KR970063515A - 포토 레지스터 스핀 코팅 장비의 회전수 제어 장치 - Google Patents

포토 레지스터 스핀 코팅 장비의 회전수 제어 장치 Download PDF

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KR970063515A
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금경수
박철우
최상봉
문상영
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김광호
삼성전자 주식회사
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
    • G03F7/162—Coating on a rotating support, e.g. using a whirler or a spinner

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 사진(PHOTO) 공정시 포토 레지스터 도포 두께를 균일하게 도포할 수 있도록 한 포토 레지스터 스핀 코팅 장비의 회전수 제어 장치에 관한 것이다.
본 발명은 종래의 가변 저항으로된 분당 회전수값 설정 수단을 주파수-전압 변환 수단을 이용하여 분당 회전수 설정값의 안정화를 이루고 분당 회전수 보상값을 종래의 타고제너레이터(Tachogenerator)의 전압을 저항에 의해 분배하여 피드백 하던 것을 분당 회전수 설정값과의 위상 비교 수단을 이용하여 위상 비교하므로서 전체 제어계의 높은 안정도를 구현하는데 있다.

Description

포토 레지스터 스핀 코팅 장비의 회전수 제어 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 포토 레지스터 스핀 코팅 장비의 회전수 제어 장치의 구성을 나타낸 블럭도.

Claims (3)

  1. 반도체 웨이퍼 상에 제공된 감광액을 원심력을 이용하여 상기 웨이퍼 상에 균일하게 스핀 도포하기 위해 상기 웨이퍼를 회전시키는 모터; 상기 모터의 회전수에 대응하는 회전수 검출 신호를 발생하는 회전수 검출 수단; 상기 모터의 표준 회전수를 결정하기 위해 주어진 회전수 제어 신호를 입력하여 버퍼링하는 버퍼 수단; 상기 버퍼링된 회전수 제어 신호의 주파수에 비례하는 레벨을 가지는 전압 제어 신호를 발생하는 주파수 전압 변환 수단; 상기 회전수 제어 신호와 상기 검출 신호의 위상을 비교하여 위상차에 대응하는 보상 제어 신호를 발생하는 회전수 보상 수단; 상기 전압 제어 신호와 상기 보상 제어 신호에 응답하여 보상된 모터 구동 제어 신호를 발생하는 모터 구동 제어 수단; 및 상기 모터 구동 제어 신호에 응답하여 상기 모터를 항상 일정한 표준 주파수로 회전 구동시키는 모터 구동부를 구비한 것을 특징으로 하는 포토 레지스터 스핀 코팅 장비의 회전수 제어 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 회전수 보상 수단은 버퍼부에서 출력되는 회전 제어 신호의 주파수와 동일한 주파수 대역으로 만들기 위해 상기 엔코더에서 출력하는 주파수를 분주하는 분주기와, 상기 표준 회전수와 상기 회전수 검출신호를 비교하여 그 위상차에 대응하는 보상 제어 신호를 출력하는 위상 고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 포토 레지스터 스핀 코팅 장비의 회전수 제어 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 모터 구동 제어 수단은 상기 회전수 보상 수단에서 출력되는 보상 제어 신호를 입력받는 아날로그 스위치와, 상기 스위치가 제1단자에서 제2단자로 연결되면 상기 주파수 전압 변환 수단에서 출력되는 전압을 분배하는 분압기와, 상기 분압기에 의해 그 크기가 보상된 전압을 출력하는 전압 출력부를 포함하는 것을 특징으로 하는 포토 레지스터 스핀 코팅 장비의 회전수 제어 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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