KR970007074Y1 - 다이 검사회로 - Google Patents

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KR970007074Y1
KR970007074Y1 KR2019910000177U KR910000177U KR970007074Y1 KR 970007074 Y1 KR970007074 Y1 KR 970007074Y1 KR 2019910000177 U KR2019910000177 U KR 2019910000177U KR 910000177 U KR910000177 U KR 910000177U KR 970007074 Y1 KR970007074 Y1 KR 970007074Y1
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김채섭
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금성일렉트론 주식회사
문정환
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Abstract

내용없음

Description

다이 검사회로
제1도는 불량다이가 표시된 웨이퍼 형태도
제2도는 종래의 자동탐침기에 의한 다이 양불 검사 상태단면도
제3도는 본 고안에 따른 자동탐침기에 의한 다이 양불검사 상태단면도
제4도는 본 고안에 따른 다이검사 회로도
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
1 : 웨이퍼2 : 다이
3 : 불량다이4 : 양품다이
5 : 잉커기6 : 프로브카드
7 : 프로브팁8 : 잉크 마크 확인 센서
9 : 리젝신호10 : 잉크인에이블신호
11,12 : 검사끝신호13 : 배타오아케이트
14,15 : 버퍼
본 고안은 웨이퍼 형태에서 다이(Die)를 검사하는데 사용되는 자동 탐침(Auto Prober)의 기능에 관한 것으로, 특히 검사장비로부터 산출된 양품 다이 수량과 실제 웨이퍼 상의 양품다이 수량이 불일치할 수 있는 오류를 방지하는데 적당하도록 한 다이 검사회로에 관한 것이다.
웨이퍼(1)형태로 다이(2)의 저기적 특성을 검사할 때, 제1도에 도시된 바와 같이 각 다이를 검사한 결과에 따라 불량다이(3)는 다이 중간의 잉크마크(a)로써 표시한다. 잉크마크(a)가 없는 것은 양품다이(4)이다.
이를 위해 종래에는 제2도에 도시된 바와같이 다이를 프로빙(probing)한 채 검사를 한다.
즉 프로브카드(6)의 프로브팁(7)을 다이(B)에 대고 검사를 한다.
검사가 끝나면 검사장비로부터 양불신호와 검사 끝(End of Test)신호가 자동탐침기로 전달된다. 만인 양불신호로써 리젝(Rej: 불량)신호가 오면 자동탐침기의 잉커기(5)가 동작하여 다이(B)의 표면에 잉크 마크를 한다.만약 리젝신호가 없으면 검사된 다이(B)는 양품다이로 간주되고 검사 끝신호(EOT Signal)를 받는 즉시 다음 위치에 있는 다이(A 또는 C 다이)로 이동하여 그 다이의 전기적 특성 검사를 한다.
이와같은 방식으로 웨이퍼 위의 모든 다이들을 검사한다.
즉, 종래에는 양불 분류신호에 따라 잉커기가 동작하고, 바로 검사끝(EOT)신호를 받아 다음 검사할 다이로 이동한다. 이때 잉커기(5)가 정확하게 동작을 하였는지, 또한 동작을 했어도 잉크 마크가 웨이퍼 표면에 제대로 되었는지 알 수가 없다.
이와같이 종래의 기술구성은 리젝신호에 따라 잉커기가 동작하여 문제가 되지 않는 것처럼 보이나 실제로 잉커기가 오동작을 할 경우도 생기고 잉크가 부족하여 잉크마크가 찍히지 않을수도 있어서 불량다이에 잉크마크를 찍지 못할 수도 있고, 양품 다이에 잉크마크를 할 경우도 발생하여 카운트베리언스를 발생시켜 수율저하 및 작업 혼잡을 야기시키는 문제점이 있었다. 이에따라 본 고안은 상기한 문제점을 제거하기 위한 것으로써, 제3도에 도시된 바와 같이 잉커기(5) 일측에 잉크마크 확인센서(혹은 마이크로 카메라)(8)를 설치하되, 제4도와 같이 센서(8)로 부터의 신호(S8)는 리젝신호(불량일 때 High)(9)와 배타오아게이트(13)의 입력으로 하고, 잉크 인에이블 신호(10)의 의해 배타 오아게이트(10)가 동작하여 버퍼(14)를 통해 검사끝신호(EOT)(11)를 출력하고 검사장비로 부터의 검사끝신호(EOT) 또한 잉크 인에이블신호(10)에 의해 버퍼(15)를 통해 출력(12)되는 구성이다. 따라서 제3도에서 다이(B)의 전기적 특성검사가 끝나면 검사장비로부터 리젝신호(9)가 전달된다. 즉 다이(B)가 양품다이라 가정하면 검사장비로부터 로우(Low)상태의 리젝신호(9)가 출력되고, 그 순간 잉커기(5)는 동작을 하지 않고 잉커기(5) 옆의 센서(8)는 다이의 표면에 잉크마크가 되어 있지 않음을 감지한 후 로우상태의 신호(8)를 출력한다.
따라서 배타오아게이트(13)의 출력은 로우가 되어 버퍼(14)를 통해 검사끝신호(11)를 액티브시켜서 다음 검사할 다이로 이동한다.
만일 다이(B)가 불량다이라면 리젝신호(9)는 하이가 되고, 이때 잉커기(5)에 의해 다이에 잉크마크가 형성되고, 센서(8)로부터의 신호는 하이가 되어 배타오아게이트(13)의 출력은 로우가 되어 검사끝신호(11)를 액티브 시킨다.
그러나 불량다이로 확인되었는데 잉크마크가 형성되어 있지 않으면 센서(8)로 부터의 신호는 로우가 되어 배타오아게이트(13)의 출력은 하이가 되어 검사끝신호(11)는 발생하지 않는다.
한편, 자동탐침기의 잉크 인에이블 신호(10)를 설정하지 않고 검사를 할 경우에는 배타오아게이트(13)는 동작하지 않고 버퍼(15)가 동작하므로 리젝신호와 잉크마크가 일치함을 확인하지 않아도 검사장비로 부터의 검사끝신호(EOT)를 버퍼(15)를 통해 곧바로 출력(12)할 수 있게 된다.
이와 같이 본 고안에 따른 다이검사회로는 EDS 공정에서 카운트 배리런스를 없앨 수 있어 작업상 혼잡을 방지할 수 있으며, 후공정인 어셈블리(Assembly)시에 정확한 양품다이 관리가 될 수 있어 수율이 향상되는 효과를 갖는다.

Claims (1)

  1. 잉커기(5) 일측에 잉크마크 확인센서(8)를 설치한 후, 잉크인에이블신호(10)에 의해 다이의 양불상태에 따른 리젝신호(9)와 잉크마크 확인센서(8)로부터의 신호(S8)를 배타오아게이트(13)를 통해 출력함으로써, 리젝신호(9)와 잉크마크확인센서(8)로부터의 신호(A8)가 일치될 때 검사끝 신호가 액티브 되도록 한 것을 특징으로 하는 다이검사회로.
KR2019910000177U 1991-01-09 1991-01-09 다이 검사회로 KR970007074Y1 (ko)

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