KR970056989A - 컬러선형 전하결합소자 및 이의 구동방법 - Google Patents

컬러선형 전하결합소자 및 이의 구동방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 촬상장치용 컬러선형 전하결합소자에 관한 것으로, 제1도전형 반도체 기판과, 상기 제1도전형 반도체 기판에 형성된 제2도전형 웰 영역과, 상기 제2도전형 웰의 일정영역에 형성된 적색 감지용 포토 다이오드 어레이와, 상기 적색 감지용 포토 다이오드 어레이 일측에 각각 분리 구성되는 청색 감지용 포토 다이오드 어레이, 녹색 감지용 포토 다이오드 어레이로 이루어져 광전 변환에 의해 신호전하를 생성하는 포토 다이오드 어레이부와, 상기 적색 감지용 포토 다이오드 어레이의 타측에 각각 분리 구성되는 제 1,2 HCCD 시프트 레지스터와, 상기 녹색 감지용 포토 다이오드 어레이 일측에 구성되는 제 3 HCCD 시프트 레지스터로 이루어져 상기 각각의 포토 다이오드 어레이에서 생성된 신호전하를 받아 특정 방향으로 이동시키는 HCCD 시프트 레지스터와, 상기 각각의 분리영역의 제2도전형 웰상에 구성되어 상기 포토 다이오드 어레이부에서 생성된 신호전하를 상기 제1,2,3, HCCD 시프트 레지스터로 이동시키는 제 1, 2, 3, 4 트랜스퍼 게이트로 이루어져 각 화소들간의 간격을 축소하여 컬러 해상도를 향상시키고, 소자의 면적을 줄이고 소자의 구조를 간단화 시키는데 적당하도록 한 컬러선형 전하결합소자 및 이의 구동방법에 관한것이다.

Description

컬러선형 전하결합소자 및 이의 구동방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 컬러선형 CCD의 구성도.
제3도는 본 발명의 컬러선형 CCD의 수직단면도.
제4도 (a)(b)(c)는 본 발명의 컬러선형 CCD의 포텐셜 프로파일 및 동작 타이밍도.

Claims (12)

  1. 제1도전형 반도체 기판과, 상기 제1도전형 반도체 기판에 형성된 제2도전형 웰 영역과, 상기 제2도전형 웰의 일정영역에 형성된 적색 감지용 포토 다이오드 어레이와, 상기 적색 감지용 포토 다이오드 어레이 일측에 각각 분리 구성되는 청색 감지용 포토 다이오드 어레이, 녹색 감지용 포토 다이오드 어레이로 이루어져 광전 변환에 의해 신호전하를 생성하는 포토 다이오드 어레이부와, 상기 적색 감지용 포토 다이오드 어레이의 타측에 각각 분리 구성되는 제 1, 2 HCCD 시프트 레지스터와, 상기 녹색 감지용 포토 다이오드 어레이 일측에 구성되는 제 3 HCCD 시프트 레지스터로 이루어져 상기 각각의 포토 다이오드 어레이에서 생성된 신호전하를 받아 특정 방향으로 이동시키는 HCCD 시프트 레지스터와, 상기 각각의 분리영역상에 구성되어 상기 포토 다이오드 어레이부에서생성된 신호전하를 상기 제 1, 2, 3 HCCD 시프트 레지스터로 이동시키는 제 1, 2, 3, 4 트랜스퍼 게이트를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 컬러선형 전하결합소자.
  2. 제 1항에 있어서, 제 2 HCCD 시프트 레지스터는 청색 감지용 포토 다이오드 어레이에서 생성된 신호전하를 특정 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 컬러선형 전하결합소자.
  3. 제1항에 있어서, 제 1 HCCD 시프트 레지스터는 적색 감지용 포토 다이오드 어레이에서 생성된 신호전하를 특정 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 컬러선형 전하결합소자.
  4. 제1항에 있어서, 제 3 HCCD 시프트 레지스터는 녹색 감지용 포토 다이오드 어레이에서 생성된 신호전하를 특정 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 컬러선형 전하결합소자.
  5. 제1항에 있어서, 제 1 트랜스퍼 게이트는 녹색 감지용 포토 다이오드 어레이와 제 3 HCCD 시프트 레지스터의 분리영역상에 위치하여 상기 녹색 감지용 포토 다이오드 어레이에서 생성되어진 전하를 상기 제 3 HCCD 시프트 레지스터 영역으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 컬러선형 전하결합소자.
  6. 제1항에 있어서, 제 2 트랜스퍼 게이트는 청색 감지용 포토 다이오드 어레이와 적색 감지용 포토 다이오드 어레이의 분리 영역상에 위치하여 인가되는 ON, OFF 신호에 의해 청색 감지용 포토 다이오드 어레이에서 생성된 신호전하를 상기 적색 감지용 포토 다이오드 어레이 영역으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 컬러선형 전하결합소자.
  7. 제1항에 있어서, 제 3 트랜스퍼 게이트는 제 2 HCCD 시프트 레지스터와 적색 감지용 포토 다이오드 어레이의분리 영역상에 위치하여 상기 청색 감지용 포토 다이오드 어레이 또는 적색 감지용 포토 다이오드 어레이에서 생성된 전하를 상기 제 2 HCCD 시프트 레지스터 영역으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 컬러선형 전하결합소자.
  8. 제1항에 있어서, 제 4 트랜스퍼 게이트는 제 1 HCCD 시프트 레지스터와 제 2 HCCD 시프트 레지스터의 분리 영역상에 위치하여 상기 제 2 HCCD 시프트 레지스터 영역으로 이동되어진 적색 감지용 포토 다이오드 어레이에서 생성된 전하를 제 1 HCCD 시프트 레지스터 영역으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 컬러선형 전하결합소자.
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서, 적색 감지용 포토 다이오드 어레이상에는 청색 감지용 포토 다이오드 어레이에서생성된 전하의 이동을 제어하기 위한 스토리지 게이트가 더 구비됨을 특징으로 하는 컬러선형 전하결합소자.
  10. 제1항에 있어서, 청색 감지용 포토 다이오드 어레이와 녹색 감지용 포토 다이오드 어레이는 고농도 제 2 도전형 불순물 이온주입으로 형성되는 채널 스톱층에 의해 서로 격리되는 것을 특징으로 하는 컬러선형 전하결합소자.
  11. 적색 감지용 포토 다이오드 어레이와 상기 적색 감지용 포토 다이오드 어레이 일측에 각각 분리 구성되는청색, 녹색 감지용 포토 다이오드 어레이로 이루어져 광전 변환에 의해 선호전하를 생성하는 포토 다이오드어레이부와, 상기 적색 감지용 포토 다이오드 어레이의 타측에 각각 분리 구성되는 제 1, 2 HCCD 시프트 레지스터와, 상기 녹색 감지용 포토 다이오드 어레이 일측에 구성되는 제3 HCCD 시프트 레지스터로 이루어져 상기 각각의 포토 다이오드 어레이에서 생성된 신호전하를 받아 특정 방향으로 이동시키는 HCCD 시프트 레지스터와, 상기 각각의 분리영역상에 구성되어 상기 포토 다이오드 어레이부에서 생성된 신호전하를 상기 제 1, 2, 3 HCCD 시프트 레지스터로 이동시키는 제 1, 2, 3, 4 트랜스퍼 게이트를 포함하여 이루어진 컬러선형 전하결합소자 구동방법에 있어서, 상기 제 1, 3, 4 트랜스퍼 게이트의 구동에 의해 적색 감지용 포토 다이오드 어레이에서 생성된 신호전하를 제 2 HCCD 시프트 레지스터 영역을 거쳐 제 1 HCCD 시프트 레지스터 영역으로 이동시킴과 동시에 녹색 감지용 포토 다이오드 어레이에서 생성된 신호전하를 제 3 HCCD 시프트 레지스터 영역으로 이동시킨 후에, 제4 트랜스퍼 게이트를 OFF하고 제 2 트랜스퍼 게이트를 ON하여 청색 감지용 포토 다이오드 어레이에서 생성된 신호전하를 적색 감지용 포토 다이오드 어레이 영역을 거쳐 제 2 HCCD 시프트 레지스터 영역으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 컬러선형 전하결합소자의 구동방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 각각의 포토 다이오드 어레이에서 각각의 제 1, 2, 3 HCCD 시프트 레지스터 영역으로 신호전하를 이동시키는 동안에는 상기 제 1, 2, 3 HCCD 시프트 레지스터의 클럭은 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 컬러선형 전하결합소자의 구동방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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