KR980009153A - 광학 섬유 제조를 위한 헬륨 회수 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 침착 및 압밀 단계를 포함하는 광학 섬유 제조 공정으로부터 헬륨을 회수하는 방법에 관한 것으로, 헬륨은 제조 공정의 대부분 단계에서 회수될 수 있다. 회수된 헬륨은 중간 수준으로 정제될 수 있고 그 이후에 고순도로 더 정제되고 제조 공정의 대부분의 단계에 재생된다. 모든 회수된 헬륨은 섬유연신 단계에 공급하기 위해 중간 수준까지만 정제될 수 있다. 또한, 회수된 헬륨의 일부는 중간 수준으로 정제되고 섬유 연신 단계에 재생되는 반면, 그 나머지는 고순도로 더 정제되어 제조 공정의 다른 대부분의 단계에 재생된다.

Description

광학 섬유 제조를 위한 헬륨 회수 방법
제1도는 헬륨이 광학 섬유 제조 공정에서 전체 단계로부터 회수되고, 정제되고 상기 방법의 전체 단계에서 재생하기 위해 이용되는 본 발명의 구체예의 개략도이다.
제2돈느 헬륨이 광학 섬유 제조 공정에서 전체 단계로부터 회수되고, 정제되지만 단지 상기 방법의 섬유 연신 단계에서 이용되는 본 발명의 구체예의 개략도이다.
제3도는 제1도 및 제2도의 본 발명의 구체예의 조합을 나타내는 바람직한 구체예의 개략도로서, 헬륨이 광학 섬유 제조 공정에서 전체 단계로부터 회수되고, 섬유 연신 단계에 공급하는데 필요한 수준으로 정제되고 나서 재생된 헬륨의 나머지는 압밀 및/또는 침착 단계에 공급하기 위해 추가 정제되는 공정을 도시한 것이다.
*도면의 주요 부분에 대한 설명*
2 : 헬륨 공급 스트림 3,4,5 : 오프-기체
7 : 압축기 공급구 9 : 중간 생성물 스트림
10 : 나머지 헬륨 스트림 11 : 정제된 헬륨 스트림
12 : 중간 생성물 스트림 13 : 저순도 헬륨 스트림
14 : 헬륨 외부 공급 시스템 15 : 결합 스트림
17,19,21 : 헬륨 20 : 예형 침착 단계
16,23,25 : 기체-수집 밸러스트 탱크 30 : 예형 압밀 단계
28,38,48 : 배출구 35 : 전처리 단계
29,39,49 : 유입구 33,43 : 광학 섬유 물질
40 : 섬유 연신 단계 45 : 압축기
50 : 중간 기체 정제 시스템 55 : 부가 조절 단계
52,62 : 분석기 54,64 : 자동 밸브
60 : 최종 기체 정제 시스템 59,69 : 조절기
[발명이 속하는 기수분야 및 그 분야의 종래기술]
본 발명은 자동차용 칼럼샤프트의 로킹링에 관한 것으로서, 특히 원형상으로 된 칼럼샤프트의 양측에 평면부를 형성하고 이 옆면부에는 양측에 옆면부를 가지고 있고, 외면 상측에는 로킹 공을 형성하고 있으며, 내부의 양측평면에는 너얼링부를 형성하고 있는 로킹링을 결합한 뒤, 코킹링의 양측평면부를 코킹하여 칼럼샤프트에 고정시킬 수 있도록 자동차용 칼럼샤프트의 로킹링 결합구조에 관한 것이다.
종래의 자동차용 칼럼샤프트의 로킹장치는 제4도에 나타내었다. 즉, 상기의 로킹장치느 차량의 도난을 방지하기 위하여 장착되는 장치로서, 튜브(27)에 결합되어있는 로크기구(29)에 키를 꼽아서 잠그면 로크기루(29)의 로킹편(30)이 튕어나오면서 칼럼샤프트(21)의 로킹링(23)에 형성된 로킹홈(24)으로 삽입되어지게 된다. 따라서, 칼럼샤프트(21)의 회전이 불가능하게 되고, 아울러 칼럼샤프트(21)와 연결되어 있는 행들의 회전도 불가능하게 되기 때문에 차량의 도난을 방지할 수 있게 되는 것이다. 그리고 원형사의 칼럼샤프트(21)에 원형상의 로킹링(23)을 결합하는 수단으로, 외주면 일측부에 로킹공(4)을 형성하고 있는 로킹링(23)을 원형상의 칼럼샤프트(21)에 끼운 뒤 로킹링(23)의 양측 주연부를 용접(25)하는 수단으로 로킹링(23)을 결합하였다.
[발명이 이루고자 하는 기술적 과제]
상기와 같은 종래의 로킹링을 결합하는 수단, 상당한 문제점을 안고 있다. 즉, 카럼샤프트의 축방향의 위치와, 로킹공이 로크기구와 정확하에 일직선사으로 위치되어 로크기구의 로킹편과 상호 작용에 의해 로킹작용을 할 수 있는 것인바, 졸애의 구조에서는 상기의 축방향의치오 로킹공의 각도를 일치시키는 작업이 매우 어렵다.
[발명의 효과]
본 발명은 칼럼샤프트에 형성된 양측의 평면부, 양측면에 평면부를 형성하고 있는 로킹링을 결합하여 코킹을 하는 기술이므로 축상의 정확한 위치를 맞출 수 있게 되고, 로크기구의 로킹편에 대한 로킹링의 로킹공 각도를 정확하고 동일하게 맞출 수 있는 것이므로 불량률을 극소화 시킬 수 있게 된다. 또한.로킹공을 칼럼샤프트에 끼운 뒤 코킨작업만을 하면 되기 때문에 용접에 의해 고정을 하였던 종래의 문제점등을 일소하는 동시에 매우 쉽고 편리한 조립공정을 얻을 수 있게 되며, 신속한 작업에 의해 작업능률과 생산성을 향상시킬 수 있는 유용한 효과를 갖는다.

Claims (10)

  1. (a) 각각 유입구 및 배출구를 갖는 장치를 이용하는, 침착, 압밀 및 섬유 연신 단계를 포함하는 광학섬유 제조 공정에 헬륨을 제공하는 단계; (b) 광학 섬유 제조 공정중의 각각의 단계에 처리 물질을 제공하여 상기 헬륨과 접촉시키는 단계; (c) 섬유 연신 단계, 및 침착 및 압밀 단계로부터 선택된 하나 이상의 다른 단계의 배출구로부터, 회수 헬륨으로서 상기 헬륨의 일부 또는 전부를 회수하고, 이 회수된 헬륨을 중간 기체 정제 시스템에 제공하는 단계; (d) 중간 기체 정제 시스템으로부터의 상기 회수된 헬륨을 최종정제 단계에 제공하는 단계; 및 (e) 최종 정제 단계로부터의 회수된 헬륨 기체의 일부 또는 전부를 광학섬유 제조 공정중의 하나 이상의 단계의 유입구에 도입시키는 단계를 포함하는, 광학 섬유 제조 공정으로부터 헬륨을 회수하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 중간 기체 정제 시스템으로부터 회수된 헬륨 스트림의 순도가 90 내지 99%인 방법.
  3. 제1항에 있어서, 단계 (c)에서 중간 기체 정제 시스템으로부터 회수된 헬륨의 일부를 섬유 연신 단계의 유입구에 제공하고, 상기 회수된 헬륨중 그 나머지는 최종 정제 단계에서 더 정제시켜, 광학 섬유 제조 공정중의 침착 및 압밀 단계로부터 선택된 하나 이상의 단계에 제공하는 방법.
  4. 제3항에 있어서, 섬유 연신 단계의 유입구에 제공하는, 단계(c)의 중간 기체 정제 시스템으로부터의 회수된 헬륨은 90 내지 99%의 순도를 갖고, 최종 정제 단계에서 더 정제되고 광학 섬유 제조 공정중의 침착 및 압밀 단계로부터 선택된 하나 이상의 단계에 제공되는 상기 회수된 헬륨의 나머지는 99 내지 99.9995%의 순도를 갖는 방법.
  5. 제1항에 있어서, 단계9d)에서의 최종 정제 단계로부터의 상기 회수된 헬륨을 외부 헬륨 공급 시스템으로부터 보충 공급물과 결합시켜 광학 섬유 제조 공정중 하나 이상의 단계에 함께 공급하는 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 회수된 헬륨을 중간 기체 정제 시스템에 제공하기 전에 압축시키는 방법.
  7. 제1항에 있어서, 단계(e)에서의 상기 회수도니 헬륨을 섬유 연신 단계, 및 광학 섬유 제조 공정중의 침착 및 압밀 단계로부터 선택된 하나 이상의 다른 단계에 제공하는 방법.
  8. (a)각각 유입구 및 배출구를 갖는 침착, 압밀 및 섬유 연신 단계를 포함하는 광학 섬유 제조 공정에 헬륨을 제공하는 단계; (b) 광학 섬유 제조 공정중의 각각의 단계에 처리 물질을 제공하여 상기 헬륨과 접촉시키는 단계; (c) 섬유 연신 단계, 및 침착 및 압밀 단계로부터 선택된 하나 이상의 다른 단계의 배출구로부터, 회수 헬륨으로서 상기 헬륨의 ㅇ리부 또는 전부를 회수하고, 중간 기체 정제 시스템에 제공하는 단계; 및 (d) 중간 기체 정제 시스템으로부터의 상기 회수된 헬륨을 섬유 연신 단계의 유입구에 제공하는 단계를 포함하는, 광학 섬유 제조 공정으로부터 헬륨을 회수하는 방법.
  9. 제8항에 있어서, 중간 정제 시스템으로부터의 상기 회수된 헬륨이 90 내지 99% 순도를 갖는 방법.
  10. 제8항에 있어서, 중간 정제 시스템으로부터의 상기 회수된 헬륨을 섬유 연신 단계에 제공하기 전에 기체 조절 단계에서 처리하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970034811A 1996-07-26 1997-07-25 광학 섬유 제조를 위한 헬륨 회수 방법 KR980009153A (ko)

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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DK0879389T3 (da) * 1996-06-24 2003-09-15 Corning Inc Recirkulering af helium til fremstilling af optiske fibre
AU7185900A (en) * 2000-01-14 2001-07-19 Boc Group, Inc., The Helium recovery process
US6345451B1 (en) 2000-03-23 2002-02-12 Air Products And Chemicals, Inc. Method and apparatus for hot continuous fiber cooling with cooling gas recirculation
FR2808793B1 (fr) * 2000-05-15 2002-09-27 Air Liquide Fabrication de fibre optique refroidie a l'helium avec recyclage sans purification de l'helium
JP4769350B2 (ja) * 2000-09-22 2011-09-07 大陽日酸株式会社 希ガスの回収方法及び装置
US6517791B1 (en) * 2000-12-04 2003-02-11 Praxair Technology, Inc. System and process for gas recovery
KR100887850B1 (ko) * 2001-07-31 2009-03-09 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드 가스 재생 시스템과 가스 정화 및 재생 방법
US7261763B2 (en) * 2003-07-17 2007-08-28 The Boc Group, Inc. Method for the recovery and recycle of helium and chlorine
US8444749B2 (en) * 2009-06-10 2013-05-21 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Method and system for membrane-based gas recovery
ES2375390B1 (es) 2009-10-26 2013-02-11 Consejo Superior De Investigaciones Científicas (Csic) Planta de recuperación de helio.
US9649590B2 (en) * 2014-01-13 2017-05-16 Versum Materials Us, Llc System and method for gas recovery and reuse
CN106477875A (zh) * 2015-08-27 2017-03-08 北京回能环保科技有限公司 一种拉丝炉氦气收集器
CN106744749A (zh) * 2016-11-30 2017-05-31 富通集团(嘉善)通信技术有限公司 用于光纤拉丝系统的氦气在线回收利用方法及装置
CN108059136A (zh) * 2017-05-10 2018-05-22 安徽万瑞冷电科技有限公司 一种基于膜分离的空调两器检漏氦气纯化回收装置及方法
CN110498401B (zh) * 2019-09-02 2024-05-17 北京中科富海低温科技有限公司 氦气回收净化装置
CN111302617B (zh) * 2020-04-27 2022-04-08 黄宏琪 一种气相法制备光纤预制棒的尾气循环利用系统
CN115849702A (zh) * 2022-11-23 2023-03-28 长飞光纤光缆股份有限公司 光纤拉丝冷却装置氦气回收机构及其控制方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56109831A (en) * 1980-01-30 1981-08-31 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Manufacture of base material for optical fiber
JPS6046954A (ja) * 1983-08-26 1985-03-14 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光フアイバ線引き装置
JPS60103006A (ja) * 1983-11-09 1985-06-07 Toyo Sanso Kk 可搬型ヘリウム回収精製装置
JPS60122741A (ja) * 1983-12-08 1985-07-01 Hitachi Cable Ltd 光ファイバ母材の製造法
JPS61261223A (ja) * 1985-05-13 1986-11-19 Furukawa Electric Co Ltd:The 多孔質ガラス母材用透明ガラス化炉
JPS62153132A (ja) * 1985-12-26 1987-07-08 Furukawa Electric Co Ltd:The ガラス処理炉におけるガス循環装置
JPH04240129A (ja) * 1991-01-18 1992-08-27 Sumitomo Electric Ind Ltd 光ファイバの製造方法及び装置
US5377491A (en) * 1992-12-11 1995-01-03 Praxair Technology, Inc. Coolant recovery process

Also Published As

Publication number Publication date
DE69700520D1 (de) 1999-10-21
JPH1087339A (ja) 1998-04-07
DK0820963T3 (da) 1999-12-20
CA2211455C (en) 2001-02-13
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