JP2007258625A - 露光装置及びレチクル - Google Patents
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Abstract
【課題】 投影光学系の開口数が異なる場合においても同一のレチクルで露光を行なうことができる露光装置を提供する。
【解決手段】 露光光により照明されたレチクルMに形成されているパターンを投影光学系PLを介して感光性基板W上に転写露光する露光装置において、前記レチクルMに対する前記露光光の主光線の入射角度θ(°)が、10≦θ≦16及び前記投影光学系PLの像側開口数NAが、0.2≦NA≦0.5の条件を満足する。
【選択図】 図1
【解決手段】 露光光により照明されたレチクルMに形成されているパターンを投影光学系PLを介して感光性基板W上に転写露光する露光装置において、前記レチクルMに対する前記露光光の主光線の入射角度θ(°)が、10≦θ≦16及び前記投影光学系PLの像側開口数NAが、0.2≦NA≦0.5の条件を満足する。
【選択図】 図1
Description
この発明は、半導体素子、液晶表示素子等のマイクロデバイスをリソグラフィ工程で製造するための露光装置及びレチクルに関するものである。
半導体デバイスや液晶表示デバイスは、マスク上に形成されたパターンを感光性の基板上に転写する、いわゆるフォトリソグラフィの手法により製造される。このフォトリソグラフィ工程で使用される露光装置は、マスク(レチクル、フォトマスク等)のパターンを、投影光学系を介してフォトレジスト等が塗布されたプレート(ガラスプレート、半導体ウエハ等)上に投影露光するものである。近年、デバイスパターンのより一層の高集積化に対応するために投影光学系の更なる高解像度化が望まれている。
投影光学系の解像度は、投影光学系の開口数が大きいほど、また使用する露光波長が短いほど高くなる。そのため、投影光学系の開口数は増大しており、露光装置で使用される露光波長もKrFエキシマレーザ(248nm)、ArFエキシマレーザ(193nm)、更に短い波長(11〜14nm)のEUV(Extreme Ultra Violet)光を使用した投影リソグラフィ技術が開発されている(例えば、特許文献1参照)。
米国 5815310号明細書
EUV光を露光光とするEUV用露光装置においては、従来のレンズのような透過屈折型の光学素子を使用できず、干渉により光を強め合う多層膜ミラー等の反射型の光学素子を使用し、レチクルも反射型レチクルを用いる。反射型レチクルとして、例えばモリブデン(Mo)層とシリコン(Si)層を交互に積層したMo/Si多層膜ミラーを使用する。ここで、多層膜の周期長(Mo層とSi層の一層対の合計膜厚)は、使用する露光波長及び露光光の入射角度の範囲に基づいて最適化する必要がある。即ち、使用する露光波長及び露光光の入射角度の範囲により最適な多層膜の周期長は異なる。
上述のように、EUV用露光装置においては、レチクルが反射型のレチクルとして、即ち多層膜ミラー上に吸収体がパターニングされて構成されているためレチクル側で非テレセントリックな光学系となり、露光光は所定の入射角度でレチクルに入射する。露光光の主光線の入射角度は、レチクルへの入射光とレチクルからの射出光とを空間的に分離する必要があるため、投影光学系の開口数に依存している。したがって、投影光学系の開口数により露光光の入射角度の範囲が定まり、定まった露光光の入射角度の範囲及び露光光の波長により最適なレチクルの多層膜の周期長が定まる。即ち、投影光学系の開口数が異なると、最適なレチクルの多層膜の周期長も異なるため、同一のパターンを転写する場合であっても、多層膜の周期長が異なる新たなレチクルを作製する必要があり、レチクルを作製するためのコストの負担が大きかった。
この発明の課題は、投影光学系の開口数が異なる場合においても同一のレチクルで露光を行なうことができる露光装置及びレチクルを提供することである。
この発明の露光装置は、露光光により照明されたレチクル(M)に形成されているパターンを投影光学系(PL)を介して感光性基板(W)上に転写露光する露光装置において、前記レチクル(M)に対する前記露光光の主光線の入射角度θ(°)が、10≦θ≦16及び前記投影光学系(PL)の像側開口数NAが、0.2≦NA≦0.5の条件を満足することを特徴とする。
また、この発明のレチクルは、感光性基板上に転写するためのパターンが形成されているレチクルであって、入射する光の主光線の入射角度θ(°)が10≦θ≦16のときに60%以上の反射率を有することを特徴とする。
この発明の露光装置によれば、レチクルに対する露光光の主光線の入射角度θ(°)が10≦θ≦16、及び投影光学系の像側開口数NAが0.2≦NA≦0.5の条件を満足しているため、同一のレチクルに対して投影光学系の開口数毎に最適な入射角度を設定することができる。したがって、投影光学系の開口数が異なる場合においても同一のレチクルを使用することができ、かつ高精度な露光を行なうことができる。
また、この発明のレチクルによれば、入射する光の主光線の入射角度θ(°)が10≦θ≦16のときに60%以上の反射率を有しているため、最適な入射角度を設定することにより異なる投影光学系の像側開口数を有する様々な露光装置に使用することができる。
以下、図面を参照して、この発明の実施の形態にかかる露光装置について説明する。図1は、実施の形態にかかる露光装置の概略構成を示す図である。また、以下の説明においては、図1中に示したXYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。XYZ直交座標系は、X軸及びY軸が感応基板としてのウエハWに対して平行となるよう設定され、Z軸がウエハWに対して直交する方向に設定されている。図中のXYZ直交座標系は、実際にはXY平面が水平面に平行な面に設定され、Z軸が鉛直方向に設定される。この実施の形態では、ウエハWを移動させる方向(走査方向)をX方向に設定している。
EUV光源31から射出したEUV光32は、照明光学系33を構成し、コリメータミラーとして作用する凹面反射鏡34を介してほぼ平行光束となり、オプティカルインテグレータ35に入射する。オプティカルインテグレータ35は、入射側フライアイミラー35a及び射出側フライアイミラー35bを備えている。入射側フライアイミラー35aは並列に配列され円弧状の形状を有する多数の要素ミラーにより構成されており、その入射面は後述するマスクM及びウエハW面と光学的に共役な位置またはその近傍に配置されている。入射側フライアイミラー35aに入射したEUV光は、入射側フライアイミラー35aの各要素ミラーにより波面分割される。
入射側フライアイミラー35aに入射したEUV光は、入射側フライアイミラー35aにより反射され、射出側フライアイミラー35bに入射する。射出側フライアイミラー35bは、並列に配列され矩形の形状を有する多数の要素ミラーにより構成されており、その射出面は後述する投影光学系PLの瞳位置と光学的に共役な位置またはその近傍に配置されている。入射側フライアイミラー35aの各要素ミラーにより反射されたEUV光は、射出側フライアイミラー35bの各要素ミラーに入射する。したがって、射出側フライアイミラー35bの射出側またはその近傍には、射出側フライアイミラー35bを構成する要素ミラーの数に応じた多数の集光点が形成され、二次光源が形成される。
射出側フライアイミラー35bにより反射されたEUV光は、平面反射鏡36により偏向され、露光領域規定部材1の細長い円弧状の視野制限スリットを通過する。露光領域規定部材1は、レチクルMと投影光学系PLとの間に配置され、ウエハW上の露光領域を規定する円弧状の視野制限スリットを有している。なお、ウエハW上に導かれるEUV光による露光領域が所定形状に規定されていればよいため、EUV光がレチクルMにより反射される前にEUV光を視野制限スリットによって制限するように構成してもよい。また、EUV光がレチクルMにより反射された後にEUV光を視野制限スリットによって制限するように構成してもよい。なお、この実施の形態にかかる露光領域は、円弧状に規定されているが、他の形状を有するようにしてもよい。
露光領域規定部材1の視野制限スリットを通過したEUV光は、反射型レチクルとしてのレチクルM上に円弧状の照明領域を形成する。このとき、レチクルMに対するEUV光の主光線の入射角度θ(°)は、10≦θ≦16の条件を満足している。
レチクルMはレチクルステージ55に搭載され、レチクルステージ55はX,Y,Zの各軸方向及び各軸まわりの回転方向に移動可能に構成されている。レチクルMは、モリブデン(Mo)層とシリコン(Si)層を交互に積層したMo/Si多層膜(Mo層の膜厚が2.49nm、Si層の膜厚が4.61nmの周期長7.1nmの40乃至50層対の多層膜)上に吸収体を形成することにより構成されている。図2は、Mo/Si多層膜(Mo層2.49nm、Si層4.61nmの50層対の多層膜)が積層されたレチクルMの反射率特性を示すグラフである。図2に示すように、レチクルMは波長13.5nmのEUV光の入射角度θ(°)が10≦θ≦16のときに約60%以上の反射率を有している。
レチクルMにより反射されたEUV光は、複数の反射鏡(図1において例示的に6つの反射鏡M1〜M6)からなる投影光学系PLに入射する。投影光学系PLの開口数NAは、0.2≦NA≦0.6の条件を満足している。投影光学系PLを介したEUV光は、ウエハW上にレチクルMのパターンの像を形成する。ウエハWはウエハステージ56に搭載され、ウエハステージ56はX,Y,Zの各軸方向及び各軸まわりの回転方向に移動可能に構成されている。
レチクルステージ55及びウエハステージ56のXY方向の位置は、図示しない干渉計により各々測定される。干渉計による測定結果は制御装置51に対して出力され、制御装置51は、レチクルステージ55及びウエハステージ56に対して駆動信号57,58を出力する。制御装置51からの駆動信号57,58に基づいて、リニアモータやエアアクチュエータ等の図示しないアクチュエータによりレチクルステージ55及びウエハステージ56は移動する。
この実施の形態にかかるEUV用露光装置においては、反射型のレチクルMが用いられているためレチクルM側で非テレセントリックな光学系となり、EUV光は所定の入射角度でレチクルMに入射する。従来の露光装置においては、露光光の主光線の入射角度θは投影光学系の像側開口数NAに依存していた。即ち、レチクルへの入射光とレチクルからの射出光とを空間的に分離する必要性から、θ>sin−1(NA×β)でなければならない。ここで、βは投影光学系の投影倍率である。
例えば、NA=0.25、β=1/4の場合、θ>3.6°でなければならない。また、図3に示すように、入射光20〜22と射出光23〜25との光路を確実に分離するために、最も直角に近い射出光23の反射角αを約2°にする必要があり、NA=0.25、β=1/4の投影光学系では、入射光の主光線21のレチクル側の入射角(射出角)θを約6°にする必要がある。
また、照明光学系のコヒーレントファクタ(σ)を0.8、入射光の主光線21の入射角(θ)を6°とした場合、入射光の入射角範囲は、最小角θ1=sin−1(sinθ−NA/β×σ)=3.1°、最大角θ2=sin−1(sinθ+NA/β×σ)=8.9°となる。したがって、上述の投影光学系に最適なレチクルの多層膜としては、入射光の入射角範囲3.1°〜8.9°において、高反射率を有する周期長を選択する必要があり、一例として周期長6.94nm(Mo層2.43nm、Si層4.51nm)の50層対の多層膜が挙げられる。
図4は、Mo/Si多層膜(Mo層2.43nm、Si層4.51nmの50層対の多層膜)の反射率特性を示すグラフである。図4に示すように、波長13.5nmのEUV光の入射角度θ(°)が3.1≦θ≦8.9の角度範囲においてほぼ平坦な反射率特性を有している。即ち、投影光学系の開口数NAが0.25のとき、図4に示す多層膜は、レチクルとして使用するのに最適である。
このように、投影光学系の開口数に基づいて露光光の主光線の入射角度が定まり、露光光の主光線の入射角度に基づいてレチクルの多層膜の周期長が定まる。即ち、上述のMo層2.43nm、Si層4.51nmの50層対の多層膜により形成されるレチクルは、開口数NA=0.25の投影光学系専用のレチクルとなる。露光装置が大NA化するに伴い、例えば投影光学系のNAが0.6まで拡大した場合、最適な多層膜は異なる。
例えば投影光学系の開口数NAが0.6まで拡大したとして、NA=0.25の場合と同様の計算を行う。レチクルへの入射光とレチクルからの射出光とを空間的に分離する必要性から、露光光の主光線の入射角θは、θ>sin−1(NA×β)であるから、NA=0.6、β=1/4のとき、θ>8.6°でなければならない。また、入射光と射出光との光路を確実に分離するために、最も直角に近い射出光の反射角αを約2°にする必要があり、NA=0.6、β=1/4の投影光学系では、入射光の主光線のレチクル側の入射角(射出角)θを約10.5°(10°〜11°程度)にする必要がある。
照明光学系のコヒーレントファクタ(σ)を0.8、入射光の主光線の入射角(θ)を10.5°とした場合、入射光の入射角範囲は、最小角θ1=sin−1(sinθ−NA/β×σ)=3.6°、最大角θ2=sin−1(sinθ+NA/β×σ)=17.6°となる。したがって、上述の投影光学系に最適なレチクルの多層膜としては、入射光の入射角範囲3.6°〜17.6°において、高反射率を有する周期長を選択するのが望ましい。しかし、NA=0.25において最適であった図4に示す多層膜を使用した場合、入射角が10°を超えてから反射率が著しく低下し、入射角13°以上で反射率は20%以下となる。したがって、NA=0.6において図4に示す多層膜を使用した場合、実効的なσ不均一性、実効σ低下等の様々な光学特性の劣化を引き起こし、高精度な露光を行なうことができない。
そこで、NA=0.6における最適なレチクルの多層膜として、一例として周期長7.1nm(Mo層2.49nm、Si層4.61nm)の50層対の多層膜(図2参照)が挙げられる。周期長が図4に示す多層膜と比較して厚いため高反射率を示すピークの角度が高角側にシフトし、入射角3.6°での反射率は約50%であるが、入射角約10°〜15°においては反射率は約70%となり、入射角10°〜11°を境に略均一な光量分布を得ることができる。即ち、図2に示す多層膜は、投影光学系の開口数NAが0.6のとき、レチクルとして使用するのに最適であるが、NAが0.25のとき、レチクルとして使用するのに最適でなく、入射光の角度範囲が3.1°〜8.9°では約45〜50%の反射率しか得ることができない。
したがって、同一のパターンを露光する場合であっても、投影光学系の開口数毎にレチクルを作製するのが望ましいが、投影光学系の開口数が異なる毎にレチクルを作製するのは多大なコストがかかる。
この実施の形態にかかるEUV用露光装置おいては、NA=0.6の投影光学系PLに最適なレチクルMの多層膜及び入射角を、NA=0.6以下のNA(0.2≦NA≦0.6)の投影光学系PLにおいても用いることができるように構成されている。従来の露光装置においては、投影光学系のNAに基づいて露光光の主光線の入射角度が定まり、レチクルに対する露光光の主光線の入射角度に基づいてレチクルの多層膜の周期長が定まっていたが、この実施の形態においては、投影光学系PLのNA及びレチクルの多層膜の周期長に基づいてレチクルに対する露光光の主光線の入射角度を定める。
まず、図2に示す多層膜、即ちNA=0.6(入射光の主光線の入射角度10.5°で入射光の角度範囲が3.6°〜17.6°)において最適な多層膜を基準とする。そして、投影光学系PLのNA及び図2に示す多層膜の周期長に基づいて入射光の主光線の入射角度を定める。例えば、NA=0.25の場合、NA=0.6の場合と比較して入射光(射出光)の拡がり、即ち図3に示すθ2−θ1が狭くなる。したがって、NA=0.25の場合の入射光の主光線の入射角度を、NA=0.6の場合の入射光の主光線の入射角度(10.5°)より、高反射率を示すピークの角度(約13°)に近づけた場合においても、入射光の高反射率、及び主光線に対する反射率特性の対称性を確保することができる。ここで、NA=0.25で入射光の主光線の角度を12.5°としたとき、入射光の角度範囲は9.6°〜15.5°となる。即ち、図2に示すように、高角側(15.5°付近)で反射率が少し低下するが、約70%弱以上の反射率、及び主光線に対する反射率特性の対称性を確保することができる。
入射光の主光線の角度を12.5°に設定することにより、NA=0.25においてもNA=0.6において最適な多層膜により形成されたレチクルMを用いることができる。同様に、0.2≦NA≦0.6の範囲内において、図2に示す多層膜により形成されているレチクルMで最適な入射光の主光線の入射角度を定めて露光装置を製造することにより、異なるNA毎に異なる多層膜を有するレチクルを作製する必要がなくなる。即ち、NAの異なる露光装置で1つのレチクルを使いまわすことが可能となり、あるいはミックスアンドマッチ等で異なる露光装置間で同一のレチクルMを使用することも可能となる。
この実施の形態にかかる露光装置によれば、レチクルMに対する露光光の主光線の入射角度θ(°)が10≦θ≦16、及び投影光学系PLの開口数NAが0.2≦NA≦0.6の条件を満足しているため、同一のレチクルMに対して投影光学系PLの開口数毎に最適な入射角度を設定することができる。したがって、投影光学系PLの開口数が異なる場合においても同一のレチクルMを使用することができ、かつ高精度な露光を行なうことができる。
なお、この実施の形態にかかる露光装置においては、コヒーレントファクタ(σ)=0.8の照明光学系33を例に挙げて説明しているが、0.8以外のσ値についても本発明を適用することができ、この実施の形態にかかる露光装置と同様の効果を得ることができる。
投影光学系の開口数NA=0.25のEUV用露光装置を製造した。このEUV用露光装置を製造するにあたり、光学設計でレチクルに対する入射光の主光線の入射角度を12.5°とした。その結果、照明光学系のコヒーレントファクタ(σ)=0.8における入射光の角度範囲は9.6°〜15.5°となった。このとき、図2に示すような反射率特性を有する多層膜をレチクルとして使用した。その結果、NA=0.25のEUV用露光装置において約70%の好適な反射率特性を有し、かつ主光線に対して略対称な反射率特性を有するレチクルとして使用することができた。
投影光学系の開口数NA=0.4のEUV用露光装置を製造した。このEUV用露光装置を製造するにあたり、光学設計でレチクルに対する入射光の主光線の入射角度を11°とした。その結果、照明光学系のコヒーレントファクタ(σ)=0.8における入射光の角度範囲は6.4°〜15.7°となった。このとき、図2に示すような反射率特性を有する多層膜をレチクルとして使用した。その結果、NA=0.4のEUV用露光装置において約60%以上の好適な反射率特性を有し、かつ主光線に対して略対称な反射率特性を有するレチクルとして使用することができた。
投影光学系の開口数NA=0.6のEUV用露光装置を製造した。このEUV用露光装置を製造するにあたり、光学設計でレチクルに対する入射光の主光線の入射角度を10.5°とした。その結果、照明光学系のコヒーレントファクタ(σ)=0.8における入射光の角度範囲は3.6°〜17.6°となった。このとき、図2に示すような反射率特性を有する多層膜をレチクルとして使用した。その結果、NA=0.6のEUV用露光装置において好適な反射率特性を有するレチクルとして使用することができた。
実施例1〜実施例3によれば、NA=0.25,0.4,0.6のEUV用露光装置において同一のレチクルを使いまわすことができるような光学設計を行うことにより、それぞれのEUV用露光装置で同一のレチクルに対する高い反射率を確保することができる。したがって、それぞれのEUV用露光装置で高精度な露光を行なうことができる。
1…露光領域規定部材、31…光源、33…照明光学系、35…オプティカルインテグレータ、35a…入射側フライアイミラー、35b…射出側フライアイミラー、51…制御装置、55…マスクステージ、56…ウエハステージ、M…レチクル、PL…投影光学系、W…ウエハ。
Claims (3)
- 露光光により照明されたレチクルに形成されているパターンを投影光学系を介して感光性基板上に転写露光する露光装置において、
前記レチクルに対する前記露光光の主光線の入射角度θ(°)が、10≦θ≦16及び
前記投影光学系の像側開口数NAが、0.2≦NA≦0.5
の条件を満足することを特徴とする露光装置。 - 前記レチクルは、前記露光光の主光線の入射角度θ(°)が10≦θ≦16のときに60%以上の反射率を有することを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 感光性基板上に転写するためのパターンが形成されているレチクルであって、
入射する光の主光線の入射角度θ(°)が10≦θ≦16のときに60%以上の反射率を有することを特徴とするレチクル。
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