KR970052360A - 림형 위상반전마스크를 이용한 반도체 장치의 스몰콘택홀 형성방법 - Google Patents
림형 위상반전마스크를 이용한 반도체 장치의 스몰콘택홀 형성방법 Download PDFInfo
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Abstract
직사각형 형태의 림형 위상반전마스크를 이용한 반도체 장치의 스몰콘택홀 형성방법에 관하여 개시한다. 본 발명은 마스크 기판에 마스크 패턴이 형성된 마스크를 이용하여 콘택홀을 형성하는 반도체 장치의 스몰 콘택홀 형성방법에 있어서, 상기 마스크 패턴은 직사각형으로 형성되어 있고, 그 주변에 림영역이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 스몰 콘택홀 형성방법을 제공한다. 본 발명은 직사각형 형태의 림형 위상반전마스크를 이용하여 콘택홀의 해상도 및 초점심도의 향상을 꾀할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 의한 직가각형 형태의 림형 위상반전마스크를 도시한 레이아웃도이다.
Claims (1)
- 마스크 기판에 마스크 패턴이 형성된 마스크를 이용하여 콘택홀을 형성하는 반도체 장치의 스몰 콘택홀 형성방법에 있어서, 상기 마스크 패턴은 직사각형으로 형성되고 있고, 그 주변에 림영역이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 스몰 콘택홀 형성방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950057031A KR970052360A (ko) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 림형 위상반전마스크를 이용한 반도체 장치의 스몰콘택홀 형성방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950057031A KR970052360A (ko) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 림형 위상반전마스크를 이용한 반도체 장치의 스몰콘택홀 형성방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970052360A true KR970052360A (ko) | 1997-07-29 |
Family
ID=66618301
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950057031A KR970052360A (ko) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 림형 위상반전마스크를 이용한 반도체 장치의 스몰콘택홀 형성방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970052360A (ko) |
-
1995
- 1995-12-26 KR KR1019950057031A patent/KR970052360A/ko not_active Application Discontinuation
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