KR960704344A - 나선형 자기 선형 전동기구(Spiral magnetic linear translating mechanism) - Google Patents

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Abstract

처리 라인을 형성하도록 일련으로 연결된 비울수 있는 다수의 하우징(12)을 포함하는 웨이퍼 처리 시스템에 적합한 나선형 자기 선형 전동기구(46)는 처리 라인을 따라서 하우징(12)을 통해 트랙(14)상에 이동가능하도록 장착된 적어도 하나의 웨이퍼 지지 구조체(24)를 포함한다. 구조체(24)는 하우징(12)의 벽(38b)에 인접배치된 베이스(36)를 포함하고 벽(38b)에 직면하도록 연장하는 다수의 자기 나사 세그먼트(34)를 포함한다. 하우징(12)외측에, 원통형 축(48)이 벽(38b)에 인접장착된다. 연속섹션을 가진 긴 자기 구동부(52)는 축과 함께 회전하도록 축(48)둘레에 나선형으로 감겨지므로 구동부의 섹션은 나사 세그먼트(34)에 대향하는 벽(38b)에 직면한다. 자기 나사 세그먼트(34)는 자기 구동부(52)에 끌어당겨지므로, 웨이퍼 지지구조체(24)를 축(48)에 연결하므로, 축(48)이 회전할 때 나사 세그먼트(34)는 축(48)을 따라서 추가로 배치된 구동부(52)의 다른 연속 섹션에 노출되고 웨이퍼 캐리어(24)는 트랙(14)을 따라서 그리고 하우징(12)을 통해 선형으로 구동된다. 적합하게, 자기 나사 세그먼트(34)와 나선형 구동부(52)는 최외단에 양자극으로 자기적으로 변경가능한 개별 자기소자(70,72,74)로 이루어져 있으므로, 개별 나사 세그먼트 소자(70,72,74)는 반대의 극성을 가지는 구동소자(64,66,68)에 끌어당겨진다. 변경 실시예에서, 축(48)은 나선형으로 감긴 다수의 자기 구동부(80)를 포함한다. 축(48)은 자기 구동부(52)를 보호하도록 비자성 슬리브로 덮어져 있다.

Description

나선형 자기 선형 전동기구(Spiral magnetic linear translating mechanism)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 제1도의 2-2선을 따라 취한 측단면도.

Claims (37)

  1. 통로를 따라서 적어도 하나의 벽을 포함하는 웨이퍼 처리 챔버로 웨이퍼를 이동하기 위한 자기 구동기구에 있어서, 처리챔버의 외부에 배치되고 통로에 평행하게 연장하도록 장착되어, 처리챔버의 벽에 인접한 길이방향 축선상에서 회전하는 긴 원통형축과, 상기 축과 함께 회전하도록 축둘레로 나선형으로 감겨져 있는 연속 구동섹센을 포함하는 적어도 하나의 긴 자기구동부와, 나사 세그먼트가 연속 구동섹션에 연결되고 축이 회선할 때 긴 축에 평행한 통로를 따라서 선형으로 지지구조체를 이동하도록, 축의 회전이 축의 길이를 따라서 추가로 배치된 구동부의 다른 연속섹센에 나사 세그먼트를 노출하도록, 지지체를 자기 구동부의 섹센에 자기적으로 연결하는 적어도 하나의 나사 세그먼트를 가지는, 벽에 인접한 챔버로 이동가능하고 뿐만 아니라 긴 축의 축선에 평행한 통로를 따라서 이동하도록 장착된 웨이퍼 지지 구조체를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 전동기구.
  2. 제1항에 있어서, 상기 나선형 자기 구동부는 상기 축의 전체길이를 따라서 연장하도록 감겨져 있는 것을 특징으로 하는 자기 전동기구.
  3. 제1항에 있어서, 상기 지지 나사 세그먼트는 나선형 자기 구동부의 섹션에 연결되어 상기 섹션에 평행한 방향으로 연장하는 것을 특징으로 하는 자기 전동기구.
  4. 제1항에 있어서, 상기 나선형 자기 구동부는 연속적인 나선형 자기 구동부를 선택적으로 형성하도록 축상에 일반적으로 나란히 배치된 다수의 자기소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 전동기구.
  5. 제4항에 있어서, 각 연속 자기 구동소자는 최외단에서 인접 자기 구동소자와 반대의 극성을 가지는 것을 특징으로 하는 자기 전동기구.
  6. 제1항에 있어서, 상기 지지 구조체 자기 나사 세그먼트는 연속 자석 나사 세그먼트를 형성하도록 일반적으로 나란히 배치된 다수의 자기소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 전동기구.
  7. 제6항에 있어서, 상기 각 연속 자기 나사 세그먼트 소자는 최외단에서 인접한 자기 나사 세그먼트 소자와 반대의 극성을 가지는 것을 특징으로 하는 자기 전동기구.
  8. 제6항에 있어서, 적어도 하나의 나사 세그먼트 소자는 반대극성을 가진 자기 구동소자에 자기적으로 끌어당겨져 지지구조체를 구동부를 자기적으로 연결하며, 나사 세그먼트 소자가 축이 회전할 때 다른 연속 구동소자에 자기적으로 연결되도록 자기 구동부의 길이를 따라서 추가로 배치되어 있는 반대극성을 가진 다른 연속 자기 나사 세그먼트 소자에 나사 세그먼트 소자를 노출하는 축의 회전은 축이 회전될 때 축에 평행하게 선형으로 웨이퍼 지지체를 이동시키는 것을 특징으로 하는 자기 전동기구.
  9. 제4항에 있어서, 상기 축은 강자성 물질로 만들어지고 적어도 하나의 나선형 형상 홈을 포함하며, 상기 자기소자는 나선형 자기 구동부를 선택적으로 형성하도록 상기 홈의 내측의 자기인력에 의해 축에 부착하는 것을 특징으로 하는 자기 전동기구.
  10. 제1항에 있어서, 상기 전동 구조체는 구조체의 길이를 따라서 서로 이격된 다수의 자기 나사 세그먼트를 포함하며, 상기 다수의 나사 세그먼트중 적어도 두개가 처리챔버를 통해 웨이퍼 지지구조체를 선형으로 부드럽게 이동시키고 동시에 나선형 자기 구동부에 자기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 자기 전동기구.
  11. 제10항에 있어서, 상기 다수의 나사 세그먼트의 각각은 나선형 자기 구동부에 연결되는 것을 특징으로 하는 자기 전동기구.
  12. 제1항에 있어서, 상기 자기 구동부를 보호하기 위해서 축과 나선형 자기 구동부위에 배치된 비자성 물질로 만들어진 슬리브를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 전동기구.
  13. 제1항에 있어서, 상기 긴 자기 구동부는 축의 길이를 따라서 균일한 안내각을 유지하도록 축둘레로 나선형으로 감겨져 있는 것을 특징으로 하는 자기 전동기구.
  14. 제13항에 있어서, 다수의 나사 세그먼트를 추가로 포함하며, 상기 나사 세그먼트는 상기 지지구조체의 길이를 따라서 서로 동등한 간격으로 웨이퍼 지지구조체상에 배치되고, 나사 세그먼트를 구동부에 보다 강하게 연결하도록 나사 세그먼트와 직면하는 나선형 구동부의 각진 섹션과 정렬하여 축의 길이방향 축선으로부터 각형성하여 서로 평행하게 한 것을 특징으로 하는 자기 전동기구.
  15. 제1항에 있어서, 다수의 긴 자기 구동부를 추가로 포함하는데, 각각은 축의 한 단부의 주변둘레에 이격된 점에서 시작하고, 상기 구동부는 서로 끼워져서 인접 구동섹션이 서로 교차하지 않도록 동일한 안내각을 유지하도록 축둘레로 나선형으로 감겨져 있는 것을 특징으로 하는 자기 전동기구.
  16. 제5항에 있어서, 다수의 나선형 자기 구동부의 주변 시발점은 원통형 축의 적어도 한 단부의 주변 둘레에 등거리로 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 전동기구.
  17. 제15항에 있어서, 상기 전동 지지체는 다수의 자기 나사 세그먼트와 다수의 나사 세그먼트중 적어도 두개는 나선형 자기 구동부에 자기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 자기 전동기구.
  18. 제17항에 있어서, 다수의 나사 세그먼트의 각 나사 세그먼트는 축상의 나선형 자기 구동부의 섹션에 자기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 자기 전동기구.
  19. 적어도 하나의 벽을 가진 웨이퍼 처리 챔버(12)로 통로를 따라서 웨이퍼(27)를 이동하기 위한 자기 전동기구에 있어서, 처리 챔버내의 통로를 따라서 이동가능하도록 장착되어 있는, 웨이퍼를 지지하기 위한 웨이퍼 지지수단과, 챔버벽의 한 측면에 인접한 상기 지지수단상에 배치된 지지 피동수단과, 챔버의 외측에 장착되고 앞선 구동섹션외에 통로를 따라서 추가로 배치된 연속 자기 구동섹션을 포함하는 자기 구동수단을 포함하며, 상기 구동수단은 챔버내의 자기장을 부과하도록 챔버벽의 다른 측에 인접배치되며, 자기 피동수단에 자기적으로 연결되므로서, 구동수단이 자기 피동수단에 통로를 따라서 추가로 배치된 다른 연속 구동섹션을 노출할 때 피동수단은 연속섹션에 자기적으로 끌어당겨져 웨이퍼 지지수단을 통로를 따라서 챔버로 이동하는 것을 특징으로 하는 자기 전동기구.
  20. 제19항에 있어서, 상기 자기구동수단은 상기 통로에 평행하게 연장하고 챔버벽의 다른 측면에 인접한 길이방향 축선상에 회전하도록 장착된 긴 원통형 축과, 축의 회전이 자기 피동수단을 축의 길이를 따라서 추가로 배치한 자기구동수단의 다른 연속 섹션에 노출함으로서 상기 피동수단과 웨이퍼 지지구조체를 긴 축에 평행한 통로를 따라서 선형으로 구동되도록, 연속 구동 섹션에 연결되도록 축과 함게 회전하기 위해 축둘레로 나선형으로 감겨진 연속 구동섹션을 포함하는 적어도 긴 자기구동부는 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 전동기구.
  21. 제19항에 있어서, 상기 자기 피동장치는 나란히 배치되어 있는 다수의 자기 피동 소자를 포함하는데, 상기 각 소자의 최외단은 인접피동 소자와 반대의 자극을 가지며, 상기 자기 구동수단은 나란히 배치되어 있는 다수의 자기 구동소자를 포함하는데, 상기 각 구동소자의 최외단은 인접 구동소자와 반대의 자극을 가지며, 적어도 하나의 피동 소자는 반대극성의 구동소자를 구동하도록 자기적으로 끌어당겨져서 자기 피동장치를 자기 구동기에 자기적으로 연결하는 것을 특징으로 하는 자기 전동기구.
  22. 다수의 일련으로 연결된 하우징과, 상기 하우징내에서 처리 단계를 수행하도록 적어도 하나의 하우징에 연결된 처리수단과, 웨이퍼를 수용하기 위한 웨이퍼 지지 구조체와, 상기 통로를 따라서 일련의 하우징을 통해서 웨이퍼 지지구조체를 안내하기 위한 가이드수단을 포함하며, 적어도 하나의 하우징의 외부에 배치되고 통로에 평행하게 연장되록 장착되어, 하우징의 제1벽에 인접한 길이방향 축선상에서 회전하는 긴 원통형축과, 상기 축과 함께 회전하도록 축둘레로 나선형으로 감겨져 있는 연속 구동섹션을 포함하며, 제1벽에 인접한 하우징내측에 자기장을 부과하는 적어도 하나의 긴 자기구동부와, 구조체가 하우징내에 있을 때 제1벽과 직면하는 지지구조체상에 배치되고, 제1벽에 인접한 자기 구동부의 섹션에 지지 구조체를 자기적으로 연결하는 적어도 하나의 나사 세그먼트를 포함하고, 나사 세그먼트가 연속 구동 섹션에 연결되고 축이 회전할 때 긴 축에 평행한 통로를 따라서 선형으로 지지체를 이동하도록, 축의 회전이 축의 길이를 따라서 추가로 배치된 구동부의 다른 연속섹션에 나사 세그먼트를 노출하는, 상기 통로를 따라서 일련의 하우징을 통해서 지지구조체를 이동하는 자기전동기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 처리 라인.
  23. 제22항에 있어서, 상기 나선형 자기 나사 구동부는 일반적으로 연속 나선형 자기 구동부를 선택적으로 형성하도록 축에 나란히 배된 다수의 자기 소자를 포함하며, 상기 각 연속 자기 구동소자는 최외단에서 인접한 자기 소자와 반대의 극성을 가지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 처리 라인.
  24. 제22항에 있어서, 상기 지지 구조체 자기 나사 세그먼트는 연속 자기 나사 세그먼트를 형성하도록 나란히 배치된 다수의 자기소자를 포함하며, 각 연속 자기 나사 세그먼트 소자는 최외단에서 상기 소자와 반대의 극성을 가지며, 적어도 하나의 나사 세그먼트 소자는 반대극성을 가진 자기 구동소자에 자기적으로 끌어당겨져 지지구조체를 구동부를 자기적으로 연결하며, 나사 세그먼트소자가 축이 회전할 때 다른 연속 구동소자에 자기적으로 연결되도록 자기 구동부의 길이를 따라서 추가로 배치되어 있는 반대극성을 가진 다른 연속 자기 나사 세그먼트 소자에 나사 세그먼트 소자를 노출하는 축의 회전은 축이 회전될 때 축에 평행하게 선형으로 웨이퍼 지지체를 이동시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 처리 라인.
  25. 제22항에 있어서, 상기 지지 구조체는 구조체의 길이를 따라서 서로 이격된 다수의 자기 나사 세그먼트를 포함하며, 상기 다수의 나사 세그먼트중 적어도 두개가 하우징을 통해 웨이퍼 지지구조체를 선형으로 부드럽게 이동시키고 동시에 나선형 자기 구동부에 자기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 처리 라인.
  26. 제22항에 있어서, 다수의 긴 자기 구동부를 추가로 포함하는데, 각각은 축의 한 단부의 주변둘레에 이격된 점에서 시작하고, 상기 구동부는 서로 끼워져서 인접 구동섹션이 서로 교차하지 않도록 동일한 안내각을 유지하도록 축둘레로 나선형으로 감겨져 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 처리 라인.
  27. 제22항에 있어서, 상기 자기 전동기구는 웨이퍼가 하우징의 각각을 통해 이동될 수 있도록 일련으로 연결된 하우징의 각각과 연관되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 처리 라인.
  28. 제27항에 있어서, 상기 웨이퍼 지지구조체의 전단부상의 나사 세그먼트가 하우징의 자기 구동부에 연결되고 지지구조체의 후단부에 있는 나사 세그먼트가 처리 라인을 따라서 하우징으로부터 하우징으로 지지구조체를 연속적으로 이동하기 위해서 앞의 하우징의 구동부에 연결되도록, 상기 웨이퍼 지지구조체는 다수의 나사 세그먼트를 가지며 인접 일련의 하우징사이로 연장하도록 치수형성되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 처리 라인.
  29. 제22항에 있어서, 연속 구동섹션을 가진 적어도 하나의 긴 원통형 축은 적어도 두개의 일련으로 연결된 하우징에 인접하게 연장하므로서, 웨이퍼 지지구조체(24)는 두개의 일련으로 연결된 하우징을 통해서 이동할 때 동일한 축에 자기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 처리 라인.
  30. 벽을 가지는 웨이퍼 처리 챔버로 통로를 따라서 웨이퍼를 이송하는 방법에 있어서, 1) 통로를 통해서 처리챔버로 이동가능하고 벽에 직면하게 배치된 적어도 하나의 자기 나사 세그먼트를 포함하는 지지구조체내에 웨이퍼를 지지하는 단계와, 2) 상기 나사 세그먼트가 통로에 평행하게 연장하는 축상에 회전하도록 벽에 인접한 챔버의 외측에 장착된 긴 원통형축 대향하도록 상기 지지구조체를 위치설정하는 단계와, 여기서, 상기 긴 자기 구동부를 포함하는 축은 전동 구조체의 자기 나사 세그먼트에 대향하는 벽에 구동섹션이 직면하도록 축과 함께 회전하도록 축둘레에 나선형으로 감긴 연속섹션을 포함하고, 상기 구동섹션은 나사 세그먼트가 구동섹션에 자기적으로 연결하도록 나사 세그먼트에 인접하게 챔버내에 자기장을 부과하며, 3) 축이 회전할 때 축을 따라서 그리고 통로를 따라서 챔버를 통해서 지지체를 이동하도록 축의 길이를 따라서 추가로 배치된 나선형 구동부의 다른 연속 섹션에 대향해서 연결되도록 축을 회전하는 단계를 포함하므로서, 회전 나선형 구동부는 감소된 마찰과 챔버내의 감소된 입자 발생으로 처리 챔버를 통해 구조체를 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 방법.
  31. 제30항에 있어서, 상기 나선형 구동체는 연속 나선형 자기 구동부를 선택적으로 형성하도록 일반적으로 나란히 배치된 다수의 연속 자기소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 방법.
  32. 제31항에 있어서, 상기 각 연속 자기 구동 소자는 최외단에서 인접한 자기 구동소자와 반대의 극성을 가지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 방법.
  33. 제30항에 있어서, 상기 나사 세그먼트는 연속 자기 나사 세그먼트를 형성하도록 웨이퍼 지지구조체상에 나란히 배치된 다수의 자기소자를 제공하고, 각 자기 나사 세그먼트 소자는 최외단에서 인접한 자기 나사 세그먼트 소자와 반대의 자극을 가지며, 상기 방법은 추가로 나사 세그먼트 소자와 연속 구동 소자사이의 자기 커플링이 통로를 따라서 지지구조체를 이동하도록 축을 회전함으로서 축을 따라서 추가로 배치된 반대극성으로된 연속 자기 구동소자에 적어도 하나의 나사 세그먼트 소자를 노출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 방법.
  34. 제30항에 있어서, 상기 전동 구조체는 다수의 자기 나사 세그먼트를 포함하며, 상기 다수의 나사 세그먼트중 적어도 두개가 처리챔버를 통해 웨이퍼 지지구조체를 선형으로 부드럽게 이동시키도록 나선형 자기 구동부에 자기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 방법.
  35. 제30항에 있어서, 비자성 슬리브는 자기 구동부의 손상을 방지하기 위해서 축과 나선형 자기 구동부위에 놓여 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 방법.
  36. 제30항에 있어서, 상기 축은 추가로 다수의 긴 자기 구동부를 포함하며, 상기 구동부는 인접 구동부가 서로 교차하도록 서로 끼워지고 동일한 리드각을 유지하도록 나선형으로 감겨져 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 방법.
  37. 벽을 가지는 웨이퍼 처리 챔버로 통로를 따라서 웨이퍼를 이송하는 방법에 있어서, 1) 통로를 통해서 처리챔버로 이동가능하고 챔버벽의 한 측면벽에 인접한 지지 수단상에 배치된 자기 피동 수단을 포함하는 지지수단내에 웨이퍼를 지지하는 단계와, 2) 상기 자기 피동수단이 상기 챔버내에 자기장을 부과하고 구동시 수단을 피동수단에 자기적으로 연결하는 챔버벽의 다른 측면에 인접 배치된 연속 자기 구동 섹션을 포함하는 챔버의 외부에 장착된 자기 구동수단고 반대측에 놓이도록 챔버내에 지지수단을 위치설정하는 단계와, 3) 통로를 따라서 웨이퍼 처리 챔버로 지지수단을 이동하도록, 통로를 따라서 추가로 배치된 연속 구동섹션에 피동수단이 자기적으로 연결하도록 다른 연속 자기 구동섹션을 피동수단에 노출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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