KR960030358A - 예비적처리의 완료점 검출장치 및 완료점 검출방법 - Google Patents

Abstract

「현장 클리닝」 처리로 잔류하는 활성화학종을 클리닝 처리 후의 성막에 해를 주지 않도록 정확히 제거할수 있는 현장 클리닝 처리 후의 예비적 처리완료점 검출장치 및 완료점 검출방법을 제공함을 목적으로 한다.

반응실(10)과 고주파전극(11)과 고주파전원(19)가 박막작성용의 가스공급라인(17)과 「현장 클리닝」용의 가스공급라인(18)과 「현장 클리닝」후에 행하여지는 예비적 처리시에 방전 특성치(자기바이어스전압, 전극전압 또는 방전임피던스)를 검출하는 검출기(20)와 검출기(20)의 출력에 대한 감시수단을 구비하고 있다.

반응실(10)에 대하여 「현장 클리닝」을 한 후, 예비적 처리를 하는 경우, 가스공급라인(18)을 통하여 「현장 클리닝」을 위한 가스를 도입하여 활성화학으로 반응실(10)내를 「현장 클리닝」한 후, 반응실(10)내에서 예비적 처리를 하고 잔류하는 활성화학종을 제거한다. 에비적 처리 중, 방전특성치를 측정하여 측정치의 변화가 거의 일정한 상태로 이행하는 시점을 예비적 처리의 완료점으로 한다.

Description

예비적처리의 완료점 검출장치 및 완료점 검출방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 실시예의 개략 구성도.

Claims (12)

1. 현장 클리닝 후의 예비적 처리 중에, 고주파 전극에서의 플라즈마의 방전특성치를 검출하는 수단과, 이검출수단의 출력을 감시하면서 완료점을 알아내는 감시수단을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 완료점 검출장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 검출수단은 저항분할회로, 평활회로 및 전압검출수단을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 완료점 검출장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 검출수단은 콘덴서 분할회로, 평활회로 및 전압검출수단을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 완료점 검출장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 검출수단은 전류프로브, 전압프로브, 디지타이저 및 임피던스 연산수단을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 완료점 검출장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 감시수단은 검출수단의 출력을 미분해석한 값을 감시하면서, 그 값이 제로가 된 시점을 알아내고, 그리고 그 시점이 완료점임을 알리는 것을 특징으로 하는 완료점 검출장치.
6. 제1항에 있어서, 상기감시 수단은 검출수단의 출력이 일정하게 이행하는 시점을 알아내어, 그 시점이 완료점임을 알리는 것을 특징으로 하는 완료점 검출장치.
7. 제1항에 있어서, 상기 완료점 검출장치는 감압가능한 반응실과, 그 반응실내에 성치된 고주파전극과, 그 고주파전극에 고주파전력을 인가하는 수단과, 그 반응실내로 박막 작성용의 가스를 도입하는 수단과, 그 반응 실내를 현장 클리닝하기 위한 가스를 도입하는 수단을 구비한 플라즈마 CVD 장치에 조립해 넣어져 있는 것을 특징으로 하는 완료점 검출장치.
8. (1) 현장 클리닝 종료 후, 박막 작성 개시전에, 현장 클리닝으로 반응실에 잔류하고 있는 화학활성종과 화학반응하는 원소가 함유된 가스를 그 반응실에 도입하고, 그리고 그 가스에 플라즈마를 발생시켜 잔류활성화 학종을 제거하는 예비적 처리에 있어서, (2) 이 예비적 처리 중에 플라즈마의 방전특성치를 검출하고, 그 검출 된 출력을 감시하면서, 그 출력이 일장한 상태로 이행하는 시점을 완료점으로 하는 예비적 처리의 완료점 검출 방법.
9. 제8항에 있어서, 그 출력을 미분해석하고, 그 값을 감시하면서, 그값이 제로가 된 시점을 알아내어, 그 시점이 완료점임을 알리는 것을 특징으로 하는 완료점 검출방법.
10. 제8항에 있어서, 잔류화학활성종과 화학반응하는 원소가 함유된 가스는 수소화규소가스 또는 수소화규소가스와 수소가스, 질소가스 또는 암모니아가스와의 혼합가스인 것을 특징으로 하는 완료점 검출방법.
11. 제8항에 있어서, 현장 클리닝은 3불화질소가스를 반응실에 도입하여, 3불화질소가스 중에 플라즈마를 발생시켜 행하는 것을 특징으로 하는 완료점 검출방법.
12. 제8항에 있어서, 그 박막작성은 아몰퍼스실리콘 박막의 작성인 것을 특징으로 하는 완료점 검출방법.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.