JP5789869B2 - 研磨パッド用補助板および研磨パッド用補助板を備えた研磨装置 - Google Patents

Description

本発明は、シリコンウエハや半導体基板、ガラス基板等のような高い平坦加工精度が要求される被加工物である基板を対象とする研磨に関連する技術に係り、特に、かかる基板の表面を研磨する際に用いられる研磨パッドの再使用を実現可能とする技術に関するものである。

良く知られているように、半導体の製造に際しては、構成材となるシリコンウエハや半導体基板、ガラス基板等の基板の表面を平坦化する研磨処理が行われている。かかる研磨処理は、一般に、樹脂材等からなる円板形状の研磨パッドを研磨装置の回転定盤の上に両面テープで直接固定し、砥粒を含んだ研磨液を供給しつつ、研磨パッドと基板を相対的に回転運動させて研磨を行うことによって実施されている。

そして、このような研磨処理を実施するための研磨パッドとしては、特開２００２−１１６３０号公報（特許文献１）等に記載されているように、発泡又は無発泡のウレタン等からなる樹脂パッドが採用されている。また、かかる研磨パッドの研磨表面には、多くの場合、同心円状や格子状、放射状等の溝加工が施されたり、発泡樹脂の気泡が開口される等している。

ところで、研磨パッドを用いた研磨加工を行う場合には、研磨対象である基板の品種切り替え等に際して、研磨加工に使用する研磨パッドを回転定盤から引き剥がして別の研磨パッドに交換しなければならない場合がある。また、例えば、研磨加工に伴って劣化した研磨パッドを、その再使用等を目的として、別の加工装置で表面溝入れ等の再加工するような場合等においても、研磨パッドを回転定盤から引き剥がすことが必要となる。

ところが、薄肉円板形状の研磨パッドは、研磨装置の回転定盤に対して粘着テープで強固に固着されていることから、この研磨パッドを回転定盤から引き剥がす際に、研磨パッドに対して曲がりや折れ、シワ、破れ等の損傷が発生し易い。それ故このような損傷が原因で、かかる研磨パッドを、寿命がきていないにもかかわらず、再使用できずに廃棄せざるを得なくなることが多いという問題があった。

しかも、損傷しないように細心の注意を払いつつ研磨パッドを回転定盤から引き剥がす作業は、熟練と注意を要することから作業者に大きな負担をかけるという問題もあった。加えて、研磨パッドを回転定盤から引き剥がす作業に相当の時間が必要となることから、高価で貴重な設備である研磨装置を長時間に亘って停止させなければならず、設備の稼働時間が制限されてしまうという問題もあった。

そこで、本発明者は、先に特開２０１０−２１４５７９号公報（特許文献２）において、研磨パッドの裏面に補助板を取り付け、この補助板を介して、研磨パッドを研磨装置の回転定盤に対して両面テープ等で固着するようにした補助板付き研磨パッドを提案した。かかる補助板付き研磨パッドでは、研磨パッドが補助板で支持されたままの状態を保ちつつ回転定盤に対して着脱されることから、着脱に際しての研磨パッドの損傷が補助板で補強される。それ故、研磨パッドの損傷を防止しつつ、回転定盤に対して研磨パッドを良好な作業性をもって着脱することが可能となる。

ところが、本発明者が更なる研究と検討を重ねたところ、特許文献２で提案した補助板付き研磨パッドでは、必ずしも全ての研磨装置への対応が容易であると言い難いことがわかった。

すなわち、研磨パッドを回転定盤に重ね合わせて固着する際には、研磨パッドの中心を回転定盤の回転中心に位置合わせする必要があり、特に研磨表面に溝等が施された研磨パッドでは中心位置合わせに精度が要求される。そして、上述の如き補助板を採用することで回転定盤に対する研磨パッドの着脱回数が増加すると、より一層、研磨パッドを回転定盤に装着する際の中心位置合わせの作業が難しくて労力負担が大きいということが大きな問題となるのである。

また、特許文献２で提案した補助板付き研磨パッドでは、補助板を回転定盤に対して中心位置合わせしつつ着脱可能に取り付けるために、補助板と回転定盤との間において、例えば回転定盤の外周面上に外周リングなどの固着手段が設けられる場合がある。一方、研磨装置のなかには、回転定盤の外周側に保護カバー等が装着されて、回転定盤の外周側のスペースが非常に狭くなっているものもある。それ故、仮に、そのような外周リングを採用しようとした場合に、たまたま回転定盤の外周側のスペースが狭い研磨装置を用いる際には、研磨装置の改造などが必要となるおそれもあったのである。

特開２００２−１１６３０号公報 特開２０１０−２１４５７９号公報

本発明は上述の如き事情を背景として為されたものであり、回転定盤に対する研磨パッドの固着力を充分に確保しつつ、回転定盤に対する研磨パッドの着脱を容易に行うことを可能と為し、特に回転定盤から研磨パッドを取り外すに際しての研磨パッドの損傷を防止することが出来て、例えば研磨パッドの再利用の実現にも有利とされ得る、新規な構造の研磨パッド用補助板を提供することにある。

それに加えて、本発明は、研磨パッドを回転定盤に装着する際の中心合わせの作業を容易に且つ精度良く行うことが出来て、労力負担も軽減され得ると共に、従来の各種仕様の研磨装置における回転定盤にも特別な改造を必要とすることなく容易に且つ有利に適用され得る、改良された構造の研磨パッド用補助板を提供することも、目的とする。

さらに、本発明は、かかる新規な構造とされた研磨パッド用補助板を備えた研磨装置を提供することも、目的とする。

かかる課題を解決するために、研磨パッド用補助板に関する本発明の第一の態様は、（Ａ）研磨装置の回転定盤に装着されて、研磨パッドを該回転定盤に対して着脱可能に取り付ける研磨パッド用補助板において、（Ｂ）前記回転定盤の上面に重ね合わされて配される下側補助板と、（Ｃ）該下側補助板を該回転定盤に固着する第一の固着手段と、（Ｄ）前記研磨パッドが重ね合わされて固着されるパッド支持面を備えており、該下側補助板の上面に重ね合わされて配される上側補助板と、（Ｅ）該上側補助板を該下側補助板に固着する第二の固着手段と、（Ｆ）該下側補助板と該上側補助板とを相互に位置決めして中心軸を合わせる位置決め手段とを、有しており、前記研磨装置の前記回転定盤に対して前記下側補助板が前記第一の固着手段による固着状態に保持されて、該回転定盤に固着された該下側補助板から前記上側補助板を取り外すことにより、該上側補助板の前記パッド支持面に固着されたままの状態で前記研磨パッドを該回転定盤から取り外すことが可能とされていると共に、取り外した該上側補助板を該下側補助板に対して前記位置決め手段による位置合わせ状態で再び固着せしめて取り付けることが可能とされており、且つ、前記第二の固着手段による前記下側補助板と前記上側補助板との固着力が、前記第一の固着手段による前記回転定盤と該下側補助板との固着力よりも小さくされている研磨パッド用補助板を特徴とする。

本発明に従う構造とされた研磨パッド用補助板では、研磨パッドを、上側補助板および下側補助板を介して、回転定盤に固着して装着することとなる。これにより、下側補助板を回転定盤に固着したまま、下側補助板から上側補助板を取り外すことが出来、研磨パッドを上側補助板に固着されたままの状態で回転定盤から取り外すことが可能となる。

それ故、研磨パッドが上側補助板で補強および保護された状態で、研磨パッドの損傷を防止しつつ、研磨パッドを回転定盤から取り外すことが出来、薄肉の研磨パッドの取り扱いも容易となる。そして、例えば研磨対象物や研磨条件の変更等に際して研磨パッドの着脱を繰り返す際や、磨耗した研磨パッドを取り外して再生処理後に再装着する際などにおいて、回転定盤への研磨パッドの着脱や研磨パッドに対する再生処理等の作業を容易に行うことも可能となる。

しかも、回転定盤に固着されたままの下側補助板と、研磨パッドと共に取り外される上側補助板とが、位置決め手段により相互に中心軸合わせされることから、回転定盤への位置合わせが必要となる研磨パッドの着脱作業を一層容易に行うことができる。特に、かかる位置決め手段が、下側補助板と上側補助板との間に設けられていることから、回転定盤に対して特別な加工等を施す必要がない。また、かかる位置決め手段が、回転定盤よりも外周側に大きく突出することが回避され得、例えば回転定盤の外周側に保護カバー等が設けられている研磨装置などにも、特別な改造を施すことなく適用可能とされる。

上記本発明の第一の態様に係る研磨パッド用補助板においては、前記第二の固着手段による前記下側補助板と前記上側補助板との固着力が、前記第一の固着手段による前記回転定盤と該下側補助板との固着力よりも小さくされている態様が、採用されている。

このような第一の態様に従えば、第一及び第二の固着手段における固着力を相互に調整して設定したことにより、研磨パッドが固着されたままの上側補助板を、回転定盤に固着されたままの下側補助板から取り外す作業が一層容易となる。要するに、下側補助板を回転定盤に対して固着状態に保つための特別な操作等を必要とすることなく、下側補助板を回転定盤への固着状態に残しつつ研磨パッドを上側補助板に固着されたままの状態で回転定盤から容易に取り外すことが可能になる。

本発明の第二の態様は、前記第一の態様に係る研磨パッド用補助板において、前記位置決め手段が、前記下側補助板および前記上側補助板の外周面よりも内周側に位置して設けられているものである。

本態様の研磨パッド用補助板では 位置決め手段における上下補助板の外周側への突出が完全に回避される。それ故、例えば上下補助板の外径寸法を回転定盤の外径寸法と同じか僅かに小さく設定して装着する場合でも、研磨パッドの支持面を十分に大きく確保しつつ、回転定盤から外周側に位置決め手段が突出することを回避することが出来、回転定盤の外周側に保護カバー等が設置されていても、本発明に係る研磨パッド用補助板の適用に際して障害となることが回避される。

本発明の第三の態様は、前記第二の態様に係る研磨パッド用補助板において、前記位置決め手段が、前記下側補助板と前記上側補助板との一方に設けられて他方に向かって突出する係合凸部と、該下側補助板と前記上側補助板との他方に設けられて該係合凸部が係合せしめられる係合凹部とによって構成されているものである。

本態様の研磨パッド用補助板では、係合凸部と係合凹部との相互係合作用に基づいて、機械的に大きな位置決め力を容易に得ることが可能となる。また、係合凸部や係合凹部の形状や大きさ、数などを調節することにより、位置決め作用の方向や作用力を大きな自由度で容易に設定することも可能となる。

本発明の第四の態様は、前記第三の態様に係る研磨パッド用補助板において、前記係合凸部および前記係合凹部が、前記下側補助板および前記上側補助板の外周部分に位置する係合部をもって形成されているものである。

本態様の研磨パッド用補助板では、研磨パッド用補助板の中央から離れた外周部分に位置して、相互に凹凸嵌合せしめられる係合凸部の係合外周面と係合凹部の係合内周面とを形成することにより、上下補助板の相対的な位置決め精度、特に径方向の位置決め精度の向上が図られ得る。なお、後述の第六及び第七の態様にも示されているように、係合凸部の係合外周面および係合凹部の係合内周面は、研磨パッド用補助板の中心周りで研磨パッド用補助板の外周縁部に沿って周方向に延びる形態であっても良いし、研磨パッド用補助板の外周部分に形成された係合凸部と係合凹部のように周上で部分的に位置する形態であっても良い。

本発明の第五の態様は、前記第四の態様に係る研磨パッド用補助板において、前記係合凸部および前記係合凹部における前記係合部が、前記下側補助板および前記上側補助板の周方向に連続して延びて相互に嵌め合わされる環状の係合外周面および係合内周面によって構成されているものである。

本態様の研磨パッド用補助板において、より好適には、研磨パッド用補助板の中心軸回りに広がる環状の係合内外周面をもって係合凹部と係合凸部が形成されることとなり、それによって、上側補助板の下側補助板への装着時に周方向での相互の位置合わせが必要なくなり、容易且つ速やかに作業することが可能となる。

本発明の第六の態様は、前記第四の態様に係る研磨パッド用補助板であって、前記下側補助板および前記上側補助板の外周部分における周上の複数箇所において、前記下側補助板と前記上側補助板との相互の重ね合わせ面の一方において他方に向かって開口する前記係合凹部と、該下側補助板と前記上側補助板との相互の重ね合わせ面の他方において一方に向かって突出する前記係合凸部とが、互いに対応する位置に形成されており、該係合凹部に対する該係合凸部の嵌まり込みによって前記係合部が構成されているものである。

本態様の研磨パッド用補助板では、上下補助板の相互の位置合わせを軸直角方向だけでなく中心軸回りの周方向でも容易に実現することが可能となる。

本発明の第七の態様は、前記第四の態様に係る研磨パッド用補助板において、前記下側補助板と前記上側補助板との一方の外周部分における周上の複数箇所から他方に向かって突出する前記係合凸部が弾性材によって形成されており、該下側補助板と前記上側補助板との他方における外周面に開口して設けられた前記係合凹部に対して該係合凸部の先端が係合されることにより前記係合部が構成されているものである。

本態様の研磨パッド用補助板では、上下補助板の外周面上に係合部を露出させて形成することが可能であり、それによって係合部の係合状態を目視等で容易に確認することが可能となる。また、本態様では、係合凸部の弾性を利用して係合部における係合状態が安定して保たれ得る。

本発明の第八の態様は、前記第三の態様に係る研磨パッド用補助板において、前記係合凸部および前記係合凹部が、前記下側補助板および前記上側補助板の中心軸上に設けられているものである。

本態様の研磨パッド用補助板では、上下補助板の中心軸上に係合凸部および係合凹部を設けたことにより、一つの係合部によって上下補助板の中心軸合わせを行うことが可能になる。また、中心軸上に設けられた係合凸部と係合凹部の相互の位置合わせに際しては、上下補助板の周方向での相互の位置合わせが必要なく、それら係合凸部と係合凹部を容易に係合状態とすることも可能になる。

本発明の第九の態様は、前記第八の態様に係る研磨パッド用補助板において、前記係合凸部の外周面と前記係合凹部の内周面とにおいて互いに螺合するねじ溝が形成されており、前記位置決め手段を構成する該係合凸部と該係合凹部との螺合により前記第二の固着手段が構成されているものである。

本態様の研磨パッド用補助板では、位置決め手段により、上側補助板と下側補助板との固着力を得ることができる。それ故、かかる位置決め手段のみによって第二の固着手段を構成したり、第二の固着手段による上下補助板間の固着力を位置決め手段で補助的に構成することも可能となる。

本発明の第十の態様は、前記第三，四，五，六，八，九の何れかの態様に係る研磨パッド用補助板において、前記下側補助板と前記上側補助板との一方に設けられた前記係合凸部が、該下側補助板と該上側補助板との一方と同じ材質で形成されているものである。

本態様の研磨パッド用補助板では、上下で重ね合わされた補助板における研磨パッドの支持特性が、係合凸部の形成部分で局所的に大きく異なることを防止することが可能となる。それ故、パッド研磨加工に際して押圧力が研磨パッド表面に作用した際、かかる研磨パッドを支持している上下補助板における係合凸部や係合凹部の形成部位において、押圧反力や研磨パッド弾性などの特性が局部的に異なることに起因する研磨精度などの不具合を軽減乃至は回避することが可能になる。

さらに、本発明は、前記第一〜十の何れかの態様に記載の本発明に係る研磨パッド用補助板が回転定盤の上面に装着されると共に、該回転定盤の外周側に隙間を隔てて保護部材が配設されており、該回転定盤および該研磨パッド用補助板の外周端面よりも内周側に位置して、前記位置決め手段が設けられている研磨装置も、特徴とする。

本発明に従う構造とされた研磨パッド用補助板を採用し、または本発明に従う構造とされた研磨装置を用いることによって、研磨パッドの損傷を防止しつつ、研磨パッドを回転定盤から容易に取り外したり装着したりすることが可能となるのであり、研磨パッドの装着に際しての回転定盤への位置合わせも容易に且つ精度良く行うことが可能となる。

本発明の第一の実施形態としての研磨パッド用補助板を装着した研磨装置の要部を示す縦断面図。 図１に示された研磨装置において研磨パッドを取り外した状態を示す縦断面の説明図。 本発明の第二の実施形態としての研磨パッド用補助板を装着した研磨装置の要部を示す縦断面図。 図３に示された研磨装置において研磨パッドを取り外した状態を示す縦断面の説明図。 本発明の第三の実施形態としての研磨パッド用補助板を装着した研磨装置の要部を示す縦断面図。 図５に示された研磨装置において研磨パッドを取り外した状態を示す縦断面の説明図。 本発明の第四の実施形態としての研磨パッド用補助板を装着した研磨装置の要部を示す縦断面図。 図７に示された研磨装置において研磨パッドを取り外した状態を示す縦断面の説明図。 本発明の第五の実施形態としての研磨パッド用補助板を装着した研磨装置の要部を示す縦断面図。 図９に示された研磨パッド用補助板を構成する下側補助板の側面図。 図１０に示された下側補助板の平面図。 本発明の第六の実施形態としての研磨パッド用補助板を装着した研磨装置の要部を示す縦断面図。 本発明の第七の実施形態としての研磨パッド用補助板を装着した研磨装置の要部を示す縦断面図。 本発明の第八の実施形態としての研磨パッド用補助板を装着した研磨装置の要部を示す縦断面図。 本発明の第九の実施形態としての研磨パッド用補助板を取り外した状態を示す縦断面の説明図。 本発明の第十の実施形態としての研磨パッド用補助板を取り外した状態を示す縦断面の説明図。 本発明の第十一の実施形態としての研磨パッド用補助板を取り外した状態を示す縦断面の説明図。 本発明の第十二の実施形態としての研磨パッド用補助板を取り外した状態を示す縦断面の説明図。 本発明の第十三の実施形態としての研磨パッド用補助板を取り外した状態を示す縦断面の説明図。 本発明の第十四の実施形態としての研磨パッド用補助板を位置決めした状態を示す縦断面の説明図。 本発明の第十五の実施形態としての研磨パッド用補助板を位置決めした状態を示す縦断面の説明図。 本発明の第十六の実施形態としての研磨パッド用補助板を取り外した状態を示す縦断面の説明図。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。先ず、図１〜２には、本発明の第一の実施形態としての研磨パッド用補助板１０が示されている。この研磨パッド用補助板１０は、研磨装置１２の回転定盤１４に装着されて用いられ、回転定盤１４に対して研磨パッド１６を着脱可能に取り付けるようになっている。

研磨装置は、例えば特開２０１０−１４１１５５号公報等に記載されているように例えばＣＭＰ装置として用いられるものであって、基本構造は周知であるが要部を説明すると、先ず基礎ベース上に固定設置された装置本体によって鉛直方向に延びる回転軸が回転可能に支持されており、この回転軸の上端部に円盤形状の回転定盤１４が固設されている。かかる回転定盤１４は、水平方向に広がる平坦な上面１８を有しており、この上面１８が研磨パッド１６の支持面とされている。また、回転軸には、電気モータの回転出力軸が連結されており、電気モータの駆動力が伝達されることで回転軸ひいては回転定盤１４が中心軸回りに回転駆動されるようになっている。なお、研磨パッド１６を支持する上面１８の上方には、研磨用スラリを供給するノズルが配置されると共に、研磨対象（被研磨物）であるウェハ等を保持して回転させつつ研磨パッド１６に押し付けることで研磨加工を施す研磨ヘッドが配設されている。

このような研磨装置において、その回転定盤１４に装着された研磨パッド用補助板１０は、下側補助板２０および上側補助板２２を含んでいる。そして、回転定盤１４の上面１８に対して、下側補助板２０が第一の固着手段２４で固着されており、更に、下側補助板２０の上面に対して、上側補助板２２が第二の固着手段２６で固着されている。即ち、下側補助板２０と上側補助板２２は、第二の固着手段２６を介して相互に重ね合わされて固着されることにより、全体として二層構造とされた研磨パッド用補助板１０を構成しており、第一の固着手段２４により回転定盤１４の上面１８に取り付けられている。

下側補助板２０および上側補助板２２は、何れも、薄肉の略円形平板形状とされており、平坦な表面（上面）と裏面（下面）を有している。これらの上下補助板２２，２０は、装着される研磨パッド１６よりも硬質材料であるものや、研磨パッド１６よりも部材剛性が大きいものが望ましい。使用方法にもよるが、後述するように下側補助板２０は回転定盤１４への取り付け後に着脱を繰り返さない使用も可能である一方、上側補助板２２は回転定盤１４への取り付け後に着脱を繰り返すことが予定されることから、少なくとも上側補助板２２は、研磨パッド１６よりも部材剛性が大きいものを採用することが望ましい。

尤も、上側補助板２２は、研磨パッド１６を支持せしめて、研磨装置１２による研磨加工の他、研磨パッド表面へのドレッシング、清掃、再溝入などの各種の処理に際して要求される強度や剛性、形状安定性及び精度を満足するものであれば良く、その材質や厚さ寸法は限定されるものでない。特に、下側補助板２０だけでなく上側補助板２２も、それ単体で、研磨パッド１６の支持強度や剛性等を負うものでなく、例えば研磨加工に際しては研磨装置１２の回転定盤１４の上に重ね合わされて使用されることで、回転定盤１４で下面を支持されるものであることから、単体での強度や剛性がそれ程迄に要求されるものでない。それ故、ステンレス鋼等の金属の他、合成樹脂や繊維強化樹脂等も、下側補助板２０や上側補助板２２の形成材料として採用され得る。特に、合成樹脂材は金属材に比して軽量で加工や取扱いが容易であり、例えばポリカーボネート等は、厚さ寸法精度の安定性や温度変化に対する低歪み特性にも優れているといった利点がある。

また、研磨パッド１６の全体に亘って安定した支持力を得るためには、上側補助板２２の外径寸法を研磨パッド１６の外径寸法の値以上に設定することが望ましく、且つ下側補助板２０の外径寸法を上側補助板２２の外径寸法の値以上に設定することが望ましく、更に下側補助板２０の外径寸法を回転定盤１２の外径寸法の値以下に設定することが望ましい。特に、図１，２に示されているように、下側補助板２０および上側補助板２２の外径寸法を略同じにすると共に、装着される回転定盤１４の外径寸法とも略同じとすることにより、研磨パッド１６の支持面積を十分に大きく確保することが可能になる。これにより、回転定盤１４と略同じ大きさの研磨パッド１６を、その全体に亘って略同じ支持力をもって回転定盤１４に装着することが可能となる。

更にまた、第一の固着手段２４および第二の固着手段２６としては、研磨に際して及ぼされる外力に対抗して、回転定盤１４の上面１８へ下側補助板２０および上側補助板２２を固着状態に保持し得るものであればよく、特に限定されるものでない。具体的には、接着剤や粘着剤、または基材シートの両面に接着剤や粘着剤が付着等された両面テープなどが、第一及び第二の固着手段２４，２６として採用され得るが、その他、負圧エア等を利用した負圧吸引や、永久磁石又は電磁石を利用した磁力吸引なども採用可能である。また、これらの接着剤等からなる固着手段は、下側補助板２０や上側補助板２２において平坦な重ね合わせ面の略全面に亘って略均一に固着力を及ぼすことが望ましく、それによって、大きな固着力を得ることが出来ると共に、研磨パッド用補助板１０の表面において研磨パッド１６の支持特性が局所的に異なる不具合等を回避できる。

例えば負圧吸引や電磁石では固着力をＯＮ／ＯＦＦできるが、接着剤等のように一定の固着力が及ぼされる場合には、第一の固着手段２４による回転定盤１４に対する下側補助板２０の固着力に比して、第二の固着手段２６により下側補助板２０に対する上側補助板２２の固着力が小さくなるように設定されることが望ましい。これにより、上側補助板２２を下側補助板２０から引き剥がして取り外す際、下側補助板２０を回転定盤１４上に固着せしめたまま残置させておくことが容易に実現可能となる。このような固着力の相違の具体的な実現は、接着剤や粘着剤の材質など固着手段そのものを相互に異ならせる他、固着面積や固着面の状態（面粗さやプラズマ等の処理有無など）を相互に異ならせること等によっても実現可能である。

さらに、上側補助板２２の表面（上面）は研磨パッド支持面となっており、研磨パッド１６が重ね合わされて取り付けられている。かかる研磨パッド１６は、従来から公知の各種の研磨パッドを採用することが出来る。そして、この研磨パッド１６の裏面が、上側補助板２２の表面に対して、研磨パッド貼付用として従来公知の粘着テープや適当な接着剤等を利用して固着されている。

なお、研磨パッド１６の上側補助板２２への固着手段は前述の第二の固着手段２６よりも、大きな固着力を設定することが望ましい。これにより、研磨パッド１６が固着されたままの状態で上側補助板２２を下側補助板２０から取り外す際に、上側補助板２２が湾曲等しても研磨パッド１６が上側補助板２２から予期せずに剥がれることが効果的に防止され得る。

また、研磨パッド１６の外径寸法は、一般に規格値とされるが、多くの場合、装着される回転定盤１４の上面１８の外径寸法と同じか小さく設定される。

さらに、例えば回転定盤１４の上面１８と下側補助板２０との間、下側補助板２０と上側補助板２２との間、上側補助板２２と研磨パッド１６との間の少なくとも一つにおいて、適当なクッション層を設けても良い。このようなクッション層を設けることにより、研磨パッド１６による研磨加工に際して、被加工物に対する研磨効率の全面に亘る均一化を図ることが可能となる。

かかるクッション層としては、例えば発泡によってある程度の圧縮性が付与された樹脂シートや、エラストマーシート、ゴムシート等が好適に採用され得る。また、第一の固着手段２４や第二の固着手段２６、研磨パッド１６の上側補助板２２への固着手段によって、クッション層を構成することも可能である。なお、クッション層は、研磨パッド１６の支持面における局部的な歪を防止するために、研磨パッド１６の支持領域の略全体に亘る大きさをもって一定厚さで存在するように、形成されることが望ましい。

また、研磨パッド用補助板１０を構成する下側補助板２０と上側補助板２２との間には、相互に位置決めして中心軸を合わせる位置決め手段２８が設けられている。本実施形態では、下側補助板２０の外周部分に、下側補助板２０の中心軸回りで全周に亘って延びる円形の段差面３０が形成されている。そして、この段差面３０よりも外周側では下側補助板２０の厚さ寸法が小さくされることで、下側補助板２０の外周面に開放する切欠断面形状をもって周方向の全周に連続して延びる環状の係合凹部３２が、下側補助板２０に突出して一体形成されている。

一方、本実施形態では、上側補助板２２の外周部分には、上側補助板２２の中心軸回りで全周に亘って延びる円形の段差面３４が形成されている。そして、この段差面３４よりも外周側では上側補助板２２の厚さ寸法が大きくされることで、上側補助板２２の外周端縁に沿って周方向の全周に連続して延びる環状の係合凸部３６が、上側補助板２２に突出して一体形成されている。なお、係合凸部３６および係合凹部３２は、上下補助板２２，２０のどちらに形成されていても良い。

上述の下側補助板２０の段差面３０および係合凹部３２は、上側補助板２２の段差面３４および係合凸部３６に対して相互に位置合わせされており、本実施形態において係合外周面および係合内周面を構成している。そして、下側補助板２０に上側補助板２２が重ね合わされる際、係合凹部３２に係合凸部３６が嵌まり込み、段差面３０に段差面３４が径方向で重ね合わされ、係合部が形成される。これにより、係合凹部３２と係合凸部３６とによって位置決め手段２８が構成されており、中心軸が相互に一致させられて径方向で位置合わせされた状態で、下側補助板２０と上側補助板２２が重ね合わされるようになっている。なお、位置決め手段２８は、上下補助板２２，２０の外周面よりも内周側に位置して設けられ、それにより、上下補助板２２，２０、ひいては研磨装置１２が大型化しないようにしている。

このような構造とされた研磨パッド用補助板１０を備えた研磨装置１２にあっては、図１に示されているように、回転定盤１４の上面１８に上下の補助板２２，２０からなる研磨パッド用補助板１０を固着せしめて装着すると共に、上側補助板２２の上面に研磨パッド１６を固着支持せしめた状態で、回転定盤１４を回転駆動させて基板等の被加工物に対してＣＭＰ（化学機械研磨）を施すようにされる。そして、かかる研磨装置１２は、特定構造の研磨パッド用補助板１０を備えていることにより、以下の如き特別な技術的効果を発揮し得る。

先ず、図２に示されているように、研磨パッド１６を上側補助板２２の上面に固着させたままで、上側補助板２２を、第一の固着手段２４により回転定盤１４に固着された下側補助板２０から取り外すことにより、研磨パッド１６を回転定盤１４から取り外すことが出来る。そして、回転定盤１４から取り外して研磨パッド１６の表面（研磨面）をクリーニングや再加工等する場合でも、研磨パッド１６を上側補助板２２の上面に固着させたままで行うことが出来る。これにより、回転定盤１４に対する研磨パッド１６の着脱の際や、研磨パッド１６のクリーニングや再加工の際などは勿論、研磨パッド１６の移送時や保存時等においても、上側補助板２２による補強作用により研磨パッド１６の曲がりや損傷を防止できて、研磨パッド１６を良好な状態に保つことが出来る。

また、研磨パッド１６を上側補助板２２と共に回転定盤１４から取り外した際にも、回転定盤１４の上面１８には下側補助板２０が残置される。そして、研磨パッド１６を再び回転定盤１４に装着する際、上側補助板２２と下側補助板２０との間に設けられた位置決め手段２８により、上側補助板２２ひいては研磨パッド１６が下側補助板２０ひいては回転定盤１４に対して高精度に且つ容易に中心軸合わせされ得る。

ここにおいて、かかる位置決め手段２８を構成する係合凹部３２と係合凸部３６は、相互に嵌合された状態で殆ど隙間なく重ね合わされるようになっていることから、研磨パッド１６の支持特性への悪影響が防止され得る。また、上下補助板２２，２０の外周部分のうち特に本実施形態では外周端縁部に係合部、言い換えると位置決め手段２８が形成されており、研磨パッド１６において研磨用の主たる領域となる径方向中間部分を外れていることから、係合凹部３２と係合凸部３６の嵌合部分に多少の隙間があっても、研磨特性に大きな問題が発生する程の研磨パッド１６の支持特性への悪影響が回避され得る。

しかも、位置決め手段２８を構成する係合凹部３２と係合凸部３６は、上下補助板２２，２０の重ね合わせ面、換言すると、回転定盤１４および研磨パッド用補助板１０の外周端面よりも内周側に形成されており、上下補助板２２，２０の外周面上への突出が回避され得る。それ故、例えば図１，２に示されているように、研磨装置１２において回転定盤１４の外周側に近接して保護部材３８が設置されている場合でも、そのような保護部材３８への干渉を回避しつつ、位置決め手段２８を備えた上下補助板２２，２０を備えた研磨装置１２が実現可能とされる。

さらに、上述のように研磨パッド１６の損傷を防止しつつ、正確な位置合わせ精度で速やかに研磨パッド１６を回転定盤１４に対して着脱することが出来る結果、研磨パッド１６の着脱等の作業のために高価な研磨設備の稼働時間が不必要に制限されることがなくなり、研磨設備の稼働効率の向上ひいては基板等の生産効率（研磨作業効率）の向上が達成され得る。

また、研磨パッド１６の回転定盤１４に対する着脱が容易に実現されることから、特別な熟練や知識がなくとも研磨パッド１６の再利用が実用レベルで実現可能となる。即ち、例えば、基板等の被研磨物の品種切り替え等に際して一旦回転定盤１４から外した研磨パッド１６を再利用したり、劣化対策として別の加工装置で表面溝入れ等の再加工するのに一旦回転定盤１４から取り外した研磨パッド１６を再加工後に再利用したりすることなども、実用化レベルで検討することが可能となるのである。

以上、本発明の第一の実施形態について説明してきたが、本発明の具体的構造はかかる第一の実施形態によって限定的に解釈されるものでない。上下補助板２２，２０間において別構造の位置決め手段を備えた、本発明の別の実施形態の複数を以下に例示するが、これらの実施形態も本発明の構成を限定的に示すものでない。なお、以下の実施形態において、第一の実施形態と同様な構造とされた部材および部位については、それぞれ、第一の実施形態と同一の符号を各図中の対応する部位に記載することにより、それらの詳細な説明を省略する。

図３〜４には、本発明の第二の実施形態としての研磨パッド用補助板４０を備えた研磨装置４２が示されている。

この研磨パッド用補助板４０においては、下側補助板２０の上面の外周部分を周方向に連続して延びる円環形状の溝によって係合凹部４４が形成されている。一方、上側補助板２２の下面の外周部分には、周方向に連続して延びる円環形状の突起によって係合凸部４６が形成されている。この係合凸部４６は、上側補助板２２に一体形成されていても良いが、図示されているように、別体形成されていても良い。即ち、本実施形態では、上側補助板２２の下面に開口して周方向に延びる円環形状の周溝４８が形成されており、この周溝４８に対して、別体形成された円環形状のブロックが軸方向一端側で嵌め込まれて固着されることにより係合凸部４６が形成されている。

下側補助板２０の係合凹部４４と、上側補助板２２の係合凸部４６は、何れも中心軸回りで対応する径方向位置に形成されており、上下補助板２２，２０が重ね合わされた際、係合凹部４４に対して係合凸部４６が嵌め入れられることにより、上下補助板２２，２０が相互に径方向で位置合わせされるようになっている。なお、本実施形態では、下側補助板２０の係合凹部４４における両側壁面と、上側補助板の係合凸部４６における内外周面との、各対応する径方向の重ね合わせ面によって、二組の係合内周面および係合外周面が構成されている。

図５〜６には、本発明の第三の実施形態としての研磨パッド用補助板５０を備えた研磨装置５２が示されている。

この研磨パッド用補助板５０においては、下側補助板２０の外周部分には、中心軸回りで全周に亘って延びる円形の係合内周面としての段差面５４が形成されている。そして、この段差面５４よりも外周側では下側補助板２０の厚さ寸法が大きくされることで、下側補助板２０の外周端縁に沿って周方向の全周に連続して延びる環状の係合凸部５６が、下側補助板２０に一体形成されている。

一方、上側補助板２２の外周部分には、中心軸回りで全周に亘って延びる円形の係合外周面としての段差面５８が形成されている。そして、この段差面５８よりも外周側では上側補助板２２の厚さ寸法が小さくされることで、上側補助板２２の外周面に開放する切欠断面形状をもって周方向の全周に連続して延びる環状の係合凹部６０が、上側補助板２２に一体形成されている。

さらに、下側補助板２０の段差面５４には雌ねじが形成されている一方、上側補助板２２の段差面５８には雄ねじが形成されている。そして、下側補助板２０の段差面５４の雌ねじに対して上側補助板２２の段差面５８の雄ねじを螺合させて、下側補助板２０の段差面５４と上側補助板２２の段差面５８とを径方向に重ね合わせることにより、下側補助板２０の上面に上側補助板２２が重ね合わされるようになっている。また、かかる重ね合わせ状態下では、上下補助板２２，２０の段差面５８，５４の螺着構造により、上下補助板２２，２０を取り外し可能に固着する第二の固着手段６２が構成されている。

なお、このような螺着構造における雌雄ねじは、研磨装置１２の回転定盤１４に対して及ぼされる研磨時の回転反力を考慮して、ねじが緩まないようにねじ方向が設定されることが望ましい。

図７〜８には、本発明の第四の実施形態としての研磨パッド用補助板６４を備えた研磨装置６６が示されている。

この研磨パッド用補助板６４においては、下側補助板２０の上面の中央部分で上方に向かって突出する円柱形状の係合凸部６８が形成されている。この係合凸部６８は、下側補助板２０に一体形成されていても良いが、図示されているように、別体形成されていても良い。即ち、本実施形態では、下側補助板２０の中心軸上に円形の嵌着凹所７０が形成されており、この嵌着凹所７０に対して、別体形成された円柱形状のブロックが軸方向一端側で嵌め込まれて固着されることにより係合凸部６８が形成されている。一方、上側補助板２２の下面の中央部分には、中心軸上で下面に開口する有底円形の係合凹部７２が形成されている。なお、係合凸部６８および係合凹部７２は上下補助板２２，２０のどちらに形成されていても良い。

そして、上下補助板２２，２０が重ね合わされた際、係合凹部７２に対して係合凸部６８が嵌め入れられることにより、上下補助板２２，２０が相互に径方向で位置合わせされるようになっている。なお、本実施形態では、下側補助板２０の係合凸部６８の外周面と上側補助板２２の係合凹部７２の内周面とによって、係合外周面と係合内周面とが構成されている。

図９には、本発明の第五の実施形態としての研磨パッド用補助板７４を備えた研磨装置７６が示されている。

この研磨パッド用補助板７４においては、下側補助板２０の上面の外周部分で上方に向かって突出する円柱形状の係合凸部７８が形成されている。この係合凸部７８は、下側補助板２０に一体形成されていても良いし、前記第四の実施形態における係合凸部のように下側補助板２０に嵌着凹所を形成して別体のピンなどを圧入等で固着しても良い。また、図１０〜１１に示されているように、かかる係合凸部７８は、下側補助板２０の外周部分で周方向で所定距離を隔てて互いに独立して複数形成されている。特に好適には、周方向で等間隔に且つ中心軸上の同一円上に位置して、それら複数の係合凸部７８が形成される。

一方、上側補助板２２の下面の外周部分には、下側補助板２０における複数の係合凸部７８の形成位置に対して各対応する位置に、それぞれ、有底円形の係合凹部８０が下方に向かって開口して形成されている。なお、係合凸部７８および係合凹部８０は上下補助板２２，２０のどちらに形成されていても良い。

そして、上下補助板２２，２０が重ね合わされた際、係合凹部８０に対してそれぞれ係合凸部７８が嵌め入れられることにより、上下補助板２２，２０が相互に径方向で位置合わせされるようになっている。なお、本実施形態では、下側補助板２０の係合凸部７８の外周面と上側補助板２２の係合凹部８０の内周面とによって、下側補助板２０および上側補助板２２の外周部分に位置する係合外周面と係合内周面とが構成されている。

特に本実施形態のように、周方向で独立した複数の係合凸部７８と係合凹部８０とからなる位置決め手段を採用することにより、重ね合わされた上下補助板２２，２０を径方向だけでなく周方向においても相互に位置決めすることが可能となる。

なお、上側補助板２２に形成される独立した複数の係合凹部８０に代えて、上側補助板２２の中心軸回りで周方向に連続して円形に延びる周溝を採用したり、或いは図１２における本発明の第六の実施形態に示されているように、上側補助板２２の外周部分を中心軸回りで全周に亘って延びる円形の段差面８２を形成し、この段差面８２よりも外周側の厚さ寸法を小さくすることで、上側補助板２２の外周面に開放する切欠断面形状をもって周方向の全周に連続して延びる環状の係合凹部８３を形成することも可能である。

このように上側補助板２２において、下側補助板２０の係合凸部７８の係合面を全周に亘って連続して形成することにより、上下補助板２０，２２の重ね合わせに際して、上下補助板２０，２２を相互に周方向で位置合わせする必要がなくなって装着作業を容易に行うことが可能となる。

図１３には、本発明の第七の実施形態としての研磨パッド用補助板８４が示されている。

この研磨パッド用補助板８４においては、下側補助板２０の外周面の上側部分と、上側補助板２２の外周面の下側部分とに、それぞれ小径部が設けられている。そして、これら上下補助板２２，２０が重ね合わされることにより、それぞれの小径部によって、上下補助板２２，２０間に跨がって所定幅で広がって周方向の全周に亘って延びる円環形状の収容凹所８６が形成されている。

また、下側補助板２０の小径部下端には、溝状の係合凹部８８が形成されている。この係合凹部８８は、収容凹所８６の底面において、下側補助板２０の外周面に開口せしめられている。ここで、収容凹所８６の底面とは、収容凹所８６を構成する面のうち、上下補助板２２，２０に跨り、図１３の上下方向に広がる環状の面を指す。一方、収容凹所８６を構成する上側補助板２２の小径部には、弾性材からなる板状の係合凸部９０が、その基端部において固定ピン９２で固定されて取り付けられるている。この係合凸部９０は、上下補助板２２，２０の外周面に形成された収容凹所８６に収容配置されており、上側補助板２２から下側補助板２０の外周面上に延び出している。そして、係合凸部９０の先端部分に形成された係合爪部９４が、下側補助板２０の小径部に形成された係合凹部８８に対して係止され、係合凸部９０の弾性に基づいて係止状態に保持されるようになっている。

更にまた、このような係合凸部９０が、上下補助板２２，２０の外周面上で周方向に所定距離を隔てて複数設けられている。そして、上側補助板２２の外周面に取り付けられた各係合凸部９０が、下側補助板２０の外周面に対して弾性的に押し付けられることで、上下補助板２２，２０が中心軸上で相互に位置決めする位置決め手段が構成されている。また、係合凸部９０の係合爪部９４が係合凹部８８に係止されることにより、上下補助板２２，２０を重ね合わせ状態に保持せしめて固着力を及ぼす固着手段も構成されている。

なお、上述の如き係合凹部８８に係合する係合爪部９４を備えた係合凸部９０に代えて、例えば図１４に示された本発明の第八の実施形態のように、上下補助板２２，２０間に跨がって延びて収容凹所８６の底面に重ね合わされる連結板１００を採用し、かかる連結板１００の両端部分を上下補助板２２，２０の各一方の外周面に対して連結ピン１０２，１０２で固着することも可能である。なお、連結ピン１０２，１０２の少なくとも一方は下側補助板２０又は上側補助板２２に対して着脱可能とされることにより、上下補助板２２，２０の連結板１００による連結が解除可能とされて、研磨パッド１６が固着された上側補助板２２の下側補助板２０に対する着脱が許容されることとなる。

また、第一〜八の実施形態に示された両面テープ等からなる第一の固着手段２４や第二の固着手段２６は、上下補助板２２，２０や回転定盤１４を取り外す際に、特定の部材側の固着面に保持されることが望ましい。これにより、取り外した状態での上下補助板２２，２０や第一及び第二の固着手段２４，２６の取り扱いが容易となるからである。なお、第一及び第二の固着手段２４，２６が何れの固着面に残るかは、第一の固着手段や第二の固着手段２４，２６自体における両面の固着力を相互に異ならせる他、固着される上下補助板２２，２０や回転定盤１４の面粗度や材質等を相互に異ならせることなどによって設定することが可能である。

特に、第一の固着手段２４は、下側補助板２０を取り外す際に下側補助板２０側の固着面に保持されることが望ましく、それによって回転定盤１４の上面１８のメンテナンスが容易となる。一方、第二の固着手段２６は、第一の実施形態における図２に示されているように、上側補助板２２を取り外す際に上側補助板２２側の固着面に保持されるようになっていても良いし、例えば図１５に示す本発明の第九の実施形態のように、下側補助板２０の上面に残るようにしても良い。なお、第二の固着手段２６を上側補助板２２側の固着面に保持させることにより、研磨パッド１６の溝入れなどの再加工用装置の回転定盤に対して、取り外した上側補助板２２を装着する際に、上側補助板２２に保持された第二の固着手段２６を利用して取り付けることも可能となる。一方、第二の固着手段２６を下側補助板２０側の固着面に保持させることにより、別の研磨パッド１６を装着した別の上側補助板２２を下側補助板２０に装着する際に、下側補助板２０に保持された第二の固着手段２６を利用して取り付けることも可能となる。

また、第一〜七の実施形態に示された係合凹部３２，４４，６０，７２，８０，（８３），８８と係合凸部３６，４６，５６，７０，７８，９０は、下側補助板２０側と上側補助板２２側とにおいて相互に反対側に設けられていても良い。例えば本発明の第十の実施形態が図１６に示されているように、第一の実施形態として図１〜２に示された研磨パッド用補助板１０に対して、その係合外周面を構成する段差面３０と係合凹部３２とを上側補助板２２に形成する一方、係合内周面を構成する段差面３４と係合凸部３６とを下側補助板２０に形成することも可能である。

更にまた、第一〜六の実施形態に示された係合凹部３２，４４，６０，７２，８０，（８３）と係合凸部３６，４６，５６，７０，７８において、相互に重ね合わされて上下補助板２２，２０を位置決めする係合凸部の外周面と係合凹部の内周面とに対して傾斜角を付すことも可能である。例えば本発明の第十一の実施形態が図１７に示されているように、下側補助板２０の外周部分に突出形成した係合凸部３６の係合内周面としての段差面３４に対して、係合凸部３６が突出方向で次第に先細となる傾斜方向のテーパを付す一方、上側補助板２２の外周部分に形成した係合凹部３２の係合外周面としての段差面３０に対して、段差面３４に対応する傾斜方向および傾斜角度のテーパを付すことができる。これにより、係合凸部３６を係合凹部３２に嵌め入れて上下補助板２２，２０を重ね合わせる作業を、両段差面３４，３０に付されたテーパを案内面として利用することで、一層容易に行うことが可能となる。

因みに、図１８に記載の本発明の第十二の実施形態や、図１９に記載の本発明の第十三の実施形態に示されているように、下側補助板２０の周方向で独立して複数形成される突起形状の係合凸部７８と、上側補助板２２の各対応する位置に形成される複数の穴形状の係合凹部８０とを採用する場合でも、係合凸部７８の突出先端部分の外周面に対して傾斜角を付して、先細形状のテーパ部１０４を形成することができる。なお、図１９では、下側補助板２０に形成された嵌着穴１０５に対して、別体形成された係止ピン１０６が圧入等で固着されて係合凸部７８が構成されており、かかる係止ピン１０６の下端にも、上端と同様なテーパ部１０４が付されている。これにより、係止ピン１０６に方向性が無くなって取り扱いが容易となると共に、嵌着穴１０５への圧入作業も容易となる。

また、図２０に示された本発明の第十四の実施形態では、上下補助板２２，２０の重ね合わせ状態で中心軸を合わせる位置決め手段の一種として、それら上下補助板２２，２０間に跨がって外挿される位置決めスリーブ１０８が示されている。この位置決めスリーブ１０８は、互いに略同じ外径寸法の円板形状とされた上下補助板２２，２０の外径寸法と同じか僅かに大きな内径寸法を有しており、金属材や合成樹脂材によって形成されている。このような位置決めスリーブ１０８を、上下補助板２２，２０の重ね合わせに際して用いて、位置決めスリーブ１０８内で上下補助板２２，２０を重ね合わせるとにより、上下補助板２２，２０を中心軸合わせしつつ軸方向に重ね合わせて、第二の固着手段２６で相互に固着することができる。それ故、上下補助板２２，２０を重ね合わせて相互に固着せしめた後で、位置決めスリーブ１０８を取り外すことが出来るのであり、それによって、上下補助板２２，２０を、外周面上に突出する位置決め手段を有しない状態で且つ正確な位置合わせ状態で相互に固着することが可能となる。

更にまた、図２１に示された本発明の第十五の実施形態では、上下補助板２２，２０の重ね合わせ状態で重ね合わせ方向に跨がって延びるスリット状の係合溝１１０が形成されている。この係合溝１１０は、上下補助板２２，２０の外周面に開口して径方向内方に所定深さを有しており、上下補助板２２，２０の周方向で互いに独立して複数設けられている。そして、かかる係合溝１１０に対して、外周面の開口部からプレート形状の係合板１１２が嵌め入れられることにより、かかる係合板１１２で上下補助板２２，２０が相互に位置決めされると共に、相互に連結状態とされている。なお、かかる係合板１１２は、上下補助板２２，２０と別体形成されているが、例えば上下補助板２２，２０の何れか一方において他方に向かって突出する形状をもって一体形成されていても良い。その場合には、係合溝１１０は、当該他方の補助板にだけ形成されることとなる。

さらに、図２２に示された本発明の第十六の実施形態では、上側補助板２２の下面に開口する係合凹部としての嵌合凹部１１４が形成されている。特に本実施形態では、かかる嵌合凹部１１４が、上側補助板２２の中心軸回りで周方向に連続して延びる環状溝として形成されている。一方、下側補助板２０には、上側補助板２２に重ね合わされる上面において上方に突出する係合凸部としての嵌合凸部１１６が形成されている。なお、本実施形態では、かかる嵌合凸部１１６が、嵌合凹部１１４に対応する環状凸部として形成されている。そして、上下補助板２２，２０の重ね合わせ状態で、嵌合凸部１１６が嵌合凹部１１４に入り込んで位置せしめられるようになっている。

また、嵌合凸部１１６は中空構造とされており、嵌合凸部１１６の内部において外部空間に対して密閉された流体溜１１８が形成されている。更に、この流体溜１１８を画成する嵌合凸部１１６の壁部は、少なくとも内周壁と外周壁が径方向に向かって膨出変形可能にされている。具体的には、例えば嵌合凸部１１６をゴム弾性体などで形成することによって、径方向内方に膨出可能な内周壁と径方向外方に膨出可能な外周壁とが実現可能である。

更にまた、下側補助板２２には、流体溜１１８に連通して、径方向外方に延び出し外周面に開口する流体通路１２０が形成されていると共に、この流体通路１２０の外周端開口部に加圧ねじ１２２がねじ込まれている。また、加圧ねじ１２２で封止された流体通路１２０と流体溜１１８からなる密閉領域には、オイルなどの非圧縮性流体が充填されている。

これにより、加圧ねじ１２２をねじ込むことにより、流体通路１２０を通じて流体溜１１８の内圧を上昇させて、流体溜１１８の内周壁および外周壁を外方に膨出させることが出来る。その結果、嵌合凸部１１６が拡張されて、嵌合凹部１１４の内面に押し付けられ、相互の摩擦力等によって上下補助板２２，２０を相互に位置決めすると共に固着力も及ぼし得るようになっている。

なお、上側補助板２２を下側補助板２０から取り外すに際しては、加圧ねじ１２２を緩ませる方向に回転操作して下側補助板２０の外周側に移動させることにより、流体溜１１８の圧力を低下させて嵌合凸部１１６の嵌合凹部１１４への押し付け力を解除することができる。

その他、一々列挙はしないが、本発明は当業者の知識に基づいて種々なる変更，修正，改良などを加えて実施することが可能であり、例えば、係合凸部と係合凹部の係合部分にＯリングやシール材を装着して上下補助板の重ね合わせ面等への異物の侵入を防止することも可能である。

また、上述の二層構造の補助板２０，２２に加えて、更に補助板を積層状態で且つ固着手段で固着せしめて追加することも可能である。このように第三層の補助板を採用することで、弾性支持状態を実現したり、或いは中間層を使い捨てする等の態様も可能となる。

１０，４０，５０，６４，７４，８４：研磨パッド用補助板、１２，４２，５２，６６，７６：研磨装置、１４：回転定盤、１６：研磨パッド、１８：上面、２０：下側補助板、２２：上側補助板、２４：第一の固着手段、２６，６２：第二の固着手段、２８：位置決め手段、３０，５８：段差面（係合外周面）、３２，４４，６０，７２，８０，８８：係合凹部、３４，５４：段差面（係合内周面）、３６，４６，５６，６８，７８，９０：係合凸部、３８：保護部材

Claims (11)

1. 研磨装置の回転定盤に装着されて、研磨パッドを該回転定盤に対して着脱可能に取り付ける研磨パッド用補助板において、
   前記回転定盤の上面に重ね合わされて配される下側補助板と、
   該下側補助板を該回転定盤に固着する第一の固着手段と、
   前記研磨パッドが重ね合わされて固着されるパッド支持面を備えており、該下側補助板の上面に重ね合わされて配される上側補助板と、
   該上側補助板を該下側補助板に固着する第二の固着手段と、
   該下側補助板と該上側補助板とを相互に位置決めして中心軸を合わせる位置決め手段と
   を、有しており、前記研磨装置の前記回転定盤に対して前記下側補助板が前記第一の固着手段による固着状態に保持されて、該回転定盤に固着された該下側補助板から前記上側補助板を取り外すことにより、該上側補助板の前記パッド支持面に固着されたままの状態で前記研磨パッドを該回転定盤から取り外すことが可能とされていると共に、取り外した該上側補助板を該下側補助板に対して前記位置決め手段による位置合わせ状態で再び固着せしめて取り付けることが可能とされており、且つ、
   前記第二の固着手段による前記下側補助板と前記上側補助板との固着力が、前記第一の固着手段による前記回転定盤と該下側補助板との固着力よりも小さくされていること
   を特徴とする研磨パッド用補助板。
2. 前記位置決め手段が、前記下側補助板および前記上側補助板の外周面よりも内周側に位置して設けられている請求項１に記載の研磨パッド用補助板。
3. 前記位置決め手段が、
   前記下側補助板と前記上側補助板との一方に設けられて他方に向かって突出する係合凸部と、該下側補助板と前記上側補助板との他方に設けられて該係合凸部が係合せしめられる係合凹部とによって構成されている請求項２に記載の研磨パッド用補助板。
4. 前記係合凸部および前記係合凹部が、前記下側補助板および前記上側補助板の外周部分に位置する係合部をもって形成されている請求項３に記載の研磨パッド用補助板。
5. 前記係合凸部および前記係合凹部における前記係合部が、前記下側補助板および前記上側補助板の周方向に連続して延びて相互に嵌め合わされる環状の係合外周面および係合内周面によって構成されている請求項４に記載の研磨パッド用補助板。
6. 前記下側補助板および前記上側補助板の外周部分における周上の複数箇所において、前記下側補助板と前記上側補助板との相互の重ね合わせ面の一方において他方に向かって開口する前記係合凹部と、該下側補助板と前記上側補助板との相互の重ね合わせ面の他方において一方に向かって突出する前記係合凸部とが、互いに対応する位置に形成されており、該係合凹部に対する該係合凸部の嵌まり込みによって前記係合部が構成されている請求項４に記載の研磨パッド用補助板。
7. 前記下側補助板と前記上側補助板との一方の外周部分における周上の複数箇所から他方に向かって突出する前記係合凸部が弾性材によって形成されており、該下側補助板と前記上側補助板との他方における外周面に開口して設けられた前記係合凹部に対して該係合凸部の先端が係合されることにより前記係合部が構成されている請求項４に記載の研磨パッド用補助板。
8. 前記係合凸部および前記係合凹部が、前記下側補助板および前記上側補助板の中心軸上に設けられている請求項３に記載の研磨パッド用補助板。
9. 前記係合凸部の外周面と前記係合凹部の内周面とにおいて互いに螺合するねじ溝が形成されており、前記位置決め手段を構成する該係合凸部と該係合凹部との螺合により前記第二の固着手段が構成されている請求項８に記載の研磨パッド用補助板。
10. 前記下側補助板と前記上側補助板との一方に設けられた前記係合凸部が、該下側補助板と該上側補助板との一方と同じ材質で形成されている請求項３，４，５，６，８，９の何れか１項に記載の研磨パッド用補助板。
11. 請求項１〜１０の何れか１項に記載の研磨パッド用補助板が回転定盤の上面に装着されると共に、該回転定盤の外周側に隙間を隔てて保護部材が配設されており、該回転定盤および該研磨パッド用補助板の外周端面よりも内周側に位置して、前記位置決め手段が設けられていることを特徴とする請求項１〜１０の何れか１項に記載の研磨パッド用補助板を備えた研磨装置。

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