JPS61261223A - 多孔質ガラス母材用透明ガラス化炉 - Google Patents
多孔質ガラス母材用透明ガラス化炉Info
- Publication number
- JPS61261223A JPS61261223A JP10095185A JP10095185A JPS61261223A JP S61261223 A JPS61261223 A JP S61261223A JP 10095185 A JP10095185 A JP 10095185A JP 10095185 A JP10095185 A JP 10095185A JP S61261223 A JPS61261223 A JP S61261223A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- furnace
- gas
- core tube
- aqueous solution
- hydrogen chloride
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
- C03B37/0146—Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ｒ産業上の利用分野１
本発明は、ＶＡＤ法、’ＯＶＤ法等により製造された通
信用、光学用の多孔質ガラス母材を透明ガラス化するた
めの透明ガラス化炉に関する。
信用、光学用の多孔質ガラス母材を透明ガラス化するた
めの透明ガラス化炉に関する。
ｒ従来の技術１
周知の通り、ＶＡＤ法、ＯＶＤ法等では気相のガラス原
料を化学反応させることによりスート状のガラス微粒子
を生成し、これを所望の形状に堆積させて多孔質ガラス
母材を作製する。
料を化学反応させることによりスート状のガラス微粒子
を生成し、これを所望の形状に堆積させて多孔質ガラス
母材を作製する。
その後、多孔質ガラス母材は、透明ガラス化炉を介して
透明ガラス化されるが、この際の透明ガラス化では脱泡
効果、脱水効果を上げるべくＨｅ、Ｃ１２等のガスを用
いる。
透明ガラス化されるが、この際の透明ガラス化では脱泡
効果、脱水効果を上げるべくＨｅ、Ｃ１２等のガスを用
いる。
この際の透明ガラス化時、透明ガラス化炉内には多孔質
ガラス母材からＨ２Ｏが発生し、このＨ２ＯとＣｌ２
との反応により塩化水素が生成されるとともに該塩化水
素が１（２０に溶けこんで塩化水素水溶液（塩酸）が生
成される。
ガラス母材からＨ２Ｏが発生し、このＨ２ＯとＣｌ２
との反応により塩化水素が生成されるとともに該塩化水
素が１（２０に溶けこんで塩化水素水溶液（塩酸）が生
成される。
したがってこれを放置すると、透明ガラス化炉内に塩化
水素水溶液が充満するが、その透明ガラス炉内に前記Ｈ
ｅ、 Ｃｌ２を吹き流し、使用済みのこれら各ガスを排
気系へ直接排気することにより、かかる事態を回避して
いる。
水素水溶液が充満するが、その透明ガラス炉内に前記Ｈ
ｅ、 Ｃｌ２を吹き流し、使用済みのこれら各ガスを排
気系へ直接排気することにより、かかる事態を回避して
いる。
ｒ発明が解決しようとする問題点１
ところで、母材一本を透明ガラス化するときのＨｅは、
これの炉内供給量を例えば１０〜１５ｆＬ／分としたと
き、１〜１０時間も供給しなければならず、そのため高
価なＨｅが多量に使いすてられる結果となっている。
これの炉内供給量を例えば１０〜１５ｆＬ／分としたと
き、１〜１０時間も供給しなければならず、そのため高
価なＨｅが多量に使いすてられる結果となっている。
本発明は上記の問題点に鑑み、透明ガラス化炉に循環系
を設け、その循環系に塩化水素水溶液の除去機能をもた
せることにより、高価なＨｅはもちろん、Ｃ１２をも再
利用できるようにしたものである。
を設け、その循環系に塩化水素水溶液の除去機能をもた
せることにより、高価なＨｅはもちろん、Ｃ１２をも再
利用できるようにしたものである。
ｒ問題点を解決するための手段」
本発明は、ガス供給系が接続された炉心管とその炉心管
外周のヒータとを備え、ガス供給系から炉心管内にＨｅ
、 ＣＩ２等を供給するとともにその炉心管内にガラス
微粒子の堆積物からなる多孔質ガラス母材を入れてこれ
をヒータで加熱し、これにより多孔質ガラス母材を透明
ガラス化する透明ガラス化炉において、上記炉心管には
その炉心管内外にわたってガスを循環させるための循環
系が設けられ、その循環系には、循環ガス中の塩化水素
水溶液を凝縮除去するための冷却部と、循環ガス中の塩
化水素水溶液をＣａＣＯ３との反応により除去するため
の反応部と、該ＣａＣＯ３との反応で生成する）Ｈ２Ｏ
を凝縮除去するための冷却部、および該１（２０を吸着
剤により除去する吸着部とが設けられていることを特徴
としている。
外周のヒータとを備え、ガス供給系から炉心管内にＨｅ
、 ＣＩ２等を供給するとともにその炉心管内にガラス
微粒子の堆積物からなる多孔質ガラス母材を入れてこれ
をヒータで加熱し、これにより多孔質ガラス母材を透明
ガラス化する透明ガラス化炉において、上記炉心管には
その炉心管内外にわたってガスを循環させるための循環
系が設けられ、その循環系には、循環ガス中の塩化水素
水溶液を凝縮除去するための冷却部と、循環ガス中の塩
化水素水溶液をＣａＣＯ３との反応により除去するため
の反応部と、該ＣａＣＯ３との反応で生成する）Ｈ２Ｏ
を凝縮除去するための冷却部、および該１（２０を吸着
剤により除去する吸着部とが設けられていることを特徴
としている。
ｒ作用１
本発明に係る透明ガラス化炉の場合、その炉心管内にお
いて多孔質ガラス母材を透明ガラス化する点は従来例と
同じであるが、該炉心管内外を循環するガスの循環系に
所定の冷却部、反応部、吸着部が設けられているから、
以下のようにして塩化水素水溶液等が除去される。
いて多孔質ガラス母材を透明ガラス化する点は従来例と
同じであるが、該炉心管内外を循環するガスの循環系に
所定の冷却部、反応部、吸着部が設けられているから、
以下のようにして塩化水素水溶液等が除去される。
すなわち、多孔質ガラス母材の透明ガラス化に際し、炉
心管内にはその母材中に含まれるＯＨ基。
心管内にはその母材中に含まれるＯＨ基。
Ｈ７０の除去（脱水処理）のためＣＩ２が供給され、ざ
らに脱泡効果を高めるべ（Ｈｅが供給されるが、この際
のＨｅ、 Ｃｌ２は炉心管内において下記のようになる
。
らに脱泡効果を高めるべ（Ｈｅが供給されるが、この際
のＨｅ、 Ｃｌ２は炉心管内において下記のようになる
。
Ｈｅ→脱泡脱泡効果化変化Ｈ８として残存−ｃ＋２→脱
水効果→ｎｃｔ＋＋（２ｏ＋ｃ＋ｚ（ＨＣ１＋Ｈ２Ｏ−
塩化水素水溶液） したがって、循環系には炉心管から上記Ｈｅ、塩化水素
水溶液、Ｃ１ｚ等が流入してくる。
水効果→ｎｃｔ＋＋（２ｏ＋ｃ＋ｚ（ＨＣ１＋Ｈ２Ｏ−
塩化水素水溶液） したがって、循環系には炉心管から上記Ｈｅ、塩化水素
水溶液、Ｃ１ｚ等が流入してくる。
このうち、塩化水素水溶液は循環系の冷却部により例え
ば５℃以下に冷却され、いわゆる凝縮トラップにより除
去される。
ば５℃以下に冷却され、いわゆる凝縮トラップにより除
去される。
さらに塩化水素水溶液、Ｃ１２は循環系の反応部におい
てＣａＣＯ３と反応し、下記の反応結果が得られる。
てＣａＣＯ３と反応し、下記の反応結果が得られる。
Ｈ２０＋ＣＯ２＋ＣａＣｌ２
このうち、ＧａＣｌ２は水分を吸着してトラップするこ
とができ、Ｈ２０も冷却により凝縮トラップできる。
とができ、Ｈ２０も冷却により凝縮トラップできる。
したがって、 ＣａＣ１ｚはシルカゲル、モレキュラシ
ーブなど、これら吸着剤が充填された循環系の吸着部で
吸着され、Ｈ２０は循環系の冷却部で冷却されて凝縮除
去される。
ーブなど、これら吸着剤が充填された循環系の吸着部で
吸着され、Ｈ２０は循環系の冷却部で冷却されて凝縮除
去される。
なお、循環系では上記反応に必要な分だけＣ１ｚが一部
使用されるが、他のＣｌ２はそのまま残存する。
使用されるが、他のＣｌ２はそのまま残存する。
かくて塩化水素水溶液、Ｈ２０が除去された後のガス中
には、Ｈｅと００２ とＣｌ２ とが残り、これら各ガ
スが循環系から炉心管内へもどされるが、この残存した
ＧＯ２は上記透明ガラス化に無害であり、有効なＩｃｅ
とＣＣｈ とＣｌ２ とが炉心管内で再利用される。
には、Ｈｅと００２ とＣｌ２ とが残り、これら各ガ
スが循環系から炉心管内へもどされるが、この残存した
ＧＯ２は上記透明ガラス化に無害であり、有効なＩｃｅ
とＣＣｈ とＣｌ２ とが炉心管内で再利用される。
「実 施 例１
以下、本発明に係る透明ガラス化炉の実施例につき、図
面を参照して説明する。
面を参照して説明する。
第１図において、ｌは石英製の炉心管、２はその炉心管
１の外周に設けられた電気ヒータ等によるヒータであり
、これら炉心管ｌ、上ヒータは透明ガラス化炉の要部を
構成している。
１の外周に設けられた電気ヒータ等によるヒータであり
、これら炉心管ｌ、上ヒータは透明ガラス化炉の要部を
構成している。
上記炉心管１はその下部にガス入口３を、その上部にガ
ス出口４をそれぞれ有し、ガス入口３にはガス供給系５
が接続されている。
ス出口４をそれぞれ有し、ガス入口３にはガス供給系５
が接続されている。
さらに炉心管の上記ガス入口３、ガス出口４にわたり、
ガスの循環系６が設けられている。
ガスの循環系６が設けられている。
かかる循環系６は、ガス出口４側からガス人口３側へ向
け、第一の冷却器？、液溜部８、反応部９、吸着部１０
、第二の冷却部１１とが順次設けられており、第一の冷
却部７と液溜部８との間には排気口１２が設けられてい
る。
け、第一の冷却器？、液溜部８、反応部９、吸着部１０
、第二の冷却部１１とが順次設けられており、第一の冷
却部７と液溜部８との間には排気口１２が設けられてい
る。
上記において、第−冷却部７、第二冷却部１１は螺旋管
あるいは蛇行管等が水冷式または空冷式の冷却手段１３
により覆われたもので、その冷却手段１３は両冷却部７
．１１が同時に冷却できる構成を有している。
あるいは蛇行管等が水冷式または空冷式の冷却手段１３
により覆われたもので、その冷却手段１３は両冷却部７
．１１が同時に冷却できる構成を有している。
反応部９は第２図に明示するごとく傾斜型の筒状をなし
、その内部にＣａＣＯ３が充填されているとともにその
傾斜下端部には液溜部１４が連結されている。
、その内部にＣａＣＯ３が充填されているとともにその
傾斜下端部には液溜部１４が連結されている。
吸着部１０は縦型の筒状をなし、その内部にはシリカゲ
ル、モレキュラシーブ等の吸着剤が充填されている。
ル、モレキュラシーブ等の吸着剤が充填されている。
図中、１５は炉心管１に設けられた圧力ゲージを示し、
１Ｂは多孔質ガラス母材を示す。
１Ｂは多孔質ガラス母材を示す。
上述した透明ガラス化炉を用い、ＶＡＤ法、ＯＶＤ法等
で得られた多孔質ガラス母材ＩＢを透明ガラス化すとと
き、第１図のごとく当該母材１８を回転させながら炉心
管１内に挿入する。
で得られた多孔質ガラス母材ＩＢを透明ガラス化すとと
き、第１図のごとく当該母材１８を回転させながら炉心
管１内に挿入する。
つぎにヒータ２により炉心管１内の温度を１４００〜１
６５０℃、例えば１５５０℃に加熱するとともに炉心管
１、循環系ＢにわたりＨｅを１０！Ｌノ分の流量で数分
間流し、これら各部をパージする。
６５０℃、例えば１５５０℃に加熱するとともに炉心管
１、循環系ＢにわたりＨｅを１０！Ｌノ分の流量で数分
間流し、これら各部をパージする。
こうして炉心管１内、循環系Ｂ内をＨｅ雰囲気とした後
、多孔質ガラス母材Ｉ８を炉心管！内の高温部（ヒータ
２の位置）に向けて降下させるが、この際、Ｈｅ流量を
０．５〜２ｆＬ／分、例えば０．５１／分とし、Ｃ１２
流量を０．０５立／分としてこれら各ガスをガス供給系
５から炉心管１内に供給し、さらに圧力ゲージ１５を参
照しながら排気口１２を絞り調整して炉心管１の内圧を
所定値（陽圧）に保持する。
、多孔質ガラス母材Ｉ８を炉心管！内の高温部（ヒータ
２の位置）に向けて降下させるが、この際、Ｈｅ流量を
０．５〜２ｆＬ／分、例えば０．５１／分とし、Ｃ１２
流量を０．０５立／分としてこれら各ガスをガス供給系
５から炉心管１内に供給し、さらに圧力ゲージ１５を参
照しながら排気口１２を絞り調整して炉心管１の内圧を
所定値（陽圧）に保持する。
上記の条件下で多孔質ガラス母材１６を透明ガラス化し
ているとき、炉心管１内のガスは循環系６を通り、その
炉心管内外を循環する。
ているとき、炉心管１内のガスは循環系６を通り、その
炉心管内外を循環する。
かかる透明ガラス化にともない発生した塩化水素水溶液
は、炉心管１内の各ガスとともに循環系６へ流入し、５
℃以下の第−冷却部７を通ることにより凝縮され、液溜
部８内に捕集される。
は、炉心管１内の各ガスとともに循環系６へ流入し、５
℃以下の第−冷却部７を通ることにより凝縮され、液溜
部８内に捕集される。
捕集し得ない残部の塩化水素水溶液は、傾斜状態の反応
部ｓ内に導かれ、ここでＣａＣＯ３と前述の反応を起し
てＣａＣｌ２ として捕集される。
部ｓ内に導かれ、ここでＣａＣＯ３と前述の反応を起し
てＣａＣｌ２ として捕集される。
このとき発生するＩ２０は、第二冷却部１１での冷却に
より一部凝縮されて液溜部１４内に捕集され、その残部
は吸着部１０の吸着剤にて除去される。
より一部凝縮されて液溜部１４内に捕集され、その残部
は吸着部１０の吸着剤にて除去される。
かくて塩化水素水溶液等が除去されたガスは、循環系８
から再度炉心管１内に流入する。
から再度炉心管１内に流入する。
上記のように、炉心管１内のガスを循環かつ処理しなが
ら多孔質ガラス母材１Ｂを透明ガラス化したところ、そ
の透明ガラス化後の母材における水分含有率は０．ｌｐ
ｐｍ以下であった。
ら多孔質ガラス母材１Ｂを透明ガラス化したところ、そ
の透明ガラス化後の母材における水分含有率は０．ｌｐ
ｐｍ以下であった。
一方、Ｈｅの使用量は在来の１７３〜１／１０程度に減
少させることができた。
少させることができた。
なお、ＧａＣＯ３との反応で生成するＩ２０の完全除去
のためには、吸着部ＩＯを介した処理後、さらに液体チ
ッ素等により処理したり、あるいは他の吸着剤を用いる
ことが有効であるが、通常はこのような処理を必要とし
ない。
のためには、吸着部ＩＯを介した処理後、さらに液体チ
ッ素等により処理したり、あるいは他の吸着剤を用いる
ことが有効であるが、通常はこのような処理を必要とし
ない。
ｒ発明の効果Ｊ
以上説明した通り、本発明に係る透明ガラス化炉による
ときは、多孔質ガラス母材の透明ガラス化に際し、所定
の循環系により高価なＨｅやＣＩ２等を回収してこれを
無駄なく有効に利用することができるから、光ファイバ
などの通信部品、光学部品につき、これらのコストダウ
ンがはかれる。
ときは、多孔質ガラス母材の透明ガラス化に際し、所定
の循環系により高価なＨｅやＣＩ２等を回収してこれを
無駄なく有効に利用することができるから、光ファイバ
などの通信部品、光学部品につき、これらのコストダウ
ンがはかれる。
第１図は本発明に係る透明ガラス化炉の一実施例を略示
した説明図、第２図は同上における吸着部の拡大図であ
る。 １・・・・炉心管 ２・◆・・ヒータ ８・・・・循環系 ７・・・・冷却部 ８・・・・液溜部 ９・・・・反応部 ｌＯ・・・・吸着部 １１・・・・冷却部 １２・・・・排気口 １３・・・・冷却手段 １Ｂ・・・・多孔質ガラス母材 代理人 弁理士 斎 藤 義 雄 第１図 り 第２図
した説明図、第２図は同上における吸着部の拡大図であ
る。 １・・・・炉心管 ２・◆・・ヒータ ８・・・・循環系 ７・・・・冷却部 ８・・・・液溜部 ９・・・・反応部 ｌＯ・・・・吸着部 １１・・・・冷却部 １２・・・・排気口 １３・・・・冷却手段 １Ｂ・・・・多孔質ガラス母材 代理人 弁理士 斎 藤 義 雄 第１図 り 第２図
Claims (1)
- ガス供給系が接続された炉心管とその炉心管外周のヒー
タとを備え、ガス供給系から炉心管内にＨｅ、Ｃｌ＿２
等を供給するとともにその炉心管内にガラス微粒子の堆
積物からなる多孔質ガラス母材を入れてこれをヒータで
加熱し、これにより多孔質ガラス母材を透明ガラス化す
る透明ガラス化炉において、上記炉心管にはその炉心管
内外にわたってガスを循環させるための循環系が設けら
れ、その循環系には、循環ガス中の塩化水素水溶液を凝
縮除去するための冷却部と、循環ガス中の塩化水素水溶
液をＣａＣＯ＿３との反応により除去するための反応部
と、該ＣａＣＯ＿３との反応で生成するＨ＿２Ｏを凝縮
除去するための冷却部、および該Ｈ＿２Ｏを吸着剤によ
り除去する吸着部とが設けられていることを特徴とする
多孔質ガラス母材用透明ガラス化炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10095185A JPS61261223A (ja) | 1985-05-13 | 1985-05-13 | 多孔質ガラス母材用透明ガラス化炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10095185A JPS61261223A (ja) | 1985-05-13 | 1985-05-13 | 多孔質ガラス母材用透明ガラス化炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61261223A true JPS61261223A (ja) | 1986-11-19 |
Family
ID=14287657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10095185A Pending JPS61261223A (ja) | 1985-05-13 | 1985-05-13 | 多孔質ガラス母材用透明ガラス化炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61261223A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0820963A1 (en) * | 1996-07-26 | 1998-01-28 | Praxair Technology, Inc. | Method for recovering helium from an optical fibre manufacturing process |
| EP0879389A4 (ja) * | 1996-06-24 | 1998-12-02 | ||
| EP1116696A1 (en) * | 2000-01-14 | 2001-07-18 | The Boc Group, Inc. | Helium recovery method |
| FR2808793A1 (fr) * | 2000-05-15 | 2001-11-16 | Air Liquide | Fabrication de fibre optique refroidie a l'helium avec recyclage sans purification de l'helium |
| EP1498393A1 (en) * | 2003-07-17 | 2005-01-19 | The Boc Group, Inc. | Method for the recovery and recycle of helium and chlorine |
| US7849714B2 (en) | 2003-12-08 | 2010-12-14 | Fujikura Ltd. | Dehydration-sintering furnace |
-
1985
- 1985-05-13 JP JP10095185A patent/JPS61261223A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0879389A4 (ja) * | 1996-06-24 | 1998-12-02 | ||
| EP0820963A1 (en) * | 1996-07-26 | 1998-01-28 | Praxair Technology, Inc. | Method for recovering helium from an optical fibre manufacturing process |
| EP1116696A1 (en) * | 2000-01-14 | 2001-07-18 | The Boc Group, Inc. | Helium recovery method |
| FR2808793A1 (fr) * | 2000-05-15 | 2001-11-16 | Air Liquide | Fabrication de fibre optique refroidie a l'helium avec recyclage sans purification de l'helium |
| EP1498393A1 (en) * | 2003-07-17 | 2005-01-19 | The Boc Group, Inc. | Method for the recovery and recycle of helium and chlorine |
| JP2005035884A (ja) * | 2003-07-17 | 2005-02-10 | Boc Group Inc:The | 光ファイバーの製造方法 |
| US7261763B2 (en) | 2003-07-17 | 2007-08-28 | The Boc Group, Inc. | Method for the recovery and recycle of helium and chlorine |
| CN100387537C (zh) * | 2003-07-17 | 2008-05-14 | 波克股份有限公司 | 氦和氯的回收与循环方法 |
| US7849714B2 (en) | 2003-12-08 | 2010-12-14 | Fujikura Ltd. | Dehydration-sintering furnace |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4381512B2 (ja) | 多孔性グラファイトるつぼを使用するシリカ顆粒の処理方法 | |
| KR100261872B1 (ko) | 합성 유리질 실리카바디용 열처리 장치 및 열처리 방법 | |
| JPS63501549A (ja) | アンモニア処理法及び装置 | |
| JP2004203736A (ja) | 高純度溶融シリカの製造方法 | |
| CN1817792A (zh) | 合成硅石粉的处理方法及该方法处理的合成硅石粉 | |
| RU2198138C2 (ru) | СПОСОБ ОЧИСТКИ ЧАСТИЦ SiO2, УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ СПОСОБА И ЗЕРНО, ПОЛУЧЕННОЕ СОГЛАСНО СПОСОБУ | |
| JPS61261223A (ja) | 多孔質ガラス母材用透明ガラス化炉 | |
| JPS5929521B2 (ja) | 精製塩酸の製造法 | |
| JPH1087339A (ja) | 光ファイバ製造のためのヘリウムの回収 | |
| CN100387537C (zh) | 氦和氯的回收与循环方法 | |
| CN106219488B (zh) | 一种制备盐酸并提纯石英砂的方法及装置 | |
| CN105967190A (zh) | 一种以石英质萤石尾矿为原料制备气相白炭黑的工艺及装置 | |
| JPS57197023A (en) | Treatment of waste gas from chlorinating furnace | |
| CN106219556B (zh) | 一种以稻壳灰为原料低温制备气相白炭黑和活性炭的工艺及装置 | |
| JPS63201025A (ja) | 高純度透明ガラスの製造方法及び製造装置 | |
| NO20003835D0 (no) | FremgangsmÕte og anordning for gjenvinning av katalytiske filtre | |
| EP1717212A1 (en) | Process for consolidating a glass optical fibre preform | |
| CN1165110A (zh) | 生产试剂级盐酸的方法和设备 | |
| US20020178913A1 (en) | Helium recovery process | |
| CN106007132B (zh) | 污酸的处理方法及系统 | |
| JPS5842136B2 (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
| Baehr | Industrial vitrification processes for high-level liquid waste solutions | |
| JP3188517B2 (ja) | 石英ガラスの製造方法 | |
| KR100924637B1 (ko) | 광파이버용 모재의 제조 방법, 제조 장치 및 소결 장치 | |
| JPS5915093B2 (ja) | 無水石英系光フアイバ母材の製造装置 |