KR970701158A - 세라믹 물질 기판(Substrate of a ceramic material) - Google Patents

세라믹 물질 기판(Substrate of a ceramic material)

Info

Publication number
KR970701158A
KR970701158A KR1019960704373A KR19960704373A KR970701158A KR 970701158 A KR970701158 A KR 970701158A KR 1019960704373 A KR1019960704373 A KR 1019960704373A KR 19960704373 A KR19960704373 A KR 19960704373A KR 970701158 A KR970701158 A KR 970701158A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
atoms
ceramic material
substrate
composition
atomic
Prior art date
Application number
KR1019960704373A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100404815B1 (ko
Inventor
앨버트 그로엔 윌헤름
요하네스 크란 마셀리누스
프란시스쿠스 반할 파울러스
데 위드 지제이스베르투스
Original Assignee
제이.지.에이. 롤페스
필립스 일렉트로닉스 엔.브이.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 제이.지.에이. 롤페스, 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. filed Critical 제이.지.에이. 롤페스
Publication of KR970701158A publication Critical patent/KR970701158A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100404815B1 publication Critical patent/KR100404815B1/ko

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/10—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on aluminium oxide
    • C04B35/111—Fine ceramics
    • C04B35/117—Composites
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/581—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on aluminium nitride

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)

Abstract

본 발명은 새로운 현상의 세라믹 물질로 제조되는 기판에 관한 것이다. 상기 물질은 44 내지 47의 Al원자％, 31 내지 39의 O원자％, 8 내지 13의 C원자％ 및 8 내지 12의 N원자％를 포함한다. 상기 물질로 제조된 기판은 비교적 높은 열 전도성, 큰 강도 및 Si의 것과 동일한 팽창 계수를 나타낸다. 결론적으로 본 발명에 따른 기판은 Si-반도체 기술에 사용하기에 매우 적합하다. 상기 기판의 세라믹 물질의 주성분은 적합하게도 식 Al28O21C6N과 일치한다. 본 발명은 또한 상기 물질로부터의 기판 및 기타 모울딩을 제조하기 위한 방법을 제공한다.

Description

세라믹 물질 기판(Substrate of a ceramic material)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (7)

  1. 세라믹 물질의 기판에 있어서, 상기 물질은 44 내지 47의 Al원자％, 31 내지 39의 O원자％, 8 내지 13의 C원자％ 및 8 내지 12의 N원자％를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 물질 기판.
  2. 제1항에 있어서, 상기 물질의 주성분의 구성은 식 Al28O21C6N에 대응하는 것을 특징으로 하는 세라믹 물질 기판.
  3. 세라믹 물질에 있어서, 상기 물질은 44 내지 47의 Al원자％, 31 내지 39의 O원자％, 8 내지 13의 C원자％ 및 8 내지 12의 N원자％를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 물질.
  4. 제3항에 있어서, 상기 물질의 주성분의 구성은 식 Al28O21C6N에 대응하는 것을 특징으로 하는 세라믹 물질.
  5. 제3항 또는 제4항에 기재된 세라믹 물질의 제조 방법에 있어서, 상기 방법은,
    가) 의도된 세라믹 물질의 구성에 근거한 비율로 Al2O3, Al4O3및 AIN의 혼합물을 예비 소성시키는 단계와,
    나) 상기 형성된 예비 소성제품을 분말로 연삭하는 단계 및,
    다) 세라믹 물질을 형성하기 위해 상기 분말을 소결하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 물질 제조 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 예비 소성은 1500 내지 1700℃ 사이의 온도 범위에서 발생하며, 상기 소결은 1700 내지 1900℃ 사이의 온도 범위에서 발생하는 것을 특징으로 하는 세라믹 물질 제조 방법.
  7. 제3항 또는 제4항에 기재된 세라믹 물질의 제조방법에 있어서, Al2O3, Al4O|3및 AIn의 혼합물은, 예정된 세라믹 물질의 구성에 근거한 비율로, 상기 세라믹 물질을 형성하기 위한 압력하에 소결되는 것을 특징으로 하는 세라믹 물질 제조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960704373A 1994-12-12 1995-11-06 세라믹 물질 기판 KR100404815B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP94203601 1994-12-12
EP94203601.3 1994-12-12

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR970701158A true KR970701158A (ko) 1997-03-17
KR100404815B1 KR100404815B1 (ko) 2004-02-05

Family

ID=8217447

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019960704373A KR100404815B1 (ko) 1994-12-12 1995-11-06 세라믹 물질 기판

Country Status (7)

Country Link
US (2) US5571757A (ko)
EP (1) EP0743929B1 (ko)
JP (1) JPH09509394A (ko)
KR (1) KR100404815B1 (ko)
DE (1) DE69503472T2 (ko)
TW (1) TW314506B (ko)
WO (1) WO1996018589A1 (ko)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0992470B1 (en) * 1995-08-03 2006-03-08 Ngk Insulators, Ltd. Aluminium nitride sintered bodies and their use as substrate in an apparatus for producing semiconductors
US6495912B1 (en) * 2001-09-17 2002-12-17 Megic Corporation Structure of ceramic package with integrated passive devices
AU2002365082A1 (en) * 2001-10-11 2003-07-24 Arizona Board Of Regents Superhard dielectric compounds and methods of preparation
US7396779B2 (en) * 2003-09-24 2008-07-08 Micron Technology, Inc. Electronic apparatus, silicon-on-insulator integrated circuits, and fabrication methods
KR101099925B1 (ko) 2003-10-10 2011-12-28 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 전자 장치 및 캐리어 기판
CN109053161B (zh) * 2018-08-31 2021-05-18 武汉科技大学 一种直接发泡Al2O3-AlN多孔复合材料及其制备方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE417818B (sv) * 1979-09-03 1981-04-13 Sandvik Ab Keramisk legering vesentligen omfattande aluminiumoxid samt nitrider och/eller karbonitrider av en eller flera metaller tillhorande grupperna iv b, v b och vi b i periodiska systemet samt en eller flera ...
FR2628414B1 (fr) * 1988-03-11 1992-01-17 Pechiney Electrometallurgie Materiau electrofondu polyphase a base d'alumine, d'oxycarbure et d'oxynitrure d'aluminium
US5075265A (en) * 1990-12-10 1991-12-24 Ford Motor Company Preparation of aluminum oxynitride from organosiloxydihaloalanes
DE69407832T2 (de) * 1993-02-18 1998-07-16 Koninkl Philips Electronics Nv Keramischer Körper

Also Published As

Publication number Publication date
EP0743929B1 (en) 1998-07-15
US5635429A (en) 1997-06-03
TW314506B (ko) 1997-09-01
DE69503472T2 (de) 1999-03-04
DE69503472D1 (de) 1998-08-20
EP0743929A1 (en) 1996-11-27
US5571757A (en) 1996-11-05
JPH09509394A (ja) 1997-09-22
KR100404815B1 (ko) 2004-02-05
WO1996018589A1 (en) 1996-06-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU675494B2 (en) Method of producing sintered articles
EP0961299A4 (en) PRODUCTION OF POSITIVE TEMPERATURE COEFFICIENT SEMICONDUCTOR CERAMIC
KR970701158A (ko) 세라믹 물질 기판(Substrate of a ceramic material)
KR880011044A (ko) 아이소스태틱 프레싱에 의한 분말물질 물품의 제조방법
KR920000659A (ko) 마그네시아-알루미나계 스피넬(spinel)클링커(clinker) 및 이것을 사용한 내화물의 제조법
JPS6461356A (en) Ceramic material
KR960007500A (ko) 예비세라믹 중합체 결합제를 사용하는 고밀도 탄화지르코늄 세라믹의 제조방법
US2975145A (en) Semi-conductive ceramic composition
KR860001474A (ko) 다결정질체의 제조방법
KR930012636A (ko) 열팽창을 규정(define)시킨 세라믹 복합재
SU846538A1 (ru) Шихта дл изготовлени кварцевойКЕРАМиКи
JP3134437B2 (ja) 多層基板用低温焼結磁器組成物
JPS62241867A (ja) 絶縁基板
K-H et al. SYNTHESIS AND CHARACTERISATION OF CORDIERITE GLASS-CERAMICS FOR LOW FIRING TEMPERATURE SUBSTRATE. PT. 2. PROPERTIES OF CORDIERITE GLASS-CERAMICS CONTAINING CeO 2
SU449022A1 (ru) Огнеупорный материал
JPS62246867A (ja) 窒化アルミニウム焼結体の製造方法
KR930004555B1 (ko) Al_2O_3계 세라믹 복합재료 및 그 제조방법
SU1474148A1 (ru) Керамический материал
SU1451132A1 (ru) Стекло дл высокоглиноземистой керамики
JPH01138173A (ja) 窒化ケイ素焼結体
KR940019647A (ko) 세라믹체
KR940002199A (ko) 산화물 복합재료
KR950029232A (ko) 마이크로파 유전체 세라믹 조성물 및 그 제조방법
KR20010016190A (ko) 부정형 알루미노실리케이트 섬유 내화단열재의 제조방법
JPH0524912A (ja) ムライトセラミツクスの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee