KR970030578A - 연속 및 분리패턴을 테스트 하는 반도체장치의 teg - Google Patents
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Abstract
1. 청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술 분야 : 본 발명은 반도체장치의 TEG에 관한 것으로, 다양한 TEG의 테스트항목 중 연속패턴과 분리패턴의 테스트를 실행하는 반도체장치의 TEG에 관한 것이다.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제 : 종래의 TEG패턴에서 상기 테스트라인들은 180도 각도로 굴절되어 있다. 이러한 TEG패턴에서는 매인 칩의 패턴형태가 90도 혹은 45도 각도를 가지고 형성되는 경우에 테스트를 정확하게 실시할 수 없게 된다. 또한 종래 형태에서는 상기 TEG패턴이 플랫(flat)형태의 공정만을 테스트하게 되고 토폴로지(topology) 즉, 표면의 굴곡이 있는 공정의 경우 테스트를 실행하는 데 어려움이 따르게 된다. 상기와 같은 문제점을 해결하는 것이 본 발명의 과제이다.
3. 발명의 해결방법의 요지 : 소정의 신호전압이 인가되는 제1패드와, 소정의 제2패드 및 소정의 제3패드를 구비하는 반도체장치의 TEG에 있어서, 상기 제1패드와 제2패드 사이에 연속적으로 접속되고 제1, 제2 및 제3 각도로 굴절된 제1테스트라인과, 상기 제1패드와 제3패드 사이에 연속적으로 접속되고 제1, 제2 및 제3각도로 굴절된 제2테스트라인으로 구성된 연속패턴과 : 상기 제1패드와 접속되고 상기 제2 및 제3패드 방향으로 제1, 제2 및 제3각도로 굴절된 제1테스트라인과, 상기 제2패드와 접속되고 상기 제1패드방향으로 제1, 제2 및 제3각도로 굴절된 제2테스트라인과, 상기 제3패드와 접속되고 상기 제1패드방향으로 제1, 제2 및 제3각도로 굴절된 제3테스트라인으로 구성된 분리패턴을 구비함을 특징으로 하는 반도체장치의 TEG를 구현하므로써 상기 과제를 해결하게 된다.
4. 발명의 중요한 용도 : 다양한 각도로 형성되고, 표면이 평평하거나 굴곡이 있는 반도체장치의 매인 칩의 불량상태를 검증하는 TEG.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 실시예에 따른 TEG의 연속패턴.
Claims (5)
- 소정의 신호전압이 인가되는 제1패드와, 소정의 제2패드 및 소정의 제3패드를 구비하는 반도체장치의 TEG에 있어서, 상기 제1패드와 제2패드 사이에 연속적으로 접속되고 제1, 제2 및 제3 각도로 굴절된 제1테스트라인과, 상기 제1패드와 제3패드 사이에 연속적으로 접속되고 제1, 제2 및 제3각도로 굴절된 제2테스트라인으로 구성된 연속패턴과; 상기 제1패드와 접속되고 상기 제2 및 제3패드 방향으로 제1, 제2 및 제3각도로 굴절된 제1테스트라인과, 상기 제2패드와 접속되고 상기 제1패드방향으로 제1, 제2 및 제3각도로 굴절된 제2테스트라인과, 상기 제3패드와 접속되고 상기 제1패드 방향으로 제1, 제2 및 제3각도로 굴절된 제3테스트라인으로 구성된 분리패턴을 구비함을 특징으로 하는 반도체장치의 TEG.
- 제1항에 있어서, 상기 제1, 제2 및 제3각도가 각각 180도, 90도 및 45도임을 특징으로 하는 반도체장치의 TEG.
- 제1항에 있어서, 상기 연속패턴의 제1테스트라인과 제2테스트라인이 반도체장치의 플랫영역과 토폴로지영역을 동시에 테스트함을 특징으로 하는 반도체장치의 TEG.
- 제1항에 있어서, 상기 분리패턴의 제1, 제2테스트라인과 제1, 제3테스트라인이 반도체장치의 플랫영역과 토폴로지영역을 동시에 테스트함을 특징으로 하는 반도체장치의 TEG.
- 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 플랫영역과 토폴로지영역이 동일한 패턴으로 형성됨을 특징으로 하는 반도체 장치의 TEG.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950043973A KR0172339B1 (ko) | 1995-11-27 | 1995-11-27 | 연속 및 분리패턴을 테스트 하는 반도체장치의 teg |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950043973A KR0172339B1 (ko) | 1995-11-27 | 1995-11-27 | 연속 및 분리패턴을 테스트 하는 반도체장치의 teg |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970030578A true KR970030578A (ko) | 1997-06-26 |
| KR0172339B1 KR0172339B1 (ko) | 1999-03-30 |
Family
ID=19435896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950043973A KR0172339B1 (ko) | 1995-11-27 | 1995-11-27 | 연속 및 분리패턴을 테스트 하는 반도체장치의 teg |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0172339B1 (ko) |
-
1995
- 1995-11-27 KR KR1019950043973A patent/KR0172339B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR0172339B1 (ko) | 1999-03-30 |
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