MD1829Y - Способы получения керамических мишеней и тонких проводящих пленок сплавов Fe2O3:(ZnO)k при низких температурах - Google Patents
Способы получения керамических мишеней и тонких проводящих пленок сплавов Fe2O3:(ZnO)k при низких температурах Download PDFInfo
- Publication number
- MD1829Y MD1829Y MDS20240072A MDS20240072A MD1829Y MD 1829 Y MD1829 Y MD 1829Y MD S20240072 A MDS20240072 A MD S20240072A MD S20240072 A MDS20240072 A MD S20240072A MD 1829 Y MD1829 Y MD 1829Y
- Authority
- MD
- Moldova
- Prior art keywords
- fe2o3
- zno
- substrates
- conductive layers
- kceramic
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
Изобретение относится к способам получения полупроводниковых материалов и может быть использовано в полупроводниковой технологии.Способ получения керамических мишеней Fe2O3:(ZnO)kпри низких температурах заключается в спекании порошков Fe2O и kZnO в закрытом объеме при температуре 800…1200°С, спекание осуществляют химической транспортной реакцией, с использованием HCl в качестве транспортного агента с начальным давлением 0,01…10 атм и H2с начальным давлением ≤10 атм, и получение керамических мишеней Fe2O3:(ZnO)k, с примесью Cl имеющую концентрацию 1·1018…1·1020cm-3.Способ получения проводящих тонких слоев сплавов Fe2O3:(ZnO)kпри низких температурах заключается в загрузке в магнетрон керамической мишени Fe2O3:(ZnO)k, полученной вышеописанным способом, и подложек для тонких слоев; вакуумирование магнетронной камеры до давления (1…5)·10-8атм; нагрев подложек до температуры осаждения 200…500°С; нагнетание газа Ar под давлением (1…10)·10-8атм; магнетронное распыление при температуре осаждения 200…500°С керамической мишени Fe2O3:(ZnO)kна подложки; охлаждение подложек с полученными тонкими проводящими слоями Fe2O3:(ZnO)k, до комнатной температуры со скоростью ≤200°С/час; извлечение из магнетрона подложек с полученными проводящими тонкими слоями Fe2O3:(ZnO)k.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| MDS20240072A MD1829Z (ru) | 2024-07-31 | 2024-07-31 | Способы получения керамических мишеней и тонких проводящих пленок сплавов Fe2O3:(ZnO)k при низких температурах |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| MDS20240072A MD1829Z (ru) | 2024-07-31 | 2024-07-31 | Способы получения керамических мишеней и тонких проводящих пленок сплавов Fe2O3:(ZnO)k при низких температурах |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| MD1829Y true MD1829Y (ru) | 2025-03-31 |
| MD1829Z MD1829Z (ru) | 2025-10-31 |
Family
ID=95154297
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| MDS20240072A MD1829Z (ru) | 2024-07-31 | 2024-07-31 | Способы получения керамических мишеней и тонких проводящих пленок сплавов Fe2O3:(ZnO)k при низких температурах |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| MD (1) | MD1829Z (ru) |
-
2024
- 2024-07-31 MD MDS20240072A patent/MD1829Z/ru active IP Right Grant
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| MD1829Z (ru) | 2025-10-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Abe et al. | The deposition rate of metallic thin films in the reactive sputtering process | |
| JP3894313B2 (ja) | フッ化物含有膜、被覆部材及びフッ化物含有膜の形成方法 | |
| CN103266320B (zh) | 一种抗高温氧化薄膜传感器及其生产方法 | |
| CN107620033A (zh) | 一种高纯强致密max相涂层的制备方法 | |
| Çelik et al. | Investigation of compound layer formed during ion nitriding of AISI 4140 steel | |
| CN103173727A (zh) | 一种高导热氮化铝厚膜的制备方法 | |
| MD1829Y (ru) | Способы получения керамических мишеней и тонких проводящих пленок сплавов Fe2O3:(ZnO)k при низких температурах | |
| CN103243306B (zh) | 一种钛合金表面Cu掺杂TiN合金层的制备方法 | |
| CN111410560A (zh) | 一种高致密SiC涂层的硅化石墨制备方法 | |
| CN1461044A (zh) | 一种制备p型氧化锌薄膜的方法 | |
| CN115354278A (zh) | 一种薄膜阻容网络中薄膜电阻的制备方法 | |
| CN114231819B (zh) | 一种无源真空维持合金的制备方法及其应用 | |
| CN117926199A (zh) | 一种TiVCrZrWAg高熵合金薄膜材料及其制备方法和应用 | |
| CN103628023A (zh) | 一种在游标卡尺表面沉积CrN薄膜的工艺 | |
| MD4734C1 (ru) | Способ получения керамики ZnO с высоким сопротивлением и контролируемым стехиометрическим отклонением | |
| CN113005406A (zh) | 一种铌三锡薄膜的制备方法 | |
| CN108728792A (zh) | 碳化铪薄膜的制备方法、以及包括该碳化铪薄膜的模具 | |
| CN102337510A (zh) | 连续真空镀膜方法 | |
| MD20200024A2 (ru) | Способ получения керамики и тонких пленок ZnO:Ga:Cl при низких температурах | |
| JPH02112112A (ja) | 連続透明導電性薄膜作成方法および装置 | |
| CN109112501A (zh) | 一种二氧化铪涂层及其制备方法 | |
| CN102409305B (zh) | 一种b-c-n光学薄膜的制备方法 | |
| CN101597759A (zh) | 从硼膜制备立方氮化硼薄膜的方法 | |
| JPH0429612B2 (ru) | ||
| Wang et al. | Thermal stability of nitrogen expanded austenite formed by plasma nitriding on AISI304 austenitic stainless steels |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FG9Y | Short term patent issued |