MÉTODO PARA MEDIR LA DENSIDAD DE UN DISCO ÓPTICO DESCRIPCIÓN DE LA INVENCIÓN La presente invención está relacionada con un método para medir la densidad de un disco óptico, y más particularmente, con un método para medir la densidad de un disco óptico desde la posición de un valor pico de una luz de refracción en un área de interferencia obtenida de la Transformada Rápida de Fourier (de aquí en adelante denominada como FFT) un espectro de reflexión en un eje que es reflejado por un índice de reflexión en función de la longitud de onda. Hasta ahora, han existido medios de grabación tales como cintas magnéticas de grabación, Disco Láser (LD) y Disco Compacto (CD) como discos ópticos y Disco de Vídeo Digital (de aquí en adelante denominado como DVD) con una vasta capacidad de grabación de información. Ya que el disco óptico entre los medios de grabación utiliza un sistema de grabación digital diferente al de la cinta magnética previa de grabación y tiene un volumen muy pequeño y es ligero, el disco óptico es conveniente de guardar y transportar de modo que el usuario prefiere el disco óptico más que cualquier otro medio de grabación. Por otra parte, de acuerdo con la tendencia de alta intensidad y alta integración junto con el desarrollo industrial, se está investigando y desarrollando un Disco de Rayo Azul (BD) tal como un DVD de Alta Densidad (HD-DVD) con una integración más alta que la integración del DVD actual. Sin embargo, se deberá utilizar cualquier producto sin error, y si la calidad del producto se deteriora, el fabricante del producto pierde su conflabilidad. Este caso provoca problemas más serios en un disco óptico que tiene pequeñas características y que proporciona una calidad inferior originada del error de la densidad del disco, ralladuras, deformidad, huellas digitales y la fijación de material extraño durante la fabricación del producto. Más especialmente, la densidad de un disco es un factor muy importante que afecta la productividad y la conflabilidad, y es necesario medir la densidad en tiempo real para el control del proceso en el proceso de fabricación. El disco óptico puede tratarse como una película delgada. Si la densidad de la película delgada está por debajo de varios µp?, la medición de la densidad depende de una medición cuantitativa tal como un análisis de película delgada por medio de elipsometría y medición de factor de reflexión, y si se analiza la densidad de un grosor relativo de película delgada igual a o mayor que varios ym, se utiliza un método de medición para medir la densidad a partir de un periodo de vibración que aparece en un espectro de reflexión o transparente debido al efecto de interferencia provocado por la película delgada. En este momento, la resolución de la longitud de onda o la coherencia de un monocromator se deteriora, pero existe un uso valioso de un método para obtener un periodo de vibración (o frecuencia) del espectro mediante la interferencia y determinar la densidad de la película delgada del periodo de vibración obtenido. Sin embargo, si el grosor de la película es delgada, ya que se necesita mayor tiempo para calcular la densidad de la película delgada debido al incremento de la apariencia de un valor durante un mayor periodo. Para poder responder a la demanda de la industria en cuanto al deseo de medir rápidamente la densidad del grosor de la película delgada, se utiliza la FFT convencional como una medición rápida para el periodo de vibración del espectro . La Figura 1 ilustra una construcción esquemática del aparato convencional para medir la densidad de una película delgada. Como se ilustra en la Figura 1, de acuerdo con un aparato para medir la densidad de la película delgada midiendo el espectro de reflexión, se proyecta la luz de una lámpara 12 de halógeno sobre un sustrato 30 con una película 32 delgada a través de una 22 de fibras 20 ópticas y una lente 26 en una dirección perpendicular, una luz que ha sido reflejada del sustrato 20 se transmite a un espectógrafo 42 a través de La lente 26 y otra 24 de las fibras 20 ópticas, el espectógrafo 42 divide la luz reflejada de una superficie de una muestra en el sustrato 30 de acuerdo con la intensidad de cada longitud de onda y la luz dividida entra en un arreglo 44 de elementos de medición ópticos de modo que la intensidad de iluminación en cada longitud de onda es suministrada a una computadora 46. La computadora 46 puede medir la densidad de la película delgada utilizando una variedad de maneras utilizando la intensidad de iluminación en cada longitud de onda como datos de espectro. Las FIGURAS 2A y 2B son vistas que ilustran el caso donde se aplica el índice de refracción cuando la densidad es medida por el método convencional, la FIGURA 2A es una gráfica que muestra un espectro de datos de intensidad luminosos en cada longitud de onda suministrada a una computadora de acuerdo con el método convencional, y la Figura 2B es una gráfica de Transformada Rápida de Fourier del espectro de refracción que se utiliza en la Figura 2A. Como se ilustra en las Figuras 2A y 2B, ya que se puede seleccionar ??, donde ?? es m veces con respecto a una longitud ? de onda específica y m-1 veces con respecto a una longitud de onda cercana ?-??, la densidad d de unas capa específica en los datos de espectro de acuerdo con el índice de refracción pueden representarse en la siguiente ecuación [Ecuación 1] En la condición ??<<?, 2nd = rcík = ( -1) (?+??) , y si se expande, mX = (m-1) (?+??) = mX + mAX - (? + ??) mAX = ? + ?? por lo tanto, se convierte en ?? = (?+??) /?? donde, 2nd = mX = ? (?+??) /?? ?2 /?? = ?/?(?/?) Ya que la multiplicación 2nd y ?/1? es 1 (uno), si, en el experimento, una función de relación entre la intensidad de reflexión y ?(1/?) se puede obtener, una función FFT con respecto al 2nd que corresponde al factor de transformación de ?(?/?) tomando el FFT por completo. Donde, un valor d donde aparece un pico es la densidad que deseamos obtener. Por referencia, la descripción para el FFT se representa en la siguiente ecuación generalizada. Una ecuación de relación entre la intensidad I y la longitud de onda ? se convierte en J = f ( ) = g {A { l / ?) ) . Si se aplica la FFT a ambos lados, entonces la ecuación puede expresarse como la siguiente ecuación 2. [Ecuación 2]
Sin embargo, ya que el método convencional no considera la dispersión de índice de refracción del material de película delgada, el espacio entre los picos disminuye gradualmente. Más especialmente, de acuerdo con la técnica convencional, existen desventajas por las cuales si el índice de refracción varía dependiendo de la longitud de onda, los valores de densidad obtenidos de acuerdo con el índice de refracción para dividir una posición pico Fourier también varían, y se produce una reducción del tamaño del incremento de la anchura del pico. De este modo, ya que los materiales consistentes de una película delgada actual tienen una dependencia de longitud de onda del índice de refracción, es decir, ya que existe una dispersión de índice de refracción de la película delgada, la diferencia de energía por la interferencia entre las dos luces en un periodo de frecuencia no es uniforme. Por esta razón, la amplitud del pico de la frecuencia que se obtiene cuando la Transformada Rápida de Fourier del espectro de refracción es más amplia de acuerdo con el grado de dispersión de índice de refracción, y el error de medición para obtener la densidad de la película delgada debido a la posición imprecisa del pico se incrementa. Por lo tanto, para poder medir de manera precisa la densidad de la película delgada, se deberá considerar la dispersión de índice de refracción . Por consiguiente, la presente invención está dirigida a un método para medir la densidad de un disco óptico que sustancialmente soluciona uno o más problemas debido a las limitaciones y desventajas de la técnica relacionada . Un objeto de la presente invención es proporcionar un método para obtener una medición altamente precisa de la densidad de un disco óptico con una alta velocidad utilizando la posición del valor pico de la luz reflejada en un área de interferencia obtenida por Transformada Rápida de Fourier de una variación del índice de refracción de acuerdo con una longitud de onda, es decir, un espectro que se refleja con el índice de reflexión en función de la longitud de onda. Otro objeto de la presente invención es proporcionar un método mejorado para obtener una medición altamente precisa de la densidad de un disco óptico manteniendo la exactitud de la determinación de una posición pico al igual que evitar la expansión de la amplitud del pico cuando la Transformada de Fourier aún cuando se forma una película de reflexión en un sustrato en una relación de área uniforme mediante una luz de reflexión o múltiples películas delgadas que se forman en el sustrato. Otro objeto de la presente invención es proporcionar un método para medir de manera precisa la densidad de un disco óptico que se puede aplicar no solamente al espectro de índice de reflexión sino también a cualquier otro espectro de vibración mediante la interferencia de un grosor de película delgada, tal como un espectro de transmisión . Ventajas, objetivos y características adicionales de la invención se establecerán en parte en la siguiente descripción y en parte serán evidentes para aquellos con experiencia ordinaria en la técnica al examinar la siguiente descripción o podrán aprenderse de la práctica de la invención. Los objetos y otras ventajas de la invención pueden realizarse y llevarse a cabo mediante la estructura particularmente establecida en la descripción escrita y las reivindicaciones de la misma al igual que los dibujos anexos. Para lograr estos objetos y otras ventajas y de acuerdo con el propósito de la invención, como se ejemplifica y se describe ampliamente en la presente, un método para medir la densidad de un disco óptico utilizando un efecto de interferencia de la capa de disco óptico, incluye los pasos de detectar la intensidad de una luz de reflexión de acuerdo con la longitud de onda de una luz como datos de espectro para cada longitud de onda, convirtiendo los datos de espectro detectados para cada longitud de onda en un valor de espectro en función de la longitud de onda por el índice de reflexión se refleja y se detecta la posición donde la intensidad de la luz de reflexión tiene un pico como la densidad de una capa separadora y una capa de cubierta respectivamente que convierte el valor convertido en una longitud de un área de interferencia para representar la densidad de capa del disco óptico mediante la Transformada Rápida de Fourier. En otro aspecto de la presente invención, el valor de espectro en función de la longitud de onda, que es un índice de reflexión, se refleja préferiblemente como ?(?)2?. Se deberá entender que tanto la descripción general anterior como la siguiente descripción detallada de la presente invención son ejemplares y explicativas y pretenden proporcionar una explicación adicional de la invención como se reclama. BREVE DESCRIPCIÓN DE LOS DIBUJOS Los dibujos anexos, que se incluyen para proporcionar un mejor entendimiento de la invención y se incorporan y constituyen una parte de esta solicitud, ilustran la o las modalidades de la invención y junto con la descripción sirven para explicar los principios de la invención. En los dibujos: la FIGURA 1 ilustra una construcción esquemática de un aparato para medir la densidad de una película delgada de un disco óptico de acuerdo con la técnica relacionada; la FIGURA 2A ilustra una gráficas que muestra una intensidad luminosa en cada longitud de onda suministrada a una computadora de acuerdo con la técnica relacionada; la FIGURA 2B ilustra una gráfica de Transformada Rápida de Fourier del espectro de reflexión que se utiliza en la FIGURA 2A. la FIGURA 3 ilustra un diagrama de flujo que muestra un método para medir el espesor de un disco óptico de acuerdo con la presente invención; la FIGURA 4 ilustra una vista de una construcción lateral de un disco óptico para un DVD de Alta Densidad de acuerdo con la presente invención; la FIGURA 5A ilustra una gráfica que muestra los datos de espectro en longitud de onda midiendo la intensidad de una luz de reflexión de acuerdo con la longitud de onda de una luz de acuerdo con la presente invención; la FIGURA 5B ilustra una gráfica que establece la luz de reflexión como un eje vertical y un valor del índice de reflexión que es reflejado en función de la longitud de onda como un eje horizontal utilizando la FIGURA 5A; la FIGURA 5C ilustra una gráfica de la Transformada Rápida de Fourier del espectro por longitud de onda utilizando la FIGURA 5B; la FIGURA 6 ilustra una gráfica que muestra una curva de dispersión de índice de refracción de una película delgada dieléctrica con un densidad de 30µp?; y las FIGURAS 7A y 7B ilustran gráficas que muestran intervalos entre los espectros de reflexión con respecto a la energía considerando si la dispersión del índice de reflexión de la película delgada dieléctrica se toma en cuenta o no. Ahora se hará referencia en detalle a las modalidades preferidas de la presente invención, cuyos ejemplos se ilustran en los dibujos anexos. La FIGURA 3 ilustra un diagrama de flujo que muestra un método para medir la densidad del disco óptico de acuerdo con la presente invención, la FIGURA 4 ilustra una vista de construcción lateral de un disco óptico para un DVD de Alta Densidad de acuerdo con la presente invención, la FIGURA 5A ilustra una gráfica que muestra datos de espectro por longitud de onda midiendo la intensidad de una luz de reflexión de acuerdo con la longitud de onda de una luz de acuerdo con la presente invención, la FIGURA 5B ilustra una gráfica que establece la luz de reflexión como un eje vertical y un valor que es un índice de reflexión como se refleja en función de la longitud de onda como un eje horizontal utilizando la FIGURA 5A, y la FIGURA 5C ilustra una gráfica de Transformada Rápida de Fourier del espectro por longitud de onda utilizando la FIGURA 5B. La FIGURA 4 ilustra el disco óptico para un DVD de Alta Densidad (de aquí en adelante denominado como 'HD-DVD' ) que aparecieron ante los reproductores como un medio de grabación óptico reciente de siguiente generación. Como se ilustra en la FIGURA 4, las capas principales del HD-DVD son una capa de cubierta (CL) 32a de una densidad de aproximadamente 80pm y una capa separadora (SL) 32b que tiene una densidad de ??µ?t?, debajo de la capa 32a de cubierta. Un aparato para medir la densidad de un disco óptico, como se ilustra en la FIGURA 1, incluye una fuente de luz, una fibra óptica, una lente, un sustrato con una película delgada, un monocromador, un arreglo de elemento de medición óptica y una computadora. Al utilizar el aparato de medición de la densidad de disco óptico construido como se describe anteriormente, la densidad del HD-DVD utilizado como muestra para medir se detecta como datos de espectro por longitud de onda detectando la intensidad de la luz de reflexión de acuerdo con la longitud de onda de la luz (paso S10) . Los datos detectados se ilustran en la FIGURA 5A. Antes de realizar la Transformada Rápida de Fourier para la medición de la densidad, tomando en cuenta que el índice de reflexión varía de acuerdo con la longitud de onda en consideración, los datos de espectro detectados por longitud de onda se convierten en datos de espectro que el índice de reflexión es reflejado en la función de longitud de onda (paso S20) . En ese momento, la ecuación para procesar el espectro que el índice de reflexión es reflejado en la función de longitud de onda puede expresarse en la siguiente ecuación 3. [Ecuación 3] 2? (?) d = ník 2n (?+ ??) d = (ra - 1) (? + ??) Si se desarrolla la segunda ecuación antes mencionada, entonces 2n(X)d + 2AnXd = mX + mAÁ - ? - ?? en donde, An = n(X + ??) - ?(?) , si se sustituye la ecuación anterior en la primera ecuación y se desarrolla la primera ecuación sustituida, entonces m = {2 nd/??) + (?+??/??) => si se sustituye la primera ecuación, entonces 2?(?) = (2XAnd/AX) + ( (?+??) ?/??) 2 (n (X) -XAn/AX) d = (?+??) ?/?? (2?2/??) ((?(?)?? - XAX)/X2)d = (?+??)?/?? 2A(n(X)/X)d = (?+??)/? = 1 + ??/? 1 (??/?<<1) donde, el último término puede no tomarse en cuenta aplicando una aproximación de primer orden. Al utilizar una relación de función con respecto a A(n(X) /X) de la intensidad de luz obtenida de acuerdo con la ecuación que se describió anteriormente, el aparato puede obtener los datos de espectro que el índice de reflexión está reflejando en función de la longitud de onda, en donde la FIGURA 5B ilustra una gráfica que establece la luz de reflexión como el eje vertical y el valor p(?)/2? que es el índice de reflexión reflejado en función de la longitud de onda como el eje horizontal.
Finalmente, si los datos convertidos en el paso previo se convierten a una longitud de área de interferencia para representar la densidad del disco óptico a través de la Transformada Rápida de Fourier, entonces la posición donde la intensidad de la luz reflejada tiene un valor pico. La posición de cada valor pico detectado se convierte en la densidad de la capa separadora y la capa de cubierta (paso S30) . La FIGURA 5C ilustra una gráfica que toma el eje vertical como la intensidad de luz por la Transformada Rápida de Fourier y el eje horizontal como el área de interferencia que representa la densidad. Como se ilustra en la FIGURA 5C, el valor pico que aparece en la posición di en el eje horizontal es el valor que aparece cuando el índice de reflexión nx con respecto a la capa separadora se expresa en función de la longitud de onda de ¾ (?) y es convertido por la Transformada Rápida de Fourier, y un valor de una posición en donde el valor pico que aparece representa la densidad de la capa separadora del disco óptico. Sin embargo, el valor pico que aparece en la posición de d2 en el eje vertical es el valor que aparece cuando el índice de reflexión ¾ con respecto a la capa de cubierta se expresa en función de la longitud de onda de n2 (?) y es convertido por la Transformada Rápida de Fourier; y el valor de una posición donde el valor pico aparece representa la densidad de la capa de cubierta del disco óptico . La medición de la densidad del disco óptico utilizando la Transformada Rápida de Fourier, reflejando el índice de reflexión en función de la longitud de ondas de acuerdo con la presente invención se describirá en detalle a través de los valores experimentales utilizando la densidad de la película delgada. La FIGURA 6 ilustra una gráfica que muestra una curva de dispersión de índice de reflexión de una película delgada dieléctrica con una densidad de 30 µp?. Como se ilustra en la FIGURA 6, al reflejar la dispersión de índice de deflexión cuando se realice la Transformada Rápida de Fourier, se puede entender que la amplitud de pico disminuye y el tamaño de pico incrementa a través del análisis del espectro de reflectividad mediante la película delgada dieléctrica con una densidad de 30µp?. En este momento, la película delgada dieléctrica es definida como una sola película delgada que existe en un ambiente sin una capa de sustrato para soportar la película delgada dieléctrica . Este hecho aparece más sorprendentemente después de realizar la Transformada Rápida de Fourier en casos ya sea si el índica de reflexión se refleja o no. Ahora haremos referencia a las FIGURAS 7A y 7B. La FIGURA 7A ilustra una gráfica de la Transformada Rápida de Fourier del espectro de reflexión cuando la dispersión del índice de reflexión de la película delgada dieléctrica no se considera, y la FIGURA 7B ilustra una gráfica de la Transformada Rápida de Fourier del espectro de reflexión cuando la dispersión de índice de reflexión de la película delgada dieléctrica se refleja en función de la longitud de onda. Como se ilustra en las FIGURAS 7A y 7B, en una gráfica la Transformada Rápida de Fourier cuando se refleja la dispersión del índice de reflexión, la amplitud de pico ampliamente disminuido de ?.ß?µp? a 0.44µ??, mientras que el tamaño de pico incrementa aproximadamente 1.7 veces. Este incremento de tamaño de pico y la disminución de amplitud de pico son razonables a partir de cuando el intervalo de vibración del espectro de índice de reflexión se torne uniforme cuando la dispersión de índice de reflexión se refleja, de modo que represente claramente el efecto de la Transformada Rápida de Fourier tomando en cuenta el índice de reflexión . Otro efecto obtenido cuando la dispersión de índice de reflexión se considera aparece a un valor de densidad obtenido después de la Transformada Rápida de Fourier. La FIGURA 7A ilustra la gráfica que representa el eje horizontal con la densidad fijando el índice de reflexión en n=1.6 y realizando la Transformada Rápida de Fourier. Ya que la película delgada dieléctrica tiene diferentes índices de reflexión de acuerdo con la longitud de onda tal como se ilustra en la FIGURA 6, el valor de densidad obtenido varía de acuerdo con el índice de reflexión para dividir una posición pico Fourier. Por lo tanto, el que el valor de la densidad 30.71µp? calculado del pico en la FIGURA 7A sea diferente de la densidad actual 0.71µ??, es provocado por el índice de reflexión utilizado n=1.6 que no refleja adecuadamente un índice de reflexión efectivo de los rangos de espectro de reflectividad en la región de 500nm a 900nm, y puede tomarse como un error que básicamente no toma en cuenta la dispersión del índice de reflexión. Sin embargo, ya que la dispersión de índice de reflexión se refleja de manera precisa en la FIGURA 7B que ilustra la gráfica de la Transformada Rápida de Fourier para considerar la dispersión del índice de reflexión, se calcula un valor de densidad preciso de 30.0µ?? de modo que se pueda lograr una alta velocidad de análisis y una alta medición de densidad precisa. Como se describió anteriormente, el método para medir la densidad de disco óptico utilizando el efecto de interferencia de la capa del disco óptico tiene las siguientes ventajas. Primero, en la medición de la densidad del disco óptico a través de la posición del valor pico de la luz reflejada en el área de interferencia obtenida por la Transformada Rápida de Fouríer del espectro de reflectividad en donde la dispersión del índice de reflexión de la película delgada es reflejada adhiriendo un índice de reflexión adicional, la medición de la densidad del disco óptico puede realizarse de manera precisa manteniendo una rápida velocidad de análisis de modo que la conflabilidad del aparato de medición puede incrementarse y también mejorarse la productividad. Segunda, de acuerdo con la presente invención, a pesar del tipo y estructura del disco, una capa de reflexión de una relación de área uniforme formaron el sustrato, o películas delgadas de capas múltiples formadas en el sustrato, la densidad del disco óptico puede medirse con alta precisión y alta velocidad de análisis al igual que con el método de medición de la presente invención el cual se puede aplicar a un espectro que tiene una vibración por la interferencia del grosor de la película delgada tal como un espectro de transmisión, de modo que a través de demandas para demandar una medición en tiempo real un análisis preciso de las industrias puede obtenerse por medio de una rápida velocidad de análisis y alta medición precisa de la densidad del disco óptico, y mejorar el poder de competencia en los mercados locales y extranjeros.
Será evidente para aquellos expertos en la técnica que se pueden hacer diversas modificaciones y variaciones de la presente invención. De este modo, se pretende que la presente invención cubra las modificaciones y variaciones de esta invención tomando en cuenta que entren dentro del alcance de las reivindicaciones anexas y sus equivalentes.