DE102006018276A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Schliffpräparation eines mehrere ebene und zueinander parallel verlaufende Schichten unterschiedlichen Materials aufweisenden Probenkörpers - Google Patents
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Abstract
Bei einem Verfahren zur Schliffpräparation eines mehrere ebene und zueinander parallel verlaufende Schichten unterschiedlichen Materials aufweisenden Probenkörpers (2), wobei eine Schliffebene (7) parallel zu den Schichten verläuft, werden folgende Schritte abgearbeitet: Zunächst wird der Probenkörper (2) mit einem Schleifkörper (6) in der Schliffebene (7) geschliffen. Dann wird der Schleifvorgang überwacht, indem eine Ist-Kraft (10; 8) mit einer Kraft-Messeinrichtung (11) gemessen wird, welche der Schleifkörper (6) auf den Probenkörper (2) während des Schleifens ausübt, wobei das Schleifen beendet wird, sobald die Ist-Kraft (10; 8) stärker variiert als durch einen Vorgabewert vorgegeben. Hierzu steht eine Überwachungseinrichtung (12) mit der Kraft-Messeinrichtung (11) in Signalverbindung. Dieses Verfahren kann mit einer entsprechenden Schliffpräparationsvorrichtung durchgeführt werden. Es resultiert die Möglichkeit, mit Hilfe der Schliffpräparation auch dünne herauszupräparierende Schichten zu erfassen.
Description
- Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Schliffpräparation eines mehrere ebene und zueinander parallel verlaufende Schichten unterschiedlichen Materials aufweisenden Probenkörpers.
- Zur Untersuchung von Schaltungsträgeraufbauten ist es durch offenkundige Vorbenutzung bekannt, eine Schleif- und Poliertechnik einzusetzen. Dazu wird der zu untersuchende Bereich des Schaltungsträgeraufbaus, also des Probenkörpers, aus der Baugruppe herausgetrennt, unter Verwendung einer Form mit einer geeigneten Einbettmasse umgeben und schließlich mit aus dem Stand der Technik bekannten Schleif- und Poliervorrichtungen bearbeitet. Im Verlauf der Schliffpräparation muss der Probenkörper permanent optisch kontrolliert werden, um den zu untersuchenden Bereich möglichst exakt zu erfassen. Bei den Schaltungsträgeraufbauten handelt es sich oft um Mehrschichtaufbauten, bestehend aus Schichten mit unterschiedlichen Materialien, bei denen definiert bestimmte Schichten schlifftechnisch herauspräpariert werden müssen. Diese Schichten aus einheitlichen Materialien in der Schliffebene sind oft sehr dünn, sodass sie schlifftechnisch schwer erfassbar sind.
- Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Schliffpräparationsverfahren derart weiterzubilden, dass auch dünne herauszupräparierende Schichten erfasst werden können.
- Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch ein Schliffpräparationsverfahren mit den im Anspruch 1 angegebenen Merkmalen.
- Erfindungsgemäß wurde erkannt, dass der Übergang von einer Materialschicht zur nächsten in der Schliffebene mit einer Ist-Kraft-Änderung einhergeht, welche der Schleifkörper auf den Probenkörper während des Schleifens ausübt. Durch Überwachen dieser Ist-Kraft-Änderung und entsprechendes Beenden des Schleifens, sobald ein Vorgabewert verlassen wird, kann der Übergang von einer Materialschicht zur nächsten schnell erfasst werden, sodass auch sehr dünne Materialschichten in der Schliffebene herauspräpariert werden können. Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren können insbesondere Schichten aus so genannten Underfiller-Materialien, die sich zwischen einem Leiterplattensubstrat und großflächigen Bauelementen befinden, herauspräpariert und auf gleichmäßige Verteilung untersucht werden. Es ist beim erfindungsgemäßen Verfahren insbesondere nicht notwendig, die absolute Höhe der abzutragenden Schicht einzustellen, da das Beenden des Schleifens auf die Messung einer relativen Kraftänderung anspricht.
- Eine Überwachung nach Anspruch 2 lässt sich mit geringem Aufwand gewährleisten. Alternativ ist es z. B. auch möglich, das Messsignal zu differenzieren, um eine entsprechende Variation zu detektieren.
- Auswertungen nach den Ansprüchen 3 und 4, die auch parallel zueinander erfolgen können, führen zu einer sicheren Überwachung einer Variation der Ist-Kraft. Eine Ist-Kraftkomponente senkrecht zur Schliffebene ist insbesondere eine Druckkraft, mit der der Probenkörper beim Schleifen auf den Schleifkörper gedrückt wird. Eine Ist-Kraftkomponente parallel zur Schliffebene ist insbesondere eine Kraft, die der Schleifkörper auf den Probenkörper parallel zur Bewegungsrichtung des Schleifkörpers beim Schleifen ausübt.
- Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, eine bekannte Schliffpräparationsvorrichtung derart weiterzubilden, dass auch dünne zu präparierende Schichten sicher erfasst werden können.
- Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß gelöst durch eine Schliffpräparationsvorrichtung mit den im Anspruch 5 angegebenen Merkmalen.
- Die Vorteile der Schliffpräparationsvorrichtung nach den Ansprüchen 5 bis 8 entsprechen denen, die vorstehend schon unter Bezug auf das Schliffpräparationsverfahren angegeben wurden.
- Kraft-Messeinrichtungen nach den Ansprüchen 9 und 10 sind als Standard-Bauteile verfügbar, sodass eine kostengünstige Schliffpräparationsvorrichtung resultiert.
- Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnung näher erläutert. In dieser zeigen:
-
1 schematisch die Anordnung einer Schliffpräparationsvorrichtung beim Schleifen eines Probenkörpers; -
2 eine Ausschnittsvergrößerung des Probenkörpers, welche dessen Schichtaufbau im Schnitt zeigt; und -
3 ein Ablaufschema eines Schliffpräparationsverfahrens, welches mit der Vorrichtung nach1 durchgeführt werden kann. - Eine insgesamt mit
1 bezeichnete Schliffpräparationsvorrichtung dient zur Präparation eines vorgegebenen Schliffs eines Probenkörpers2 . Letzterer hat mehrere ebene und zueinander parallel verlaufende Schichten3 ,4 ,5 aus unterschiedlichem Material. Der Probenkörper2 ist zu einem Schleifmedium6 der Schliffpräparationsvorrichtung1 derart orientiert, dass eine Schliffebene7 parallel zu den Schichten3 bis5 verläuft. - Das Schleifmedium
6 , z. B. ein Schleifkörper in Form einer Schleifscheibe, liegt beim Schleifen flächig am Probenkörper2 an, sodass dieser durch das Schleifmedium6 in der Schliffebene7 geschliffen wird, wie dies an sich bekannt ist. Hierbei übt das Schleifmedium6 auf den Probenkörper2 eine Kraft FD aus, wie in der1 durch einen Kraftvektor8 angedeutet. Die Druckkraft8 wird z. B. mit Hilfe eines nicht dargestellten Druckzylinders der Schliffpräparationsvorrichtung1 ausgeübt. Das Schleifmedium6 wird relativ zum Probenkörper2 in der1 horizontal nach links verlagert, wobei auf das Schleifmedium6 eine Zugkraft wirkt, die in der1 durch einen Kraftvektor9 dargestellt ist. Aufgrund der Reibung des Schleifmediums6 am Probenkörper2 während des Schleifens muss auf den Probenkörper2 eine zur Zugkraft FZ entgegengesetzt gerichtete Gegenkraft wirken, die nachfolgend als Reibungskraft FR bezeichnet ist und in der1 durch einen Kraftvektor10 dargestellt ist. - Der Probenkörper
2 wird von einem Halteelement11 der Schliffpräparationsvorrichtung1 in Position gehalten. Dieses Halteelement11 dient gleichzeitig als Kraft-Messeinrichtung zum zeitlich aufgelösten Messen der Reibungskraft FR, die das Schleifmedium6 auf den Probenkörper2 während des Schleifens ausübt. Diese gemessene Kraft10 wird nachfolgend auch als Ist-Kraft bezeichnet. Diese Ist-Kraft10 hängt ab von der Druckkraft8 , von der Zugkraft9 und vom Reibungskoeffizienten zwischen dem Schleifmedium6 und dem Probenkörper2 . Unter der Voraussetzung, dass die Druckkraft8 und die Zugkraft9 konstant sind, hängt die Ist-Kraft10 vom Reibungskoeffizienten und damit vom Material des Probenkörpers2 in der Schliffebene7 ab. Die gemessene Ist-Kraft10 verläuft parallel zur Schliffebene7 , sodass die Kraft-Messeinrichtung11 eine Ist-Kraftkomponente zur Schliffebene7 misst. Alternativ kann die Kraft-Messeinrichtung11 auch die Druckkraft8 als Ist-Kraft10 messen. Die Kraft-Messeinrichtung11 kann die Ist-Kraft8 bzw.10 auch direkt am Schleifmedium6 messen. - Mit der Kraft-Messeinrichtung
11 in Signalverbindung steht eine Überwachungseinrichtung12 . Letztere steht über eine Signalleitung13 mit einer Steuereinrichtung14 in Signalverbindung. Die Steuereinrichtung14 steuert, wie durch eine Steuerleitung15 angedeutet, den Schleifvorgang durch das Schleifmedium6 , insbesondere den Start und das Beenden des Schleifvorgangs. - Die Überwachungseinrichtung
12 hat einen Speicher16 zum Speichern eines Kraft-Vorgabewertes sowie eines Toleranzwertes. Ferner hat die Überwachungseinrichtung12 einen Komparator17 zum Vergleichen der Ist-Kraft10 mit dem Kraft-Vorgabewert. - Die Kraft-Messeinrichtung
11 kann als induktiver Kraftaufnehmer oder als mindestens ein Dehnungsmessstreifen am Halteelement11 ausgebildet sein. - Bei einer Materialänderung des Probenkörpers
2 in der Schliffebene7 , also beim Übergang zwischen den Schichten3 ,4 oder4 ,5 aus unterschiedlichem Material, kommt es zu einer Änderung der Gegenkraft, die der Pro benkörper2 auf das Schleifmedium6 ausübt, was sich längs der Druckkraft8 als Kraftstoß bemerkbar macht, der durch eine entsprechende Kraft-Messeinrichtung gemessen werden kann. - Die Schliffpräparationsvorrichtung
1 wird zur Schliffpräparation des Probenkörpers2 folgendermaßen eingesetzt: Der Probenkörper2 wird mit dem Schleifmedium6 in der Schliffebene7 geschliffen. Beim in den1 und2 dargestellten Ausführungsbeispiel wird also zunächst die Schicht5 in der Schliffebene7 geschliffen. Während des Schleifens wird der Schleifvorgang durch zeitlich aufgelöstes Messen der Ist-Kraft10 oder alternativ der Ist-Kraft8 , die das Schleifmedium6 auf den Probenkörper2 während des Schleifens ausübt, überwacht. Dies erfolgt über die Kraft-Messeinrichtung11 und die Überwachungseinrichtung12 . Dabei findet ein Kraft-Messschritt18 und anschließend ein Auswerteschritt19 statt (vgl.3 ). Im Rahmen der Auswertung wird die gemessene Ist-Kraft10 bzw.8 mit dem Kraft-Vorgabewert, der im Speicher16 abgelegt ist, verglichen. Dieser Vergleich findet im Komparator17 statt. Sobald die gemessene Ist-Kraft10 bzw.8 vom Kraft-Vorgabewert stärker abweicht als der vorgegebene und ebenfalls im Speicher16 abgelegte Toleranzwert, steuert die Überwachungseinrichtung12 über die Signalleitung13 die Steuereinrichtung14 an. Diese Informationsweitergabe an die Steuereinrichtung14 ist Bestandteil eines Anpassungsschritts20 für Maschinenparameter der Schliffpräparationsvorrichtung1 . Die von der Überwachungseinrichtung12 entsprechend angesteuerte Steuereinrichtung14 beendet dann durch Abgabe eines entsprechenden Signals über die Steuerleitung15 den Schleifvorgang. Dies erfolgt durch einen Ansteuerschritt21 . - Diese Abweichung vom Vorgabewert außerhalb des Toleranzwertes findet statt, sobald die gesamte Schicht
5 abgeschliffen ist und das Schleifen der z. B. härteren Schicht4 in der Schleifebene7 beginnt. - Alternativ zu einem Vergleich einer gemessenen Ist-Kraft mit einem Kraft-Vorgabewert unter Einhaltung eines Toleranzbereiches kann das Messsignal der Kraft-Messeinrichtung
11 auch in anderer Weise ausgewertet werden, um einen Materialübergang in der Schliffebene7 sicher zu detektieren. Dies kann beispielsweise durch Differenzierung des Messsignals der Kraft-Messeinrichtung11 erfolgen. Beim Übergang z. B. zwischen den Schichten5 und4 in der Schliffebene7 kommt es sowohl bei der Reibungskraft10 als auch bei der Druckkraft8 zu einem Kraftstoß, der differentiell erfasst werden kann. - Nach Beenden des Schleifvorgangs liegt die Schicht
4 frisch angeschliffen vor. Da der Schleifvorgang unmittelbar nach dem Übergang von der Schicht5 zur Schicht4 in die Schliffebene7 beendet wurde, ist die Schicht4 nur in ganz geringem Maße abgetragen. Es ist daher möglich, Schichten4 herauszupräparieren, die nur eine sehr geringe Dicke, z. B. im Bereich weniger μm haben. - Durch entsprechende Vorgabe einerseits des Kraft-Vorgabewertes und andererseits des Toleranzwertes kann auch automatisch ein Übergang z. B. zwischen den Schichten
5 und4 toleriert werden, sodass der Schleifvorgang fortgesetzt wird, wobei ein Beenden des Schleifvorgangs erst beim Übergang zwischen den Schichten4 und3 erfolgt, sodass der Anschliff der Schicht3 des Probenkörpers2 auf diese Weise herauspräpariert wird. - Konkret kann es sich bei der Schicht
5 um ein Leiterplattensubstrat, z. B. aus glasfaserverstärktem Epoxydharz, bei der Schicht4 um ein Underfiller-Material und bei der Schicht3 um einen Leadless Ceramic Chip Carrier (LCCC)-Baustein handeln. Die Schicht4 ist in diesem Fall sehr viel weicher als die Schicht5 , sodass es, sobald die Schicht5 vollständig abgeschliffen ist, zu einer abrupten Änderung sowohl der Druckkraft8 als auch der Reibungskraft10 kommt, was entsprechend gemessen werden kann. - An das Beenden des Schleifvorgangs kann sich noch ein Feinpolierschritt anschließen, um die zu untersuchende Schicht, im vorliegenden Beispiel die Schicht
4 , flächenmäßig exakt zu präparieren.
Claims (10)
- Verfahren zur Schliffpräparation eines mehrere ebene und zueinander parallel verlaufende Schichten (
3 bis5 ) unterschiedlichen Materials aufweisenden Probenkörpers (2 ), wobei eine Schliffebene (7 ) parallel zu den Schichten (3 bis5 ) verläuft, gekennzeichnet durch folgende Schritte: – Schleifen des Probenkörpers (2 ) mit einem Schleifkörper (6 ) in der Schliffebene (7 ), – Überwachen des Schleifvorgangs durch – zeitlich aufgelöstes Messen (18 ) einer Ist-Kraft (10 ;8 ), welche der Schleifkörper (6 ) auf den Probenkörper (2 ) während des Schleifens ausübt, – Beenden des Schleifens, sobald die Ist-Kraft (10 ;8 ) stärker variiert als durch einen Vorgabewert vorgegeben. - Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Überwachen erfolgt durch – Speichern der Ist-Kraft (
10 ;8 ) als Vorgabewert; – Vorgeben eines Toleranzwertes; – Vergleichen (19 ) der Ist-Kraft (10 ;8 ) mit dem Vorgabewert, – Beenden des Schleifens, sobald die Ist-Kraft (10 ;8 ) vom Vorgabewert stärker abweicht als der Toleranzwert. - Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass im Rahmen der Überwachung eine Ist-Kraftkomponente (
8 ) senkrecht zur Schliffebene (7 ) ausgewertet wird. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass im Rahmen der Überwachung eine Ist-Kraftkomponente (
10 ) parallel zur Schliffebene (7 ) ausgewertet wird. - Vorrichtung (
1 ) zur Schliffpräparation eines mehrere ebene und zueinander parallel verlaufende Schichten (3 bis5 ) unterschiedlichen Materials aufweisenden Probenkörpers (2 ), wobei eine Schliffebene (7 ) parallel zu den Schichten (3 bis5 ) verläuft, – mit einen Schleifkörper (6 ) zum Schleifen des Probenkörpers (2 ) in der Schliffebene (7 ), – mit einer Kraft-Messeinrichtung (11 ) zum zeitlich aufgelösten Messen einer Ist-Kraft (10 ;8 ), welche der Schleifkörper (6 ) auf den Probenkörper (2 ) während des Schleifens ausübt, – mit einer Überwachungseinrichtung (12 ), die mit der Kraft-Messeinrichtung (11 ) in Signalverbindung steht und derart ausgebildet ist, dass sie den Schleifvorgang beendet, sobald die Ist-Kraft (10 ;8 ) stärker variiert als durch einen Vorgabewert vorgegeben. - Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Überwachungseinrichtung (
12 ) umfasst: – einen Speicher (16 ) zum Speichern eines Kraft-Vorgabewertes sowie eines Toleranzwertes; – einen Komparator (17 ) zum Vergleichen der Ist-Kraft (10 ;8 ) mit dem Vorgabewert. - Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Kraft-Messeinrichtung (
11 ) zur Messung einer Ist-Kraftkomponente (8 ) senkrecht zur Schliffebene (7 ) ausgebildet ist. - Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Kraft-Messeinrichtung (
11 ) zur Messung einer Ist-Kraftkomponente (10 ) parallel zur Schliffebene (7 ) ausgebildet ist. - Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, gekennzeichnet durch mindestens einen induktiven Kraftaufnehmer als Kraft-Messeinrichtung (
11 ). - Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 9, gekennzeichnet durch mindestens einen Dehnungsmessstreifen als Kraft-Messeinrichtung (
11 ).
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2006
- 2006-04-20 DE DE200610018276 patent/DE102006018276A1/de not_active Withdrawn
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