KR970072511A - 백색 발광용 전계발광표시소자 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명에 의한 백색 발광용 전계발광표시(electroluminescent display: ELD)소자 및 그 제조방법은, ITO 재질의 투명전극이 형성된 기판 상에, 다층 적층 구조의 제1절연막을 형성하는 공정과; 상기 제1절연막 상의 소정 부분에 ZnS: Pr,Ce,F 재료로 이루어진 발광박막을 형성하는 공정과; 상기 제1절연막과 발광박막을 포함한 투명전극 상의 소정 부분에 제2절연막을 형성하는 공정 및; 상기 제2절연막 상에 서로 소정간격 이격되도록 알루미늄 전극을 형성하는 공정으로 이루어져, 1) 단일 발광중심(예컨대, ZnS: Pr, SrS: Pr, ZnS: Ho....등)을 사용하는 경우에 얻어지는 녹색을 띤 백색이나 적색을 띤 백색과는 달리, 가시광 전영역에 걸쳐 고른 발광특성을 갖는 우수한 백색순도와 휘도특성을 확보할 수 있고, 2) SrS: Ce, Eu와 같이 SrS모체를 사용할 경우 관찰되는 필수적으로 요구되는 까다로운 공정 조건, 화학양론적인 조성으로부터의 이탈, 화학적인 불안정성, 높은 흡습성 등으로 인한 ELD소자의 가속 열화현상 등을 제거할 수 있으며, 3) ZnS: Mn/SrS: Ce 구조와는 달리, 발광박막을 단일재료를 이용한 단일층으로 형성하므로 공정 진행이 용이할 뿐 아니라 ZnS모체를 이용하므로 박막 공정이 용이하여 양산성면에서 유리하고, 4) PrF3와 CeF3화합물의 첨가농도를 변화시킴으로써, 휘도 조절이 가능하며, 5)PrF3에 대한 CeF3의 농도를 현재와 같이 동일한 비율로 첨가하지 않고 가변시킴으로써, 발광중심파장을 변화시킬 수 있게 되어, 원하는 최대발광치를 나타내는 표시소자를 구현할 수 있게 된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의해 제조된 백색 발광용 전계발광표시소자의 구조를 도시한 단면도.
Claims (12)
- 기판과; 상기 기판 상에 형성된 투명전극과; 상기 투명전극 상의 소정 부분에 형성된 다층 적층 구조의 제1절연막과; 상기 제1절연막상의 소정 부분에 형성된 ZnS: Pr, Ce, F 재료로 이루어진 발광박막과; 상기 제1절연막의 측면 및 상부의 표면 노출 부분과, 상기 발생박막의 측면 및 그 상부면이 모두 덮히도록, 상기 투명전극 상의 소정 부분에 형성된 제2절연막 및; 서로 소정 간격 이격되도록, 상기 제2절연막 상에 형성된 알루미늄 전극으로 이루어져, 상기 알루미늄 전극과 투명전극에 교류전압이 인가되도록 구성된 것을 특징으로 하는 백색 발광용 전계발광표시소자.
- 제1항에 있어서, 상기 제1절연막은 투명전극 상에 BaTa2O6와 SiOxNy가 순차적으로 형성된 이층 적층 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 백색 발광용 전계발광표시소자.
- ITO재질의 투명전극이 형성된 기판 상에, 다층 적층 구조의 제1절연막을 형성하는 공정과; 상기 제1절연막 상의 소정부분에 ZnS: Pr, Ce, F 재료료 이루어진 발광박막을 형성하는 공정과; 상기 제1절연막과 발광박막을 포함한 투명전극 상의 소정 부분에 제2절연막을 형성하는 공정 및; 상기 제2절연막 상에 서로 소정간격 이격되도록 알루미늄 전극을 형성하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 백색 발광용 전계발광표시소자의 제조방법.
- 제3항에 있어서, 상기 제1절막은 투명전극 상에 BaTa2O6와 SiOxNy가 순차적으로 형성된 이층 적층 구조로 형성하는 것을 특징으로 하는 백색 발광용 전계발광표소자의 제조방법.
- 제4항에 있어서, 상기 BaTa2O6는 기판온도 100-200°C에서, 플라즈마 기체압력이 5-8mtorr이고, O2/Ar의 혼합비가 40%인 스퍼터링 분위기 기체하에서 형성하는 것을 특징으로 하는 백색 발광용 전계발광표시소자의 제조방법.
- 제4항에 있어서, 상기 SiOxNy는 기판온도 110-130°C에서, 플라즈마 기체압력이 2-6mtorr이고, N2/Ar의 혼합비가 20%인 스퍼터링 분위기 기체하에서 형성하는 것을 특징으로 하는 백색 발광용 전계발광표시소자의 제조방법.
- 제3항에 있어서, 상기 발광박막은 순도 4N을 갖는 PrF3와 CeF3플로라이드계 화합물을 각각 0.1-0.3mol%, 0.1-0.3mol%첨가한 ZnS: Pr, Ce, F 펠릿을 제조한 후, 제조된 상기 ZnS: Pr, Ce, F펠릿을 증착재료로하여 이-빔 증착법으로 형성하는 것을 특징으로 하는 백색 발광용 전계발광표시소자의 제조방법.
- 제7항에 있어서, 상기 발광박막은 PrF3와 CeF3의 농도를 가변하여 색도와 휘도를 조절하는 것을 특징으로 하는 백색 발광용 전계발광표시소자의 제조방법.
- 제3항에 있어서, 상기 발광박막은 기판온도 180-220°C에서 형성하는 것을 특징으로 하는 백색 발광용 전계발광표시소자의 제조방법.
- 제3항에 있어서, 상기 제1절연막 상에 ZnS: Pr, Ce, F 재료로 이루어진 발광박막 형성후, 기판온도 400-470℃에서 진공열처리하는 공정을 더 포함하여 형성하는 것을 특징으로 하는 백색 발광용 전계발광표시소자의 제조방법.
- 제3항에 있어서, 상기 발광박막은 500-1000nm의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 백색 발광용 전계발광표시소자의 제조방법.
- 제3항에 있어서, 상기 제2절연막은 SiOxNy로 형성하는 것을 특징으로 하는 백색 발광용 전계발광표시소자의 제조방법.※참고사항: 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960012209A KR970072511A (ko) | 1996-04-22 | 1996-04-22 | 백색 발광용 전계발광표시소자 및 그 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960012209A KR970072511A (ko) | 1996-04-22 | 1996-04-22 | 백색 발광용 전계발광표시소자 및 그 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970072511A true KR970072511A (ko) | 1997-11-07 |
Family
ID=66216674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960012209A KR970072511A (ko) | 1996-04-22 | 1996-04-22 | 백색 발광용 전계발광표시소자 및 그 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970072511A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100387166B1 (ko) * | 1999-12-15 | 2003-06-12 | 닛뽄덴끼 가부시끼가이샤 | 유기 일렉트로 루미네선스 소자 |
-
1996
- 1996-04-22 KR KR1019960012209A patent/KR970072511A/ko not_active Application Discontinuation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100387166B1 (ko) * | 1999-12-15 | 2003-06-12 | 닛뽄덴끼 가부시끼가이샤 | 유기 일렉트로 루미네선스 소자 |
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