KR970066689A - 액정표시장치의 구조 및 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시장치의 구조 및 제조방법에 관한 것으로, 마스크 공정수를 줄여 제작수율을 향상시키도록 한 것이다.
본 발명에 따른 액정표시장치는 기판; 상기 기판위에 형성된 게이트전극; 상기 게이트 절연막상에 형성된 진성반도체층 및 불순물 반도체층; 상기 불순물 반도체층상에 격리형성된 소오스/드레인 전극; 상기 소오스/드레인전극상에 형성되고, 채널영역을 노출시키는 콘택홀을 갖는 절연막; 상기 절연막위에 형성되고, 상기 드레인전극과 접속되는 화소전극을 포함하여 구성된다.
또한 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법은 기판을 준비하는 단계; 상기 기판상에 게이트 전극을 형성하고, 전면에 게이트 절연막을 증착하는 단계; 상기 게이트 절연막상에 진성 반도체층과 불순물 반도체층 및 도전층을 차례로 증착하고, 활성영역에만 남도록 상기 진성 반도체층과 불순물 반도체층 및 도전층을 패터닝하는 단계;상기 도전층과 불순물 반도체층 및 진성반도체층을 포함한 게이트 절연막의 노출된 표면위에 절연막을 형성하는 단계; 상기 진성반도체층의 채널영역상부와 화소전극 콘택부분의 도전층부분이 각각 노출되도록 상기 절연막을 선택적으로 제거하여 제1 및 제2콘택홀을 동시에 형성하는 단계; 상기 화소전극 콘택용 제2콘택홀을 통해 상기 도전층과 접속되도록 화소영역에 화소전극을 형성하는 단계; 상기 화소전극과 절연막을 마스크로 채널영역의 도전층과 불순물 반도체층을 선택적으로 제거하여 소오스/드레인전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다.

Description

액정표시장치의 구조 및 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 액정표시장치의 구조단면도, 제4a~4b도는 본 발명에 따른 액정표시장치의 레이아웃 및 공정단면도.

Claims (2)

  1. 기판; 상기 기판위에 형성된 게이트전극; 상기 게이트 절연막상에 형성된 진성반도체층 및 불순물 반도체층; 상기 불순물 반도체층상에 격리형성된 소오스/드레인전극; 상기 소오스/드레인전극상에 형성되고, 채널영역을 노출시키는 콘택홀을 갖는 절연막; 상기 절연막위에 형성되고, 상기 드레인전극과 접속되는 화소전극을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시장치의 구조.
  2. 기판을 준비하는 단계; 상기 기판상에 게이트 전극을 형성하고, 전면에 게이트 절연막을 증착하는 단계; 상기 게이트 절연막상에 진성 반도체층과 불순물 반도체층 및 도전층을 차례로 증착하고, 활성영역에만 남도록 상기 진성 반도체층과 불순물 반도체층 및 도전층을 패터닝하는 단계;상기 도전층과 불순물 반도체층 및 진성반도체층을 포함한 게이트 절연막의 노출된 표면위에 절연막을 형성하는 단계; 상기 진성반도체층의 채널영역상부와 화소전극 콘택부분의 도전층부분이 각각 노출되도록 상기 절연막을 선택적으로 제거하여 제1 및 제2콘택홀을 동시에 형성하는 단계; 상기 화소전극 콘택용 제2콘택홀을 통해 상기 도전층과 접속되도록 화소영역에화소전극을 형성하는 단계; 상기 화소전극과 절연막을 마스크로 채널영역의 도전층과 불순물 반도체층을 선택적으로 제거하여 소오스/드레인 전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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