KR970028752A - 액정표시장치의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
화소전극의 스텝커버리지를 개선할 수 있는 액정표시장치의 제조방법에 관하여 개시한다. 본 발명은 기판상에 제1금속막을 형성하는 단계와, 상기 제1금속막을 패터닝하여 게이트 패턴을 형성하는 단계와, 상기 게이트 패턴 상에 절연막, 반도체막을 형성하는 단계와, 상기 반도체막을 패터닝하여 반도체막 패턴을 형성하는 단계와, 상기 반도체막 패턴이 형성된 기판의 전면에 제2금속막을 형성하는 단계와, 상기 제2금속막을 패터닝하여 상기 반도체막 패턴을 덮도록 소오스/드레인 전극을 형성하는 단계와, 상기 소오스/드레인 전극이 형성된 기판의 전면에 투명도전막을 형성하는 단계와, 상기 투명도전막을 패터닝하여 화소전극을 형성하는 단계와, 상기 기판의 전면에 보호막을 형성한 후 패터닝하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법을 제공한다. 본 발명에 의하여, 소오스/드레인 전극과 화소전극의 연결부를 게이트절연막 상에 형성하여 상부에 증착되는 화소전극의 스텝커버리지를 개선할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도 및 제4도는 본 발명에 의한 액정표시장치의 제조방법을 설명하기 위하여 도시한 평면도 및 단면도이다.
Claims (2)
- 기판 상에 제1금속막을 형성하는 단계; 상기 제1금속막을 패터닝하여 게이트 패턴을 형성하는 단계; 상기 게이트 패턴 상에 절연막, 반도체막을 형성하는 단계; 상기 반도체막을 패터닝하여 반도체막 패턴을 형성하는 단계; 상기 반도체막 패턴이 형성된 기판의 전면에 제2금속막을 형성하는 단계; 상기 제2금속막을 패터닝하여 상기 반도체막 패턴을 덮도록 소오스/드레인 전극을 형성하는 단계; 상기 소오스/드레인 전극이 형성된 기판의 전면에 투명도전막을 형성하는 단계; 상기 투명도전막을 패터닝하여 화소전극을 형성하는 단계; 및 상기 기판의 전면에 보호막을 형성한 후 패터닝하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 반도체막은 비정질실리콘막과 불순물이 도핑된 비정질실리콘막의 이중막으로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950040700A KR970028752A (ko) | 1995-11-10 | 1995-11-10 | 액정표시장치의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950040700A KR970028752A (ko) | 1995-11-10 | 1995-11-10 | 액정표시장치의 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970028752A true KR970028752A (ko) | 1997-06-24 |
Family
ID=66587261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950040700A KR970028752A (ko) | 1995-11-10 | 1995-11-10 | 액정표시장치의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970028752A (ko) |
-
1995
- 1995-11-10 KR KR1019950040700A patent/KR970028752A/ko not_active Application Discontinuation
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