KR970030922A - 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 제조 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 게이트 전극의 스텝커버리지를 개선하여 게이트 전극과, 소오스, 드레인 전극간의 전기적 단락을 방지할 수 있는 액정 표시장치의 박막 트랜지스터 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명은 유리 기판상에 제1게이트 절연막을 형성하고, 게이트 전극 예정 영역을 식각하여 홀을 형성하는 단계; 상기 홀 영역에 게이트 전극 형성용 금속막을 매립하여 게이트 전극을 형성하는 단계; 상기 제1게이트 절연막 및 게이트 전극 상부에 제2게이트 절연막을 형성하는 단계; 상기 제2게이트 절연막 상부에 비정질 반도체층, 에칭 스톱퍼, 도핑된 반도체층, 및 소오스 드레인 전극을 형성하는 단계를 포함하고, 이에 따르면, 게이트 전극을 우선 게이트 절연막을 형성하고, 소정 부분 식각한 다음, 매립하는 형태로 게이트 전극을 형성하므로써, 게이트 전극에 의한 표면 단차 가소시킬 수 있고, 이로 인해 게이트 전극 상부의 충분한 절연 영역을 확보할 수 있어, 게이트 전극과 소오스, 드레인 전극간의 전기적인 단락 문제를 해결할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3(a)도-제3(c)는 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 제조 방법을 보인 요부 단면도.
Claims (5)
- 투명성 절연 기판상에 제1게이트 절연막을 소정 두께로 형성하는 단계; 상기 제1게이트 절연막 중 게이트 전극 예정 영역부분을 식각하여 일정 크기의 홀을 형성하는 단계; 상기 홀 영역에 게이트 전극 형성용 금속막을 매립하여 게이트 전극을 형성하는 단계; 상기 제1게이트 절연막 및 게이트 전극 상부에 제2게이트 절연막을 형성하는 단계; 및 상기 제2게이트 절연막 상부에 비정질 반도체층, 에칭 스톱퍼, 도핑된 반도체층 및 소오스 드레인 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제1게이트 절연막은 실리콘 산화막인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 제조 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1게이트 절연막의 두께는 2000 내지 3000Å인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 게이트 전극 형성용 금속막은 알루미늄, 크롬, 탄탈륨 중 선택되는 하나의 막인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 제조 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 게이트 전극은 상기 유리 기판상에 홀이 형성된 구조물 상부에 게이트 전극 형성용 금속막을 형성하는 단계; 상기 홀 이외의 제1게이트 절연막 상부에 잔존하는 금속막을 제거하여 홀 영역을 금속막으로 매립하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 제조 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950042296A KR970030922A (ko) | 1995-11-20 | 1995-11-20 | 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950042296A KR970030922A (ko) | 1995-11-20 | 1995-11-20 | 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970030922A true KR970030922A (ko) | 1997-06-26 |
Family
ID=66588160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950042296A KR970030922A (ko) | 1995-11-20 | 1995-11-20 | 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970030922A (ko) |
-
1995
- 1995-11-20 KR KR1019950042296A patent/KR970030922A/ko not_active Application Discontinuation
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