KR970048693A - 높은 개구수의 링 전계 광학 축소 시스템 - Google Patents

높은 개구수의 링 전계 광학 축소 시스템 Download PDF

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Abstract

제1거울쌍,제2전계 거울쌍 및 제3거울쌍을 지니는 반도체 디바이스 제조용 포토리소그래피(photolithography)에서 사용되는 광학 투영 축소 시스템,레티클 또는 마스크를 형성하는 전자 방사선은 제1거울쌍에 의해 중간 이미지를 형성하는 제2전계 거울쌍으로 반사된다.제3거울쌍은 상기 중간 이미지를 웨이퍼에 있는 이미지 평면으로 재이미징 한다.6개의 모든 거울들은 구면이거나 비구면형이며 광학축에 대하여 회전 대칭이다.일부분이 스텝앤스캔(step and scan)포토리소그래피 시스템에서 사용될 수 있는 환상 링 전계(annular ring field)가 얻어진다.또 다른 실시예에서,약굴절 요소가 삽입되어 보다 높은 개구수를 허용하는 잔존 수차를 더욱 감소시킨다.본 발명의 반사 광학적 실시예에서,0.25의 개구수는 13나노미터의 파장을 갖는 전자 방사선에 있어서 0.03마이크론의 작용 해상도의 결과로서 얻어진다.광학 투영 축소 시스템은 원자외선 내지 경×선 파장의 범위에서 사용하도록 의도된다.본 발명은 비교적 높은 개구수를 제공하고 실질적으로 모든 굴절 요소를 사용하며,0.25마이크론 미만의 특징 사이즈를 갖는 반도체 디바이스의 제조를 상당히 용이하게 한다.

Description

높은 개구수의 링 전계 광학 축소 시스템
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 한 실시예에 대한 개략도.

Claims (20)

  1. 긴 컨주게이트(conjugate)단부로부터 짧은 컨주게이트 단부까지 포토리소그래피(photolithography)에서 사용되는 광학 축소 시스템에 있어서,제1거울쌍;상기 제1거울쌍으로부터 반사된 전자 방사선을 수신하도록 배치된 전계 거울쌍;및 상기 전계 거울쌍으로부터 반사된 전자 방사선을 수신하도록 배치된 제3거울쌍;을 포함하여,중간 영상이 영상면에 있는 최종 연상으로 재이미징되는 광학 축소 시스템.
  2. 제1항에 있어서,상기 중간 영상은 상기 제1거울쌍과 상기 제3거울쌍 사이의 축의 위치에서 형성되는 광학 축소 시스템.
  3. 제1항에 있어서,상기 중간 영상은 상기 제3거울쌍의 거울 사이의 축외 위치에서 형성되는 광학 축소 시스템.
  4. 제1항에 있어서,개구 조리개(aperture stop)는 상기 제1거울쌍 중 한 거울에서 또는 이 근처에서 형성되는 광학 축소 시스템.
  5. 제1항에 있어서,상기 제1거울쌍,상기 전계 거울쌍 및 상기 제2거울쌍은 광학축에 대하여 회전 대칭적인 광학 축소 시스템.
  6. 제1항에 있어서,상기 제1거울쌍,상기 전계 거울쌍 및 상기 제2거울쌍은 비구면형인 광학 축소 시스템.
  7. 제1항에 있어서,물체와 상기 제1거울쌍 사이에 배치된 제1굴절 요소;상기 제1거울쌍의 제2거울쌍에 또는 이 근처에 배치된 제2굴절요소;및 영상과 상기 제3거울쌍 사이에 배치된 제3굴절 요소를 부가적으로 포함하는 광학 축소 시스템.
  8. 제7항에 있어서,상기 제1굴절 요소는 광학축을 따라 축방향으로 이동가능한 광학 축소 시스템.
  9. 제7항에 있어서,상기 제1굴절 요소와 상기 제3굴절 요소에 의한 초점의 색채 변화는 실질적으로 상기 제2굴절 요소에 의해 교정되는 광학 축소 시스템.
  10. 제7항에 있어서,배율의 색채 변화는 상기 제1굴절 요소 및 상기 제3굴절 요소로부터의 기여도의 균형을 맞춤으로써 실질적으로 교정되는 광학 축소 시스템.
  11. 긴 컨주게이트 단부로부터 짧은 컨주게이트 단부까지 포토리소그래피에서 사용되는 광학 축소 시스템에 있어서,제1거울쌍;상기 제1거울쌍으로 부터 반사되어 광학축에서 벗어나는 주광선을 수신하도록 배치되며 상기 주광선을 광학축으로 수렴하는 주광선으로 변환시키는 전계 거울쌍;및 상기 전계 거울쌍으로부터 반사된 주광선을 수신하도록 배치된 제3거울쌍;을 포함하여,물체의 축소된 영상이 형성되는 광학 축소 시스템.
  12. 긴 컨주게이트 단부로부터 짧은 컨주게이트 단부까지 포토리소그래피에서 사용되는 광학 축소 시스템에 있어서,제1오목 거울;제2거울;제3오목 거울;제4오목 거울;제5볼록 거울;및 제6오목 거울;을 포함하여,상기 제1,제2,제3,제4,제5 또는 제6거울 중 두개가 전계 거울쌍으로서 작용하는 광학 축소 시스템.
  13. 제12항에 있어서,상기 제2거울은 오목 거울인 광학 축소 시스템.
  14. 제12항에 있어서,상기 제2거울은 볼록 거울인 광학 축소 시스템.
  15. 제12항에 있어서,개구 조리개는 상기 제2거울에서 또는 이 근처에서 형성되는 광학 축소 시스템.
  16. 긴 컨주게이트 단부로부터 짧은 컨주게이트 단부까지 포토리소그래피에서 사용되는 광학 축소 시스템에 있어서,제1오목 거울;상기 제1오목 거울로부터 반사된 전자 방사선을 수신하도록 배치된 제2거울;상기 제2거울로부터 반사된 전자 방사선을 수신하도록 배치된 제3오목 거울;상기 제3오목 거울로부터 반사된 전자 방사선을 수신하도록 배치된 제4오목 거울;상기 제4오목 거울로부터 반사된 전자 방사선을 수신하도록 배치된 제5볼록거울;및 상기 제5볼록 거울로부터 반사된 전자 방사선을 수신하도록 배치된 제6오목 거울;을 포함하며,상기 제1,제2,제3,제4,제5 및 제6거울은 광학축의 중심에 모이고,상기 제3오목 거울은 광학축에서 벗어나는 주 광선을 수신하며,상기 제4오목 거울은 상기 제3오목 거울에서 반사된 주 광선을 수신 및 반사시켜 상기 주 광선이 광학축으로 수렴하도록 하는 것을 특징으로 하는 광학 축소 시스템.
  17. 제16항에 있어서,상기 전자 방사선은 200 나노미터 미만의 파장을 지니는 광학 축소 시스템.
  18. 제17항에 있어서,중간 영상은 상기 제3오목 거울과 상기 제4오목 거울 사이에서 형성되는 광학 축소 시스템.
  19. 제17항에 있어서,중간 영상은 상기 제5볼록 거울과 상기 제6오목 거울 사이에서 형성되는 광학 축소 시스템.
  20. 제16항에 있어서,물체와 상기 제2거울 사이에 배치된 제1굴절 요소;상기 제2거울에 있는 이 근처에 배치된 제2굴절 요소;및 영상과 상기 제5거울 사이에 배치된 제3굴절요소;를 부가적으로 포함하는 광학 축소 시스템.
    ※ 참고사항: 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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