KR970702124A - 분리형 연마정반 및 그를 이용한 연마장치(separation type grinding surface plate and grinding apparatus using same) - Google Patents

분리형 연마정반 및 그를 이용한 연마장치(separation type grinding surface plate and grinding apparatus using same)

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Abstract

연마장치의 구동부에 직접 또는 수냉자켓 등을 매개로 접속된 정반본체(12)와, 이 정반본체(12)와 일체적으로 회전하고, 피연마물과 직접 또는 연마포(14)를 매개로 접촉하는 연마부용 원반(13)을 갖춘 분리형 연마정반(11)이다. 연마부용 원반(13)은 정반본체(12)에 진공 흡착 또는 자력으로 탈착자재로 보지된다. 이에 따라, 정반 청소작업이나 연마포의 다시 부침작업 등의 정밀도 확보와 노력 절감을 실현함과 더불어, 열변형 등에 의한 연마 정밀도의 저하를 방지할 수 있다. 연마장치는 상기 분리형 연마정반(11)과, 연마부용 원반(13)을 정반본체(12)에 탈착자재로 보지하는 진공계(20) 또는 자석계, 분리형 연마정반(11)을 회전구동시키는 구동계 및, 연마부용 원반(13)상에 연마액을 공급하는 연마액 공급수단(24)을 갖추고 있다.

Description

분리형 연마정반 및 그를 이용한 연마장치(SEPARATION TYPE GRINDING SURFACE PLATE AND GRINDING APPARATUS USING SAME)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 1실시예에 따른 연마장치의 구성을 모식적으로 나타낸 도면,
제2도는 제1도에 나타낸 연마장치의 분리형 연마정반을 확대하여 나타낸 단면도,
제3도는 제1도에 나타낸 연마장치에서의 분리형 연마정반의 장치방법의 변형예를 나타낸 평면도,
제4도는 제3도에 나타낸 분리형 연마정반의 단면도,
제5도는 본 발명의 다른 실시예에 따른 연마장치의 주요부 구성을 모식적으로 나타낸 도면,
제6도는 제5도에 나타낸 연마장치의 변형예를 나타낸 도면.

Claims (20)

  1. 연마장치의 구동부에 접속된 정반본체와, 상기 정반본체에, 상기 정반본체와 일체 회전가능하면서 착탈자유자재로 진공흡착 또는 자력에 의해 보지되고, 피연마물과 직접 또는 연마포를 매개로 접촉하는 연마부용 원반을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 분리형 연마정반.
  2. 제1항에 있어서, 상기 연마부용 원반은 그 두께 방향의 변형량이 허용범위를 초과하는 응력보다 작은 진공흡착력 또는 자력으로 상기 정반본체에 보지되어 있는 것을 특징으로 하는 분리형 연마정반.
  3. 제1항에 있어서, 상기 연마부용 원반은 그 두께 방향의 변형량이 허용범위를 유지하도록 상기 연마부용 원반의 면방향에 따라 얻는 진공흡착력 또는 자력으로 상기 정반본체에 보지되어 있는 것을 특징으로 하는 분리형 연마정반.
  4. 제1항에 있어서, 상기 정반본체에는 상기 연마부용 원반을 진공흡착하기 위하여 흡인구멍이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 분리형 연마정반.
  5. 제4항에 있어서, 상기 흡인구멍은 상기 정반본체에 거의 균등하게 다수 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 분리형 연마정반.
  6. 제1항에 있어서, 상기 연마부용 원반을 상기 정반본체에 자력에 의해 보지하는 자석계를 갖춘 것을 특징으로 하는 분리형 연마정반.
  7. 제6항에 있어서, 상기 자석계는 상기 정반본체의 내부에 배치되고, 상기 연마부용 원반을 상기 정반본체에 자력흡착하는 복수의 전자석 또는 영구자석을 갖춘 것을 특징으로 하는 분리형 연마정반.
  8. 제6항에 있어서, 상기 자석계는 지지체에 고착된 상태로 상기 연마부용 원반의 상부에 배치된 영구자석을 갖춘 것을 특징으로 하는 분리형 연마정반.
  9. 제1항에 있어서, 상기 연마부용 원반은 Ni 및 CO로부터 선택되는 적어도 1종을 함유한 저열팽창성 철계재료로 구성된 것을 특징으로 하는 분리형 연마정반.
  10. 제1항에 있어서, 상기 연마부용 원반은 Ni 및 Cr로부터 선택되는 적어도 1종을 함유한 내식성 철계재료로 구성된 것을 특징으로 하는 분리형 연마정반.
  11. 제1항에 있어서, 상기 연마부용 원반은 경량비철금속재료로 구성된 것을 특징으로 하는 분리형 연마정반.
  12. 제1항에 있어서, 상기 연마부용 원반은 동계 또는 알루미늄계의 고열전도성 금속재료로 구성된 것을 특징으로 하는 분리형 연마정반.
  13. 제1항에 있어서, 상기 연마부용 원반은 섬유강화복합재료로 구성된 것을 특징으로 하는 분리형 연마정반.
  14. 제1항에 있어서, 상기 연마부용 원반과 상기 정반본체는 연마시에 동등의 열팽창량으로 되도록 구성된 것을 특징으로 하는 분리형 연마정반.
  15. 흡인구멍을 갖춘 정반본체와, 상기 정반본체와 일체 회전가능하면서 착탈자유자재로 진공흡착에 의해 상기 정반본체에 보지된 연마부용 원반을 갖춘 것을 특징으로 하는 분리형 연마정반과, 상기 연마부용 원반을 상기 흡인구멍을 매개로 진공흡인하여 상기 연마부용 원반을 상기 정반본체에 보지하는 진공계, 상기 정반본체에 접속된 구동축을 매개로 상기 분리형 연마정반을 회전구동시키는 구동계 및, 상기 연마부용 원반 상에 연마액을 공급하는 연마액공급수단을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 연마장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 연마부용 원반의 두께 방향의 변형량이 허용범위를 초과하는 응력보다 작은 진공흡착력으로 상기 연마부용 원반을 진공흡인하는 것을 특징으로 하는 연마장치.
  17. 제15항에 있어서, 상기 연마부용 원반을 상기 정반본체로부터 떼어낼 때에, 상기 정반본체와 상기 연마부용 원반의 사이에 가압기체를 공급하는 가압기체공급계를 더 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 연마장치.
  18. 정반본체와, 상기 정반본체와 일체 회전가능하면서 착탈자유자재로 상기 정반본체에 보지된 연마부용 원반, 상기 연마부용 원반을 상기 정반본체에 자력에 의해 보지하는 자력계를 갖춘 분리형 연마정반과, 상기 정반본체에 접속된 구동축을 매개로 상기 분리형 연마정반을 회전구동시키는 구동계 및, 상기 연마부용 원반상에 연마액을 공급하는 연마액 공급수단을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 연마장치.
  19. 제18항에 있어서, 상기 자석계는 상기 연마부용 원반의 두께 방향의 변형량이 허용범위를 초과하는 응력보다 작은 자력을 갖춘 것을 특징으로 하는 분리형 연마정반.
  20. 제18항에 있어서, 상기 연마부용 원반을 상기 정반본체로부터 떼어낼 때에, 상기 정반본체와 상기 연마부용 원반의 사이에 가압기체를 공급하는 가압기체공급계를 더 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 연마장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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