JPS60103006A - 可搬型ヘリウム回収精製装置 - Google Patents
可搬型ヘリウム回収精製装置Info
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- JPS60103006A JPS60103006A JP58210527A JP21052783A JPS60103006A JP S60103006 A JPS60103006 A JP S60103006A JP 58210527 A JP58210527 A JP 58210527A JP 21052783 A JP21052783 A JP 21052783A JP S60103006 A JPS60103006 A JP S60103006A
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- JP
- Japan
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- gas
- compressor
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- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
- C03B37/0146—Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
- F25J3/08—Separating gaseous impurities from gases or gaseous mixtures or from liquefied gases or liquefied gaseous mixtures
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2205/00—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means
- F25J2205/40—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means using hybrid system, i.e. combining cryogenic and non-cryogenic separation techniques
-
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- F25J2205/00—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means
- F25J2205/60—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means using adsorption on solid adsorbents, e.g. by temperature-swing adsorption [TSA] at the hot or cold end
-
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- F25J2210/00—Processes characterised by the type or other details of the feed stream
- F25J2210/02—Multiple feed streams, e.g. originating from different sources
-
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- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2215/00—Processes characterised by the type or other details of the product stream
- F25J2215/30—Helium
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2245/00—Processes or apparatus involving steps for recycling of process streams
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
現今の光フアイバー製造工場では光ファイバーの製造の
際に多量のヘリウムガス（以後Ｈｅガスと呼す）を使用
するものであるが、Ｈｅガスは高価であるので使用済み
のＨｅガスを排出してしまうのは非常に費用がかかり、
それだけコスト高となるので使用済み排ガスを１５製し
て再びＨｅガス容器に戻して再利用することにより、そ
の分だけ高価なＨｅガスを節約でき、全体としてコスト
安にできるものであるが、多数の光フアイバー製造設備
を有する工場において、製造設備ごとに留製装置を設け
るのは設備費、土地等の関係から非常に困難である。
際に多量のヘリウムガス（以後Ｈｅガスと呼す）を使用
するものであるが、Ｈｅガスは高価であるので使用済み
のＨｅガスを排出してしまうのは非常に費用がかかり、
それだけコスト高となるので使用済み排ガスを１５製し
て再びＨｅガス容器に戻して再利用することにより、そ
の分だけ高価なＨｅガスを節約でき、全体としてコスト
安にできるものであるが、多数の光フアイバー製造設備
を有する工場において、製造設備ごとに留製装置を設け
るのは設備費、土地等の関係から非常に困難である。
本願はそれ等に鑑み発明したものであって、架台上に一
式の硝製装置を設置し、該架台をＨｅガス容器及びガス
バックが設置されている場所に移動させ、ガスバックに
吸入パイプを連結し、Ｈｅガス容器に送気パイプを連結
してガスバック内のＨｅガスを精製して精製Ｈｅガス容
器に送りＨｅガスを循環させて有効に無駄なく使用でき
るようにすると共に、Ｈｅガス容器、光ファイバーの製
造炉及びガスバックとが組み合せ設置されている数基の
装置の箇所に一台の架台を順次に移動させて精製するこ
とにより多数の精製装置を必要とせず、しかも一台の架
台で全ての精製を行うことができるのでプラント全体を
安価に設置できるようにした可搬型ヘリウム回収精製装
置に関する発明である。
式の硝製装置を設置し、該架台をＨｅガス容器及びガス
バックが設置されている場所に移動させ、ガスバックに
吸入パイプを連結し、Ｈｅガス容器に送気パイプを連結
してガスバック内のＨｅガスを精製して精製Ｈｅガス容
器に送りＨｅガスを循環させて有効に無駄なく使用でき
るようにすると共に、Ｈｅガス容器、光ファイバーの製
造炉及びガスバックとが組み合せ設置されている数基の
装置の箇所に一台の架台を順次に移動させて精製するこ
とにより多数の精製装置を必要とせず、しかも一台の架
台で全ての精製を行うことができるのでプラント全体を
安価に設置できるようにした可搬型ヘリウム回収精製装
置に関する発明である。
今、その実施例を説明すれば、低温槽（１１の内部にコ
ールドトラップ（２）、液受セパレーター（３）及び低
温吸着筒（４）を配設し、該低温槽（１１を架台（２５
１上に設置すると共に、低温槽（１）とは別に架台（２
ω上にフィルター（５）、圧縮機（６）、乾燥器（７）
、真空ポンプ（８）及び可搬式低温容器（９）を設置し
、フィルター（５）の吐出側とコールドトラップ（２）
の上部とをパイプ（１０１で連結し、コールドトラップ
（２）の吐出側と圧縮機（６）の吸入側とをパイプＣｌ
１ｌで連結し、圧縮機（６）の吐出側と乾燥器（力とを
パイプ（１２１で連結し、乾燥器（７）と液受セパレー
ター（３）の上部とをパイプ（１３１で連結し、更に、
液受セパレーター（３）の上部と低温吸着筒（４）の下
部とをパイプθをで連結し、低温吸着筒（４）の上部に
連結パイプ０５１を設け、該連結パイプ（１５１を低温
槽（１）の外部に突出すると共にフィルター（５）の下
部にも連結パイプＯｅを設け、且つ低温槽ｆｉ）に真空
ポンプ（８）を連結すると共に可搬式低温容器（９）の
送気パイプ（１ηを低温槽（１）に連結開口して成るも
のである。
ールドトラップ（２）、液受セパレーター（３）及び低
温吸着筒（４）を配設し、該低温槽（１１を架台（２５
１上に設置すると共に、低温槽（１）とは別に架台（２
ω上にフィルター（５）、圧縮機（６）、乾燥器（７）
、真空ポンプ（８）及び可搬式低温容器（９）を設置し
、フィルター（５）の吐出側とコールドトラップ（２）
の上部とをパイプ（１０１で連結し、コールドトラップ
（２）の吐出側と圧縮機（６）の吸入側とをパイプＣｌ
１ｌで連結し、圧縮機（６）の吐出側と乾燥器（力とを
パイプ（１２１で連結し、乾燥器（７）と液受セパレー
ター（３）の上部とをパイプ（１３１で連結し、更に、
液受セパレーター（３）の上部と低温吸着筒（４）の下
部とをパイプθをで連結し、低温吸着筒（４）の上部に
連結パイプ０５１を設け、該連結パイプ（１５１を低温
槽（１）の外部に突出すると共にフィルター（５）の下
部にも連結パイプＯｅを設け、且つ低温槽ｆｉ）に真空
ポンプ（８）を連結すると共に可搬式低温容器（９）の
送気パイプ（１ηを低温槽（１）に連結開口して成るも
のである。
尚（１ＦＤは精製Ｈｅガス容器で送気パイプ（＋９１を
炉（至）に連結し７．１つ精製Ｈｅガス容器Ｏｇｌの下
部に連結パイプθ９を連結するパイプ００を設けである
。
炉（至）に連結し７．１つ精製Ｈｅガス容器Ｏｇｌの下
部に連結パイプθ９を連結するパイプ００を設けである
。
炉（２０には送気パイプ＠が設けられ、ガスバック（２
鵠に連結され、ガスバック（ハ）の送気パイプ１４）は
連結パイプ（１０に連結できるようにされている。
鵠に連結され、ガスバック（ハ）の送気パイプ１４）は
連結パイプ（１０に連結できるようにされている。
本願は前記構成よりして架台＋２！ｉｌを移動車に搭載
量すシ〉か、架台Ｑ→自体を自走形に形成しておき。
量すシ〉か、架台Ｑ→自体を自走形に形成しておき。
この架台（２漕をプラント四・・・・・Ｎの設置されて
いる所忙移動させ、図にてはプラント（Ａ）の箇所に移
動させパイプＱｌ＋と連結パイプ（１！ｉ１とを連結し
、送気パイプ＠と連結パイプ（１Ｇ）とを連結し、精製
Ｈｅガス容器α秒よりＨｅガスを炉（例に送り光ファイ
バーの製造に使用した後、Ｈｅガスをガスバック（ハ）
に送ると共に、ガスバックＣ部内のｌｉｅガスをパイプ
（２沿及び（ＩＯを介してフィルター（５）に送っであ
る種の不純物を取りのぞいた後ノくイブθ０を介してコ
ールドトラップ（２）に送り、更に不純物を取り除いた
後に圧縮機（６）を介して加圧して乾燥器（力に送り乾
燥させた後に液受セノ（レータ−（３）に送って不純物
を凝縮させると共にガスを低温吸着筒（４）に送ってＨ
ｅガス以外のガスを吸着精製してパイプ（１５１及び（
２１）を介してｆＩｖ製Ｈｅガス容器α秒にＨｅガスを
送り込むものである。
いる所忙移動させ、図にてはプラント（Ａ）の箇所に移
動させパイプＱｌ＋と連結パイプ（１！ｉ１とを連結し
、送気パイプ＠と連結パイプ（１Ｇ）とを連結し、精製
Ｈｅガス容器α秒よりＨｅガスを炉（例に送り光ファイ
バーの製造に使用した後、Ｈｅガスをガスバック（ハ）
に送ると共に、ガスバックＣ部内のｌｉｅガスをパイプ
（２沿及び（ＩＯを介してフィルター（５）に送っであ
る種の不純物を取りのぞいた後ノくイブθ０を介してコ
ールドトラップ（２）に送り、更に不純物を取り除いた
後に圧縮機（６）を介して加圧して乾燥器（力に送り乾
燥させた後に液受セノ（レータ−（３）に送って不純物
を凝縮させると共にガスを低温吸着筒（４）に送ってＨ
ｅガス以外のガスを吸着精製してパイプ（１５１及び（
２１）を介してｆＩｖ製Ｈｅガス容器α秒にＨｅガスを
送り込むものである。
そしてこの精製中において低温槽（１１内を真空ポンプ
（８） Ｋて減圧すると同時に可搬式低温容器（９）よ
りパイプ（１７１を介して低温ガスを送ると低温ガスの
温度より更に低い温度になるためＨｅガスをより純度よ
く分離吸着精製することができるものである。
（８） Ｋて減圧すると同時に可搬式低温容器（９）よ
りパイプ（１７１を介して低温ガスを送ると低温ガスの
温度より更に低い温度になるためＨｅガスをより純度よ
く分離吸着精製することができるものである。
例えば低温ガスとして液化窒素ガス（以後ＬＮｚと呼す
）を使用したとすると、ＬＮ２は一１９６°Ｃであるが
断熱層（１１内を減圧することにより一２０５℃にＦげ
ることかできるので液化点の低いＨｅガスと液化点の高
い他のガスとを純度よく分離できるものである。
）を使用したとすると、ＬＮ２は一１９６°Ｃであるが
断熱層（１１内を減圧することにより一２０５℃にＦげ
ることかできるので液化点の低いＨｅガスと液化点の高
い他のガスとを純度よく分離できるものである。
即ち液化点の高い他のガスは一２０５°Ｃにされること
により簡単に液化され、液化点が低くてまだ液化されな
いＨｅガスと簡単にコールドトラップ（２）、液受セパ
レーター（３）及び低温吸着筒（４＞ Ｋて分１１ｉ１
ｔ−ｆ’ ２＞ことができるものである。
により簡単に液化され、液化点が低くてまだ液化されな
いＨｅガスと簡単にコールドトラップ（２）、液受セパ
レーター（３）及び低温吸着筒（４＞ Ｋて分１１ｉ１
ｔ−ｆ’ ２＞ことができるものである。
更に又、コールドトラップ（２）は排ガス中に含まれて
いる水素ガス等により腐食する等の欠点があり、低温槽
（１１内に完全に内装した場合交換する際に低温槽ｉｌ
ｌの蓋板Ｑ０を完全に取りはずしてから内部からコール
ドトラップ（２）を取り出す等の大げさなｆ’ｒ″業と
なるので、これを簡単に取り換えることができるように
した構成を説明すれば、低温１￥Ｊｌ（１１の内部にコ
ールドトラップ（２）、液受セパレーター（３）および
低温吸着筒（４）を配設し、フィルター（５）の排気側
とコールドトラップ（２）の上部とをパイプ００１で連
結し、コールドトラップ（２）の排気側と圧縮機（６）
の吸入側とをパイプ（１１）で連結し、乾燥器（力と液
受セパレーター（３）の上部とをパイプ０りで連結し、
液受セパレーター（３）の上部と低温吸着筒（４）の下
部とをパイプ０沿で連結し、低温吸着筒（４）の上部に
連結した連結パイプ０５１を低温槽（１）の外部に突出
して形成したヘリウム回収精製装置の０３：湯槽（］）
におい−Ｃ１低温槽（１）の蓋板（２６）にコールドト
ランプ（２）の挿入孔りηを設け、該挿入孔（２７）に
上部にフランジＱ８１を有する円筒１２９１を固定し、
コールドトラップ（２）のケースの上端に前記フランジ
Ｃ２８１に合致するフランジ（３０）を設け、且つコー
ルドトラップ（２）の上面に吸排用のパイプ１１０）及
びＯυを取り付けると共に円筒囚のフランジ（２８）と
コールドトラップ（２）のフランジ側とを気密でしかも
着脱自在にして成るものである。
いる水素ガス等により腐食する等の欠点があり、低温槽
（１１内に完全に内装した場合交換する際に低温槽ｉｌ
ｌの蓋板Ｑ０を完全に取りはずしてから内部からコール
ドトラップ（２）を取り出す等の大げさなｆ’ｒ″業と
なるので、これを簡単に取り換えることができるように
した構成を説明すれば、低温１￥Ｊｌ（１１の内部にコ
ールドトラップ（２）、液受セパレーター（３）および
低温吸着筒（４）を配設し、フィルター（５）の排気側
とコールドトラップ（２）の上部とをパイプ００１で連
結し、コールドトラップ（２）の排気側と圧縮機（６）
の吸入側とをパイプ（１１）で連結し、乾燥器（力と液
受セパレーター（３）の上部とをパイプ０りで連結し、
液受セパレーター（３）の上部と低温吸着筒（４）の下
部とをパイプ０沿で連結し、低温吸着筒（４）の上部に
連結した連結パイプ０５１を低温槽（１）の外部に突出
して形成したヘリウム回収精製装置の０３：湯槽（］）
におい−Ｃ１低温槽（１）の蓋板（２６）にコールドト
ランプ（２）の挿入孔りηを設け、該挿入孔（２７）に
上部にフランジＱ８１を有する円筒１２９１を固定し、
コールドトラップ（２）のケースの上端に前記フランジ
Ｃ２８１に合致するフランジ（３０）を設け、且つコー
ルドトラップ（２）の上面に吸排用のパイプ１１０）及
びＯυを取り付けると共に円筒囚のフランジ（２８）と
コールドトラップ（２）のフランジ側とを気密でしかも
着脱自在にして成るものである。
本願は狭止のよ５に低温槽の内部にコールドトラップ、
液受セパレーター及び低温吸着筒を配設し、該低湿槽を
架台上に設置すると共に、低温槽とは別に架台上にフィ
ルター圧縮機、乾燥器、真空ボ／グ及び可搬式低温容器
を設置し、フィルターの排気側とコールドトラップの上
部とをパイプＣ連結し、コールドトラップの送気側と圧
縮機の吸入側とをパイプで連結・−シ、゛圧縮機の送気
側と乾燥器とをパイプで連結し、Ｊ：ぐ燥器と液受セパ
レーターの上部とをパイプで連結し、更に液受セパレー
ターの上部と低温吸着筒下部とをパイプで連結し、低温
吸着筒下部に連結パイプを設け、該連結パイプを低温槽
の外部に突出すると共にフィルターの下部にも連結パイ
プを設け、且つ低温槽に真空ポンプを連結すると共に可
搬式低温容器の送気パイプを低温槽に連結開口して成る
ので田ガスを循環させて［ｆ利用することにより高価な
）−１ｅガスの使用最を少くできそれだけ生産コストを
下げられ、且つ精製装置をコンパクトで可搬型にしたこ
とにより一台の精製装置で多数のプラントに順次使用す
ることができるので設備費を大巾に減少させることがで
きる等の特徴を有するものである。
液受セパレーター及び低温吸着筒を配設し、該低湿槽を
架台上に設置すると共に、低温槽とは別に架台上にフィ
ルター圧縮機、乾燥器、真空ボ／グ及び可搬式低温容器
を設置し、フィルターの排気側とコールドトラップの上
部とをパイプＣ連結し、コールドトラップの送気側と圧
縮機の吸入側とをパイプで連結・−シ、゛圧縮機の送気
側と乾燥器とをパイプで連結し、Ｊ：ぐ燥器と液受セパ
レーターの上部とをパイプで連結し、更に液受セパレー
ターの上部と低温吸着筒下部とをパイプで連結し、低温
吸着筒下部に連結パイプを設け、該連結パイプを低温槽
の外部に突出すると共にフィルターの下部にも連結パイ
プを設け、且つ低温槽に真空ポンプを連結すると共に可
搬式低温容器の送気パイプを低温槽に連結開口して成る
ので田ガスを循環させて［ｆ利用することにより高価な
）−１ｅガスの使用最を少くできそれだけ生産コストを
下げられ、且つ精製装置をコンパクトで可搬型にしたこ
とにより一台の精製装置で多数のプラントに順次使用す
ることができるので設備費を大巾に減少させることがで
きる等の特徴を有するものである。
第１図は本願におけるフローシート、第２図は全体の側
面図、第３図は低温槽の拡大断面図を示すものである。 特許出願人 東洋酸素株式会社 第３図 １０
面図、第３図は低温槽の拡大断面図を示すものである。 特許出願人 東洋酸素株式会社 第３図 １０
Claims (1)
- （１１低温槽の内部にコールドトラップ、 液受セパレ
ーター及び低温吸着筒を配設し、該低温槽を架台上に設
置すると共に、低温槽とは別に架台上にフィルター、圧
縮機、乾燥器、真空ボンダ及び可搬式低温容器を設置し
、フィルターの吐出側とコールドトラップの上部とをパ
イブチ連結し、コールドトラップの吐出側と圧縮機の吸
入側とをパイプで連結し、圧縮機の送気側と乾燥器とを
パイプで連結し、乾燥器と液受セパレーターの上部と乞
バイブで連結し、さらに液受セパレーターの上部と低温
吸着筒下部とをパイプで連結し、低温吸着筒上部に連結
パイプを設け、該連結パイプを低温槽の外部に突出する
と共にフィルターの下部にも連結パイプを設け、且つ低
温槽ＩＣ真空ポンプを連結すると共に可搬式低温容器の
液供給パイプを低温槽に連結開口して成ることを特徴と
する可搬型ヘリウム回収精製装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58210527A JPS60103006A (ja) | 1983-11-09 | 1983-11-09 | 可搬型ヘリウム回収精製装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58210527A JPS60103006A (ja) | 1983-11-09 | 1983-11-09 | 可搬型ヘリウム回収精製装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60103006A true JPS60103006A (ja) | 1985-06-07 |
Family
ID=16590836
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58210527A Pending JPS60103006A (ja) | 1983-11-09 | 1983-11-09 | 可搬型ヘリウム回収精製装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60103006A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0820963A1 (en) * | 1996-07-26 | 1998-01-28 | Praxair Technology, Inc. | Method for recovering helium from an optical fibre manufacturing process |
| EP0879389A4 (ja) * | 1996-06-24 | 1998-12-02 | ||
| FR2808793A1 (fr) * | 2000-05-15 | 2001-11-16 | Air Liquide | Fabrication de fibre optique refroidie a l'helium avec recyclage sans purification de l'helium |
| EP4265322A1 (en) * | 2022-04-22 | 2023-10-25 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Helium recovery process |
-
1983
- 1983-11-09 JP JP58210527A patent/JPS60103006A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0879389A4 (ja) * | 1996-06-24 | 1998-12-02 | ||
| US6092391A (en) * | 1996-06-24 | 2000-07-25 | Corning Incorporated | Helium recycling for optical fiber manufacturing |
| EP0820963A1 (en) * | 1996-07-26 | 1998-01-28 | Praxair Technology, Inc. | Method for recovering helium from an optical fibre manufacturing process |
| FR2808793A1 (fr) * | 2000-05-15 | 2001-11-16 | Air Liquide | Fabrication de fibre optique refroidie a l'helium avec recyclage sans purification de l'helium |
| EP4265322A1 (en) * | 2022-04-22 | 2023-10-25 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Helium recovery process |
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