KR970051787A - 방전램프 - Google Patents

방전램프 Download PDF

Info

Publication number
KR970051787A
KR970051787A KR1019960062368A KR19960062368A KR970051787A KR 970051787 A KR970051787 A KR 970051787A KR 1019960062368 A KR1019960062368 A KR 1019960062368A KR 19960062368 A KR19960062368 A KR 19960062368A KR 970051787 A KR970051787 A KR 970051787A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
coating layer
discharge lamp
light emitting
main component
light
Prior art date
Application number
KR1019960062368A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100426580B1 (ko
Inventor
다츠시 이가라시
오사무 미즈노
가즈오 나카무라
쇼이치 미야마
Original Assignee
다나카 아키히로
우시오덴키 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 다나카 아키히로, 우시오덴키 가부시키가이샤 filed Critical 다나카 아키히로
Publication of KR970051787A publication Critical patent/KR970051787A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100426580B1 publication Critical patent/KR100426580B1/ko

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70008Production of exposure light, i.e. light sources
    • G03F7/70016Production of exposure light, i.e. light sources by discharge lamps
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02Details
    • H01J61/38Devices for influencing the colour or wavelength of the light
    • H01J61/40Devices for influencing the colour or wavelength of the light by light filters; by coloured coatings in or on the envelope

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)

Abstract

본 발명은 단파장의 자외선을 양호하게 컷트할 수 있고, 또한 365nm(i선)의 방사광량을 올릴 수 있는 방전램프를 제공하는 것을 목적으로 하며, 석영글래스로 이루어지는 발광판(1)의 외면(14)에 Ta2o5를 주성분으로 하는 코팅층(21)과, 이 코팅층(21)과 굴절률이 다른 1층 혹은 복수층의 다른 코팅층(20,22)을 가지고, 이들 1조의 코팅층에 의해 발광관(1)의 외면에서 발생하는 파장 365nm인 광반사를 거의 0%로 함과 동시에, 상기 1조의 코팅층에 의해 230nm 이하인 자외선을 50%이상 컷트하는 것을 특징으로 한다. 또, 1조의 코팅층은 발광관(1)의 내면에 형성할 수 있고, 또 내면과 외면의 양쪽에 형성할 수도 있다.

Description

방전램프
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 관련한 쇼트아크형 수은램프의 전체도.
제2도는 본 발명의 코팅의 상태를 도시한 도면.
제3도는 본 발명의 코팅을 실시한 램프에 의한 분광스펙트럼을 도시한 도면.

Claims (4)

  1. 석영글래스로 이루어지는 발광판의 외면 혹은 내면에, Ta2O5를 주성분으로 하는 코팅층과, 이 코팅층과 굴절률이 다른 1층 혹은 복수층의 다른 코팅층을 가지며, 이들 1조의 코팅층에 의해 발광판의 외면 혹은 내면에서 발생하는 파장 365nm인 광반사를 거의 0%로 함과 동시에, 상기 1조의 코팅층에 의해 230nm이하의 자외선을 50% 이상 컷트하는 것을 특징으로 하는 방전램프.
  2. 제1항에 있어서, 상기 Ta2O5를 주성분으로 하는 코팅층의 막두께는 광학막두께로 20nm∼900nm인 것을 특징으로 하는 방전램프.
  3. 제1항에 있어서, 상기 다른 코팅층은 그 주성분이 Al2O3또는 SiO2인 것을 특징으로 하는 방전램프.
  4. 제1항에 있어서, 상기 방전램프는 쇼트아크형 수은램프인 것을 특징으로 하는 방전램프.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960062368A 1995-12-20 1996-12-06 방전램프 KR100426580B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP95-354972 1995-12-20
JP35497295A JP3261961B2 (ja) 1995-12-20 1995-12-20 放電ランプ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR970051787A true KR970051787A (ko) 1997-07-29
KR100426580B1 KR100426580B1 (ko) 2004-07-05

Family

ID=18441119

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019960062368A KR100426580B1 (ko) 1995-12-20 1996-12-06 방전램프

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5861715A (ko)
EP (1) EP0780880B1 (ko)
JP (1) JP3261961B2 (ko)
KR (1) KR100426580B1 (ko)
DE (1) DE69605392T2 (ko)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001332216A (ja) * 2000-03-14 2001-11-30 Toshiba Lighting & Technology Corp 放電ランプ、光照射装置、殺菌装置、液体処理装置および空気清浄装置
US6670758B2 (en) * 2001-11-27 2003-12-30 Luxtel Llc Short arc lamp improved thermal transfer characteristics
DE10222954A1 (de) * 2002-05-24 2003-12-04 Philips Intellectual Property Hochdruckgasentladungslampe
TWI288277B (en) * 2004-02-20 2007-10-11 Jr-Yung Liou Flat light source with high brightness and high uniformity
JP4736900B2 (ja) * 2006-03-30 2011-07-27 ウシオ電機株式会社 ショートアーク型水銀ランプ
JP2011511404A (ja) * 2008-02-05 2011-04-07 オスラム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 熱的に改良されたランプ
JP5167955B2 (ja) * 2008-05-27 2013-03-21 ウシオ電機株式会社 キセノンランプ
DE102010028472A1 (de) * 2010-05-03 2011-11-03 Osram Gesellschaft mit beschränkter Haftung Edelgas - Kurzbogen - Entladungslampe
KR101295700B1 (ko) * 2011-08-08 2013-08-14 김우섭 포토 리소그래피 시스템의 노광장치 또는 lcd 경화 시스템에서의 램프
JP5891795B2 (ja) * 2012-01-11 2016-03-23 ウシオ電機株式会社 光源装置
DE102015209382A1 (de) * 2015-05-21 2016-11-24 Dr. Laure Plasmatechnologie Gmbh Leuchtmittel, Beschichtung für ein Leuchtmittel und Beschichtungsverfahren
WO2017052450A1 (en) * 2015-09-22 2017-03-30 Lightlab Sweden Ab Extraction structure for a uv lamp

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1177704A (en) * 1981-07-20 1984-11-13 James D. Rancourt Optical coatings for high temperature applications
JPS5958753A (ja) * 1982-09-28 1984-04-04 株式会社東芝 白熱電球
KR890004640B1 (ko) * 1984-09-28 1989-11-21 가부시끼 가이샤 도시바 광확산코우팅 및 그 형성방법과 코우팅한 램프
JP2668828B2 (ja) * 1988-07-05 1997-10-27 ウシオ電機株式会社 ショートアーク放電灯
JPH0773042B2 (ja) * 1989-11-24 1995-08-02 東芝ライテック株式会社 管 球
JPH05242864A (ja) * 1991-04-08 1993-09-21 Shinetsu Quartz Prod Co Ltd 放電管
JPH0570901A (ja) 1991-09-16 1993-03-23 Hitachi Metals Ltd Fe基軟磁性合金
DE4230986C2 (de) * 1991-09-16 2001-03-08 Hitachi Metals Ltd Nanokristalline, weichmagnetische Legierung
JP3222546B2 (ja) * 1992-06-04 2001-10-29 旭光学工業株式会社 紫外線照射装置の多層膜反射鏡および紫外線照射装置
EP0657752A1 (en) * 1993-12-08 1995-06-14 Osram Sylvania Inc. Optical coating and lamp employing same
US5646472A (en) * 1994-05-12 1997-07-08 Iwasaki Electric Co., Ltd. Metal halide lamp
JP3312670B2 (ja) * 1994-05-12 2002-08-12 岩崎電気株式会社 メタルハライドランプ
US5552671A (en) * 1995-02-14 1996-09-03 General Electric Company UV Radiation-absorbing coatings and their use in lamps

Also Published As

Publication number Publication date
KR100426580B1 (ko) 2004-07-05
EP0780880A1 (en) 1997-06-25
JP3261961B2 (ja) 2002-03-04
US5861715A (en) 1999-01-19
EP0780880B1 (en) 1999-12-01
DE69605392D1 (de) 2000-01-05
JPH09171800A (ja) 1997-06-30
DE69605392T2 (de) 2000-06-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR970051787A (ko) 방전램프
KR940005745A (ko) 유리 피복물
CA2244185A1 (en) Light guide employing multilayer optical film
KR860000694A (ko) 백열전구
KR920021460A (ko) 반사율 감소 피막을 지닌 유리판
PT2267491E (pt) Substrato transparente comportando um revestimento anti-reflexo
BR9405295A (pt) Vidraça e processo de obtenção da mesma.
JP2009116219A (ja) 反射防止膜、反射防止膜の形成方法、及び透光部材
KR970701379A (ko) 포토마스크 블랭크(Photomask Blanks)
JP2009116218A (ja) 反射防止膜、反射防止膜の形成方法、及び透光部材
JP2009116220A (ja) 反射防止膜、反射防止膜の形成方法、及び透光部材
KR850005731A (ko) 패턴 검출방법
KR910010618A (ko) 광학 간섭 필름 및 그 필름을 구비한 램프
TW200517680A (en) Highly reflective optical element
HUP0003262A2 (hu) Nagy reflexiós tényezőjű, bevonattal ellátott szubsztrátumok
CA2157070A1 (en) Optical lens of transparent plastic
JP2005235762A (ja) 平面光源
KR950704723A (ko) 포토마스크 블랭크(Photomask Blanks)
JP4429019B2 (ja) ランプ
KR880002922A (ko) 방충용 필름 또는 시트
JP2002241193A5 (ko)
JPH11273407A (ja) 車両用灯具
KR950020948A (ko) 화상표시장치
KR20050014488A (ko) 광변색 화합물을 이용한 자동차용 눈부심 방지 거울
KR970001251A (ko) 거울 및 이의 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20090129

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee