KR960029770A - 다수의 수광부를 이용한 광 검출기 - Google Patents
다수의 수광부를 이용한 광 검출기 Download PDFInfo
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Abstract
반도체 웨이퍼위나 액정 표시 장치 기판위에 전자 회로를 옮기는 노광 장치에 있어서, 빛이 조사되는 스테이지 상에 장착되어, 스테이지의 이동 상태에 따라 조사되는 빛의 광량을 측정하여 해당하는 전기적인 신호를 출력하는 다수의 수광 센서로 이루어진 수광부와; 상기 수광부에서 출력되는 신호를 처리하여, 처리된 신호에 해당하는 디지탈 신호를 출력하는 신호 처리 수단과; 상기 신호 처리부에서 출력되는 수광부의 측정 신호에 따라 스테이지 상에 조사되는 광의 균일도를 산출하고, 상기 수광부가 장착된 스테이지를 이동시키기 위한 신호를 출력하는 제어 수단과; 상기 제어 수단에서 출력되는 신호에 따라 상기 수광부가 장착된 스테이지를 설정된 경로에 따라 이동시키는 스테이지 구동 수단으로 이루어지는 다수의 수광부를 이용한 광 검출기는, 다수의 수광부를 이용하여 조사되는 광량을 측정하므로써, 광의 균일성 산출의 정확성을 높이고 조사되는 노광면의 전체 검사 시간을 단축시킬 수 있으며, 빛을 단속하는 블라인더의 정렬 상태를 보정할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 이 발명의 실시예에 따른 다수의 수광부를 이용한 노광 장치의 구조 사시도이고, 제4도는 이 발명의 실시예에 따른 다수의 수광부를 이용한 광균일도 검사 동작을 나타내는 사시도이고, 제5도는 이 발명의 실시예에 따른 블라인더부의 구조를 나타내는 사시도이고, 제6도는 이 발명의 실시예에 따른 블라인더부의 위치 정렬 동작을 나타내는 사시도이고, 제7도는 이 발명의 실시예에 따른 블라인더부 및 스테이지의 구조를 나타내는 사시도이고, 제8도는 이 발명의 실시예에 따른 레티클 스테이지의 구조를 나타내는 사시도이고, 제9도는 이 발명의 실시예에 따른 다수의 수광부를 이용한 광검출기의 구성 블럭도이다.
Claims (11)
- 반도체 웨이퍼위나 액정 표시 장치 기판위에 전자 회로를 옮기는 노광 장치에 있어서, 빛이 조사되는 스테이지 상에 장착되어, 스테이지의 이동 상태에 따라 조사되는 빛의 광량을 측정하여 해당하는 전기적인 신호를 출력하는 다수의 수광 센서로 이루어진 수광부와; 상기 수광부에서 출력되는 신호를 처리하여, 처리된 신호에 해당하는 디지탈 신호를 출력하는 신호 처리 수단과; 상기 신호 처리부에서 출력되는 수광부의 측정 신호에 따라 스테이지 상에 조사되는 광의 균일도를 산출하고, 상기 수광부가 장착된 스테이지를 이동시키기 위한 신호를 출력하는 제어 수단과; 상기 제어 수단에서 출력되는 신호에 따라 상기 수광부가 장착된 스테이지를 설정된 경로에 따라 이동시키는 스테이지 구동 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다수의 수광부를 이용한 광 검출기.
- 제1항에 있어서, 상기한 수광부가, 빛이 조사되는 스테이지 상에 장착되어, 스테이지의 이동 상태에 따라 조사되는 빛의 광량을 측정하여 해당하는 전기적인 신호를 출력하는 제1수광 수단과; 상기 제1수광부와 일정간격을 두고 상하로 스테이지 상에 장착되어 스테이지의 이동 상태에 따라 조사되는 빛의 광량을 측정하여 해당하는 전기적인 신호를 출력하는 제2수광 수단으로 이루어진 것을 특징으로 하는 다수의 수광부를 이용한 광 검출기.
- 제2항에 있어서, 상기한 제1수광 수단과 제2수광 수단을 상하로 연결한 축이, 노광장치에 있어서 스테이지로 조사되는 빛을 단속하는 블라인더 장치의 경계면과 일치하도록 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 다수의 수광부를 이용한 광 검출기.
- 제2항에 있어서, 상기 제2수광부가 일정 간격을 두고 상하로 스테이지 상에 장착되어 스테이지의 이동상태에 따라 조사되는 빛의 광량을 측정하여 해당하는 전기적인 신호를 출력하는 제3수광 수단을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 다수의 수광부를 이용한 광 검출기.
- 제2항에 있어서, 상기한 제어 수단은, 상기 제1수광 수단과 제2수광 수단에서 측정되는 신호의 차이량을 산출하여, 산출된 차이량에 따라 스테이지로 조사되는 빛을 단속하는 블라인더 장치의 경계면의 어긋남을 판단하는 것을 특징으로 하는 다수의 수광부를 이용한 광 검출기.
- 제1항에 있어서, 스테이지로 조사되는 빛을 단속하는 블라인더 장치의 경계면의 정렬 상태를 표시하기 위한 표시 수단을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 다수의 수광부를 이용한 광 검출기.
- 제6항에 있어서, 상기한 제어 수단은, 상기 제1수광부와 제2수광부에서 측정되는 신호의 차이량이 일정값 이상으로 차이가 나는 경우에는, 빛을 단속하는 블라인더 장치의 경계면의 정렬이 어긋난 것으로 판단하여, 표시 수단으로 블라인더 장치의 경계면 상태가 어긋났음을 알리기 위한 신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 다수의 수광부를 이용한 광 검출기.
- 제1항에 있어서, 상기한 신호 처리 수단은, 상기 수광부에서 출력되는 전류 신호를 전압 신호로 변환하여 출력하는 전류/전압 변환부와; 상기 전류/전압 변환부의 출력단에 연결되어 인가되는 전압 신호를 증폭하여 출력하는 전압 증폭부와; 상기 전압 증폭부의 출력단에 연결되어 인가되는 증폭된 전압신호를 반전시켜 출력하는 반전 증폭부와; 상기 전압 증폭부와 반전 증폭부의 출력단에 연결되어 인가되는 전압신호의 차등 전압을 증폭하여 출력하는 차동 증폭부와/ 상기 차동 증폭부의 출력단에 연결되어 잡음을 제거하기 위한 필터링을 수행하는 저역 통과 필터부와; 상기 저역 통과 필터부의 출력단에 연결되어 인가되는 아날로그 신호를 디지탈 신호로 변환하여 출력하는 A/D 변환부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다수의 수광부를 이용한 광 검출기.
- 제1항에 잇어서, 상기한 수광부가 빛이 조사되는 스테이지의 하단에 장착되는 것을 특징으로 하는 다수의 수광부를 이용한 광 검출기.
- 제2항에 있어서, 상기한 제어 수단은, 상기 수광부에서 감지되는 신호에 따라 스테이지상에 빛이 조사되는 노광면의 광균일도를 산출하는데 있어서, 노광면의 상단에서 하단으로 순서적으로 스테이지를 이동시켜 전적의 조사되는 광을 스캔하는 과정에서 발생되는, 제1수광 수단과 제2수광 수단의 중첩 측정에 따른 광정보에 대한 상기 수광부간의 감도 오차를 산출하여, 산출된 오차값을 측정되는 광신호에 보정하여 전체적인 광균일도를 산출하는 것을 특징으로 하는 다수의 수광부를 이용한 광 검출기.
- 제1항에 있어서, 다수의 수광 센서를 이용하여 빛이 조사되는 스테이지상의 노광면을 스캔하는 이동거리를 단축시킨 것을 특징으로 하는 다수의 수광부를 이용한 광 검출기.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950000548A KR0155203B1 (ko) | 1995-01-13 | 1995-01-13 | 다수의 수광부를 이용한 광 검출기 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1019950000548A KR0155203B1 (ko) | 1995-01-13 | 1995-01-13 | 다수의 수광부를 이용한 광 검출기 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960029770A true KR960029770A (ko) | 1996-08-17 |
| KR0155203B1 KR0155203B1 (ko) | 1998-12-01 |
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ID=19406729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR1019950000548A KR0155203B1 (ko) | 1995-01-13 | 1995-01-13 | 다수의 수광부를 이용한 광 검출기 |
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| Country | Link |
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| KR (1) | KR0155203B1 (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100454848B1 (ko) * | 2002-05-02 | 2004-11-05 | 아남반도체 주식회사 | 반도체 소자 제조용 노광장치 및 방법 |
| KR100465871B1 (ko) * | 1997-07-07 | 2005-05-17 | 삼성전자주식회사 | 반도체제조용스테퍼 |
-
1995
- 1995-01-13 KR KR1019950000548A patent/KR0155203B1/ko not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100465871B1 (ko) * | 1997-07-07 | 2005-05-17 | 삼성전자주식회사 | 반도체제조용스테퍼 |
| KR100454848B1 (ko) * | 2002-05-02 | 2004-11-05 | 아남반도체 주식회사 | 반도체 소자 제조용 노광장치 및 방법 |
Also Published As
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| KR0155203B1 (ko) | 1998-12-01 |
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