más capas (por ejemplo capas dieléctricas) que están en la primera superficie 702 de manera que la primera superficie 702 está entre estas capas y el sustrato 706.
El elemento 700 interferométrico además comprende un sensor 708 de temperatura. El sensor 708 de temperatura es sensible a cambios de temperatura de por lo menos una porción del elemento 700 interferométrico de la absorción de luz mediante el elemento 700 interferométrico . En la modalidad esquemáticamente ilustrada por la Figura 7, el sensor 708 de temperatura está en la primera superficie 702 y está entre la primera superficie 702 y la segunda superficie 704. Otras posiciones del sensor 708 de temperatura son compatibles con modalidades descritas en la presente. En ciertas modalidades, el sensor 708 de temperatura se localiza adyacente o se separa de la primera superficie 702. En tales modalidades, el sensor 708 de temperatura puede detectar un cambio en temperatura de la porción de la primera superficie 702 mediante radiación, convección, conducción o una combinación de uno o más procesos físicos para transferir energía de calor. En las modalidades ejemplares ilustradas en las Figuras 6A, 6B y 6C, el sensor 708 de temperatura puede localizarse cerca o adyacente a una pila óptica. En ciertas modalidades, la pila óptica incluye las capas 16a, 16b fijas y las capas adyacentes a las capas fijas. Estas capas adyacentes pueden incluir capas de sustrato 20 dieléctrica, de cromo, de indio-estaño-óxido y transparente. En ciertas modalidades, la absorción y el calor correspondiente son funciones de la longitud de onda. Por ejemplo, el elemento 700 interferométrico puede tener diferentes coeficientes de absorción para la luz roja, la luz verde y la luz azul, proporcionado con esto diferentes cantidades de calor para estas diversas longitudes de onda de luz incidente. En ciertas modalidades, los materiales del elemento 700 interferométrico se seleccionan para proporcionar sensibilidad a márgenes seleccionados de longitudes de onda. Los márgenes de longitudes de onda que pueden detectarse por los elementos 700 interferométricos compatibles con las modalidades descritas en la presente incluyen, pero no se limitan a, longitudes de onda visibles, longitudes de onda infrarroja y ultravioleta, longitudes de onda de radiofrecuencia (RF) y rayos x. En ciertas modalidades, el sensor 708 de temperatura comprende un dispositivo binario (por ejemplo un conmutador) el cual está en un primer estado cuando la temperatura está por debajo de un nivel predeterminado y está en un segundo estado cuando la temperatura está por arriba de un nivel · predeterminado . Ciertos conmutadores se forman utilizando técnicas de fabricación de sistema microelectromecánico (MEMS) . En ciertas modalidades distintas, el sensor 708 de temperatura comprende un dispositivo análogo. Por ejemplo, el sensor 708 de temperatura puede ser un sensor de contacto o sin contacto.
Los sensores de temperatura de contacto ejemplares que pueden utilizarse con las modalidades descritas en la presente incluyen termopares, termistores, detectores de temperatura de resistencia (los RTD) , termómetros de sistema rellenos, termómetros bimetálicos, y sensores de temperatura de semiconductores. Por ejemplo, un termopar bimetálico puede utilizarse para generar una diferencia de voltaje como una función de la temperatura. Los sensores de temperatura sin contacto ejemplares que pueden utilizarse con las modalidades descritas en la presente incluyen termómetros de radiación (por ejemplo, pirómetros) , formadores de imágenes térmicos, termómetros de relación, pirómetros ópticos, y sensores de temperatura de fibra óptica. Otros sensores 708 de temperatura son compatibles con modalidades descritas en la presente. En ciertas modalidades, más o menos área superficial del sensor 708 de temperatura hace contacto con la primera superficie 702. Incrementar el área superficial de contacto entre el sensor 708 de temperatura y la primera superficie 702 puede incrementar vent josamente la sensibilidad de las características medidas por el sensor 708 de temperatura. Al absorber la luz que tiene por lo menos una longitud de onda, la temperatura del elemento 700 interferométrico incrementa, y el sensor 708 de temperatura responde al incremento de temperatura. En ciertas modalidades, la respuesta del sensor 708 de temperatura se determina al medir un cambio en el voltaje del sensor 708 de temperatura. En la modalidad ilustrada el sensor 708 de temperatura mide un voltaje (Vo-Vj.) . Un cambio en el voltaje entre V0 y i corresponde a un cambio en la temperatura de la porción de la primera superficie 702. En ciertas modalidades distintas, el sensor 708 de temperatura mide, por ejemplo, la corriente, resistencia y/o deflexión dependiendo del tipo seleccionado del sensor 708 de temperatura . En ciertas modalidades el incremento de la temperatura es dependiente de la intensidad de la luz en por lo menos una longitud de onda absorbida por el elemento 700 interferométrico . El elemento 700 interferométrico de este modo sirve como un sensor de luz que es sensible por lo menos a una longitud de onda. El tamaño de los elementos 700 interferométricos es una función de las reglas de diseño de micro-fabricación. En la fabricación de un semiconductor, ciertas modalidades con elementos 700 interferométricos que tienen áreas menores que o iguales a aproximadamente una miera cuadrada son posibles. Ciertas modalidades distintas proporcionan elementos 700 interferométricos que tienen áreas menores que o iguales a aproximadamente media miera cuadrada. Otros tamaños de elementos 700 interferométricos también son compatibles con modalidades descritas en la presente . La Figura 8 ilustra esquemáticamente una pluralidad de elementos 700 interferométricos que comprenden tres conjuntos de elementos 700 interferométricos . Un primer conjunto 800 de elementos 700 interferométricos tiene una distancia di de espacio que corresponde a ser sustancialmente reflectiva a un primer margen de longitudes de onda y por lo menos ser parcialmente absorbente a otras longitudes de onda. Un segundo conjunto 802 de elementos 700 interferométricos tienen una segunda distancia d? de espacio que corresponde a ser sustancialmente reflectiva a un segundo margen de longitudes de onda y por lo menos parcialmente absorbente a otras longitudes de onda. Un tercer conjunto 804 de elementos 700 interferométricos tiene una tercera distancia d3 de espacio que corresponde a ser sustancialmente reflectiva a un tercer margen de longitudes de onda y por lo menos parcialmente absorbente a otras longitudes de onda. El sensor 708 de temperatura puede formarse de diferentes materiales y/o tener una arquitectura diferente (MEMS/bimetálico, etc.) para los tres diferentes espacios para optimizar su sensibilidad. En ciertas modalidades, cada margen de longitudes de onda comprende un margen de colores. En ciertas modalidades, cada margen de longitudes de onda comprende dos o más colores. En ciertas modalidades, el primero, segundo y tercer márgenes de longitudes de onda corresponden a rojo, verde y azul, mientras en otras modalidades el primero, segundo y tercer colores corresponden a cian, magenta y amarillo. Ciertas modalidades ventajosamente proporcionan medidas de la intensidad de cada componente espectral. Otros márgenes de longitudes de onda son compatibles con modalidades descritas en la presente. ?1 utilizar elementos 700 interferométricos que son absorbentes de diferentes márgenes de longitudes de onda, ciertas modalidades proporcionan un sensor de luz que puede distinguirse entre longitudes de onda. Por ejemplo, al hacer al elemento 700 interferométrico en la Figura 8 absorbente a rojo, azul y verde, un sensor de imágenes de luz puede construirse. Cada pixel del sensor de imágenes de luz consiste del elemento 700 interferométrico que mide la intensidad de la luz para el rojo, verde y azul mediante los cambios de temperatura respectivos. Muy similar a CCD el color se detecta por diferente incremento de temperatura para los tres colores primarios rojo, azul y verde. En ciertas modalidades pueden utilizarse para la captura de imágenes, mientras ciertas otras modalidades pueden utilizarse para monitorear el brillo de la luz ambiente. El brillo detectado de la luz ambiente puede utilizarse ventajosamente en ciertas modalidades para establecer la cantidad de luz frontal o luz posterior que ilumina un dispositivo de pantalla para hacer mejor al dispositivo de pantalla leíble en la luz ambiente. En ciertas modalidades, una cámara de CCD utiliza una disposición de elementos 700 interferométricos que tiene un sensor 708 de temperatura en lugar de una pieza de silicio para recibir la luz entrante. Cada uno de los elementos interferométricos detecta la luz entrante como se describe con referencia a las Figuras 6-10. La cámara también puede incluir una pantalla para visualizar imágenes detectadas. Además, en una modalidad, una pantalla puede incluir una cámara de CCD como se describe en lo anterior. A la luz se le permite chocar sobre un sensor interferométrico hasta que la luz se extingue . Cuando la fuente de luz se extingue (por ejemplo, se cierra el obturador) , circuitería electrónica simple y un microprocesador o computadora se utilizan para descargar el sensor interferométrico , medir el cambio de voltaje en cada sensor y procesar los datos resultantes en una imagen en un monitor de video u otros medios de salida. La Figura 9 ilustra esquemáticamente una pluralidad de elementos 700 interferométricos que comprende tres conjuntos de elementos 700 interferométricos . Cada uno de los elementos 700 interferométricos tiene aproximadamente la misma distancia d0 de espacio, de manera que los elementos 700 interferométricos son absorbentes por lo menos a una longitud de onda. Un primer conjunto 900 de elemento 700 interferométrico tiene un primer sensor 708a de temperatura el cual es sensible a un primer margen de temperaturas asociado con cierta intensidad de luz ambiente o incidente. Un segundo conjunto 902 de elementos 700 interferométricos tiene un segundo sensor 708b de temperatura el cual es sensible a un segundo margen de temperatura que se asocia con un cierto margen de intensidad de luz ambiente o incidente. Un tercer conjunto 904 de elementos 700 interferométricos tiene un tercer sensor 708c de temperatura el cual es sensible a un tercer margen de temperaturas que se asocia con un cierto margen de intensidad de luz ambiente o incidente. En ciertas modalidades, uno o más del primer margen, segundo margen y el tercer margen de temperaturas se superpone entre si. Al utilizar los elementos 700 interferométricos los cuales son sensibles a diferentes márgenes de temperatura, ciertas modalidades proporcionan ventajosamente una determinación más precisa de la intensidad de la luz en por lo menos una longitud de onda absorbida por el elemento 700 interferométrico que lo que se logra al utilizar los sensores 708 de temperatura sensibles a un solo margen de temperatura. Por ejemplo, en ciertas modalidades, el primer sensor 708a de temperatura es un dispositivo binario el cual conmuta entre dos estados en una primera temperatura ??, el segundo sensor 708b de temperatura es un dispositivo binario el cual conmuta entre dos estados en una segunda temperatura 2 mayor que ??, y el tercer sensor 708c de temperatura es un dispositivo binario el cual conmuta entre dos estados en una tercera temperatura T3 mayor que T2. El detectar los estados de los tres sensores 708a, 20b, 20c de temperatura, ciertas modalidades pueden determinar si la temperatura de los elementos 700 interferométricos está por debajo de i, entre Ti y T2, entre T2 y T3, o arriba de T3. En ciertas modalidades, un elemento 700 interferométrico sencillo comprende más de un sensor 708 de temperatura para proporcionar una capacidad similar. Ciertas modalidades tienen elementos 700 interferométricos que proporcionan la capacidad de dirigir individualmente y conmutar los elementos 700 interferométricos seleccionados entre por lo menos dos estados con diferentes propiedades de reflexión y transmisión. En ciertas modalidades, un elemento 700 interferométrico puede conmutarse entre dos o más estados para cambiar el margen de longitudes de onda que absorbe el elemento 700 interferométrico . De este modo, en ciertas modalidades proporcionan ventajosamente la capacidad de modificar la respuesta del elemento 700 interferométrico a voluntad. Las Figuras 10A y 10B ilustran esquemáticamente modalidades ejemplares de un sensor 1000 de luz que comprende una disposición de elementos 1002 interferométricos y una disposición de filtro 1004 de colores. Cada elemento 1002 interferométrico es sustancialmente reflectivo por lo menos a una longitud de onda y por lo menos parcialmente absorbente en otras longitudes de onda. En la modalidad ilustrada esquemáticamente por las Figuras 10B y 10B, cada uno de los elementos 1002 interferométricos tiene la misma distancia do de espacio de manera que cada elemento 1002 interferométrico absorbe por lo menos la misma longitud de onda que los otros elementos 1002 interferométricos . Cada filtro 1004 de color se coloca de manera que la luz reflejada desde un elemento 1002 interferométrico correspondiente se propaga a través del filtro 1004 de color. En la modalidad esquemáticamente ilustrada por la Figura 10A, los filtros 1004 de colores se colocan fuera de una superficie 1006 exterior de un sustrato 1008 del sensor 1000 de luz. En la modalidad esquemáticamente ilustrada por la Figura 10B, los filtros 1004 de colores se colocan dentro de la superficie 1006 exterior y son parte integral de la disposición de elementos 1002 interferométricos . Cada filtro 1004 de color tiene un espectro de transmitancia característico en el cual un margen seleccionado de longitudes de onda se transmiten sustancialmente a través del filtro 1004 de color mientras otras longitudes de onda sustancialmente no se transmiten (por ejemplo, se reflejan o absorben) por el filtro 1004 de color. En ciertas modalidades, la disposición de filtros 1004 de colores comprende tres subconjuntos de los filtros 1004 de colores. Cada filtro 1004 de color del primer subconjunto tiene un primer espectro de transmitancia, cada filtro 1004 de color del segundo subconjunto tiene un segundo espectro de transmitancia, y cada filtro 1004 de color del tercer subconjunto tiene un tercer espectro de transmitancia. En ciertas modalidades, el primer, segundo y tercer subconjuntos de los filtros 1004 de colores tienen espectro de transmitancia que corresponde a la transmitancia sustancial de la luz roja, verde y azul, respectivamente. En ciertas modalidades distintas, el primer, segundo y tercer subconjuntos de los filtros 1004 de colores tienen espectro de transmitancia que corresponde a la transmitancia sustancial de la luz cian, magenta y amarilla, respectivamente. Otros filtros 1004 de colores con otros espectros de transmitancia son compatibles con modalidades descritas en la presente. La Figura 11 es una gráfica de la transmitancia (T) como una función de la longitud de onda (?) para un conjunto de tres materiales de filtro de color ejemplares compatibles con modalidades descritas en la presente. Los materiales de filtro de color ejemplares de la Figura 11 son resinas de filtro de color fotosensibles pigmentadas disponibles de Brewer Science Specialty Materials of Rolla, Missouri. La línea gruesa de la Figura 11 corresponde al espectro de transmisión de una película de 1.2 micrones de grueso de PSCBlue®, la línea sombreada de la Figura 11 corresponde al espectro de transmisión de una película de 1.5 micrones de grueso de PSCGreen®, y la línea de puntos de la Figura 11 corresponde al espectro de transmisión de una película de 1.5 mieras de grueso de PSCRed®. Las Figuras 12A-12C son tres gráficas de los espectros de transmitancia de los materiales de filtro de color de la Figura 11 sobrepuestas con el espectro de emisión desde una fuente de retroiluminación. La convolución del espectro de transmisión de cada material de filtro de color selecciona una porción correspondiente del espectro de emisión de la fuente de retroiluminación. El carácter de paso de banda del espectro de transmitancia de cada filtro 1004 de color permite que los elementos 1002 interferométricos se utilicen como contribuciones de color separadas para los pixeles del sensor 1000 de luz. Los espesores de los materiales de filtro de color basados en pigmento se seleccionan para proporcionar la transmisión deseada. Otros materiales de filtro de color compatibles con modalidades descritas en la presente incluyen, pero no se limitan a estructuras dieléctricas de multicapa basadas en interferencia. Al combinar los filtros 1004 de colores que corresponden a tres colores (por ejemplo, rojo/verde/azul o cian/magenta/amarillo) con los elementos 1002 interferométricos que tienen distancias de espacio sustancialmente iguales, ciertas modalidades proporcionan venta osamente sensibilidad a tres lineas de color sin diseñar la estructura de los elementos 1002 interferométricos . En ciertas modalidades, los filtros 1004 de colores se combinan con dos o más conjuntos de elementos 1002 interferométricos que tienen diferentes distancias de espacio. Cada conjunto de elementos 1002 interferoiétricos absorbe un margen diferente de longitudes de onda. En ciertas modalidades los filtros 1004 de colores sirven para ajusfar el espectro de absorción de la combinación de elemento interferométrico/filtro de color (por ejemplo al estrechar el margen de longitudes de onda que alcanzan el elemento 1002 interferométrico) .
La Figura 13 es un diagrama de bloque de sistema que ilustra una modalidad de un dispositivo 1302 electrónico que incorpora un elemento 700 interferométrico que tiene un sensor de temperatura para su uso con una fuente 1300 de iluminación lateral. El elemento 700 interferométrico puede ser conmutable o no conmutable. El elemento 700 interferométrico absorbe la luz que tiene por lo menos una longitud de onda. Por lo menos una longitud de onda es dependiente de la distancia do de espacio (véase Figura 7). En la modalidad esquemáticamente ilustrada por la Figura 13, la luz entra al elemento 700 interferométrico perpendicular al plano de la Figura y se refleja entre la primera superficie 702 y la segunda superficie 704 (véase Figura 7) . Por lo menos una porción de la luz incidente en el elemento 700 interferométrico que tiene por lo menos una longitud de onda se absorbe por el elemento 700 interferométrico . La energía asociada con esta luz absorbida se disipa como calor. El sensor 708 de temperatura responde al cambio de temperatura de por lo menos una porción del elemento 700 interferométrico de la absorción de luz. El sensor 708 de temperatura puede detectar un cambio en temperatura de la porción del elemento 700 interferométrico mediante radiación, convección, conducción o una combinación de uno o más procesos físicos para transferir energía de calor. El cambio detectado en temperatura se recibe por la fuente 1300 de iluminación lateral. La fuente 1300 de iluminación lateral utiliza la característica detectada para controlar una estructura de compensación óptica. En la modalidad ejemplar ilustrada en la Figura 13, la estructura de compensación óptica es una luz lateral. En ciertas modalidades, la intensidad detectada o brillo de la luz ambiente se utiliza para establecer o ajustar la cantidad de luz de iluminación para el dispositivo electrónico de pantalla para hacer mejor al dispositivo de pantalla leíble en la luz ambiente. La Figura 14 es un diagrama de bloque de sistema que ilustra una modalidad de un dispositivo 1400 electrónico que incorpora un elemento 700 interferométrico que tiene un sensor de temperatura para su uso con una fuente 1402 de retroiluminación . El dispositivo 1400 electrónico ilustrado en la Figura 14 es una pantalla de cristal líquido. El elemento 700 interferométrico puede ser conmutable o no conmutable. El elemento 700 interferométrico absorbe la luz que tiene por lo menos una longitud de onda. Por lo menos una longitud de onda es dependiente de la distancia do de espacio (véase Figura 7) . En la modalidad esquemáticamente ilustrada por la Figura 14, la luz entra al elemento 700 interferométrico sustancialmente paralela a la flecha 1404 y se refleja entre la primera superficie 702 y la segunda superficie 704 (véase Figura 7) . Por lo menos una porción de la luz incidente en el elemento 700 interferométrico que tiene por lo menos una longitud de onda se absorbe por el elemento 700 interferométrico . La energía asociada con esta luz absorbida se disipa como calor. El sensor 708 de temperatura responde al cambio de temperatura de por lo menos una porción del elemento 700 interferométrico de la absorción de la luz. El sensor 708 de temperatura puede detectar un cambio en temperatura de la porción del elemento 700 interferométrico mediante radiación, convección, conducción o una combinación de uno o más procesos físicos para transferir energía de calor. El cambio detectado en temperatura se recibe por la fuente 1402 de retroiluminación . La fuente 1402 de retroiluminación utiliza la característica detectada para controlar una estructura de compensación óptica. En la modalidad ejemplar ilustrada en la Figura 14, la estructura de compensación óptica es una retroiluminación. En ciertas modalidades, la intensidad detectada o brillo de la luz ambiente se utiliza para establecer o ajusfar la cantidad de luz de iluminación para el dispositivo electrónico de pantalla de LCD para hacer mejor al dispositivo electrónico leíble en la luz ambiente. La Figura 15 ilustra una serie de etapas ejemplares para detectar la luz mediante un dispositivo electrónico que tiene una modalidad de un elemento 700 interferométrico y un sensor 708 de temperatura como se describe en lo anterior. El proceso comienza en un estado 1500 donde un elemento 700 interferométrico que tiene un sensor 708 de temperatura absorbe por lo menos una longitud de onda de luz. En ciertas modalidades, el elemento 700 interferométrico comprende una primera superficie 702 y una segunda superficie 704 sustancialmente paralela a la primera superficie 702. La segunda superficie 704 se separa a una distancia do de espacio desde la primera superficie 702 en una dirección sustancialmente perpendicular a la primera superficie 702. La primera superficie 702 es parcialmente transmisiva y parcialmente reflectiva de por lo menos una longitud de onda. La segunda superficie 704 es por lo menos parcialmente reflectiva a la luz. Los materiales ejemplares para la primera superficie 702 y la segunda superficie 704 incluyen, pero no se limitan a cromo o titanio. La primera superficie 702 y la segunda superficie 704 forman una cavidad resonante (por ejemplo, etalon) en la cual la luz interfiere con si misma cuando se refleja entre la primera superficie 702 y la segunda superficie 704. El elemento 700 interferométrico absorbe luz que tiene por lo menos una longitud de onda. La energía asociada con esta luz absorbida en la primera superficie 702 se disipa como calor. En varias modalidades, la primera superficie 702 está en un sustrato 706, como se ilustra esquemáticamente por la Figura 7. En aún otras modalidades, el elemento 700 interferométrico comprende una o más capas (por ejemplo capas dieléctricas) que están en la primera superficie 702 de manera que la primera superficie 702 está entre estas capas y el sustrato 706. El tamaño de los elementos 700 interferométricos es una función de las reglas de diseño de micro-fabricación. En la fabricación de un semiconductor, ciertas modalidades con elementos 700 interferométricos que tienen áreas menores que o iguales a aproximadamente una miera cuadrada son posibles. Ciertas modalidades distintas proporcionan elementos 700 interferométricos que tienen áreas menores que o iguales a aproximadamente media miera cuadrada. Otros tamaños de elementos 700 interferométricos también son compatibles con modalidades descritas en la presente . Después en un estado 1502, el sensor 708 de temperatura detecta un cambio de temperatura de por lo menos una porción del elemento 700 interferométrico . El sensor 708 de temperatura es sensible a cambios de temperatura de por lo menos una porción del elemento 700 interferométrico de la absorción de luz mediante el elemento 700 interferométrico . En la modalidad esquemáticamente ilustrada por la Figura 7, el sensor 708 de temperatura está en la primera superficie 702 y está entre la primera superficie 702 y la segunda superficie 704. Otras posiciones del sensor 708 de temperatura son compatibles con modalidades descritas en la presente. En ciertas modalidades, el sensor 708 de temperatura se localiza adyacente a o separado de la primera superficie 702. En tales modalidades, el sensor 708 de temperatura puede detectar un cambio en temperatura de la porción de la primera superficie 702 mediante radiación, convección, conducción o una combinación de uno o más procesos físicos para transferir energía de calor. En las modalidades ejemplares ilustradas en las Figuras 6A, 6B y 6C, el sensor 708 de temperatura puede localizarse cerca o adyacente a una pila óptica. En ciertas modalidades, la pila óptica incluye las capas 16a, 16b fijas y las capas adyacentes a las capas fijas. Estas capas adyacentes pueden incluir capas del sustrato 20 dieléctrico, de cromo, de indio-estaño-óxido y transparente. En ciertas modalidades, la absorción y el calor correspondientes son funciones de la longitud de onda. Por ejemplo el elemento 700 interferométrico puede tener diferentes coeficientes de absorción para la luz roja, la luz verde y la luz azul, proporcionando con esto diferentes cantidades de caler para estas diversas longitudes de onda de luz incidente. En ciertas modalidades, los materiales del elemento 700 interferométrico se seleccionan para proporcionar sensibilidad a los márgenes seleccionados de longitudes de onda. Los márgenes de las longitudes de onda que pueden detectarse por los elementos 700 interferométricos compatibles con las modalidades descritas en la presente incluyen, pero no se limitan a longitudes de onda visibles, longitudes de onda infrarroja y ultravioleta, longitudes de onda de radiofrecuencia (RF) y rayos x. En ciertas modalidades, el sensor 708 de temperatura comprende un dispositivo binario (por ejemplo un conmutador) el cual está en un primer estado cuando la temperatura está por debajo de un nivel predeterminado y está en un segundo estado cuando la temperatura está por arriba de un nivel predeterminado. Ciertos conmutadores se forman utilizando técnicas de fabricación de sistema microelectromecánicp (MEMS) . En ciertas modalidades distintas, el sensor 708 de temperatura comprende un dispositivo análogo. Por ejemplo, el sensor 708 de temperatura puede ser un sensor de contacto o sin contacto. Ejemplos de sensores de temperatura de contacto que pueden utilizarse con las modalidades descritas en la presente incluyen termopares, termistores, detectores de temperatura de resistencia (los RTD) , termómetros de sistema de llenado, termómetros bimetálicos, y sensores de temperatura de semiconductores. Por ejemplo, un termopar bimetálico puede utilizarse para generar una diferencia de voltaje como una función de la temperatura. Los sensores de temperatura sin contacto ejemplares que pueden utilizarse con las modalidades descritas en la presente incluyen termómetros de radiación (por ejemplo, pirómetros) , formadores de imágenes térmicos, termómetros de relación, pirómetros ópticos, y sensores de temperatura de fibra óptica. Otros sensores 708 de temperatura son compatibles con modalidades descritas en la presente. Al absorber la luz que tiene por lo menos una longitud de onda, la temperatura del elemento 700 interferométrico incrementa, y el sensor 708 de temperatura responde al incremento de temperatura. En ciertas modalidades, la respuesta del sensor 708 de temperatura se determina al medir un cambio en el voltaje del sensor 708 de temperatura. Por ejemplo, un cambio en el voltaje entre vo y vi corresponde a un cambio en la temperatura de la porción de la primera superficie 702. En ciertas modalidades, el incremento de temperatura es dependiente de la intensidad de la luz en por lo menos una longitud de onda absorbida por el elemento 700 interferométrico .
Moviéndose en un estado 704, los datos indicativos del cambio detectado en la temperatura se proporcionan al dispositivo electrónico. Las modalidades del dispositivo electrónico incluyen una cámara o sensor de huellas dactilares. En ciertas modalidades, el cambio de temperatura se procesa y se almacena como una imagen digital. En ciertas modalidades distintas, el cambio de temperatura se utiliza para establecer la cantidad de luz frontal o luz posterior que ilumina un dispositivo de pantalla para hacer al dispositivo de pantalla mejor leíble en luz ambiente. Las Figuras 16? y 16B son diagramas de bloque del sistema que ilustran una modalidad de un dispositivo 2040 de pantalla. El dispositivo 2040 de pantalla puede ser, por ejemplo, un teléfono celular o móvil. Sin embargo, los mismos componentes del dispositivo 2040 de pantalla o pequeñas variaciones de los mismos también son ilustrativos de varios tipos de dispositivos de pantalla tales como televisiones y reproductores de medios portátiles. El dispositivo 2040 de pantalla incluye un alojamiento 2041, una pantalla 2030, una antena 2043, un altavoz 2045, un dispositivo 2048 de entrada y un micrófono 2046. El alojamiento 2041 generalmente se forma de cualquiera de una variedad de procesos de fabricación como se conocen bien por aquellos con experiencia en la técnica, que incluyen moldeo por inyección y con formación al vacio. Además, el alojamiento 2041 puede formarse de una variedad de materiales, que incluyen pero no se limitan a plástico, metal, vidrio, caucho y cerámica, o una combinación de los mismos. En una modalidad, el alojamiento 2041 incluye porciones removibles (no mostradas) que pueden intercambiarse con otras porciones removibles de diferente color, o que contienen diferentes logotipos, imágenes o símbolos . La pantalla 2030 del dispositivo 2040 de pantalla ejemplar puede ser cualquiera de una variedad de pantallas, que incluyen una pantalla biestable, como se describe en la presente. En otras modalidades, la pantalla 2030 incluye una pantalla de panel plano, tal como de plasma, EL, OLED, STN LCD, o TFT LCD como se describe en lo anterior, o una pantalla de panel no plano, tal como una CRT u otro dispositivo tubular, como se conoce bien por aquellos con experiencia en la técnica. Sin embargo, para propósitos de describir la presente modalidad, la pantalla 2030 incluye una pantalla de moduladores interferométricos , como se describe en la presente. Los componentes de una modalidad del dispositivo 2040 de pantalla ejemplar se ilustran esquemáticamente en la Figura 16B. El dispositivo 2040 de pantalla ejemplar ilustrado incluye un alojamiento 2041 y puede incluir componentes adicionales por lo menos parcialmente encerrados en el mismo. Por ejemplo, en una modalidad, el dispositivo 2040 de pantalla ejemplar incluye una interfaz 2027 de red que incluye una antena 2043 la cual se acopla a un transceptor 2047. El transceptor 2047 se conecta al procesador 2021, el cual se conecta al hardware 2052 de acondicionamiento. El hardware 2052 de acondicionamiento puede configurarse para acondicionar una señal (por ejemplo filtrar una señal) . El hardware 2052 de acondicionamiento se conecta a un altavoz 2045 y a un micrófono 2046. El procesador 2021 también se conecta a un dispositivo 2048 de entrada y a un controlador 2029 de programa de control. El controlador 2029 de programa de control se acopla a una memoria intermedia 2028 de cuadros y al controlador 2022 de disposición, el cual a su vez se acopla a una disposición 2030 de pantalla. Un suministro 2050 de energía proporciona energía a todos los componentes cuando se requiere mediante el diseño del dispositivo 2040 de pantalla ejemplar particular . La interfaz 2027 de red incluye la antena 2043 y el transceptor 2047 de manera que el dispositivo 2040 de pantalla e emplar pueda comunicarse con uno o más dispositivos en una red. En una modalidad, la interfaz 2027 de red también puede tener algunas capacidades de procesamiento para liberar requerimientos del procesador 2021. La antena 2043 puede ser cualquier antena conocida por aquellos de experiencia ordinaria en la técnica para transmitir y recibir señales. En una modalidad, la antena transmite y recibe señales de RF de acuerdo con la norma IEEE 802.11, que incluye IEEE802.11 (a) , (b) , o (g) . En otra modalidad, la antena transmite y recibe señales de RF de acuerdo con la norma de BLUETOOTH. En el caso de un teléfono celular, la antena se diseña para recibir CDMA, GSM, AMPS u otras señales conocidas que se utilizan para comunicarse dentro de una red telefónica celular inalámbrica. El transceptor 2047 preprocesa las señales recibidas de la antena 2043 de manera que puedan recibirse por y además manipularse por el procesador 2021. El transceptor 2047 también procesa señales recibidas del procesador 2021 de manera que puedan transmitirse desde el dispositivo 2040 de pantalla ejemplar mediante la antena 2043. En una modalidad alternativa, el transceptor 2047 puede reemplazarse por un receptor. En aún otra modalidad alternativa, la interfaz 2027 de red puede reempla2arse por una fuente de imágenes, la cual puede almacenar o generar datos de imágenes para enviarse al procesador 2021. Por ejemplo, la fuente de imágenes puede ser un disco de video digital (DVD) o una unidad de disco duro que contiene datos de imágenes, o un módulo de software que genera datos de imágenes . El procesador 2021 generalmente controla la operación general del dispositivo 2040 de pantalla ejemplar. El procesador 2021 recibe datos, tales como datos de imágenes comprimidos desde la interfaz 2027 de red o una fuente de imágenes, y procesa los datos en datos de imágenes en bruto o en un formato que se procesa fácilmente en datos de imágenes en bruto. El procesador 2021 entonces envía los datos procesados al controlador 2029 de programa de control o a la memoria intermedia 2028 de cuadros para su almacenaje. Los datos en bruto típicamente se refieren a la información que identifica las características de imagen en cada ubicación dentro de una imagen. Por ejemplo, tales características de imágenes pueden incluir color, saturación y nivel de escalas de grises. En una modalidad, el procesador 2021 incluye un microcontrolador, CPU, o unidad lógica para controlar la operación del dispositivo 2040 de pantalla ejemplar. El hardware 2052 de acondicionamiento generalmente incluye amplificadores y filtros para transmitir señales al altavoz 2045 y para recibir señales desde el micrófono 2046. El hardware 2052 de acondicionamiento pueden ser componentes discretos dentro del dispositivo 2040 de pantalla ejemplar, o pueden incorporarse dentro del procesador 2021 u otros componentes.
El controlador 2029 de programa de control toma los datos de imágenes en bruto generados por el procesador 2021 ya sea directamente desde el procesador 2021 o desde la memoria intermedia 2028 de cuadros y reformatea los datos de imágenes en bruto apropiadamente para la transmisión a alta velocidad al controlador 2022 de disposición. Específicamente, el controlador 2029 de programa de control reformatea los datos de imágenes en bruto en un flujo de datos que tiene un formato tipo reticular, de manera que tiene un orden de tiempo adecuado para la exploración a través de la disposición 2030 de pantalla. Entonces, el controlador 2029 de programa de control envía la información formateada al controlador 2022 de disposición. Aunque un controlador 2029 de programa de control, tal como un controlador de LCD, con frecuencia se asocia con el procesador 2021 de sistema como un circuito integrado autónomo (IC) , tales controladores pueden implementarse de muchas formas. Pueden intercalarse en el procesador 2021 como hardware, intercalarse en el procesador 2021 como software o integrarse completamente en hardware con el controlador 2022 de disposición. Típicamente, el controlador 2022 de disposición recibe la información formateada desde el controlador 2029 de programa de control y reformatea los datos de video en un conjunto paralelo de formas de onda que se aplica muchas veces por segundo a los cientos y algunas veces miles de interlineas que vienen de la matriz de pixeles x-y de la pantalla . En una modalidad, el controlador 2029 de programa de control, el controlador 2022 de disposición y la disposición 2030 de pantalla son apropiados para cualquiera de los tipos de pantallas descritos en la presente. Por ejemplo, en una modalidad, el controlador 2029 de programa de control es un controlador de pantalla convencional o un controlador de pantalla biestable, (por ejemplo, un controlador de moduladores interferométricos) . En otra modalidad, el controlador 2022 de disposición es un controlador convencional o un controlador de pantalla biestable (por ejemplo una pantalla de moduladores interferométricos) . En una modalidad, un controlador 2029 de programa de control se integra con el controlador 2022 de disposición. Tal modalidad es común en sistemas altamente integrados tales como teléfonos celulares, relojes, y otras pantallas de área pequeña. En aún otra modalidad, la disposición 2030 de pantalla es una disposición de pantalla típica o una disposición de pantalla biestable (por ejemplo, una pantalla que incluye una disposición de moduladores interferométricos ) . El dispositivo 2048 de entrada permite que un usuario controle la operación del dispositivo 2040 de pantalla ejemplar. En una modalidad, el dispositivo 2048 de entrada incluye un teclado, tal como un teclado QWERTY o un teclado telefónico, un botón, un conmutador, una pantalla sensible al tacto, o una membrana sensible a la presión o al calor. En una modalidad, el micrófono 2046 es un dispositivo de entrada para el dispositivo 2040 de pantalla ejemplar. Cuando el micrófono 2046 se utiliza para ingresar datos al dispositivo, pueden proporcionarse comandos de voz mediante un usuario para controlar operaciones del dispositivo 2040 de pantalla ejemplar. El suministro 2050 de energía puede incluir una variedad de dispositivos de almacenaje de energía como se conocen bien en la técnica. Por ejemplo, en una modalidad, el suministro 2050 de energía es una batería recargable, tal como una batería de níquel-cadmio o una batería de iones de litio. En otra modalidad, el suministro 2050 de energía es una fuente de energía renovable, un condensador, una celda solar, que incluye una celda solar de plástico y pintura de celda solar. En otra modalidad, el suministro 2050 de energía se configura para recibir energía de un tomacorriente eléctrico. En algunas implementaciones, la programabilidad de control reside, como se describe en lo anterior, en un controlador de programa de control que puede localizarse en varios lugares en el sistema de pantalla electrónico. En algunos casos, la programabilidad de control reside en el controlador 2022 de disposición. Aquellos de experiencia en la técnica reconocerán que la optimización antes descrita puede implementarse en cualquier número de componentes de hardware y/o software y en varias configuraciones. En la descripción anterior, varias modalidades de la invención se han descrito. Ciertas modalidades de la invención proporcionan un sensor de luz que comprende por lo menos un elemento interferométrico que absorbe luz en por lo menos una longitud de onda. El elemento interferométrico comprende una primera superficie y una segunda superficie sustancialmente paralela a la primera superficie. La segunda superficie se separa una distancia de espacio desde la primera superficie en una dirección sustancialmente perpendicular a la primera superficie. La longitud de onda de luz absorbida es dependiente de la distancia de espacio. El elemento interferométrico además comprende un sensor de temperatura. El sensor de temperatura es sensible a cambios en temperatura de por lo menos una porción del elemento interferométrico debido a la absorción de luz mediante el elemento interferométrico . En ciertas modalidades, el sensor de luz comprende una pluralidad de elementos interferométricos . Cada elemento interferométrico tiene un distancia de espacio correspondiente y absorbe luz en por lo menos una longitud de onda. En ciertas modalidades, cada elemento interferométrico comprende sustancialmente la misma distancia de espacio que los otros elementos interferométricos . En ciertas modalidades distintas, la pluralidad de elementos interferométricos comprende dos o más subconjuntos de elementos interferométricos . Cada elemento interferométrico de un subconjunto comprende sustancialmente la misma distancia de espacio que los otros elementos interferométricos del subconjunto. Cada subconjunto tiene una diferente distancia de espacio y absorbe luz en por lo menos una longitud de onda diferente. En ciertas modalidades, el sensor de luz además comprende una disposición de filtros de colores. Cada filtro de color se coloca de manera que la luz que choca sobre un elemento interferométrico correspondiente se propaga a través del filtro de color. Cada filtro de color transmite sustancialmente por lo menos una longitud de onda de luz que corresponde al elemento interferométrico . En ciertas modalidades, la primera superficie del elemento interferométrico es una superficie fija y la segunda superficie es una superficie móvil. En un primer estado del elemento interferométrico, la superficie móvil se separa a una primera distancia desde la superficie fija en una dirección sustancialmente perpendicular a la superficie fija. En un segundo estado, la superficie móvil se separa a una segunda distancia diferente de la primera distancia, desde la superficie fija en una dirección sustancialmente perpendicular a la superficie fija. En ciertas modalidades, ya sea la primera distancia o la segunda distancia es aproximadamente cero. En ciertas modalidades, el elemento interferométrico comprende dos o más colores. En ciertas modalidades, el elemento interferométrico comprende un solo color de luz, (por ejemplo, luz roja, verde o azul) . En ciertas modalidades, por lo menos un elemento interferométrico se utiliza como un sensor de luz. En ciertas modalidades distintas, una pluralidad de elementos interferométricos se utiliza para la captura de imagen. Otra modalidad incluye un método para detectar luz que comprende proporcionar una primera superficie que es parcialmente transmisiva y parcialmente reflectiva por lo menos para una longitud de onda de luz, que proporciona una segunda superficie separada a una distancia de espacio desde la primera superficie para reflejar por lo menos una porción de por lo menos una longitud de onda de luz, absorber por lo menos una longitud de onda de luz en la primera superficie, y detectar un cambio de temperatura de por lo menos una porción de la primera superficie. Aún otra modalidad incluye un método para fabricar un sensor de luz que tiene por lo menos un modulador interferométrico, el método comprende formar una primera superficie que es parcialmente transmisiva y parcialmente reflectiva para por lo menos una longitud de onda de luz, formar una segunda superficie sustancialmente paralela a la primera superficie y separada una primera distancia de la primera para reflejar por lo menos una porción de por lo menos una longitud de onda de luz, y formar un sensor de temperatura acoplados a la primera superficie y sensible a cambios de temperatura de por lo menos una porción de la primera superficie provocados por lo menos en parte por la absorción de por lo menos una longitud de onda de luz . Aún otra modalidad incluye un dispositivo de pantalla que tiene un sensor de luz, el dispositivo de pantalla comprende un alojamiento y un modulador interferométrico dentro del alojamiento. El modulador interferométrico comprende una primera superficie que es parcialmente transmisiva y parcialmente reflectiva por lo menos para una longitud de onda de luz, una segunda superficie sustancialmente paralela a la primera superficie y separada una primera distancia de la primera superficie para reflejar por lo menos una porción de por lo menos una longitud de onda de luz, y un sensor de temperatura acoplados a la primera superficie y sensible a un cambio de temperatura de por lo menos una porción de la primera superficie provocados por lo menos en parte por la absorción de por lo menos una longitud de onda de luz. Otra modalidad incluye un sensor de luz. El sensor de luz tiene por lo menos un modulador interferómétrico . En una modalidad, el modulador interferométrico comprende medios para transmitir parcialmente y reflejar parcialmente por lo menos una longitud de onda de luz, medios para reflejar por lo menos una porción de por lo menos una longitud de onda de luz acoplados al medio para transmitir parcialmente y reflejar parcialmente, y medios para detectar cambios de temperatura de y acoplados al medio que transmite parcialmente y refleja parcialmente provocados por lo menos en parte por la absorción de por lo menos una longitud de onda de luz. Otra modalidad comprende una cámara que tiene un sensor de luz. La cámara comprende: un alojamiento; medios para transmitir parcialmente y reflejar parcialmente por lo menos una longitud de onda de luz colocados dentro del alojamiento; medios para reflejar por lo menos una porción de por lo menos una longitud de onda de luz colocados dentro del alojamiento; y medios para detectar cambios de temperatura de, y acoplados al medio para transmitir parcialmente y reflejar parcialmente de por lo menos una longitud de onda de luz provocados por lo menos en parte por la absorción de por lo menos una longitud de onda de luz . Otra modalidad incluye un sensor de luz que tiene por lo menos un modulador interferométrico, el modulador interferométrico comprende una primera superficie que es parcialmente transmisiva y parcialmente reflectiva para por lo menos una longitud de onda de luz, una segunda superficie sustancialmente paralela a la primera superficie y separada una primera distancia de la primera superficie para reflejar por lo menos una porción de por lo menos una longitud de onda de luz, y un sensor de temperatura acoplado a la primera superficie y sensible a cambios de temperatura de por lo menos una porción de la primera superficie provocados por lo menos en parte por la absorción de por lo menos una longitud de onda de luz. Aún otra modalidad incluye una cámara que tiene un sensor de luz, la cámara comprende un alojamiento y un modulador interferométrico dentro del alojamiento. El modulador interferométrico comprende una primera superficie que es parcialmente transmisiva y parcialmente reflectiva para por lo menos una longitud de onda de luz, una segunda superficie sustancialmente paralela a la primera superficie y separada una primera distancia de la primera superficie para reflejar por lo menos una porción de por lo menos una longitud de onda de luz y un sensor de temperatura acoplado a la primera superficie y sensible a cambios de temperatura de por lo menos una porción de la primera superficie provocados por lo menos en parte por la absorción de por lo menos una longitud de onda de luz. Aunque la descripción antes detallada ha mostrado, descrito y señalado características novedosas de la invención, aplicadas a varias modalidades, se entenderá que varias omisiones, sustituciones y cambios en forma y detalles del dispositivo o procesos ilustrados pueden hacerse por aquellos con experiencia en la técnica sin apartarse del espíritu de la invención. Los métodos para incorporar las características descritas en lo anterior con los moduladores interferométricos serán fácilmente aparentes para alguien que tiene experiencia ordinaria en la técnica. Además, una o más de estas características pueden adaptarse para funcionar con cualquiera de las modalidades, así como otras configuraciones de los moduladores interferométricos . Como se reconocerá, la presente invención puede representarse dentro de una forma que no proporcione todas las características y beneficios establecidos en la presente, ya que algunas características pueden utilizarse o practicarse separadamente de otras.

Claims (39)

  1. NOVEDAD DE LA INVENCIÓN Habiendo descrito la presente invención, se considera como novedad y por lo tanto se reclama como propiedad lo descrito en las siguientes reivindicaciones.
  2. REIVINDICACIONES 1. Un sensor de luz que tiene por lo menos un modulador interferométrico, el modulador interferométrico caracterizado porque comprende: medios para transmitir parcialmente y reflejar parcialmente por lo menos una longitud de onda de luz; medios para reflejar por lo menos una porción de por lo menos una longitud de onda de luz; y medios para detectar cambios de temperatura de, y acoplados al medio que transmite parcialmente y refleja parcialmente provocados por lo menos en parte por la absorción de por lo menos una longitud de onda de luz. 2. El sensor de luz de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque: el medio que transmite parcialmente y refleja parcialmente comprende una primera superficie; y el medio de reflexión comprende una segunda superficie sustancialmente paralela a la primera superficie separada una distancia de espacio de la primera superficie para reflejar por lo menos una porción de por lo menos una longitud de onda de luz.
  3. 3. El sensor de luz de conformidad con cualquiera de las reivindicaciones 1 ó 2, caracterizado porque el medio de detección comprende un sensor de temperatura que comprende un dispositivo binario.
  4. 4. El sensor de luz de conformidad con la reivindicación 3, caracterizado porque el dispositivo binario está en un primer estado cuando la temperatura está por debajo de un nivel predeterminado y está en un segundo estado cuando la temperatura está por arriba de un nivel predeterminado .
  5. 5. El sensor de luz de conformidad con la reivindicación 3, caracterizado porque el dispositivo binario se forma utilizando técnicas de fabricación de sistema microelectromecánico (MEMS) .
  6. 6. El sensor de luz de conformidad con cualquiera de las reivindicaciones reivindicación 1-5, caracterizado porque el medio de detección comprende un sensor de temperatura que comprende un dispositivo análogo.
  7. 7. El sensor de luz de conformidad con la reivindicación 6, caracterizado porque el dispositivo análogo comprende un termopar bimetálico.
  8. 8. El sensor de luz de conformidad con la reivindicación 6, caracterizado porque el dispositivo análogo genera una diferencia de voltaje como una función de la temperatura.
  9. 9. El sensor de luz de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado además porque comprende: segundo medio para transmitir parcialmente y reflejar parcialmente por lo menos una longitud de onda de luz; segundo medio para reflejar por lo menos una porción de por lo menos una longitud de onda de luz; y segundo medio para detectar cambios de temperatura de y acoplados al medio que transmite parcialmente y refleja parcialmente provocado por lo menos en parte por la absorción de por lo menos una longitud de onda de luz.
  10. 10. El sensor de luz de conformidad con la reivindicación 9, caracterizado porque: el segundo medio que transmite parcialmente y refleja parcialmente comprende una primera superficie; y el segundo medio de reflexión comprende una segunda superficie que es sustancialmente paralela a la primera superficie y separada una distancia de espacio de la primera superficie para reflejar por lo menos una porción de por lo menos una longitud de onda de luz.
  11. 11. El sensor de luz de conformidad con cualquiera de las reivindicaciones 9 y 10, caracterizado porque una temperatura de activación del primer medio de detección es diferente de una temperatura de activación del segundo medio de detección.
  12. 12. El sensor de luz de conformidad con la reivindicación 9, caracterizado porque el segundo medio de detección comprende un segundo dispositivo binario.
  13. 13. El sensor de luz de conformidad con la reivindicación 12, caracterizado porque el segundo dispositivo binario está en un primer estado cuando la temperatura está por debajo de un nivel predeterminado y está en un segundo estado cuando la temperatura está por arriba de un nivel predeterminado.
  14. 14. El sensor de luz de conformidad con la reivindicación 12, caracterizado porque el segundo dispositivo binario se forma utilizando técnicas de fabricación del sistema microelectromecánico (ME S) .
  15. 15. El sensor de luz de conformidad con la reivindicación 9, caracterizado porque el segundo medio de detección comprende un segundo dispositivo análogo.
  16. 16. El sensor de luz de conformidad con la reivindicación 15, caracterizado porque el segundo dispositivo análogo comprende un termopar bimetálico.
  17. 17. El sensor de luz de conformidad con la reivindicación 15, caracterizado porque el segundo dispositivo análogo genera una diferencia de voltaje como una función de la temperatura.
  18. 18. El sensor de luz de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado además porque comprende un sustrato .
  19. 19. El sensor de luz de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado además porque comprende: una pantalla; un procesador que está en comunicación eléctrica con la pantalla, el procesador se configura para procesar datos de imágenes; y un dispositivo de memoria en comunicación eléctrica con el procesador.
  20. 20. El sensor de luz de conformidad con la reivindicación 19, caracterizado además porque comprende: un circuito excitador configurado para enviar por lo menos una señal a la pantalla.
  21. 21. El sensor de luz de conformidad con la reivindicación 20, caracterizado además porque comprende: un controlador configurado para enviar por lo menos una porción de los datos de imágenes al circuito excitador.
  22. 22. El sensor de luz de conformidad con la reivindicación 19, caracterizado además porque comprende: un módulo de fuente de imágenes configurado para enviar datos de imágenes al procesador.
  23. 23. El sensor de luz de conformidad con la reivindicación 19, caracterizado porque el módulo de fuente de imágenes comprende por lo menos uno de un receptor, transceptor y transmisor.
  24. 24. El sensor de luz de conformidad con la reivindicación 19, caracterizado además porque comprende: un dispositivo de entrada configurado para recibir datos de entrada y para comunicar los datos de entrada al procesador.
  25. 25. Un método para detectar luz, caracterizado porque comprende: proporcionar una primera superficie que es parcialmente transmisiva y parcialmente reflectiva por lo menos para una longitud de onda de luz; proporcionar una segunda superficie separada a una distancia de espacio desde la primera superficie para reflejar por lo menos una porción de por lo menos una longitud de onda de luz; absorber por lo menos una longitud de onda de luz en la primera superficie; y detectar un cambio de temperatura de por lo menos una porción de la primera superficie.
  26. 26. Una cámara que tiene un sensor de luz, la cámara caracterizada porque comprende: un alojamiento; medios para transmitir parcialmente y reflejar parcialmente por lo menos una longitud de onda de luz colocados dentro del alojamiento; medios para reflejar por lo menos una porción de por lo menos una longitud de onda de luz colocados dentro del alojamiento; y medios para detectar cambios de temperatura de, y acoplados al medios para transmitir parcialmente y reflejar parcialmente por lo menos una longitud de onda de luz provocados por lo menos en parte por la absorción de por lo menos una longitud de onda de luz.
  27. 27. La cámara de conformidad con la reivindicación 26, caracterizada porque: el medio que transmite parcialmente y refleja parcialmente comprende una primera superficie; y el medio de reflexión comprende una segunda superficie sustancialmente paralela a la primera superficie y separada a una distancia de espacio desde la primera superficie hasta la primera superficie para reflejar por lo menos una porción de por lo menos una longitud de onda de luz.
  28. 28. La cámara de conformidad con cualquiera de las reivindicaciones 26 ó 27, caracterizada porque el medio de detección comprende un sensor de temperatura que comprende un dispositivo binario.
  29. 29. La cámara de conformidad con cualquiera de las reivindicaciones 26 ó 27, caracterizada porque el medio de detección comprende un sensor de temperatura que comprende un dispositivo análogo.
  30. 30. La cámara de conformidad con la reivindicación 26, caracterizada porque los cambios de ' temperatura son por lo menos en parte indicativos de una longitud de onda de por lo menos una longitud de onda de luz .
  31. 31. La cámara de conformidad con la reivindicación 26, caracterizada porque los cambios de temperatura son por lo menos en parte indicativos de la intensidad asociada con por lo menos una longitud de onda de luz .
  32. 32. Un método para fabricar un sensor de luz que tiene por lo menos un modulador interferométrico, el método caracterizado porque comprende: formar una primera superficie que es parcialmente transmisiva y parcialmente reflectiva por lo menos para una longitud de onda de luz; formar una segunda superficie sustancialmente paralela a la primera superficie separada una primera distancia desde la primera para reflejar por lo menos una porción de por lo menos una longitud de onda de luz; y formar un sensor de temperatura acoplado a la primera superficie y sensible a cambios de temperatura de por lo menos una porción de la primera superficie provocados por lo menos en parte por la absorción de por lo menos una longitud de onda de luz.
  33. 33. El método de conformidad con la reivindicación 32, caracterizado porque el sensor de temperatura está en el primer estado cuando la temperatura está por debajo de un nivel predeterminado y está en un segundo estado cuando la temperatura está por arriba de un nivel predeterminado .
  34. 34. El método de conformidad con la reivindicación 32, caracterizado porque el sensor de temperatura comprende un termopar .
  35. 35. El método de conformidad con la reivindicación 32, caracterizado además porque comprende: formar una tercera superficie que es parcialmente transmisiva y parcialmente reflectiva por lo menos para una segunda longitud de onda de luz; formar una cuarta superficie sustancialmente paralela a la tercera superficie y separada una segunda distancia de la tercera superficie para reflejar por lo menos una porción de por lo menos una longitud de onda de luz; y formar un segundo sensor de temperatura sensible a cambios de temperatura de por lo menos una porción de la tercera superficie de la absorción de por lo menos una segunda longitud de onda de luz; en donde la tercera y cuarta superficie y el segundo sensor de temperatura se comprenden por un segundo modulador interferométrico .
  36. 36. Un sensor de luz caracterizado porque se fabrica mediante el método de conformidad con la reivindicación 32.
  37. 37. El sensor de luz de conformidad con la reivindicación 36, caracterizado porque el método además comprende formar el sensor de temperatura de manera que el sensor de temperatura esté en un primer estado cuando la temperatura esté por debajo de un nivel predeterminado y esté en un segundo estado cuando la temperatura esté por arriba de un nivel predeterminado.
  38. 38. El sensor de luz de conformidad con la reivindicación 36, caracterizado porque el método además comprende formar el sensor de temperatura de manera que el sensor de temperatura comprende un termopar.
  39. 39. El sensor de luz de conformidad con la reivindicación 36, caracterizado porque el método además comprende : formar una tercera superficie que es parcialmente transmisiva y parcialmente reflectiva para por lo menos una segunda longitud de onda de luz; formar una cuarta superficie sustancialmente paralela a la tercera superficie y separada a una segunda distancia de la tercera superficie para reflejar por lo menos una porción de por lo menos una longitud de onda de luz; y formar un segundo sensor de temperatura sensible a cambios de temperatura de por lo menos una porción de la tercera superficie de absorción de por lo menos una segunda longitud de onda de luz; en donde la tercera y cuarta superficies y el segundo sensor de temperatura se comprenden por un segundo modulador interferométrico .
MXPA05010097A 2004-09-27 2005-09-21 Metodo y sistema para detectar luz utilizando elementos interferometricos. MXPA05010097A (es)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US61362404P 2004-09-27 2004-09-27
US11/066,724 US7460246B2 (en) 2004-09-27 2005-02-24 Method and system for sensing light using interferometric elements

Publications (1)

Publication Number Publication Date
MXPA05010097A true MXPA05010097A (es) 2006-04-27

Family

ID=35431898

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
MXPA05010097A MXPA05010097A (es) 2004-09-27 2005-09-21 Metodo y sistema para detectar luz utilizando elementos interferometricos.

Country Status (12)

Country Link
US (2) US7460246B2 (es)
EP (1) EP1640694A3 (es)
JP (1) JP2006091854A (es)
KR (1) KR20060092879A (es)
CN (1) CN1755475B (es)
AU (1) AU2005203284A1 (es)
BR (1) BRPI0503887A (es)
CA (1) CA2514347A1 (es)
MX (1) MXPA05010097A (es)
RU (1) RU2005129910A (es)
SG (1) SG121052A1 (es)
TW (1) TW200624781A (es)

Families Citing this family (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070009899A1 (en) * 2003-10-02 2007-01-11 Mounts William M Nucleic acid arrays for detecting gene expression in animal models of inflammatory diseases
US7460246B2 (en) * 2004-09-27 2008-12-02 Idc, Llc Method and system for sensing light using interferometric elements
US20060176487A1 (en) * 2004-09-27 2006-08-10 William Cummings Process control monitors for interferometric modulators
US8004514B2 (en) 2006-02-10 2011-08-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for updating of displays showing deterministic content
US7903047B2 (en) 2006-04-17 2011-03-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mode indicator for interferometric modulator displays
US7968846B2 (en) * 2006-05-23 2011-06-28 Regents Of The University Of Minnesota Tunable finesse infrared cavity thermal detectors
JP2010512507A (ja) * 2006-12-08 2010-04-22 リージェンツ オブ ザ ユニバーシティ オブ ミネソタ 放射率の低減と光空洞カップリングを使用した、標準的な放射雑音限界を超える検出
US8187174B2 (en) * 2007-01-22 2012-05-29 Capso Vision, Inc. Detection of when a capsule camera enters into or goes out of a human body and associated operations
US7595926B2 (en) * 2007-07-05 2009-09-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Integrated IMODS and solar cells on a substrate
BRPI0907131A2 (pt) 2008-02-14 2015-07-14 Qualcomm Mems Technologies Inc Dispositivo eletrônico de máscara negra de geração de energia e respectivo método de produção
US8094358B2 (en) * 2008-03-27 2012-01-10 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Dimming mirror
US7660028B2 (en) * 2008-03-28 2010-02-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Apparatus and method of dual-mode display
US8077326B1 (en) 2008-03-31 2011-12-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Human-readable, bi-state environmental sensors based on micro-mechanical membranes
US7852491B2 (en) 2008-03-31 2010-12-14 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Human-readable, bi-state environmental sensors based on micro-mechanical membranes
US7787130B2 (en) 2008-03-31 2010-08-31 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Human-readable, bi-state environmental sensors based on micro-mechanical membranes
US7787171B2 (en) * 2008-03-31 2010-08-31 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Human-readable, bi-state environmental sensors based on micro-mechanical membranes
US8629398B2 (en) 2008-05-30 2014-01-14 The Regents Of The University Of Minnesota Detection beyond the standard radiation noise limit using spectrally selective absorption
US7860668B2 (en) * 2008-06-18 2010-12-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Pressure measurement using a MEMS device
JP5274287B2 (ja) * 2009-02-09 2013-08-28 三菱電機株式会社 表示装置および表示システム
JP5798709B2 (ja) 2009-03-04 2015-10-21 セイコーエプソン株式会社 光フィルター及びそれを備えた光モジュール
US8711361B2 (en) * 2009-11-05 2014-04-29 Qualcomm, Incorporated Methods and devices for detecting and measuring environmental conditions in high performance device packages
US20110176196A1 (en) * 2010-01-15 2011-07-21 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods and devices for pressure detection
KR101821727B1 (ko) 2010-04-16 2018-01-24 플렉스 라이팅 투 엘엘씨 필름 기반 라이트가이드를 포함하는 프론트 조명 디바이스
US9110200B2 (en) 2010-04-16 2015-08-18 Flex Lighting Ii, Llc Illumination device comprising a film-based lightguide
US8390916B2 (en) 2010-06-29 2013-03-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for false-color sensing and display
US8904867B2 (en) 2010-11-04 2014-12-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display-integrated optical accelerometer
JP5541137B2 (ja) * 2010-12-15 2014-07-09 ソニー株式会社 撮像装置、電子機器、太陽電池、および、撮像装置の製造方法
US8714023B2 (en) 2011-03-10 2014-05-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for detecting surface perturbations
US20130271438A1 (en) * 2012-04-13 2013-10-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Integrated ambient light sensor
US9236552B2 (en) 2013-04-04 2016-01-12 William N. Carr Thermoelectric micro-platform for cooling and temperature sensing
US9500442B2 (en) * 2013-07-15 2016-11-22 OptiFlow, Inc. Holographic gun sight
US20150131693A1 (en) * 2013-11-14 2015-05-14 Symphony Acoustics, Inc. Laser forming process
US9372114B2 (en) * 2014-08-20 2016-06-21 William N. Carr Spectrophotometer comprising an integrated Fabry-Perot interferometer
WO2016112355A2 (en) 2015-01-09 2016-07-14 Apple Inc. Polarization selective, frequency selective, and wide dynamic range detectors, imaging arrays, readout integrated circuits, and sensor systems
US11922844B2 (en) 2020-04-27 2024-03-05 Novatek Microelectronics Corp. Integrated driving device and operation method thereof

Family Cites Families (193)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2534846A (en) 1946-06-20 1950-12-19 Emi Ltd Color filter
US3184600A (en) 1963-05-07 1965-05-18 Potter Instrument Co Inc Photosensitive apparatus for measuring coordinate distances
DE1288651B (de) 1963-06-28 1969-02-06 Siemens Ag Anordnung elektrischer Dipole fuer Wellenlaengen unterhalb 1 mm und Verfahren zur Herstellung einer derartigen Anordnung
US3371345A (en) 1966-05-26 1968-02-27 Radiation Inc Radar augmentor
US3410363A (en) 1966-08-22 1968-11-12 Devenco Inc Method and apparatus for testing the wave-reflecting characteristics of a chamber
FR1603131A (es) 1968-07-05 1971-03-22
US3813265A (en) 1970-02-16 1974-05-28 A Marks Electro-optical dipolar material
US3653741A (en) 1970-02-16 1972-04-04 Alvin M Marks Electro-optical dipolar material
US3746785A (en) 1971-11-26 1973-07-17 Bendix Corp Deflectable membrane optical modulator
DE2336930A1 (de) 1973-07-20 1975-02-06 Battelle Institut E V Infrarot-modulator (ii.)
US4099854A (en) 1976-10-12 1978-07-11 The Unites States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Optical notch filter utilizing electric dipole resonance absorption
US4389096A (en) 1977-12-27 1983-06-21 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Image display apparatus of liquid crystal valve projection type
US4445050A (en) 1981-12-15 1984-04-24 Marks Alvin M Device for conversion of light power to electric power
US4663083A (en) 1978-05-26 1987-05-05 Marks Alvin M Electro-optical dipole suspension with reflective-absorptive-transmissive characteristics
US4347983A (en) 1979-01-19 1982-09-07 Sontek Industries, Inc. Hyperbolic frequency modulation related to aero/hydrodynamic flow systems
US4228437A (en) 1979-06-26 1980-10-14 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Wideband polarization-transforming electromagnetic mirror
NL8001281A (nl) 1980-03-04 1981-10-01 Philips Nv Weergeefinrichting.
DE3012253A1 (de) 1980-03-28 1981-10-15 Hoechst Ag, 6000 Frankfurt Verfahren zum sichtbarmaschen von ladungsbildern und eine hierfuer geeignete vorichtung
US4377324A (en) 1980-08-04 1983-03-22 Honeywell Inc. Graded index Fabry-Perot optical filter device
US4441791A (en) 1980-09-02 1984-04-10 Texas Instruments Incorporated Deformable mirror light modulator
FR2506026A1 (fr) 1981-05-18 1982-11-19 Radant Etudes Procede et dispositif pour l'analyse d'un faisceau de rayonnement d'ondes electromagnetiques hyperfrequence
NL8103377A (nl) 1981-07-16 1983-02-16 Philips Nv Weergeefinrichting.
US4571603A (en) 1981-11-03 1986-02-18 Texas Instruments Incorporated Deformable mirror electrostatic printer
NL8200354A (nl) 1982-02-01 1983-09-01 Philips Nv Passieve weergeefinrichting.
US4500171A (en) 1982-06-02 1985-02-19 Texas Instruments Incorporated Process for plastic LCD fill hole sealing
US4482213A (en) 1982-11-23 1984-11-13 Texas Instruments Incorporated Perimeter seal reinforcement holes for plastic LCDs
US4566935A (en) 1984-07-31 1986-01-28 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4710732A (en) 1984-07-31 1987-12-01 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4596992A (en) 1984-08-31 1986-06-24 Texas Instruments Incorporated Linear spatial light modulator and printer
US5096279A (en) 1984-08-31 1992-03-17 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US5061049A (en) 1984-08-31 1991-10-29 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4662746A (en) 1985-10-30 1987-05-05 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4615595A (en) 1984-10-10 1986-10-07 Texas Instruments Incorporated Frame addressed spatial light modulator
US5172262A (en) 1985-10-30 1992-12-15 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
GB2186708B (en) 1985-11-26 1990-07-11 Sharp Kk A variable interferometric device and a process for the production of the same
GB8610129D0 (en) 1986-04-25 1986-05-29 Secr Defence Electro-optical device
US4748366A (en) 1986-09-02 1988-05-31 Taylor George W Novel uses of piezoelectric materials for creating optical effects
US4786128A (en) 1986-12-02 1988-11-22 Quantum Diagnostics, Ltd. Device for modulating and reflecting electromagnetic radiation employing electro-optic layer having a variable index of refraction
NL8701138A (nl) 1987-05-13 1988-12-01 Philips Nv Electroscopische beeldweergeefinrichting.
US4857978A (en) 1987-08-11 1989-08-15 North American Philips Corporation Solid state light modulator incorporating metallized gel and method of metallization
US4900136A (en) 1987-08-11 1990-02-13 North American Philips Corporation Method of metallizing silica-containing gel and solid state light modulator incorporating the metallized gel
US4977009A (en) 1987-12-16 1990-12-11 Ford Motor Company Composite polymer/desiccant coatings for IC encapsulation
US4956619A (en) 1988-02-19 1990-09-11 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator
US4856863A (en) 1988-06-22 1989-08-15 Texas Instruments Incorporated Optical fiber interconnection network including spatial light modulator
DE68923589T2 (de) * 1988-08-12 1996-01-18 Texas Instruments Inc Infrarot-Detektor.
US5028939A (en) 1988-08-23 1991-07-02 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator system
JP2700903B2 (ja) * 1988-09-30 1998-01-21 シャープ株式会社 液晶表示装置
US4982184A (en) 1989-01-03 1991-01-01 General Electric Company Electrocrystallochromic display and element
US5162787A (en) 1989-02-27 1992-11-10 Texas Instruments Incorporated Apparatus and method for digitized video system utilizing a moving display surface
US5079544A (en) 1989-02-27 1992-01-07 Texas Instruments Incorporated Standard independent digitized video system
US5287096A (en) 1989-02-27 1994-02-15 Texas Instruments Incorporated Variable luminosity display system
US5206629A (en) 1989-02-27 1993-04-27 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and memory for digitized video display
US5214419A (en) 1989-02-27 1993-05-25 Texas Instruments Incorporated Planarized true three dimensional display
US5214420A (en) 1989-02-27 1993-05-25 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator projection system with random polarity light
KR100202246B1 (ko) * 1989-02-27 1999-06-15 윌리엄 비. 켐플러 디지탈화 비디오 시스템을 위한 장치 및 방법
US5192946A (en) 1989-02-27 1993-03-09 Texas Instruments Incorporated Digitized color video display system
US5170156A (en) 1989-02-27 1992-12-08 Texas Instruments Incorporated Multi-frequency two dimensional display system
US5272473A (en) 1989-02-27 1993-12-21 Texas Instruments Incorporated Reduced-speckle display system
US4900395A (en) 1989-04-07 1990-02-13 Fsi International, Inc. HF gas etching of wafers in an acid processor
US5022745A (en) 1989-09-07 1991-06-11 Massachusetts Institute Of Technology Electrostatically deformable single crystal dielectrically coated mirror
US4954789A (en) 1989-09-28 1990-09-04 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator
US5381253A (en) * 1991-11-14 1995-01-10 Board Of Regents Of University Of Colorado Chiral smectic liquid crystal optical modulators having variable retardation
US5185660A (en) 1989-11-01 1993-02-09 Aura Systems, Inc. Actuated mirror optical intensity modulation
US5126836A (en) 1989-11-01 1992-06-30 Aura Systems, Inc. Actuated mirror optical intensity modulation
US5124834A (en) 1989-11-16 1992-06-23 General Electric Company Transferrable, self-supporting pellicle for elastomer light valve displays and method for making the same
US5037173A (en) 1989-11-22 1991-08-06 Texas Instruments Incorporated Optical interconnection network
US5500635A (en) * 1990-02-20 1996-03-19 Mott; Jonathan C. Products incorporating piezoelectric material
CH682523A5 (fr) 1990-04-20 1993-09-30 Suisse Electronique Microtech Dispositif de modulation de lumière à adressage matriciel.
GB9012099D0 (en) 1990-05-31 1990-07-18 Kodak Ltd Optical article for multicolour imaging
US5083857A (en) * 1990-06-29 1992-01-28 Texas Instruments Incorporated Multi-level deformable mirror device
US5099353A (en) 1990-06-29 1992-03-24 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
US5142405A (en) 1990-06-29 1992-08-25 Texas Instruments Incorporated Bistable dmd addressing circuit and method
DE69113150T2 (de) 1990-06-29 1996-04-04 Texas Instruments Inc Deformierbare Spiegelvorrichtung mit aktualisiertem Raster.
US5216537A (en) 1990-06-29 1993-06-01 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
US5018256A (en) 1990-06-29 1991-05-28 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
US5304419A (en) * 1990-07-06 1994-04-19 Alpha Fry Ltd Moisture and particle getter for enclosures
US5153771A (en) 1990-07-18 1992-10-06 Northrop Corporation Coherent light modulation and detector
US5148157A (en) 1990-09-28 1992-09-15 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator with full complex light modulation capability
US5192395A (en) 1990-10-12 1993-03-09 Texas Instruments Incorporated Method of making a digital flexure beam accelerometer
US5526688A (en) 1990-10-12 1996-06-18 Texas Instruments Incorporated Digital flexure beam accelerometer and method
US5044736A (en) 1990-11-06 1991-09-03 Motorola, Inc. Configurable optical filter or display
US5602671A (en) * 1990-11-13 1997-02-11 Texas Instruments Incorporated Low surface energy passivation layer for micromechanical devices
US5331454A (en) 1990-11-13 1994-07-19 Texas Instruments Incorporated Low reset voltage process for DMD
US5233459A (en) 1991-03-06 1993-08-03 Massachusetts Institute Of Technology Electric display device
CA2063744C (en) * 1991-04-01 2002-10-08 Paul M. Urbanus Digital micromirror device architecture and timing for use in a pulse-width modulated display system
US5142414A (en) 1991-04-22 1992-08-25 Koehler Dale R Electrically actuatable temporal tristimulus-color device
US5226099A (en) 1991-04-26 1993-07-06 Texas Instruments Incorporated Digital micromirror shutter device
US5179274A (en) 1991-07-12 1993-01-12 Texas Instruments Incorporated Method for controlling operation of optical systems and devices
US5168406A (en) 1991-07-31 1992-12-01 Texas Instruments Incorporated Color deformable mirror device and method for manufacture
US5254980A (en) 1991-09-06 1993-10-19 Texas Instruments Incorporated DMD display system controller
JPH0580721A (ja) 1991-09-18 1993-04-02 Canon Inc 表示制御装置
US5233385A (en) 1991-12-18 1993-08-03 Texas Instruments Incorporated White light enhanced color field sequential projection
US5233456A (en) 1991-12-20 1993-08-03 Texas Instruments Incorporated Resonant mirror and method of manufacture
US5228013A (en) 1992-01-10 1993-07-13 Bik Russell J Clock-painting device and method for indicating the time-of-day with a non-traditional, now analog artistic panel of digital electronic visual displays
US5244707A (en) 1992-01-10 1993-09-14 Shores A Andrew Enclosure for electronic devices
US5296950A (en) 1992-01-31 1994-03-22 Texas Instruments Incorporated Optical signal free-space conversion board
US5231532A (en) 1992-02-05 1993-07-27 Texas Instruments Incorporated Switchable resonant filter for optical radiation
DE69310974T2 (de) 1992-03-25 1997-11-06 Texas Instruments Inc Eingebautes optisches Eichsystem
US5312513A (en) 1992-04-03 1994-05-17 Texas Instruments Incorporated Methods of forming multiple phase light modulators
US5401983A (en) * 1992-04-08 1995-03-28 Georgia Tech Research Corporation Processes for lift-off of thin film materials or devices for fabricating three dimensional integrated circuits, optical detectors, and micromechanical devices
US5311360A (en) 1992-04-28 1994-05-10 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Junior University Method and apparatus for modulating a light beam
JPH0651250A (ja) * 1992-05-20 1994-02-25 Texas Instr Inc <Ti> モノリシックな空間的光変調器およびメモリのパッケージ
JPH06214169A (ja) * 1992-06-08 1994-08-05 Texas Instr Inc <Ti> 制御可能な光学的周期的表面フィルタ
US5818095A (en) * 1992-08-11 1998-10-06 Texas Instruments Incorporated High-yield spatial light modulator with light blocking layer
US5293272A (en) 1992-08-24 1994-03-08 Physical Optics Corporation High finesse holographic fabry-perot etalon and method of fabricating
US5327286A (en) 1992-08-31 1994-07-05 Texas Instruments Incorporated Real time optical correlation system
US5325116A (en) 1992-09-18 1994-06-28 Texas Instruments Incorporated Device for writing to and reading from optical storage media
US5296775A (en) 1992-09-24 1994-03-22 International Business Machines Corporation Cooling microfan arrangements and process
US5285060A (en) 1992-12-15 1994-02-08 Donnelly Corporation Display for automatic rearview mirror
US6674562B1 (en) * 1994-05-05 2004-01-06 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US5324683A (en) 1993-06-02 1994-06-28 Motorola, Inc. Method of forming a semiconductor structure having an air region
US5489952A (en) * 1993-07-14 1996-02-06 Texas Instruments Incorporated Method and device for multi-format television
US5526172A (en) 1993-07-27 1996-06-11 Texas Instruments Incorporated Microminiature, monolithic, variable electrical signal processor and apparatus including same
JP3106805B2 (ja) 1993-10-14 2000-11-06 富士電機株式会社 圧力差測定方法及び変位変換装置
US5497197A (en) * 1993-11-04 1996-03-05 Texas Instruments Incorporated System and method for packaging data into video processor
US5894686A (en) 1993-11-04 1999-04-20 Lumitex, Inc. Light distribution/information display systems
US5500761A (en) * 1994-01-27 1996-03-19 At&T Corp. Micromechanical modulator
US6710908B2 (en) * 1994-05-05 2004-03-23 Iridigm Display Corporation Controlling micro-electro-mechanical cavities
US7550794B2 (en) * 2002-09-20 2009-06-23 Idc, Llc Micromechanical systems device comprising a displaceable electrode and a charge-trapping layer
US6680792B2 (en) 1994-05-05 2004-01-20 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US7138984B1 (en) 2001-06-05 2006-11-21 Idc, Llc Directly laminated touch sensitive screen
US7460291B2 (en) * 1994-05-05 2008-12-02 Idc, Llc Separable modulator
US6040937A (en) * 1994-05-05 2000-03-21 Etalon, Inc. Interferometric modulation
US7123216B1 (en) 1994-05-05 2006-10-17 Idc, Llc Photonic MEMS and structures
US5497172A (en) * 1994-06-13 1996-03-05 Texas Instruments Incorporated Pulse width modulation for spatial light modulator with split reset addressing
US5499062A (en) * 1994-06-23 1996-03-12 Texas Instruments Incorporated Multiplexed memory timing with block reset and secondary memory
FI98325C (fi) * 1994-07-07 1997-05-26 Vaisala Oy Selektiivinen infrapunadetektori
US5619059A (en) * 1994-09-28 1997-04-08 National Research Council Of Canada Color deformable mirror device having optical thin film interference color coatings
US5610624A (en) * 1994-11-30 1997-03-11 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator with reduced possibility of an on state defect
US5550373A (en) * 1994-12-30 1996-08-27 Honeywell Inc. Fabry-Perot micro filter-detector
JP2674545B2 (ja) * 1995-01-20 1997-11-12 日本電気株式会社 赤外線検出器及びその駆動方法
US5726480A (en) * 1995-01-27 1998-03-10 The Regents Of The University Of California Etchants for use in micromachining of CMOS Microaccelerometers and microelectromechanical devices and method of making the same
JPH08202318A (ja) 1995-01-31 1996-08-09 Canon Inc 記憶性を有する表示装置の表示制御方法及びその表示システム
US5610438A (en) * 1995-03-08 1997-03-11 Texas Instruments Incorporated Micro-mechanical device with non-evaporable getter
US5739945A (en) * 1995-09-29 1998-04-14 Tayebati; Parviz Electrically tunable optical filter utilizing a deformable multi-layer mirror
US5584117A (en) 1995-12-11 1996-12-17 Industrial Technology Research Institute Method of making an interferometer-based bolometer
US5815141A (en) 1996-04-12 1998-09-29 Elo Touch Systems, Inc. Resistive touchscreen having multiple selectable regions for pressure discrimination
US5710656A (en) * 1996-07-30 1998-01-20 Lucent Technologies Inc. Micromechanical optical modulator having a reduced-mass composite membrane
EP0877272B1 (en) * 1997-05-08 2002-07-31 Texas Instruments Incorporated Improvements in or relating to spatial light modulators
US6028690A (en) * 1997-11-26 2000-02-22 Texas Instruments Incorporated Reduced micromirror mirror gaps for improved contrast ratio
US6180428B1 (en) * 1997-12-12 2001-01-30 Xerox Corporation Monolithic scanning light emitting devices using micromachining
US6339417B1 (en) * 1998-05-15 2002-01-15 Inviso, Inc. Display system having multiple memory elements per pixel
US6252229B1 (en) * 1998-07-10 2001-06-26 Boeing North American, Inc. Sealed-cavity microstructure and microbolometer and associated fabrication methods
US6304297B1 (en) 1998-07-21 2001-10-16 Ati Technologies, Inc. Method and apparatus for manipulating display of update rate
US6295048B1 (en) 1998-09-18 2001-09-25 Compaq Computer Corporation Low bandwidth display mode centering for flat panel display controller
JP3597069B2 (ja) * 1999-01-12 2004-12-02 日本電気株式会社 複数の赤外波長帯を検出する熱型赤外アレイセンサ
US6201633B1 (en) * 1999-06-07 2001-03-13 Xerox Corporation Micro-electromechanical based bistable color display sheets
US6307194B1 (en) * 1999-06-07 2001-10-23 The Boeing Company Pixel structure having a bolometer with spaced apart absorber and transducer layers and an associated fabrication method
US6862029B1 (en) * 1999-07-27 2005-03-01 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Color display system
WO2003007049A1 (en) * 1999-10-05 2003-01-23 Iridigm Display Corporation Photonic mems and structures
US6674090B1 (en) * 1999-12-27 2004-01-06 Xerox Corporation Structure and method for planar lateral oxidation in active
JP2001249287A (ja) * 1999-12-30 2001-09-14 Texas Instr Inc <Ti> 双安定マイクロミラー・アレイを動作させる方法
AU2001272094A1 (en) * 2000-03-01 2001-09-12 British Telecommunications Public Limited Company Data transfer method and apparatus
US6853129B1 (en) * 2000-07-28 2005-02-08 Candescent Technologies Corporation Protected substrate structure for a field emission display device
JP2004511824A (ja) 2000-10-12 2004-04-15 レベオ, インコーポレイティッド デジタル・ライト・プロセシング方式の3d投影システム及び方法
US6859218B1 (en) * 2000-11-07 2005-02-22 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Electronic display devices and methods
US6489616B2 (en) * 2001-03-19 2002-12-03 The Board Of Governors Of Southwest Missouri State University Doped, organic carbon-containing sensor for infrared detection and a process for the preparation thereof
US6862022B2 (en) * 2001-07-20 2005-03-01 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method and system for automatically selecting a vertical refresh rate for a video display monitor
US6816636B2 (en) * 2001-09-12 2004-11-09 Honeywell International Inc. Tunable optical filter
US6870581B2 (en) * 2001-10-30 2005-03-22 Sharp Laboratories Of America, Inc. Single panel color video projection display using reflective banded color falling-raster illumination
US6737979B1 (en) 2001-12-04 2004-05-18 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Micromechanical shock sensor
US20030117382A1 (en) 2001-12-07 2003-06-26 Pawlowski Stephen S. Configurable panel controller and flexible display interface
US7012610B2 (en) 2002-01-04 2006-03-14 Ati Technologies, Inc. Portable device for providing dual display and method thereof
US6770882B2 (en) * 2002-01-14 2004-08-03 Multispectral Imaging, Inc. Micromachined pyro-optical structure
US20030191623A1 (en) 2002-02-25 2003-10-09 Oak Technology, Inc. Computer system capable of executing a remote operating system
TW544787B (en) * 2002-09-18 2003-08-01 Promos Technologies Inc Method of forming self-aligned contact structure with locally etched gate conductive layer
US6666561B1 (en) 2002-10-28 2003-12-23 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Continuously variable analog micro-mirror device
TWI289708B (en) * 2002-12-25 2007-11-11 Qualcomm Mems Technologies Inc Optical interference type color display
JP4634996B2 (ja) 2003-01-23 2011-02-16 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 双安定マトリクス型ディスプレイ装置の駆動
US7378655B2 (en) * 2003-04-11 2008-05-27 California Institute Of Technology Apparatus and method for sensing electromagnetic radiation using a tunable device
US6829132B2 (en) 2003-04-30 2004-12-07 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Charge control of micro-electromechanical device
US6819469B1 (en) 2003-05-05 2004-11-16 Igor M. Koba High-resolution spatial light modulator for 3-dimensional holographic display
TW591716B (en) * 2003-05-26 2004-06-11 Prime View Int Co Ltd A structure of a structure release and manufacturing the same
TW570896B (en) * 2003-05-26 2004-01-11 Prime View Int Co Ltd A method for fabricating an interference display cell
US7190337B2 (en) 2003-07-02 2007-03-13 Kent Displays Incorporated Multi-configuration display driver
JP3722371B2 (ja) * 2003-07-23 2005-11-30 シャープ株式会社 シフトレジスタおよび表示装置
US7190380B2 (en) * 2003-09-26 2007-03-13 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Generating and displaying spatially offset sub-frames
US7173314B2 (en) * 2003-08-13 2007-02-06 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Storage device having a probe and a storage cell with moveable parts
TWI251712B (en) * 2003-08-15 2006-03-21 Prime View Int Corp Ltd Interference display plate
TW200506479A (en) * 2003-08-15 2005-02-16 Prime View Int Co Ltd Color changeable pixel for an interference display
TWI305599B (en) * 2003-08-15 2009-01-21 Qualcomm Mems Technologies Inc Interference display panel and method thereof
TW593127B (en) * 2003-08-18 2004-06-21 Prime View Int Co Ltd Interference display plate and manufacturing method thereof
TWI231865B (en) * 2003-08-26 2005-05-01 Prime View Int Co Ltd An interference display cell and fabrication method thereof
CN1842837A (zh) 2003-08-27 2006-10-04 皇家飞利浦电子股份有限公司 用于更新双稳态电子阅读装置中的子图片的方法和设备
US20050057442A1 (en) * 2003-08-28 2005-03-17 Olan Way Adjacent display of sequential sub-images
TWI232333B (en) * 2003-09-03 2005-05-11 Prime View Int Co Ltd Display unit using interferometric modulation and manufacturing method thereof
US6982820B2 (en) * 2003-09-26 2006-01-03 Prime View International Co., Ltd. Color changeable pixel
US20050068254A1 (en) 2003-09-30 2005-03-31 Booth Lawrence A. Display control apparatus, systems, and methods
US20050068583A1 (en) * 2003-09-30 2005-03-31 Gutkowski Lawrence J. Organizing a digital image
US6861277B1 (en) * 2003-10-02 2005-03-01 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method of forming MEMS device
US7126741B2 (en) * 2004-08-12 2006-10-24 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Light modulator assembly
US7460246B2 (en) 2004-09-27 2008-12-02 Idc, Llc Method and system for sensing light using interferometric elements
WO2007037926A2 (en) 2005-09-23 2007-04-05 Sharp Laboratories Of America, Inc. Mems pixel sensor

Also Published As

Publication number Publication date
SG121052A1 (en) 2006-04-26
CN1755475A (zh) 2006-04-05
CN1755475B (zh) 2011-04-13
US20090141286A1 (en) 2009-06-04
CA2514347A1 (en) 2006-03-27
TW200624781A (en) 2006-07-16
BRPI0503887A (pt) 2006-05-09
US20060066876A1 (en) 2006-03-30
JP2006091854A (ja) 2006-04-06
AU2005203284A1 (en) 2006-04-13
RU2005129910A (ru) 2007-04-10
US7852483B2 (en) 2010-12-14
EP1640694A2 (en) 2006-03-29
KR20060092879A (ko) 2006-08-23
US7460246B2 (en) 2008-12-02
EP1640694A3 (en) 2006-07-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
MXPA05010097A (es) Metodo y sistema para detectar luz utilizando elementos interferometricos.
KR101209094B1 (ko) 컬러 필터가 포함된 공간 광 변조기 어레이를 구비한디스플레이 기기
KR101236432B1 (ko) 디스플레이에서의 컬러를 조절할 수 있는 디스플레이 장치 및 이러한 디스플레이 장치의 제조 방법
KR101142058B1 (ko) 디스플레이에서 컬러를 처리하는 방법 및 기기
JP5215431B2 (ja) 広帯域特性を備えた干渉光学ディスプレイシステム
TWI484218B (zh) 用於機電系統反射顯示器件之匹配層薄膜
JP2011517491A (ja) 離隔層を備えた電気機械デバイス
JP2010533304A (ja) 赤外および2重モードディスプレイ
CA2519485A1 (en) Method and device for compensating for color shift as a function of angle of view
MXPA05010243A (es) Sistema y metodo para reducir el cambio de color en una pantalla.
JP2010538324A (ja) 広帯域反射特性を備えた干渉光変調器
TW201321794A (zh) 基於環境照明條件控制顯示器照明之裝置及方法
MXPA05010096A (es) Sistema y metodo para brillo de multi-nivel en modulacion interferometrica.
WO2012018483A1 (en) Mems-based aperture and shutter
KR101750778B1 (ko) 전기기계 시스템 디스플레이 디바이스들의 청색 시프트에 대한 실시간 보상
TWI481897B (zh) 具有rgb吸收器的多狀態干涉量測調制器(imod)、包括此種imod的裝置及用於製造此種imod的方法

Legal Events

Date Code Title Description
FA Abandonment or withdrawal