KR970030437A - 폴리싱처리의 종점 결정방법 및 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체웨이퍼와 같은 작업물을 폴리싱하여 평탄하게 경면화하는 폴리싱처리의 작업물 평면상의 종점을 결정하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 울퉁불퉁한 표면을 갖는 작업물은 톱링에 의해 지지되어 폴리싱처리대에 대하여 가압된다. 작업물은 폴리싱처리대에 대하여 이동되어 폴리싱처리되며, 작업물 및 폴리싱처리대 사이의 마찰력의 변화가 검출된다. 울통불통한 표면을 갖는 작업물이 평탄한 표면으로 폴리싱되는 기준시간은 작업물 및 폴리싱처리대 사이의 마찰력의 변화에 의거하여 결정된다. 기준시간으로부터 폴리싱시간의 일정 주기가 경과하는 시간이 작업물상의 종점으로서 결정된다.

Description

폴리싱처리의 종점 결정방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
도1은 본 발명의 종점 검출장치를 구비하는 폴리싱장치를 도시한 개략적인 정면도.

Claims (13)

  1. 작업물 폴리싱처리의 종점을 결정하는 방법에 있어서: 울퉁불퉁한 표면을 갖는 작업물을 지지부재에 의하여 지지하고 폴리싱처리대에 대하여 상기 작업물을 가압하는 단계; 상기 작업물을 폴리싱하도록 상기 폴리싱처리대에 대하여 상기 작업물을 이동시키는 단계; 상기 작업물 및 상기 폴리싱처리대 사이의 마찰력의 변화를 검출하는 단계; 상기 작업물 및 상기 폴리싱처리대 사이의 상기 마찰력의 상기 변화에 의거하여, 울퉁불퉁한 표면을 갖는 상기 작업물이 평탄한 표면으로 폴리싱되는 기준시간을 결정하는 단계; 및 상기 기준시간으로부터 폴리싱시간의 일정 주기가 경과하는 시간을 상기 작업물의 종점으로서 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리싱처리의 종점 결정방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 마찰력의 상기 변화는 상기 폴리싱처리대 또는 상기 지지부재를 위한 구동모터의 전류의 변화에 의하여 검출되는 것을 특징으로 하는 폴리싱처리의 종점 결정방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 폴리싱시간의 일정 주기는 변화가능하며, 이전에 폴리싱된 적어도 하나의 작업물의 폴리싱시간 및 폴리싱처리량에 의거하여 결정되는 것을 특징으로 하는 폴리싱처리의 종점 결정방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 폴리싱시간의 일정 주기는, 상기 종점을 결정하고자 하는 대상물인 상기 작업물을 폴리싱하기 직전에 폴리싱된 적어도 하나의 작업물의 폴리싱시간 및 폴리싱처리량에 의거하여 결정되는 것을 특징으로 하는 폴리싱처리의 중점 결정방법.
  5. 제3항에 있어서, 상기 폴리싱시간의 일정 주기는, 상기 종점을 결정하고자 하는 대상물인 상기 작업물을 폴리싱하기 직전에 폴리싱된 복수의 작업물의 폴리싱처리율의 평균값에 의거하여 결정되는 것을 특징으로 하는 폴리싱처리의 종점 결정방법.
  6. 제3항에 있어서, 상기 작업물은 기판 및 상기 기판상에 적층원 적어도 하나의 층을 포함하며, 상기 폴리싱 처리량은 상기 적층된 표면층의 폴리싱처리량인 것을 특징으로 하는 폴리싱처리의 종점 결정방법.
  7. 작업물 폴리싱처리의 종점을 결정하는 장치에 있어서: 폴리싱처리대; 작업물을 지지하고 상기 폴리싱처리대에 대하여 상기 작업물을 가압하는 톱링; 상기 작업물 및 상기 폴리싱처리대 사이의 마찰력의 변화를 검출하는 검출기; 및 상기 작업물 및 상기 풀리싱처리대 사이의 상기 마찰력의 상기 변화에 의거하여 울퉁불퉁한 표면을 갖는 상기 작업물이 평탄한 표면으로 폴리싱되는 기준시간을 결정하며, 상기 기준시간으로부터 폴리싱시간의 일정 주기가 경과하는 시간을 상기 작업물의 종점으로서 결정하는 처리장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리싱처리의 종점 결정장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 마찰력의 상기 변화는 상기 폴리싱처리대 또는 상기 톱링에 대한 구동모터의 전류의 변화에 의하여 검출되는 것을 특징으로 하는 폴리싱처리의 종점 결정장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 폴리싱시간의 일정주기는 변화가능하며, 이전에 폴리싱된 적어도 하나의 작업물의 폴리싱시간 및 폴리싱처리량에 의거하여 결정되는 것을 특징으로 하는 폴리싱처리의 종점 결정장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 폴리싱시간의 일정 주기는, 상기 종점을 결정하고자 하는 대상물인 상기 작업물을 폴리싱하기 직전에 폴리싱된 적어도 하나의 작업물의 폴리싱시간 및 풀리성처리량에 의거하여 결정되는 것을 특징으로 하는 폴리싱처리의 종점 결정장치.
  11. 제9항에 있어서, 상기 폴리싱시간의 일정 주기는, 상기 종점을 결정하고자 하는 대상물인 상기 작업물을 폴리싱하기 직전에 폴리싱된 복수의 작업물의 폴리싱처리율의 평균값에 의거하여 결정되는 것을 특징으로 하는폴리싱처리의 종점 결정장치.
  12. 제9항에 있어서, 상기 작업물은 기판 및 상기 기판상에 적층된 적어도 하나의 층을 포함하며, 상기 폴리싱처리량은 상기 적층된 표면층의 폴리싱처리량인 것을 특징으로 하는 폴리싱처리의 종점 결정장치.
  13. 제7항에 있어서, 폴리싱된 상기 작업물의 폴리싱처리량을 측정하는 측정장치를 더욱 포함하여 이루어지며; 상기 측정장치는 상기 처리장치에 접속되어 상기 작업물의 상기 폴리싱처리량의 신호를 상기 처리장치에 전송하는 것을 특징으로 하는 폴리싱처리의 종점 결정장치.
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