KR960039418A - 반도체 장치 - Google Patents

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KR960039418A
KR960039418A KR1019950009737A KR19950009737A KR960039418A KR 960039418 A KR960039418 A KR 960039418A KR 1019950009737 A KR1019950009737 A KR 1019950009737A KR 19950009737 A KR19950009737 A KR 19950009737A KR 960039418 A KR960039418 A KR 960039418A
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KR
South Korea
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semiconductor device
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circuit
input circuit
vcc
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KR1019950009737A
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English (en)
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김상수
현석태
윤용식
이경동
Original Assignee
김주용
현대전자산업 주식회사
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  • Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 장치에 관한 것으로, P형 실리콘기판에 형성되는 반도체 장치에 있어, 네가티브(Negative) 입력전압특성을 개선시키기 위하여 ESD(Electric Static Discharge)회로를 포함하는 입력회로(Input circuit)의 주변에 Vcc 가드링(Guard ring)을 깊게 형성시키므로써 소자의 전기적특성을 향상시킬 수 있도록 한 반도체 장치에 관한 것이다.

Description

반도체 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 반도체 장치를 설명하기 위한 소자의 개념도.

Claims (3)

  1. 반도체 장치에 있어서, 웰이 형성된 실리콘기판과, 상기 실리콘기판의 ESD회로를 포함하는 입력회로지역 및 메모리 셀 또는 주변회로지역에 각각 형성되며 게이트전극, 소오스영역 및 드레인영역으로 이루어진 트랜지스터와, 상기 ESD회로를 포함하는 입력회로지역의 드레인영역으로부터 소정거리 이격되어 형성된 픽업영역과, 상기 ESD회로를 포함하는 입력회로지역으로부터 소정거리 이격된 주변에 형성되며 상기 소오스 및 드레인 영역보다 깊은 접합깊이를 갖는 Vcc 가드링으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 Vcc 가드링은 양측면에서 각각 불순물이온을 주입하는 경사이온주입방법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 불순물이온 주입시의 경사각은 0°및 7°인 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100535089B1 (ko) * 1999-04-09 2005-12-07 주식회사 하이닉스반도체 반도체소자의 제조방법

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