MX174400B - Detector de electrones secundarios para usarse en una atmosfera gaseosa - Google Patents

Abstract

La presente invención se refiere a un dispositivo para generar, amplificar y detectar electrones secundarios a partir de una superficie de una muestra; que comprende: (a) un envolvente de vacío que tiene una abertura limitadora de presión; (b) una fuente de haces de partículas cargadas colocadas dentro del envolvente de vacío y capaz de emitir un haz de partículas cargadas; (c) medios de enfoque colocados dentro del envolvente de vacío y capaces de dirigir un haz de partículas cargadas emitido por la fuente de haces de partículas cargadas, a través de la abertura limitadora de presión; (d) medios de plataforma de muestra colocados al exterior del envolvente de vacío, capaces de mantener una muestra envuelta en gas, a una presión por lo menos de 0.680 Kg/m2, en coincidencia con la abertura limitadora de presión, de manera tal que una superficie de la muestra pueda quedar expuesta a un haz de partículas cargadas emitido desde la fuente de haces de partículas cargadas y dirigido a través de la abertura limitadora de presión; (e) un electrodo colocado al exterior del envolvente de vacío y dispuesto dentro de entre aproximadamente 1 y aproximadamente 200 milímetros desde los medios de plataforma de muestra, de manera tal que los electrones secundarios emitidos desde una superficie de una muestra colocada sobre los medios de plataforma de muestra y expuesta a un haz de partículas cargadas emitido desde la fuente de haces de partículas cargadas, puedan ponerse en contacto con el mismo; (f) una fuente de voltaje conectada entre el electrodo y una tierra eléctrica, capaz de mantener una diferencia de potencial eléctrico entre el electrodo y los medios de plataforma de muestra, de más de aproximadamente 50 voltios y de menos de aproximadamente 2000 voltios, siendo el potencial del electrodo positivo con relación al potencial de los medios de plataforma de muestra, a fin de acelerar los electrones secundarios emitidos desde una superficie de una muestra colocada sobre los medios de plataforma de muestra, con un campo eléctrico de intensidad suficiente para ocasionar que los electrones secundarios emitidos choquen con moléculas de gas y produzcan portadoras de carga negativa que puedan producir subsecuentemente portadoras de carga negativa adicionales, a través de choques múltiples con otras moléculas de gas, dando por resultado un número de portadoras de carga negativas mayor que y proporcional al número de electrones secundarios originales, siendo la intensidad del campo eléctrico suficientemente baja para evitar una descarga eléctrica catastrófica o una formación de arco eléctrico; (g) un amplificador de corriente conectado con el electrodo; y (h) medios de detección de corriente conectados entre el amplificador de corriente y una tierra eléctrica.