KR970047975A - 마이크로 자이로스코프 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따르면 기판 스트라이프 형상인 다수의 양극과 음극이 상호 교대하여 평행하게 배열된 제1감지수단(31), 스트라이프 형상인 다수의 양극과 음극이 상호 교대하여 평행하게 배열된 구동수단(32), 상기 제1 감지수단(31) 및 상기 구동수단(32)의 평면으로부터 수직 상방으로 소정의 높이로 이격되어 있으며 다수의 제1홈(35) 및 다수의 (36)을 지니는 진동 구조물(34), 상기 진동 구조물(34)을 상기 기판으로부터 소정의 높이로 유지시킬 수 있도록 상기 기판위에 형성된 지지부(39) 및 진동 구조물(34)과 지지부(39) 사이를 연결시키는 탄성부재(38)를 구비하는 마이크로 자이로스코프가 제공된다. 본 발명에 따른 마이크로 자이로스코프는 전체적인 구성이 매우 단순화되었으므로 제작이 용이할뿐만 아니라 사용도중에 고장이 발생할 가능성이 거의 없는 우수한 성능을 발휘한다.

Description

마이크로 자이로스코
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3(가)도는 본 발명에 따른 마이크로 자이로스코의 전극 구조에 대한 평면도, 제3(나)도는 본 발명에 따른 마이크로 자이로스코의 진동 구조물에 대한 평면도.
제4도는 본 발명의 마이크로 자이로스코를 조립한 상태에서 제3(나)도의 A-A선을 따라 절단한 단면도.
제5도는 본 발명의 마이크로 자이로스코를 조립한 상태에서 제3(나)도의 B-B선을 따라 절단한 단면도.
제6(가)도 및 제6(나)도는 본 발명에 따른 마이크로 자이로스코의 진동 구조물이 진동하는 진동 모드를 나타내는 평면 상태도.
제7도는 통상적인 진동계에 대한 구성도.

Claims (5)

  1. 기판, 상기 기판상에서 스트라이프 형상인 다수의 양극과 음극이 상호 교대하여 평행하게 배열된 제1감지수단(31), 상기 기판상에서 상기 제1감지 수단(31)의 스트라이프 길이 방향과 직각 방향으로 배치되며, 스트라이프 형상인 다수의 양극과 음극이 상호 교대하여 평행하게 배열된 구동수단(32), 상기 제1 감지수단(31) 및 상기 구동수단(32)의 평면으로부터 수직 상방으로 소정의 높이로 이격되어 있으며 상기 제1감지수단(31)의 스트라이프 길이 방향과 일치하는 방향으로 형성된 스트라이프 형상의 다수의 제1홈(35) 및 상기 구동수단(32)의 스트라이프 길이 방향과 일치하는 방향으로 형성된 스트라이프 형상의 다수의 제2홈(36)을 지니는 진동 구조물(34), 상기 진동 구조물(34)을 상기 기판으로부터 소정의 높이로 유지시킬 수 있도록 상기 기판위에 형성된 지지부(39) 및 상기 진동 구조물(34)과 지지부(39) 사이를 탄성적으로 연결시키는 탄성부재(38)를 구비하는 마이크로 자이로스코프.
  2. 제1항에 있어서 상기 진동 구조물(34)의 초기 진동 상태를 검출하여 고유 진동수로 진동할 수 있도록 상기 구동 수단(32)의 스트라이프 전극 형상과 동일한 형상으로 상기 구동수단(32)의 양측에 배치된 제2감지수단(33)을 더 구비한 것을 특징으로 하는 마이크로 자이로스코프.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서 상기 감지수단(31)은 상기 기판상에 평행하게 2군데에 배치되며 상기 구동수단(33)은 상기 감지수단(31)들의 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 마이크로 자이로스코프.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서 상기 제1감지수단(31)의 스트라이프 형상은 상기 구동수단(32) 및 상기 제2감지수단(33)의 스트라이트 형상보다 폭이 좁고 길이가 긴 형태로 형성되고 상기 진동구조물(34)의 상기 제1홈(35)의 스트라이프 형상은 상기 제2홈(36)의 스트라이프형상보다 폭이 좁고 길이가 긴 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 자이로스코프.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서 상기 제1감지수단(31)의 수직상부에 상기 제1홈(35)이 형성된 진동구조물(34)의 부분이 대응되고 상기 구동수단(32) 및 상기 제2감지수단(33)의 수직상부에 상기 제2홈(36)이 형성된 진동 구조물(34)의 부분이 대응되는 것을 특징으로 하는 마이크로 자이로스코프.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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