KR970053395A - 반도체 장치의 소자 분리 방법 - Google Patents

반도체 장치의 소자 분리 방법 Download PDF

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Abstract

고집적화된 트랜지스터의 셀 영역 확보 및 향상된 소자 분리효과를 얻을 수 있는 반도체 장치의 소자분리 방법에 관해 개시한다. 본 발명은 LOCOS법 또는 SEPOX법에 의한 필드산화막 형성시 활성영역을 한정하는 질화막 패턴을 형성한 후 SION막을 형성한 다음 필드 산화막을 형성하기 위한 열산화공정을 수행한다.
본 발명에 의하면 SION막이 질화막 패턴위에 부수적으로 형성된 산화막 제거 공정시 보호막의 역할을 하여 필드산화막의 식각을 방지하는 역할을 하고, 버즈 비크의 발생원인이 되는 질화막의 들림을 방지하여 버즈비크를 감소시킴으로써 반도체 장치의 고집적화를 이룰 수 있다.

Description

반도체 장치의 소자 분리 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도 내지 제4도는 종래의 LOCOS법에 의한 반도체 장치의 소자분리방법을 단계별로 나타내는 도면들이다,
제5도 내지 제9도는 종래의 SEPOX법에 의한 반도체 장치의 소자분리방법을 단계별로 나타내는 도면들이다,
제10도 내지 제13도는 본 발명의 LOCOS법에 의한 반도체 장치의 소자분리방법을 단계별로 나타내는 도면들이다.

Claims (10)

  1. 반도체 기판상에 패드산화막, 질화막을 순차적으로 형성하는 공정; 상기 질화막을 사진 식각공정으로 식각하여 소자형성영역 위에 질화막패턴을 형성하는 공정; 상기 질화막패턴 및 노출된 패드산화막 전면에 SION막을 형성하는 단계; 상기 결과물이 형성된 실리콘 기판을 열산화시켜 필드산화막을 형성하는 단계; 상기 SION막, 질화막패턴 및 패드산화막을 차례대로 제거하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 소자분리방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 SION 막은 실란(SiH4) 또는 다이클로로실란(SiH2Cl2)중에서 선택된 어느 하나의 가스와 NH4 +및 N2O2+의 혼합가스를 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 소자분리방법.
  3. 제1항에 있어서, 혼합가스의 혼합비율은 SiH2Cl2또는 SiH4;NH4 +는 1:5 내지 1:15이고 SiH2Cl2또는 SiH4;N2O2+는 1:5 내지 1:15임을 특징으로 하는 반도체 장치의 소자분리방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 SION 막은 30 내지 15Å 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 소자분리방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 열산화공정은 950 내지 1100℃에서 수행되는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 소자분리방법.
  6. 반도체 기판상에 패드산화막, 폴리실리콘막 및 질화막을 순차적으로 형성하는 공정; 상기 질화막을 사진식각공정으로 식각하여 소자형성영역 위에 질화막패턴을 형성하는 공정; 상기 질화막패턴 및 노출된 폴리실리콘막위에 SION막을 형성하는 단계; 상기 결과물을 열산화시켜 필드산화막을 형성하는 단계; 및 상기 SION막, 질화막, 폴리실리콘막 및 패드산화막을 제거하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 소자분리방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 SION막은 실란(SiH4) 또는 다이클로로실란(SiH2Cl2)중에서 선택된 어느 하나의 가스와 NH4 +및 N2O2+의 혼합가스를 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 소자분리방법.
  8. 제6항에 있어서, 혼합가스의 혼합비율은 SiH2Cl2또는 SiH4;NH4 +는 1:5 내지 1:15이고 SiH2Cl2또는 SiH4;N2O2+는 1:5 내지 1:15임을 특징으로 하는 반도체 장치의 소자분리방법.
  9. 제6항에 있어서, 상기 SION 막은 30 내지 15Å 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 소자분리방법.
  10. 제6항에 있어서, 상기 열산화공정은 950 내지 1100℃에서 수행되는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 소자분리방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5972746A (en) * 1996-10-08 1999-10-26 Mosel Vitelic, Inc. Method for manufacturing semiconductor devices using double-charged implantation
KR100232898B1 (ko) * 1997-05-07 1999-12-01 김영환 반도체소자의 소자분리절연막 형성방법
US5989957A (en) * 1997-05-21 1999-11-23 Advanced Micro Devices Process for fabricating semiconductor memory device with high data retention including silicon oxynitride etch stop layer formed at high temperature with low hydrogen ion concentration
US5998277A (en) * 1998-03-13 1999-12-07 Texas Instruments - Acer Incorporated Method to form global planarized shallow trench isolation
US6117733A (en) * 1998-05-27 2000-09-12 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Poly tip formation and self-align source process for split-gate flash cell
US6239003B1 (en) * 1998-06-16 2001-05-29 Texas Instruments Incorporated Method of simultaneous fabrication of isolation and gate regions in a semiconductor device
US6096613A (en) * 1998-06-26 2000-08-01 Acer Semiconductor Manufacturing Inc. Method for poly-buffered locos without pitting formation
US5879992A (en) * 1998-07-15 1999-03-09 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Method of fabricating step poly to improve program speed in split gate flash
US6121088A (en) * 1998-09-17 2000-09-19 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Method of manufacture of undoped polysilicon as the floating-gate of a split-gate flash cell
JP3751469B2 (ja) * 1999-04-26 2006-03-01 沖電気工業株式会社 Ｓｏｉ構造の半導体装置の製造方法
JP2005332996A (ja) * 2004-05-20 2005-12-02 Oki Electric Ind Co Ltd 半導体装置、及びその製造方法
KR100855960B1 (ko) * 2005-09-20 2008-09-02 삼성전자주식회사 기판 스트레스를 억제할 수 있는 ｃｍｏｓ 이미지 소자 및그 제조방법
TWI424803B (zh) 2008-06-11 2014-01-21 System General Corp 端蓋板及具有該端蓋板之馬達轉子

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR950002188B1 (ko) * 1992-02-12 1995-03-14 삼성전자주식회사 반도체 장치의 소자분리 방법
JPH06216120A (ja) * 1992-12-03 1994-08-05 Motorola Inc 集積回路の電気的分離構造の形成方法
JPH0897202A (ja) * 1994-09-22 1996-04-12 Fujitsu Ltd 半導体装置の製造方法

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