KR970007077Y1 - 웨이퍼의 에지칩 테스트회로 - Google Patents

Abstract

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Description

웨이퍼의 에지칩 테스트회로

제1도는 종래의 구성인 칩 다이에 프로우브팁 및 에지센서가 설치된 상태를 도시하는 도면

제2도의 (가)~(다)도는 본 고안의 구성에 의한 프로우브팁 2개를 갖는 센서에 대한 구성이고 (라) 및 (마)도는 프로우빙 테스트시 프로우버척의 작동상태도

제3도는 본 고안의 구성에 의한 작동상태도

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

1 : 엔진센서2 : 프로우브팁

11 : (본 고안의)센서12 : 프로우버척

13 : 웨이퍼

본 고안은 EDS에서 웨이퍼 테스트시 웨이퍼의 모든 에지칩을 테스트하여 그 결과에 따라 잉킹(inking)할 수 있도록 한 회로에 관한 것으로, 특히 프로우브팁을 이용한 에지센서를 2개 사용하여 구성시킨 회로에 관한 것이다.

종래 기술의 구성은 현재에 사용중인 프로우버(1034X: 일렉트로 글라스 모델)를 예로들면 제1도에 도시한 바와같이 에지센서를 1개 사용하여 칩이 있고 없음을 감지하여 프로우빙(Probing) 및 잉킹(inking)을 한다. 즉 이와같이 에지센스(1) 1개를 사용하여 EDS테스트하면 센서(1)가 오른쪽 끝부위의 에지에 오면 프로우브팁(2)보다 센서(1)가 먼저 웨이퍼의 외부로 벗어나 에지칩을 인식못하고 이로 인해 프로우빙 테스트 및 잉킹이 되지 않으므로 조립공정의 다이분류기가 양호칩으로 인식한다. 미설명부호 3은 에지센서가 설치된 위치를 나타내며, 도면부호 1은 에지센서를 나타내고 있다.

그러나 상기한 바와같이 하나의 에지센서(1)를 사용할 경우엔, 제1도에 도시한 바와 같이, 오른쪽 또는 왼쪽의 가장자리칩이 없는 것으로 감지되어 프로우빙과 잉킹이 되지 않는다.

따라서 조립공정에서의 다이분류가 잉킹이 되어 있지 않은 에지칩(거의 모든 에지칩은 불량임)을 양호한 칩으로 인식하여 분류하므로 이와같이 분류된 불량칩을 가지고, 다이접합, 와이어접합, 모울도, 트리밍, 그리고 성형조립 공정을 거치면서 제품(IC)이 최종테스트 공정에 오면 불량으로 처리(판명)되므로 이에따르는 공정 및 제품상의 손실이 매우 컸었다.

본 고안은 이와같은 문제점을 해소하고자 프로우브팁으로 센서와 같은 역할을 할 수 있도록 회로를 구성하고 프로우브팁 센서를 대각선 방향으로 2개 설치하여 웨이퍼 에지칩을 모두 감지하도록 하여 테스트와 잉킹을 하도록 회로를 구성하였다.

제2도는 본 고안의 구성을 도시한 도면으로서, (가)도에 도시한 바와같이, 프로우브팁(2) 두 개로 구성된 센서(11)를 설치하였다.

(나) 및 (다)도는 이에 대한 상면도와 측면도를 나타내었다.

(라)도는 본 고안의 구성에 의해, 프로우빙 테스트시 프로우버척(12)(Prober chuck)(12)이 웨이퍼(13)쪽으로 위로 올라간 "온 웨이퍼(on wafer)" 상태를 나타내며, 이때 센서의 신호는 하이가 된다.

(마)도는 본 고안의 구성에 의해 테스트가 완료되면 프로우버척(12)이 아래로 내려온 상태 즉 "오프웨이퍼(off wafer)" 상태를 나타내며 이때 센서신호는 로우가 된다.

제3도는 본 고안의 구성에 의한 회로도를 나타낸 것으로 도시한 바와같이, 제1에지팁 센서와 제2에지팁 센서중 하나라도 하이이면 센서신호는 하이가 되고 "온 웨이퍼(on wafer)"로 인식되어 프로우버척(12)은 상승되도록 하였으며 웨이퍼 에지에서 두 센서가 모두 웨이퍼를 벗어날 경우에는 제1 및 제2센서는 그라운드와 붙어 7432의 출력 센서신호는 로우가 되고 그리고 전환되어 다음열을 테스트하도록 구성되어 있다.

그리고 자동테스트시엔 오프 웨이퍼신호(로우)가 두 번 연속입력되면 바꾸어서 다음의 아래줄열을 테스트 진행한다.

이상과 같은 본 고안의 구성에 의하며, 앞에서 설명한 바와같이 모든 에지칩을 인식하여 테스트되므로 조립공정에서의 분류기가 불량칩을 양호칩으로 인식하는 오류를 범할 조건을 완전제거함으로써 생산성의 향상을 기할 수 있는 효과가 있다.

Claims (2)

1. 제1에지팁 센서와 제2에지팁 센서중 한 개라도 하이이면 센서신호는 하이가 되고, 온웨이퍼로 인식되어 프로우버척은 상승되고, 웨이퍼에지에서 두 센서가 모두 웨이퍼를 벗어날 경우에는, 제1 및 제2센서는 그라운드와 붙어 7432의 출력센서 신호는 로우가 되고 전환하여 열을 테스트하도록 구성시킨 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 에지칩 테스트회로.
2. 제1항에 있어서,

   상기한 팁센서는 대각선 방향으로 설치한 구성인 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 에지칩 테스트회로.