JP5891795B2 - 光源装置 - Google Patents
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Description
そして、上記のショートアーク型フラッシュランプを、例えば回転楕円面状の光反射面を有する凹面反射鏡に、当該ショートアーク型フラッシュランプの輝点が当該凹面反射鏡の第1焦点に位置するよう配置されることによって、光源装置が構成される。
上記の光源装置においては、ショートアーク型フラッシュランプから放射された光のうち、例えば波長190〜350nmの紫外線は、凹面反射鏡によって反射することにより、当該凹面反射鏡の第2焦点に集光するが、例えば波長190nm以下の短波長の紫外線については、凹面反射鏡の第2焦点に十分に集光せず、従って、短波長の紫外線について高い光の利用率を得ることが困難である。
また、凹面反射鏡として、回転放物面状の光反射面を有するものを用いた場合にも、同様の問題が生じる。すなわち、例えば波長190〜350nmの紫外線についは、凹面反射鏡によって反射することにより、平行光を形成することができるが、例えば波長190nm以下の短波長の紫外線については、平行光を十分に形成することができず、従って、短波長の紫外線について高い光の利用率を得ることが困難である。
このような問題について、本発明者らが鋭意検討したところ、発光管80の発光部81を構成する材料は、短波長の紫外線の屈折率が高いものであるため、当該発光部81の形状との関係で、短波長の紫外線について集光光または平行光を形成することが困難となる、と推測される。
前記発光部を取り囲むよう配置された、回転楕円面状若しくは回転放物面状の光反射面を有する凹面反射鏡
を備えてなる光源装置であって、
前記発光部は、波長200nmの光の屈折率が1.55以下である材料よりなり、当該発光部における管軸方向の半径をaとし、管軸方向に垂直な方向の半径をbとしたとき、下記式を満足することを特徴とする。
式:1/3≦b/a≦3
図1は、本発明の光源装置の一例における構成を示す説明用断面図である。この光源装置は、略球状の発光部12を有する発光管11を備えた、紫外線を放射するショートアーク型フラッシュランプ(以下、単に「フラッシュランプ」ともいう。)10と、このフラッシュランプ10からの紫外線を反射する光反射部31を有し、当該光反射部31がフラッシュランプ10の発光管11における発光部12を取り囲むよう配置された凹面反射鏡30とにより構成されている。
発光管11における発光部12内には、陽極20および陰極21よりなる一対の放電電極が、当該発光部12の管軸方向に沿って互いに離間して対向するよう配置されていると共に、トリガー電極22が、その先端が陽極20および陰極21の間に位置するよう配置されている。
発光管11における一方の封止部13には、その管軸方向に気密に貫通して伸びる例えばタングステンよりなるリード棒25が、当該一方の封止部13に保持された状態で設けられ、他方の封止部14には、その管軸方向に気密に貫通して伸びる例えばタングステンよりなるリード棒26が、当該他方の封止部14に保持された状態で設けられおり、陽極20は、一方の封止部13に設けられたリード棒25の先端に電気的に接続されて保持され、陰極21は、他方の封止部14に設けられたリード棒26の先端に電気的に接続されて保持されている。
また、トリガー電極用封止部15内には、例えばモリブデンよりなる金属箔23が埋設されており、トリガー電極22の基端部が金属箔23の内端部に電気的に接続され、当該金属箔23の外端部は、トリガー電極用封止部15の外端から外方に突出して伸びるタングステンよりなるリード線27に電気的に接続されている。
また、発光管11における発光部12内には、不活性ガスが封入されている。
このような発光部11を構成する材料としては、石英ガラスなどを用いることができる。
式:1/3≦b/a≦3
ここで、「半径」は、発光部12の外表面によって描かれる球状体の最大外径の1/2の値である。
発光部12における管軸方向の半径(a)に対する管軸方向に垂直な方向の半径(b)の比(b/a)が1/3未満である場合には、発光部12を通過する出射光の屈折角が大きくなり、凹面反射鏡30による反射光が最適光学設計から著しくずれてしまい、所期の位置に光を集光させることが困難となる。一方、発光部12における管軸方向の半径(a)に対する管軸方向に垂直な方向の半径(b)の比(b/a)が3を超える場合には、発光部12は、その管軸方向に垂直な方向の径が、管軸方向の径より相当に大きいものとなるため、発光部12を通過する出射光の屈折角が大きくなり、凹面反射鏡30による反射光が最適光学設計から著しくずれてしまい、所期の位置に光を集光させることが困難となる。
また、発光管11における発光部12の肉厚は、0.3〜10mmであることが好ましい。
陽極20と陰極21との間の電極間距離は、例えば1〜10mmである。
また、トリガー電極22は、その先端が陽極20と陰極21との中間点位置より陰極21側に位置するよう配置されていることが好ましい。陰極21の先端とトリガー電極22の先端との離間距離は、例えば0.5〜1mmである。
不活性ガスの封入圧は、1×105 Pa以上とされ、好ましくは3×105 〜8×105 Paとされる。不活性ガスの封入圧が過小である場合には、高出力の光を出射することが困難となる。一方、不活性ガスの封入圧が過大である場合には、フラッシュランプが点灯しにくくなるため好ましくない。
そして、フラッシュランプ10は、凹面反射鏡30における光反射部31側から頸部33の筒孔内に発光管11における他方の封止部14が挿入されて、当該フラッシュランプ10の輝点が当該凹面反射鏡30の第1焦点に位置するよう配置され、この状態で、発光管11における他方の封止部14の外面と凹面反射鏡30における頸部33の内面とが接着材35によって固定されている。
例えば上記の実施の形態において、凹面反射鏡30における光反射部31は、回転楕円面状の光反射面32を有するものであるが、回転放物面状の光反射面32を有するものであってもよい。
このような光源装置によれば、フラッシュランプ10から放射される光のうち短波長の紫外線に対しても確実に平行光を形成することができ、従って、短波長の紫外線について高い光の利用率が得られる。
図1に示す構成に従い、下記の仕様の光源装置を作製した。
[1]フラッシュランプ(10)
〈発光管(11)〉
発光部(12)の材質:波長200nmの光の屈折率が1.54の石英ガラス,発光部(12)における管軸方向の半径(a):24mm,発光部(12)における管軸方向に垂直な方向の半径(b):8mm(b/a=1/3)
一方の封止部(13)および他方の封止部(14)の外端部分の材質:ホウケイ酸ガラス(GE社製のNo.1ガラス),一方の封止部(13)寸法:長さ=30mm,外径=8mm,他方の封止部(14)寸法:長さ=30mm,外径=8mm
〈電極〉
陽極(20)の材質:タングステン,陽極(20)の寸法:外径=4mm、長さ=5mm
陰極(21)の材質:BaO系酸化物含浸タングステン,陰極(21)の寸法:外径=4mm、長さ=5mm
トリガー電極(22)の材質:タングステン,トリガー電極(22)の径:0.8mm 陽極(20)および陰極(21)の電極間距離=3mm
陰極(21)およびトリガー電極(22)の離間距離=0.8mm
[金属箔(23)]
材質:モリブデン
[リード棒(25,26)]
材質:タングステン,外径=1.0mm
[リード線(27)]
材質:タングステン,外径=2.0mm
[不活性ガス]
ガス種:キセノンガス,封入圧=3×105 Pa
基体の材質:ガラス,
〈光反射部(31)〉
光反射面(32)の材質:アルミニウム金属膜,光反射面(32)の形状:回転楕円面,光反射部(31)の寸法:開口の径=74.4mm,底部から開口までの長さ=56.5mm,第1焦点と第2焦点との距離=102.8mm
〈頸部(33)〉
寸法:長さ=15mm,外径=32mm,内径=26mm
フラッシュランプ(10)として、発光管(11)の発光部(12)における管軸方向の半径(a)を13mm,発光部(12)における管軸方向に垂直な方向の半径(b)を13mm(b/a=1)に変更したものを用いたこと以外は、実施例1と同様の構成のフラッシュランプを作製した。
フラッシュランプ(10)として、発光管(11)の発光部(12)における管軸方向の半径(a)を8mm,発光部(12)における管軸方向に垂直な方向の半径(b)を24mm(b/a=3)に変更したものを用いたこと以外は、実施例1と同様の構成のフラッシュランプを作製した。
フラッシュランプ(10)として、発光管(11)の発光部(12)の材質を、波長200nmの光の屈折率が1.56の硬質ガラス−1に変更したものを用いたこと以外は、実施例1と同様の構成のフラッシュランプを作製した。
フラッシュランプ(10)として、発光管(11)の発光部(12)の材質を、波長200nmの光の屈折率が1.60の硬質ガラス−2に変更したものを用いたこと以外は、実施例1と同様の構成のフラッシュランプを作製した。
フラッシュランプ(10)として、発光管(11)の発光部(12)における管軸方向の半径(a)を24mm,発光部(12)における管軸方向に垂直な方向の半径(b)を6mm(b/a=1/4)に変更したものを用いたこと以外は、実施例1と同様の構成のフラッシュランプを作製した。
フラッシュランプ(10)として、発光管(11)の発光部(12)の材質を、波長200nmの光の屈折率が1.56の硬質ガラス−1に変更すると共に、発光部(12)における管軸方向の半径(a)を24mm,発光部(12)における管軸方向に垂直な方向の半径(b)を6mm(b/a=1/4)に変更したものを用いたこと以外は、実施例1と同様の構成のフラッシュランプを作製した。
フラッシュランプ(10)として、発光管(11)の発光部(12)の材質を、波長200nmの光の屈折率が1.60の硬質ガラス−2に変更すると共に、発光部(12)における管軸方向の半径(a)を24mm,発光部(12)における管軸方向に垂直な方向の半径(b)を6mm(b/a=1/4)に変更したものを用いたこと以外は、実施例1と同様の構成のフラッシュランプを作製した。
フラッシュランプ(10)として、発光管(11)の発光部(12)の材質を、波長200nmの光の屈折率が1.60の硬質ガラス−2に変更すると共に、発光部(12)における管軸方向の半径(a)を13mm,発光部(12)における管軸方向に垂直な方向の半径(b)を13mm(b/a=1)に変更したものを用いたこと以外は、実施例1と同様の構成のフラッシュランプを作製した。
フラッシュランプ(10)として、発光管(11)の発光部(12)の材質を、波長200nmの光の屈折率が1.56の硬質ガラス−1に変更すると共に、発光部(12)における管軸方向の半径(a)を8mm,発光部(12)における管軸方向に垂直な方向の半径(b)を24mm(b/a=3)に変更したものを用いたこと以外は、実施例1と同様の構成のフラッシュランプを作製した。
フラッシュランプ(10)として、発光管(11)の発光部(12)の材質を、波長200nmの光の屈折率が1.60の硬質ガラス−2に変更すると共に、発光部(12)における管軸方向の半径(a)を8mm,発光部(12)における管軸方向に垂直な方向の半径(b)を24mm(b/a=3)に変更したものを用いたこと以外は、実施例1と同様の構成のフラッシュランプを作製した。
実施例1〜3および比較例1〜8に係る光源装置の各々について、凹面反射鏡(30)の第2焦点の位置において光入射窓にスリットを取り付けた積分球を配置し、この状態で、フラッシュランプ(10)を10μF、1500Vの条件で点灯させ、波長350nmを超える光(以下、「V光」という。)、波長190〜350nmの光(以下、「UV光」という。)、および波長190nm未満の光(以下、「VUV光」という。)について、スリットを通過した後の広がり方を調べ、凹面反射鏡(30)の第2焦点における光の集光性を評価した。具体的には、スリットを通過して積分球に入射した光量を測定し、凹面反射鏡を付けていないフラッシュランプの全方位の放射エネルギー値[E0 ]に対する、積分球に入射した光量から算出される凹面反射鏡を取り付けた反射鏡で反射された光のエネルギー値[E1 ]の比率[(E1 /E0 )×100(%)]を求め、この比率が80〜100%の場合を○、60〜79%の場合を△、0〜59%の場合を×として、凹面反射鏡(30)の第2焦点における光の集光性を評価した。
以上、結果を下記表1に示す。
11 発光管
12 発光部
13 一方の封止部
14 他方の封止部
15 トリガー電極用封止部
20 陽極
21 陰極
22 トリガー電極
23 金属箔
25,26 リード棒
27 リード線
30 凹面反射鏡
31 光反射部
32 光反射面
33 頸部
35 接着材
80 発光管
81 発光部
82,83 封止部
84 トリガー電極用封止部
85,86 放電電極
87 トリガー電極
88,89 リード棒
Claims (1)
- 略球状の発光部の両端に管軸方向に沿って外方に伸びる封止部が形成されてなる発光管と、この発光部内に管軸方向に沿って互いに対向するよう配置された一対の放電電極と、これらの一対の放電電極の間に先端が位置するよう配置されたトリガー電極とを有し、前記発光部内に1×105 Pa以上の不活性ガスが封入された、波長190nm未満の紫外線を放射するショートアーク型フラッシュランプ、および
前記発光部を取り囲むよう配置された、回転楕円面状若しくは回転放物面状の光反射面を有する凹面反射鏡
を備えてなる光源装置であって、
前記発光部は、波長200nmの光の屈折率が1.55以下である材料よりなり、当該発光部における管軸方向の半径をaとし、管軸方向に垂直な方向の半径をbとしたとき、下記式を満足することを特徴とする光源装置。
式:1/3≦b/a≦3
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