KR960015777A - 폴리싱장치 - Google Patents

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도요미 니시
마나부 쯔지무라
다마미 다까하시
히로미 야지마
리이찌로 아오끼
유끼오 이모또
쇼이찌 고다마
가즈아끼 히무까이
기스께 고우노
다까노부 니시무라
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후지무라 히로유끼
가부시키가이샤 에바라 세사쿠쇼
사또 후미오
가부시키가이샤 도시바
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    • B24B37/11—Lapping tools
    • B24B37/12—Lapping plates for working plane surfaces

Abstract

본 발명에 따른 폴리싱장치는 폴리싱 작동중에 불균일한 부하아래서 거의 변형되지 않는 분리가능한 경량의 직물카트리지를 포함한다. 이것은, 직물카트리지 및 턴테이블 사이에 기계적 또는 비기계적 고정방법을 적용함으로써 달성된다. 기계적 방법은 직물카트리지를 턴테이블에 직물카트리지의 중앙부 뿐만 아니라 주변부에서도 부착하는 것을 수반한다. 비기계적 방법은 진공흡입장치에 의해 직물카트리지를 턴테이블에 부착하는 것을 수반한다. 직물카트리지 및 턴테이블의 완성된 조립체는 일정한 레벨의 폴리싱표면을 유지함으로서 폴리싱된 반도체웨이퍼를 대단히 편평하게 할 뿐만 아니라 폴리싱 처리중에 발생할 수 있는 웨이퍼의 손상을 예방함으로써 생산산출량을 향상시키는 효과가 있다.

Description

폴리싱장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 직물카트리지 폴리싱장치의 제1실시예의 단면도.

Claims (12)

  1. 대상물을 폴리싱하여 상기 대상물에 편평한 경면식폴리싱을 제공하는 폴리싱장치에 있어서; 상기 대상물을 폴리싱하는 회전하는 턴테이블과, 상기 턴테이블에 제거가능하게 장착되어 함께 회전하는 기저부재에 부착된 폴리싱직물을 포함하는 직물카트리지와, 상기 폴리싱직물의 폴리싱표면에 폴리싱액을 전달하는 공급수단, 및 상기 폴리싱직물의 상기 폴리싱표면상에 상기 대상물을 가압하는 가압수단을 포함하여 이루어지고; 상기 직물카트리지는 상기 직물카트리지의 중심부 뿐만 아니라 주변부에서도 상기 턴데이블에 제거가능하게 부착되는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 직물카트리지는, 두께 t 및 직경 d의 비율 d/t가 0.005 내지 0.05의 범위인 디스크 형상인 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 직물카트리지는 상기 턴테이블에 대하여 상기 직물카트리지의 미끄러짐을 예방하는 결합부를 구비하는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 직물카트리지는 상기 폴리싱직물을 보호하는 커버부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 직물카트리지는 상기 직물카트리지의 분리 및 전송을 위한 조작수단을 예방하는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 직물카트리지의 상기 기저부재는 스틸합금, 알루미늄합금, 및 플라스틱물질을 포함하는 그룹으로부터 선택된 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  7. 대상물을 폴리싱하여 상기 대상물에 편평한 경면식폴리싱을 제공하는 폴리싱장치에 있어서; 상기 대상물을 폴리싱하는 회전하는 턴테이블과, 상기 턴테이블에 제거가능하게 장착되어 함께 회전하는 기저부재에 부착된 폴리싱직물을 포함하는 직물카트리지와, 상기 폴리싱직물의 폴리싱표면에 폴리싱액을 전달하는 공급수단, 및 상기 폴리싱직물의 상기 폴리싱표면상에 상기 대상물을 가압하는 가압수단을 포함하여 이루어지고; 상기 직물카트리지는 진공흡입수단에 의해 상기 턴테이블에 분리가능하게 부착되는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 직물카트리지는, 두께 t 및 직경 d의 비율 d/t가 0.005 내지 0.05의 범위인 디스크 형상인 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 직물카트리지는 상기 턴테이블에 대하여 상기 직물카트리지의 미끄러짐을 예방하는 결합부를 구비하는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  10. 제7항에 있어서, 상기 직물카트리지는 상기 폴리싱직물을 보호하는 커버부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  11. 제7항에 있어서, 상기 직물카트리지는 상기 직물카트리지의 분리 및 전송을 위한 조작수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  12. 제7항에 있어서, 상기 직물카트리지의 상기 기저부재는 스틸합금, 알루미늄합금 및 플라스틱물질을 포함하는 그룹으로부터 선택된 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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