KR970067726A - 프레온 가스의 처리 방법 및 처리 장치 - Google Patents

프레온 가스의 처리 방법 및 처리 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명에서는 탄소와 플로오르의 2가지 성분만을 이루어지는 프레온 가스를 처리하기 위한 방법이 제공된다. 이러한 처리 방법에서, 프레온 가스를 분해시켜 화학적으로 활성화시키기 위하여, 상기 프레온 가스는 플라즈마에 노출된다. 그 후, 화학적으로 활성화된 프레온 가스는 반응 물질과 접촉되어 반응 생성물을 형성한다.

Description

프레온 가스의 처리 방법 및 처리 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명에 대한 제2실시예의 미반응 PFC 가스를 대기로 직접 방출하는 것을 방지하고, 미반응 PFC 가스를 처리하기 위한 장치를 개략적으로 도시하는 다이아그램

Claims (21)

  1. 탄소와 플루오르의 성분만으로 구성되는 프레온 가스를 처리하기 위한 방법에 있어서, 프레온 가스가 플라즈마에 노출되어, 상기 프레온 가스가 분해도고 화학적을 활성화되는 것을 특징으로 하는 프레온 가스 처리 방법.
  2. 제1항에 있어서, 화학적을 활성화된 프레온 가스가 반응 물질에 접촉하여 반응 생성물을 만들어 내는 것을 특징으로 하는 프레온 가스 처리 방법.
  3. 제2항에 있어서, 반응 생성물은 흡수제에 의해 흡수되는 것을 특징으로 하는 프레온 가스 처리 방법.
  4. 제2항에 있어서, 흡수제는 제올라이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 프레온 가스 처리 방법.
  5. 제2항에 있어서, 반응제는 고체 상태의 실리콘을 포함하는 것을 특징으로 하는 프레온 가스 처리 방법.
  6. 제2항에 있어서, 반응제는 석영을 포함하는 것을 특징으로 하는 프레온 가스 처리 방법.
  7. 제1항에 있어서, 반응제는 수소를 포함하는 것을 특징으로 하는 프레온 가스 처리 방법.
  8. 제1항에 있어서, 프라즈마는 1×1011㎤ 밀도를 갖는 것을 특징으로 하는 프레온 가스 처리 방법.
  9. 제2항에 있어서, 프레온 가스는 반응의 효율을 향상시키기 위한 반응제와 반응하는 반응 챔버 속으로 O2F6가 추가로 공급하는 것을 특징으로 하는 프레온 가스 처리 방법.
  10. 제9항에 있어서, 반응 챔버의 내부 압력은 1×10-3Torr로 설정되는 것을 특징으로 하는 프레온 가스 처리 방법.
  11. 제2항에 있어서, 반응제는 고주파 전압이 인가되는 홀딩 수단 위에 위치되는 것을 특징으로 하는 프레온 가스 처리 방법.
  12. 제2항에 있어서, 반응 생성물은 폴리머인 것을 특징으로 하는 프레온 가스 처리 방법.
  13. 제12항에 있어서, 반응제는 -50℃ 이하의 온도로 냉각된 홀딩 수단 위에 위치되는 것을 특징으로 하는 프레온 가스 처리 방법.
  14. 제12항에 있어서, 수소 가스가 프레온 가스 유속의 70% 이하의 유속으로 프레온 가스가 반응제와 반응하는 반응 챔버 속에 추가로 공급되는 것을 특징으로 하는 프레온 가스 처리 방법.
  15. 탄소와 플루오르의 성분만으로 구성되는 프레온 가스를 처리하기 위한 장치에 있어서, 반응 챔버와, 상기 반응 챔버의 내부에 프레온 가스를 공급시키기 위하여, 반응 챔버에 연결되는 연결 수단과, 반응 챔버의 내부에 플라즈마를 발생시키기 위한 플라즈마 발생 수단을 포함하여, 상기 플라즈마가 프레온 가스를 분해시켜 화학적으로 활성화시키는 것을 특징으로 하는 프레온 가스 처리 장치.
  16. 제15항에 있어서, 프레온 가스와 화학적으로 반응하고 상기 프레온 가스를 화학적으로 활성화시켜 반응 생성물을 형성시키는 반응제를 홀딩하기 위한 홀딩수단이 반응 챔버의 내부에 추가로 포함되는 것을 특징으로 하는 프레온 가스 처리 장치.
  17. 제16항에 있어서, 홀딩 수단에 고주파 전압을 인가하기 위하여 상기 홀딩 수단에 전기적으로 연결되는 고주파 전압 인가 수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 프레온 가스 처리 장치.
  18. 제16항에 있어서, 반응 챔버 속으로 수소 가스를 유입시켜, 상기 수소 가스를 프레온 가스내의 플루오르 분자와 반응시켜 플루오르화 수소를 형성하기 위해 반응 챔버에 연결되는 수소 가스 유입 수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 프레온 가스 처리 장치.
  19. 제16항에 있어서, 화학적 활성화된 프레온 가스와 화학적으로 반응하여 폴리머를 형성하는 반응 가스를 반응 챔버 속으로 유입시키기 위해 상기 반응 챔버에 연결되는 반응 가스 유입 수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 프레온 가스 처리 장치.
  20. 제19항에 있어서, 플리머의 증착을 수용하기 위하여 반응 챔버 내에 제공되는 폴리머 증착 수용 수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 프레온 가스 처리 장치.
  21. 제19항에 있어서, 홀딩 수단을 냉각시키기 위하여 상기 홀딩 수단에 연결되는 냉각 수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 프레온 가스 처리 장치.
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