JP5789870B2 - 防浸構造を備えた研磨パッド用補助板および研磨装置 - Google Patents
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Description
研磨装置:不二越機械工業株式会社製「RDP−500」(商品型番)
研磨対象:1.5μm銅膜付きのφ200mmシリコン基板
研磨パッド:ニッタ・ハース株式会社製「IC1000」(商品型番)
クッション層「SUBA400」(商品型番)
スラリー等:(株)フジミインコーポレーテッド製「PLANERLITE−7150」(商品型番)の研磨液1に対して、純水2を混合し、更に過酸化水素水(濃度30w/v%)を3v/v%混合したものを使用。(具体的には、例えば研磨液1L+純水2L+過酸化水素水90mlの混合物を使用。)
研磨条件:研磨試験1,2共に、研磨圧力105gf/cm2 、パッドと基板(研磨対象)の回転数は何れも140rpm、スラリー等供給量100ml/minで1分間研磨。
研磨精度の測定:研磨試験1,2共に、基板の銅膜の厚みを互いに直交する2方向の径線上において等間隔に17点で、膜厚計により研磨レートを実測した。それら17点の測定結果の標準偏差を用いて、研磨精度を把握した。
膜厚計:オクスフォード・インスツルメント(OXFORD INSTRUMENT)社製「CMI760N」(商品型番)
[研磨試験1]
(A)新品パッドにシール(防浸)を施してある補助板
研磨レート:0.59μm
研磨レートの標準偏差:0.06μm
(B)新品パッドにシール(防浸)を施していない補助板
研磨レート:0.60μm
研磨レートの標準偏差:0.06μm
[研磨試験2]
(A)使用済みパッドにシール(防浸)を施してある補助板
研磨レート:0.59μm
研磨レートの標準偏差:0.06μm
(B)使用済みパッドにシール(防浸)を施していない補助板
研磨レート:0.60μm
研磨レートの標準偏差:0.12μm
[(A)新品パッドにシール(防浸)を施してある補助板]
研磨前重量:1974g
研磨後重量:1985g
含浸スラリー等重量:10g
[(B)新品パッドにシール(防浸)を施していない補助板]
研磨前重量:1974g
研磨後重量:2008g
含浸スラリー等重量:34g
Claims (7)
- パッド支持面を有しており回転定盤に対して着脱可能とされた補助板本体に対して、研磨層の裏側にクッション層が設けられた研磨パッドが該パッド支持面に重ね合わされて固着されるようになっていると共に、該クッション層の外周面を覆って該クッション層へのスラリー等の含浸を防止する外周防浸手段が該補助板本体を用いて形成されており、
前記研磨層が前記クッション層に対して剥離可能とされた積層構造の前記研磨パッドを含んで構成されていると共に、
前記補助板本体の前記パッド支持面に対して前記研磨パッドの裏面を固着する第一の固着手段と、該研磨パッドにおいて前記クッション層に対して前記研磨層を固着する第二の固着手段とが、設けられており、該第一の固着手段による該補助板本体と該研磨パッドとの固着力が、該第二の固着手段による該クッション層と該研磨層との固着力に比して大きくされていること
を特徴とする研磨パッド用補助板。 - 前記研磨パッドにおける前記クッション層の外周面を覆う防浸材が、前記補助板本体における前記パッド支持面の外周側部分によって支持されて設けられることにより、前記外周防浸手段が構成されている請求項1に記載の研磨パッド用補助板。
- 前記補助板本体の上面中央部分には、前記研磨パッドの厚さ寸法よりも小さな深さ寸法でパッド装着凹所が形成されており、該パッド装着凹所の底面が前記パッド支持面とされている請求項1又は2に記載の研磨パッド用補助板。
- 前記補助板本体の前記パッド装着凹所の周壁内面と前記研磨パッドの前記クッション層の外周面との径方向対向面間の隙間の上方への開口部分を封止する封止材が設けられている請求項3に記載の研磨パッド用補助板。
- 前記補助板本体の前記パッド装着凹所の深さ寸法が、前記研磨パッドの前記クッション層の厚さ寸法以上とされている請求項3又は4に記載の研磨パッド用補助板。
- 前記補助板本体の前記パッド装着凹所の周壁内面が前記研磨パッドの前記クッション層の外周面に対して全体に亘って重ね合わされている請求項5に記載の研磨パッド用補助板。
- 請求項1〜6の何れか1項に記載の研磨パッド用補助板が、回転定盤の上面に重ね合わされて着脱可能に取り付けられていることを特徴とする研磨装置。
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